1.一種全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
包括以下步驟：
在半導(dǎo)體襯底上鍵合石英玻璃，并對所述石英玻璃進(jìn)行減??；
在所述減薄后的石英玻璃上形成鈦鎢合金層；
在所述鈦鎢合金上形成鋁層或者鋁銅合金層；
形成光刻膠并進(jìn)行光刻圖形化；
以所述圖形化后的光刻膠為掩膜，采用鋁腐蝕液對所述鋁層或鋁銅合金層進(jìn)行濕法腐蝕；
利用濕法去除光刻膠；
以所述濕法腐蝕后的鋁層或鋁銅層為掩膜，采用鈦鎢腐蝕液對所述鈦鎢合金層進(jìn)行濕法腐蝕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述鈦鎢腐蝕液包含堿性溶液和雙氧水，并且所述鈦鎢腐蝕液的pH值介于6～8之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述半導(dǎo)體襯底為硅襯底。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述堿性溶液為無機堿性溶液或有機堿性溶液。
5.根據(jù)根據(jù)權(quán)利要求4所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述堿性溶液為氨水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述鈦鎢合金層的濕法腐蝕工藝溫度為25℃～65℃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述鋁層或鋁銅合金層的濕法腐蝕工藝溫度為25℃～65℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述光刻膠濕法去除工藝溫度為20℃～30℃。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述鋁銅合金中銅的質(zhì)量百分比為0.5～3％。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的全濕法腐蝕形成器件結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，
所述鈦鎢合金中鈦、鎢的原子比為1:9～3:7。