專利名稱：薄膜驅(qū)動反射鏡陣列及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光學(xué)投影系統(tǒng)，較具體地，涉及一種用于具有改善的光學(xué)效率的系統(tǒng)中的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列及其制作方法。
在本技術(shù)領(lǐng)域中可以獲得的各種視象顯示系統(tǒng)中，已知有一種光學(xué)投影系統(tǒng)能夠以大尺寸提供高質(zhì)量的顯示。在這種光學(xué)投影系統(tǒng)中，從光源燈發(fā)出的光均勻地照射在一個例如M×N的被驅(qū)動反射鏡陣列上，其中每個反射鏡都與一個相應(yīng)的驅(qū)動器相耦合。驅(qū)動器可以用諸如電致位移材料或電致伸縮材料做成，它們在對施加于其上的電場作出響應(yīng)時將發(fā)生形變。
從各個反射鏡反射的光入射到一個擋光板的孔位上。通過在每個驅(qū)動器上加上一個電信號，可以使各個反射鏡相對于入射光束的位置發(fā)生改變，從而使從各個反射鏡上反射的光路發(fā)生偏移。當(dāng)各個反射光束的光路發(fā)生變化時，能夠穿過孔徑的各個反射鏡的反射光量也發(fā)生變化，從而實現(xiàn)了對光束強度的調(diào)制。借助于一個適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)器件，例如一個投影透鏡，穿過孔徑的調(diào)制光束便被投射到一個投影屏上，從而在其上顯示出一個圖象。


圖1中示出了一個用于光學(xué)投影系統(tǒng)的M×N個薄膜驅(qū)動反射鏡5的陣列10，它已在審議中的標(biāo)題為“薄膜驅(qū)動反射鏡陣列及其制作方法”的聯(lián)合專利申請美國專利申請中公布，它包括一個含有基底12、M×N晶體管陣列(未示出)、和M×N個接線端14的陣列13的有源矩陣11；一個M×N個薄膜驅(qū)動結(jié)構(gòu)16的陣列15，每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16至少含有一個移動源材料薄膜層17，一個第一電極18，和一個第二電極19，第一和第二電極分別位在薄膜移動源層17的頂面和底面；M×N個支持單元21的陣列20，各個支持單元21的用途是以使各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16成懸臂狀態(tài)的方式固定各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16，和使各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16與主動矩陣11進行電連接；以及M×N個用來反射光束的反射鏡23的陣列22，各個反射鏡分別位在各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16的頂部。在薄膜驅(qū)動反射鏡陣列10中，在每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16中的位在一對電極18和19之間的移動源材料薄膜層17上施加電信號，使其發(fā)生形變，該形變又使位在薄膜層17頂部的反射鏡23發(fā)生形變，從而改變?nèi)肷涔馐墓饴贰?br> 上述薄膜驅(qū)動反射鏡陣列的主要問題之一是陣列10的總體光學(xué)效率問題。當(dāng)每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)16在施加于其中的薄膜移動源層17上的電場作用之下發(fā)生形變時，粘接在薄膜層17上的反射鏡23也發(fā)生形變。然而，在陣列10中，固定在支持單元21上的那一部分反射鏡23并不在電場作用下形變，而是保持在固定的位置上，另外，該變形的反射鏡的部分彎曲使得產(chǎn)生一彎曲的上表面，光束即被從該表面上反射。其結(jié)果，由于反射鏡23的有效長度減少了固定在支持單元21上的驅(qū)動結(jié)構(gòu)的那部分的長度，也由于當(dāng)反射鏡23彎曲時的彎曲上表面，陣列10的總體光效率下降。
因此，本發(fā)明的第一個目的是提供一種具有改善的光學(xué)效率的M×N驅(qū)動反射鏡陣列。
本發(fā)明的另一個目的是提供該M×N驅(qū)動反射鏡陣列的制作方法。
根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于光學(xué)投影系統(tǒng)的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，該陣列包括一個含有基底、M×N晶體管陣列、以及M×N接線電極陣列的有源矩陣；一個M×N薄膜驅(qū)動結(jié)構(gòu)陣列，每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)含有第一、第二和第三驅(qū)動部分，第一、第二和第三驅(qū)動部分的結(jié)構(gòu)相同，各個第一、第二和第三驅(qū)動部分都具有一個頂面和一個底面，以及一個近端和一個遠端，各個第一、第二和第三驅(qū)動部分都至少含有一個由移動源材料構(gòu)成的含有一個頂面和