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      電力線均勻分布的電鍍槽的制作方法

      文檔序號(hào):5292763閱讀:1710來(lái)源:國(guó)知局
      專(zhuān)利名稱(chēng):電力線均勻分布的電鍍槽的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種帶有電力線均勻分布的電鍍槽。
      背景技術(shù)
      半導(dǎo)體行業(yè)中,需要對(duì)電子元件進(jìn)行表面電鍍處理。集成電路中往往包含幾十萬(wàn) 甚至上百萬(wàn)個(gè)電子元件,因此,對(duì)電子元件的精度要求非常高。電子元件之間的連接是靠其 表面的電鍍層實(shí)現(xiàn)的,因此,對(duì)電子元件的電鍍層的精 度要求也很高。體積越小的電子元 件,對(duì)鍍層厚度要求越精確。在電鍍時(shí),利用電鍍液中的電流實(shí)現(xiàn)電鍍?,F(xiàn)有技術(shù)中,在電鍍槽內(nèi)放置兩個(gè)平行 設(shè)置的陽(yáng)極網(wǎng),陽(yáng)極網(wǎng)一般采用鈦籃。工件掛在陰極上,放置于平行的兩個(gè)陽(yáng)極網(wǎng)之間。通 電后,金屬離子聚集在工件表面從而實(shí)現(xiàn)電鍍。但現(xiàn)有技術(shù)中的電鍍槽,電力線分布并不均 勻,即電流的密度分布不均勻。電流密度大的地方,鍍層厚;電流密度小的地方,鍍層薄。電 力線分布不均勻造成電子元件表面的鍍層也不均勻,影響了電子元件的質(zhì)量。當(dāng)陰極比陽(yáng) 極短時(shí),掛于陰極上的工件上端和下端容易燒焦,這是由于電流密度過(guò)大(也就是電力線 過(guò)密)造成。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種可保證電力線分布均 勻的電鍍槽。為實(shí)現(xiàn)以上目的,本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)電力線均勻分布的電鍍槽,包括槽體,槽體內(nèi)設(shè)置有平行的兩個(gè)陽(yáng)極,相互平行的 兩個(gè)陽(yáng)極之間設(shè)置有陰極,其特征在于,沿電鍍液深度方向,陰極下端低于陽(yáng)極下端,陰極 上端高于陽(yáng)極上端。優(yōu)選地是,所述的陰極上方設(shè)置有屏蔽板。優(yōu)選地是,沿槽體寬度方向,屏蔽板兩端比陰極兩端面更靠近陽(yáng)極。本實(shí)用新型中的電力線均勻分布的電鍍槽,工件上端和下端不會(huì)產(chǎn)生燒焦現(xiàn)象。 電力線分布均勻。工件上端和下端與中部處電流密度相差小,可防止電力線分布不均勻而 造成的鍍層不均勻。工件各處鍍層誤差小。

      圖1為本實(shí)用新型剖視結(jié)構(gòu)事宜圖。
      具體實(shí)施方式

      以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述如圖1所示,電力線均勻分布的電鍍槽,包括槽體1,槽體1為四塊槽壁與一個(gè)槽底 圍成長(zhǎng)方型腔體,腔體內(nèi)盛放電鍍液。[0013]槽體1內(nèi)設(shè)置有相互平行的陽(yáng)極21和陽(yáng)極22,陽(yáng)極21和陽(yáng)極22均可采用鈦籃。 使用時(shí),陽(yáng)極與電源電連接。陽(yáng)極21與陽(yáng)極22之間設(shè)置陰極3。沿電鍍液深度方向,陰極3的上端31高于陽(yáng) 極21的上端211,高于陽(yáng)極22的上端221。陰極3下端32低于陽(yáng)極21的下端212,低于陽(yáng) 極22的下端222。陰極3的上方設(shè)置有屏蔽板4。沿槽體1寬度方向,屏蔽板4的一端41比陰極3 的一端面33更靠近陽(yáng)極21 ;屏蔽板4的一端42比陰極3的一端面34更靠近陽(yáng)極22。使用時(shí),需使陽(yáng)極和陰極均全部浸入電鍍液內(nèi)。本實(shí)用新型中的屏蔽板4采用絕緣的耐腐蝕材料如PVC材料制成。本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說(shuō)明,并不構(gòu)成對(duì)權(quán)利要求范圍 的限制,本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代,均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍 內(nèi)。
      權(quán)利要求電力線均勻分布的電鍍槽,包括槽體,槽體內(nèi)設(shè)置有平行的兩個(gè)陽(yáng)極,相互平行的兩個(gè)陽(yáng)極之間設(shè)置有陰極,其特征在于,沿電鍍液深度方向,陰極下端低于陽(yáng)極下端,陰極上端高于陽(yáng)極上端。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電力線均勻分布的電鍍槽,其特征在于,所述的陰極上方設(shè)置有屏蔽板。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電力線均勻分布的電鍍槽,其特征在于,沿槽體寬度方向,屏 蔽板兩端比陰極兩端面更靠近陽(yáng)極。
      專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電力線均勻分布的電鍍槽,包括槽體,槽體內(nèi)設(shè)置有平行的兩個(gè)陽(yáng)極,相互平行的兩個(gè)陽(yáng)極之間設(shè)置有陰極,其特征在于,沿電鍍液深度方向,陰極下端低于陽(yáng)極下端,陰極上端高于陽(yáng)極上端。本實(shí)用新型中的電力線均勻分布的電鍍槽,工件上端和下端不會(huì)產(chǎn)生燒焦現(xiàn)象。電力線分布均勻。工件上端和下端與中部處電流密度相差小,可防止電力線分布不均勻而造成的鍍層不均勻。工件各處鍍層誤差小。
      文檔編號(hào)C25D17/02GK201574207SQ20092028612
      公開(kāi)日2010年9月8日 申請(qǐng)日期2009年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月23日
      發(fā)明者錢(qián)國(guó)輝, 陸金龍 申請(qǐng)人:上海元豪表面處理有限公司
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