專利名稱：一種電沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電沉積裝置，屬于電共相沉積法生產(chǎn)微晶金屬技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的一種用于電共相沉積的裝置，如圖1所示，包括陰極I’和陽(yáng)極2’，工件4’置于陰極I’處，陽(yáng)極2’為高耐蝕不溶性陽(yáng)極，陰極I’與陽(yáng)極2’之間為鹽溶液3’，置于鹽溶液槽(圖未示)內(nèi)，其中鹽溶液3’為選取各種組分金屬的鹽后按比例預(yù)先混合成的鹽溶液，在生產(chǎn)過(guò)程中，鹽溶液3’的濃度下降，通過(guò)定時(shí)添加高濃度混合鹽來(lái)補(bǔ)充與維持鹽溶液的濃度。這種裝置產(chǎn)生的問(wèn)題是:采用的直流電源會(huì)發(fā)生倒灌現(xiàn)象；鹽溶液的補(bǔ)充靠經(jīng)驗(yàn)判斷往往不準(zhǔn)確，或者 通過(guò)化學(xué)分析然后再添加補(bǔ)充鹽離子濃度，往往用時(shí)長(zhǎng)，難以及時(shí)維護(hù)。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明的目的在于提供一種防止電源電流倒灌、確保合成鹽溶液中各金屬離子濃度的電沉積裝置。所采用的技術(shù)方案為:一種電沉積裝置，包括陰極和陽(yáng)極，其特征在于:還包括高頻電源與電源分配器，所述電源分配器一端與高頻電源電連接，另一端分別與陽(yáng)極、陰極電連接；所述陽(yáng)極由多個(gè)陽(yáng)極組組成，所述陽(yáng)極組包括陽(yáng)極套、陽(yáng)極金屬、陽(yáng)極板、配重塊及蓋板；所述陽(yáng)極金屬、陽(yáng)極板、配置塊置于陽(yáng)極套內(nèi)，所述陽(yáng)極板置于所述陽(yáng)極金屬上，所述配重塊置于所述透水陽(yáng)極板的邊端上，所述蓋板蓋于陽(yáng)極套上。優(yōu)選的，所述陽(yáng)極組為三組。所述電源分配器穿過(guò)蓋板與陽(yáng)極組的陽(yáng)極板電連接。按合成金屬元素?cái)?shù)量將陽(yáng)極套和陽(yáng)極板分成幾組，根據(jù)需求將高頻電源輸出的電流經(jīng)由電源分配器以時(shí)間分配的方式或功率分配的方式施于各陽(yáng)極板，進(jìn)一步施于各陽(yáng)極金屬，陽(yáng)極金屬作為陽(yáng)極反應(yīng)區(qū)，從而在生產(chǎn)過(guò)程中，確保各陽(yáng)極相位一致防止電源電流倒灌；又可適時(shí)按比例溶解各陽(yáng)極金屬，確保合成鹽溶液中各金屬離子濃度。


圖1為背景技術(shù)電沉積裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的闡述。如圖2所示，一種電沉積裝置，包括陰極1、陽(yáng)極2、高頻電源3與電源分配器4，電源分配器4 一端與高頻電源3電連接，另一端分別與陽(yáng)極2、陰極電連接(圖未示)；陰極I和陽(yáng)極2之間為鹽溶液6，置于鹽溶液槽(圖未示)內(nèi)，陽(yáng)極由3個(gè)陽(yáng)極組組成，每個(gè)陽(yáng)極組包括陽(yáng)極套21、多塊陽(yáng)極金屬22、陽(yáng)極板23、配重塊24及蓋板25 ;陽(yáng)極金屬22、陽(yáng)極板23、配置塊24置于陽(yáng)極套21內(nèi)，其中，陽(yáng)極板23置于陽(yáng)極金屬22上，配重塊24置于陽(yáng)極板23的邊端上，蓋板25蓋于陽(yáng)極套21上。電源分配器4通過(guò)導(dǎo)線穿過(guò)蓋板25與陽(yáng)極組的陽(yáng)極板23電連接。按合成金屬元素?cái)?shù)量將陽(yáng)極套21和陽(yáng)極板23分成三組，根據(jù)需求將高頻電源3輸出的電流經(jīng)由電源分配器4以時(shí)間分配的方式或功率分配的方式施于各陽(yáng)極板23，進(jìn)一步施于各陽(yáng)極金屬22，陽(yáng)極金屬22作為陽(yáng)極反應(yīng)區(qū)，從而在生產(chǎn)過(guò)程中，確保各陽(yáng)極相位一致防止電源電流倒灌；又可適時(shí)按比例溶解各陽(yáng)極金屬，確保合成鹽溶液6中各金屬離子濃 度。
權(quán)利要求
1.一種電沉積裝置，包括陰極和陽(yáng)極，其特征在于:還包括高頻電源與電源分配器，所述電源分配器一端與高頻電源電連接，另一端分別與陽(yáng)極、陰極電連接；所述陽(yáng)極由多個(gè)陽(yáng)極組組成，所述陽(yáng)極組包括陽(yáng)極套、陽(yáng)極金屬、陽(yáng)極板、配重塊及蓋板；所述陽(yáng)極金屬、陽(yáng)極板、配置塊置于陽(yáng)極套內(nèi)，所述陽(yáng)極板置于所述陽(yáng)極金屬上，所述配重塊置于所述透水陽(yáng)極板的邊端上，所述蓋板蓋于陽(yáng)極套上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述陽(yáng)極組為三組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積裝置，其特征在于:所述電源分配器穿過(guò)蓋板與陽(yáng)極組的陽(yáng)極板電連接。 ·
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種電沉積裝置，包括陰極和陽(yáng)極，陽(yáng)極包括陽(yáng)極套、陽(yáng)極金屬、陽(yáng)極板、配重塊及蓋板；陽(yáng)極金屬、陽(yáng)極板、配置塊置于陽(yáng)極套內(nèi)，陽(yáng)極板置于所述陽(yáng)極金屬上，配重塊置于所述透水陽(yáng)極板的邊端上，蓋板蓋于陽(yáng)極套上，且蓋板中間設(shè)有入水口。陽(yáng)極套由透水有機(jī)纖維布、濾棉、增強(qiáng)剛性耐蝕絕緣骨架構(gòu)成，陽(yáng)極板由碳纖維氈和耐蝕金屬骨架構(gòu)成，配重塊由高比重耐蝕金屬構(gòu)成，蓋板由耐蝕絕緣板構(gòu)成。本發(fā)明使陰陽(yáng)極區(qū)內(nèi)液流不存在滯留區(qū)；液流流速大，沖刷效果明顯。
文檔編號(hào)C25D17/00GK103160865SQ20111041530
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者黃林崎 申請(qǐng)人:福建通途金屬結(jié)構(gòu)有限公司