一個底面的薄膜層，各個第一、第二和第三驅(qū)動部分還具有第一電極和第二電極，第一電極位在移動源薄膜層的頂面上，第二電極位在移動源層的底面上，各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的第一電極都與地連接，起著偏置電極的作用，各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的第二電極都連接在對應(yīng)于該驅(qū)動部分的一個共同信號源上，起著信號電極的作用，其中施加在位于各個驅(qū)動部分的第一和第二電極之間的移動源薄膜層上的電信號使移動源薄膜層發(fā)生形變，從而使上述各個驅(qū)動部分發(fā)生形變；一個M×N支持單元陣列，各個支持單元用來使各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)位在各自的位置上，其中各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)的驅(qū)動部分的近端固定在相應(yīng)的支持單元上；一個M×N反射鏡層陣列，每個反射鏡層含有一個用來反射光束的反射鏡和一個支持層，每個反射鏡層都具有奇數(shù)個(大于或等于5)翼片部分，每個翼片部分與其相鄰的翼片部分之間都有一個分離縫使它們部分地分離，其中第二驅(qū)動部分位在中央翼片部分的底部，而第一和第三驅(qū)動部分則分別位在中央翼片部分兩側(cè)的隔開一個翼片部分的翼片部分的底部，使得當(dāng)各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分在電信號作用之下發(fā)生形變時，粘接有驅(qū)動部分的翼片部分將發(fā)生傾斜，而包括沒有粘接驅(qū)動部分的翼片部分在內(nèi)的反射鏡層的其余部分則保持平面形狀，從而使得包括沒有粘接驅(qū)動部分的翼片部分在內(nèi)的反射鏡的其余部分能夠反射光束，獲得增加光學(xué)效率的效果。
根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供一種制作用于光學(xué)投影系統(tǒng)的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列的方法，該反射鏡陣列包括一個有源矩陣，一個M×N薄膜驅(qū)動結(jié)構(gòu)陣列，一個M×N支持單元陣列，以及一個M×N反射鏡層陣列，其中每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)還進一步包括第一、第二和第三驅(qū)動部分；上述方法包括以下步驟(a)提供具有頂面的有源矩陣，該有源矩陣包括一個基底，一個M×N晶體管陣列和一個M×N接線端陣列；(b)在有源矩陣的頂面上形成第一支持層，該支持層含有一個對應(yīng)于M×N支持單元陣列的M×N基座和一個待除區(qū)；(c)對待除區(qū)進行處理使之可以去除；(d)在第一支持層上淀積第一薄膜電極層；(e)使第一薄膜電極層成形為具有第一電極圖案形狀，包括各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的信號電極；(f)在頂部已帶有第一電極圖案的支持層上提供薄膜移動源層；(g)在薄膜移動源層上形成第二薄膜電極層；(h)使第二薄膜電極層成形為具有第二電極圖案的形狀，包括在每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的偏置電極；(i)在頂部帶有第二電極圖案的薄膜移動源層的頂部淀積第二支持層；(j)在第二支持層頂部形成光反射層；(k)使光反射層、第二支持層和分別在其頂部和底部帶有第一和第二電極圖案的移動源薄膜層形成圖案；(1)去除第一支持層中的待除區(qū)，從而得到上述M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列。
本發(fā)明的上述目的和其他目的以及特色將通過下面結(jié)合附圖對優(yōu)選實施例的說明而變得清楚明白，在附圖中，圖1示出過去公開的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列的截面圖；圖2示出根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例的M×N薄膜反射鏡陣列的截面圖；圖3示出構(gòu)成圖2所示陣列的一個薄膜驅(qū)動反射鏡的詳細截面圖；圖4示出圖3所示的陣列中的一個薄膜驅(qū)動反射鏡的頂視圖；以及圖5A至5F示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例在各制作步驟過程中的示意性截面圖。
現(xiàn)在參考圖2至5，那里突出了根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的用于光學(xué)投影系統(tǒng)的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列的示意性截面圖和頂視圖以及該陣列的制作方法的示意性截面圖，其中M和N都是整數(shù)。需要注意圖2至5中相同的部分用相同的代號表示。
