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本實用新型涉及傳感器，尤其是一種壓電MEMS超聲波傳感器。超聲波傳感器一般工作在20kHz-400kHz，在汽車的倒車雷達、工業(yè)中的液位儀和氣體流量計等需要測距的場景中被廣泛應(yīng)用。目前傳統(tǒng)的超聲波傳感器采用壓電陶瓷作為換能元件，壓電陶瓷的上下表面鍍有金屬，再通過點膠等方式將壓電陶瓷...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體納米材料制備，尤其涉及一種基于光纖內(nèi)流體不穩(wěn)定性制備半導(dǎo)體微球顆粒的方法。半導(dǎo)體微球材料在集成電路、光子學(xué)、光學(xué)非線性、光電探測、化學(xué)傳感和太陽能電池等領(lǐng)域具有十分廣泛的應(yīng)用。目前，半導(dǎo)體微球的合成方法以化學(xué)合成法為主，這種方法有其自身的局限性，即無法獲得尺寸單一，...

本發(fā)明屬于柔性電子材料和傳感，具體涉及一種柔性壓阻式應(yīng)力傳感器及其制備方法。隨著新一代柔性電子材料和傳感技術(shù)的快速發(fā)展，柔性應(yīng)力傳感器克服了易脆的缺點，且具有較好的生物相容性、可拉伸性、透明性、可穿戴性和連續(xù)檢測等優(yōu)勢。柔性應(yīng)力傳感器常用的導(dǎo)電材料包括納米粒子、碳納米管、金屬納米線...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種硒化亞銅納米管及其制備方法、太陽能電池。硒化亞銅是一種過渡金屬硫族化合物。在納米尺寸基本晶格中，銅原子和硒原子以高度共價狀態(tài)存在，硒原子構(gòu)成規(guī)則晶格的框架，而銅原子是無序的，像液體一樣運動，在硒原子晶格中隨機占據(jù)位置。這種特殊的晶格結(jié)構(gòu)使得該種材料具有...

本發(fā)明涉及一種微型轉(zhuǎn)移裝置,其包括能夠操控微型尺寸物體的微機電系統(tǒng)(MEMS)。微機電系統(tǒng)是具有移動部件的微觀設(shè)備。眾所周知的，微機電系統(tǒng)(MEMS)的使用涉及通過在膜和電極之間施加電勢差來致動的柔性膜。這些柔性膜MEMS已經(jīng)主要演示在諸如MEMS麥克風(fēng)或MEMS超聲掃描儀(例如，McMu...

本發(fā)明系關(guān)于一種半導(dǎo)體裝置封裝及一種制造該半導(dǎo)體裝置封裝之方法，且更特定言之，系關(guān)于一種具有微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置之半導(dǎo)體裝置封裝及其制造方法。先前技術(shù)對MEMS裝置(諸如，MEMS晶粒)之封裝要求相較于傳統(tǒng)IC封裝要求可復(fù)雜得多。包括MEMS裝置之光學(xué)傳感器封裝借助于實例來描述。光學(xué)...

本案是分案申請。本分案的母案是申請日為2012年10月17日、申請?zhí)枮?01280059040.2、發(fā)明名稱為“用于垂直集成的堆疊式通孔”的發(fā)明專利申請案。優(yōu)先權(quán)主張本申請案主張于2011年10月20日提出申請且標(biāo)題為“用于垂直集成的堆疊式通孔(STACKEDVIASFORVERTICAL...

本發(fā)明涉及一種物體轉(zhuǎn)移裝置，包括能夠操縱物體的微機電系統(tǒng)(MEMS,Micro-electromechanicalSystem)元件陣列。進一步地，本發(fā)明涉及一種使用MEMS陣列將微米級物體(例如微發(fā)光二極管(microlight-emittingdiodes,μLEDs))從源基板移...

本申請要求2016年10月21日提交的美國臨時申請?zhí)?2/411,324的權(quán)益，所述申請通過引用結(jié)合入本文。對政府支持的致謝本發(fā)明是由美國國立衛(wèi)生研究院(NationalInstitutesofHealth)、美國國家癌癥研究所(NationalCancerInstitute)在項目編號...

本發(fā)明涉及具有小尺寸可動元件、特別是在微機電系統(tǒng)(MicroElectro-MechanicalSystems，MEMS)內(nèi)作為小尺寸慣性傳感器的機械系統(tǒng)的設(shè)計。MEMS器件的不可靠性和脆弱性的其中一個主要原因在于所述可動元件在振動事件或沖擊期間與固定表面進行接觸。這種接觸一方面可以通...