在圖2中畫出了第一實施例的M×N個薄膜驅(qū)動反射鏡51的陣列50的截面圖，它包括主動矩陣52，M×N個薄膜驅(qū)動結(jié)構(gòu)54的陣列53，M×N個支持單元56的陣列55，以及M×N個反射鏡層58的陣列57。
圖3示出構(gòu)成圖2所示的陣列50的一個薄膜驅(qū)動反射鏡51的詳細截面圖。有源矩陣52包含一個基底59，一個M×N晶體管陣列(未示出)和一個M×N個接一端61的陣列60。每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54包含第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)，62(b)和62(c)，其中每一個驅(qū)動部分，例如62(a)，都具有頂面和底面63、64，以及近端和遠端65、66。每個驅(qū)動部分，例如62(a)，還進一步含有至少一個薄膜層67，該薄膜層67由例如壓電材料或電致伸縮材料那樣的移動源材料組成，薄膜層67有頂面和底面68、69以及第一和第二電極70、71，第一電極70位在移動源薄膜層67的頂間68上，第二電極71位在其底面69上。如果移動源薄膜層67由壓電材料，例如鈦酸鉛鋯(PZT)組成，則必須予以極化。第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)、62(b)、62(c)的第一電極70與地連接，因此超著偏置電極的作用，而它們的第二電極71則起著信號電極的作用。第一和第二電極70.71由諸如鉑(Pt)或鉑/鉭(Pt/Ta)那樣的金屬組成。
對每個驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)中位于第一和第二電極70、71之間的移動源薄膜層67所施加的電信號將使移動源薄膜層67變形，從而使驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)變形。
M×N個支持單元56中的每一個都有頂面和底面72、73，各個支持單元56用來使各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的各個驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)保持在一定位置上，還通過提供例如由鎢(W)或鈦(Ti)組成的金屬導(dǎo)體99使各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)的第二電極71與有源矩陣52上的相應(yīng)接線端61實現(xiàn)電連接。在本發(fā)明的陣列50中，各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)通過使其近端65部分的底面64安裝在相應(yīng)支持單元56的頂面72上面以懸臂形式位在相應(yīng)的支持單元56上，各個支持單元56的底面73位在有源矩陣的頂面上。支持單元56由陶瓷組成。
每個反射鏡層58都含有一個用來反射光束的反射鏡74和一個支持層75。并且，如圖4所示，每個反射鏡層58都有奇數(shù)個(等于或大于5個)翼片部分76，每個翼片部分與相鄰的翼片部分之間都有一個分割縫77使它們部分地分離。在圖4所示的實施例中，每個反射鏡層58有7個翼片部分76。
在各個薄膜驅(qū)動反射鏡51中，第二驅(qū)動部分62(b)都位在中央翼片部分的底部，而第一和第三驅(qū)動部分62(a)、62(c)則分別位在中央翼片部分兩側(cè)的隔開一個翼片部分的翼片部分的底部所以當(dāng)在電信號作用下各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)發(fā)生形變時，粘接有驅(qū)動部分的翼片部分就會傾斜，而包括沒有粘接驅(qū)動部分的翼片部分在內(nèi)的反射鏡層58的其余部分則保持為平面形狀，其結(jié)果是，反射鏡層58的有效長度變成為其全部長度，因此比過去公開的陣列10的光學(xué)效率有一個凈增加量。
圖5A至5F畫出了關(guān)于制作本發(fā)明第一實施例陣列的制作步驟。第一實施例的M×N個薄膜驅(qū)動反射鏡51的陣列50的制作過程從制備有源矩陣52開始，如圖5A所示，該有源矩陣有一個頂面101，并包含有基底59，M×N晶體管陣列(未示出)和M×N個接線端61的陣列60。
在下一個步驟中，如圖5B所示，在有源矩陣52的頂面101上形成第一支持層102，它包括對應(yīng)于M×N個支持單元56的陣列55的M×N個基座104的陣列103和環(huán)繞基座104的待除區(qū)105，其中第一支持層102是這樣形成的在有源矩陣52的整個頂面101上淀積一個待除層(未示出)；形成M×N空槽陣列(未示出)以產(chǎn)生待除區(qū)105，各個空槽都位在M×N個接線端61中相應(yīng)接線端的周圍；在每個空槽中提供一個基座104。待除層是用例如化學(xué)氣相淀積法(CVD)形成的，空槽陣列是用例如濺射方法或化學(xué)氣相淀積法以及隨后的腐蝕方法形成的。然后處理第一支持層102的待除區(qū)105，使之以后可以用腐蝕方法或者用加適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)藥品的方法予以去除。
用來使各驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的各驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)的第二電極71與相應(yīng)的接線端61實現(xiàn)電連接的導(dǎo)體99是由諸如鎢(W)或鈦(Ti)那樣的金屬組成的，在各個基座104中形成導(dǎo)體99的方法是，首先采用腐蝕方法產(chǎn)生一個從基座104的頂部到相應(yīng)的接線端61的頂部的空洞，然后在空洞中注入諸如鎢那樣的金屬，如圖5C所示。
接著，如圖5D所示，在第一支持層102上淀積一層由例如銀那樣的導(dǎo)電材料組成的第一薄膜電極層106。其后，使第一薄膜電極層(未示出)形成第一電極圖案106，包括每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)的第二電極71。在下一步驟中，如圖5D所示，在帶有第一電極圖案106的第一支持層102的頂部相繼地形成一個由移動源材料(例如PZT)組成的薄膜層107和由導(dǎo)電材料(例如銀)組成的第二薄膜電極層(未示出)。第一和第二薄膜電極層是用濺射法形成的，而移動源薄膜層是用濺射法、CVD法、或溶膠一凝膠法(sol-gel法)中的一個方法形成的。其后，使第二薄膜電極層成形為第二電極圖案108，包括每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)54中的第一、第二和第三驅(qū)動部分62(a)、62(b)和62(c)的第一電極70。
如圖5E所示，在頂部帶有第二電極圖案的移動源薄膜層107的頂部淀積由陶瓷組成的第二支持層109。接著，用濺射法在第二支持層109頂部形成光反射層110。
然后，如圖5F所示，使先反射層110、第二支持層109和分別在頂部和底部帶有第一和第二電極圖案的移動源薄膜層107形成圖案，去除第一支持層102中的待除區(qū)105，從而形成M×N個薄膜驅(qū)動反射鏡51的陣列50。
如前所述，導(dǎo)電薄膜層、移動源薄膜層和反光材料薄膜層都是用已知的薄膜技術(shù)，便如濺射、溶膠-凝膠、蒸鍍、腐蝕和微加工技術(shù)來淀積和形成圖案的。
盡管本發(fā)明僅僅對某些實施例進行了說明，然而可以在不偏離由下述權(quán)利要求所規(guī)定的本發(fā)明的范疇的情況下，作出其他修改和變動。
權(quán)利要求
1.一種用于光學(xué)投影系統(tǒng)的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，其中M和N為整數(shù)，上述陣列包括一個有源矩陣，它含有一個基底，一個M×N晶體管陣列和一個M×N接線端陣列；一個M×N薄膜驅(qū)動結(jié)構(gòu)陣列，每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)都含有第一、第二和第三驅(qū)動部分，第一、第二和第三驅(qū)動部分的結(jié)構(gòu)相同，第一、第二和第三驅(qū)動部分都有一個頂面和一個底面以及一個近端和一個遠端，第一、第二和第三驅(qū)動部分都至少含有一個具有頂面和底面的移動源材料薄膜層，第一、第二和第三驅(qū)動部分還都帶有第一電極和第二電極，第一電極位在移動源薄膜層的頂面，第二電極位在移動源薄膜層的底面，各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的第一電極都與地連接，從而超著偏置電極的作用，各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的第二電極與相應(yīng)驅(qū)動部分中的一個共同信號源相連接，從而起著信號電極的作用，其中施加在各個驅(qū)動部分的第一和第二電極之間的移動源薄膜層上的電信號造成移動源薄膜層的形變，從而造成各個驅(qū)動部分的形變；一個M×N支持單元陣列，每個支持單元用來把各自的驅(qū)動部分保持在固定位置上，其中各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的驅(qū)動部分的近端粘接在相應(yīng)的支持單元上；一個M×N反射鏡層陣列，每個反射鏡層都含有一個用來反射光束的反射鏡和一個支持層，每個反射鏡層上有等于或大于5個的奇數(shù)個翼片部分，每個翼片部分與其相鄰的翼片部分被它們之間的分割縫部分地分離，其中，第二驅(qū)動部分位在中央翼片部分的底部，第一和第三驅(qū)動部分分別位在中央翼片部分兩側(cè)的隔開一個翼片部分的翼片部分的底部，使得當(dāng)各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分在電信號作用下發(fā)生形變時，粘接有驅(qū)動部分的那些翼片部分發(fā)生傾斜，而包括沒有粘接驅(qū)動部分的那些翼片部分在內(nèi)的反射鏡層的其余部分則保持平面形狀，因此允許包括沒有粘接驅(qū)動部分的那些翼片部分在內(nèi)的反射鏡層的其余部分能夠反射光束，從而增加了光學(xué)效率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，其中的各個支持單元由陶瓷組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，其中的各個支持單元帶有一個導(dǎo)體，用來實現(xiàn)各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的各驅(qū)動部分的第二電極與有源矩陣上的接線端之間的電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，其中的導(dǎo)體由鎢或鈦組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，其中的各個支持層由陶瓷組成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，其中的移動源薄膜層由電致伸縮材料或在電材料組成。