本實用新型涉及聚合物芯片封合領(lǐng)域，尤其涉及聚合物芯片的封合裝置。微流控芯片的常規(guī)材質(zhì)包括了硅片、玻璃、PDMS、PMMA和PC等硬質(zhì)聚合物芯片，微流控芯片的多數(shù)應(yīng)用都需要將微流控芯片上的流路封合，形成閉合管路，方便在管路上完成生化反應(yīng)等操作，現(xiàn)階段PMMA等硬質(zhì)聚合物芯片的封合手段包括了熱...

本公開涉及MEMS設(shè)備和電子裝置。如所知，致動器是將一種類型的物理量轉(zhuǎn)換為不同類型的另一物理量的設(shè)備，并且由轉(zhuǎn)換導(dǎo)出的量通常涉及某種形式的移動或機械作用。最近，已經(jīng)提出具有微米和納米尺寸的致動器，也分別被稱為微致動器和納致動器，其可以利用半導(dǎo)體技術(shù)獲得，因此成本非常有限，并且屬于所謂的ME...

本發(fā)明實施例涉及微機電系統(tǒng)，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)及其制備方法。在微機電系統(tǒng)領(lǐng)域，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)的波陣面校正、空間光調(diào)制、光學(xué)元件對準(zhǔn)、顯微操縱器、光開關(guān)、光衰減器和光學(xué)多路復(fù)用器等方面按照旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的驅(qū)動方式不同，主要分為：電磁驅(qū)動、電熱驅(qū)動、壓電驅(qū)動和靜電驅(qū)動等。電磁...

本發(fā)明屬于MEMS，具體涉及一種高發(fā)射功率、低工作電壓的通孔電容式微加工超聲換能器及其制備方法。超聲技術(shù)是現(xiàn)代科技中應(yīng)用最為廣泛的技術(shù)之一。由于超聲波在媒質(zhì)中傳播時會產(chǎn)生物理、化學(xué)、生物等一系列效應(yīng)，具有穿透力強、集束性好以及信息攜帶量大等優(yōu)點，因而其應(yīng)用遍及工業(yè)、臨床醫(yī)學(xué)、生物化...

本發(fā)明屬于二維納米材料，具體涉及一種由金屬輔助的二維材料納米帶的制備方法。二維材料，是指電子僅可在兩個維度的非納米尺度(1-100nm)上自由運動(平面運動)的材料，如納米薄膜、超晶格、量子阱，納米材料是指材料在某一維、二維或三維方向上的尺度達到納米尺度。納米材料可以分為零維材料、...

本發(fā)明涉及一種光驅(qū)磁控一體化微納馬達的制備方法，屬于微納馬達。2016年諾貝爾化學(xué)獎頒給了研究世界最小機器的分子機器，這為研究微納米尺度的微小機器推向了高潮。微納米馬達是一種能夠?qū)⑵渌问降哪芰哭D(zhuǎn)化為動能產(chǎn)生自主運動的微納米器件。由于這種獨特的性質(zhì)，因此在藥物輸送、生物傳感、微修復(fù)...

本發(fā)明涉及微電子領(lǐng)域，特別是涉及一種硅納米線的制備方法。硅納米線是一種一維納米材料，其力學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)和電學(xué)等性能相對于體硅都發(fā)生了明顯變化，表現(xiàn)出諸如表面效應(yīng)、小尺寸效應(yīng)和宏觀量子隧道效應(yīng)等新穎的物理現(xiàn)象。同時因其比表面積大，外界環(huán)境的微弱變化能夠引起材料本身性質(zhì)的劇烈變化，采用硅納米線...

本發(fā)明涉及一種基于親疏水陣列的單層納米顆粒二聚體及多聚體制備方法，屬于納米材料制備領(lǐng)域。由于納米顆粒性質(zhì)的疊加以及相互之間的強耦合，納米顆粒聚集體常常表現(xiàn)出優(yōu)異的光電效應(yīng)，因而得到廣泛的研究和應(yīng)用。例如，單個金屬納米顆粒在入射光的作用下，表面的自由電子會發(fā)生集體振蕩，把光限制在納米顆粒表面...

本發(fā)明屬于微電子機械系統(tǒng)領(lǐng)域，特別是涉及一種基于硅納米線陣列的微富集器芯片及制備方法。富集是一種重要的分析技術(shù)。富集器是氣體分析儀器(如氣相色譜儀、離子遷移譜、質(zhì)譜儀)中的重要部件，常設(shè)置于儀器的前端，其主要功能是大量吸附被探測的目標(biāo)氣體組分，即進行富集，然后使目標(biāo)氣體組分在極短的時間內(nèi)脫...

本發(fā)明屬于新材料和質(zhì)譜檢測分析方法，具體涉及一種硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質(zhì)譜檢測方法。生物樣本的采集、預(yù)處理和檢測是分析中的三個重要環(huán)節(jié)。與常規(guī)分析方法相比，質(zhì)譜分析具有高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高涵量的特點，尤其適用于復(fù)雜樣本中痕量分析物的定性定量分析以及多種分析物的并...