7.一種光學(xué)投影系統(tǒng)，它包括一個具有權(quán)利要求1至6中的任一個所規(guī)定的結(jié)構(gòu)的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列。
8.一種制作用于光學(xué)投影系統(tǒng)的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列的方法，所述陣列含有一個有源矩陣、一個M×N薄膜驅(qū)動結(jié)構(gòu)陣列、一個M×N支持單元陣列和一個M×N反射鏡層陣列，每個驅(qū)動結(jié)構(gòu)還進一步含有第一、第二和第三驅(qū)動部分，上述方法包括以下步驟(a)提供具有一個頂面的有源矩陣，該有源矩陣含有一個基底、一個M×N晶體管陣列和一個M×N接線端陣列；(b)在有源矩陣的頂面上形成第一支持層，該支持層含有對應(yīng)于M×N支持單元陣列的M×N基座陣列和待除區(qū)；(c)把待涂區(qū)處理得可以去除；(d)在第一支持層上淀積一個第一薄膜電極層；(e)使第一薄膜電極層成形為第一電極圖案，該圖案包括備個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的信號電極；(f)在頂部已帶有第一電極圖案的支持層上提供薄膜移動源層；(g)在薄膜移動源層上形成一個第二薄膜電極層；(h)使第二薄膜電極層成形為第二電極圖案，該圖案包括各個驅(qū)動結(jié)構(gòu)中的第一、第二和第三驅(qū)動部分的偏置電極；(i)在頂部已帶有第二電極圖案的薄膜移動源層頂部淀積一個第二支持層；(j)在第二支持層頂部形成一個光反射層；(k)使光反射層、第二支持層和分別在頂部和底部已帶有第一和第二電極圖案的移動源薄膜層成形為圖案；以及(1)去除第一支持層中的待除區(qū)域，以得到上述M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中的第一和第二薄膜電極層利用濺射法形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中的移動源薄膜層用濺射法或化學(xué)氣相淀積法或溶膠-凝膠法形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中的光反射層用濺射法形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中的第一和第二電極圖案用腐蝕法得到。
13.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中的第一支持層用以下步驟形成(a)在有源矩陣的頂面上淀積一個第一待除層；(b)在待除層上提供一個M×N第一空槽陣列，各個第一空槽分別位在M×N個接線端的周圍；以及(c)在每個第一空槽中形成基座。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，其中的第一待除層由濺射法形成。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，其中的M×N第一空槽陣列由腐蝕法形成。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，其中的基座由濺射法以及隨后的腐蝕法形成。
17.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，其中的基座由化學(xué)氣相淀積法以及隨后的腐蝕法形成。
18.一種包含有用權(quán)利要求8至17中的任一個權(quán)利要求所規(guī)定的方法制備的M×N薄膜驅(qū)動反射鏡陣列的光學(xué)投影系統(tǒng)。
全文摘要
MXN薄膜驅(qū)動反射鏡陣列，包括一有源矩陣、一MXN驅(qū)動結(jié)構(gòu)陣列、一MXN反射鏡層陣列、及一MXN支持單元陣列。各驅(qū)動結(jié)構(gòu)含有相同的第一、第二和第三驅(qū)動部分，各驅(qū)動部分至少有一移動源薄膜層、第一、第二電極。各第一電極與地連接，起偏置電極的作用，各第二電極起信號電極的作用。各反射鏡層有奇數(shù)個翼片部分，各相鄰翼片部分間有分割縫。第二驅(qū)動部分粘接在中央翼片上，第一和第三驅(qū)動部分分別粘接在中央翼片部分兩側(cè)的隔開一個翼片部分的翼片部分上。
文檔編號B81B3/00GK1116716SQ9411356
公開日1996年2月14日 申請日期1994年12月31日 優(yōu)先權(quán)日1994年1月18日
發(fā)明者池政范, 閔雇基 申請人:大宇電子株式會社