專利名稱：具有地震保護作用的氟氣體設(shè)備的制作方法
具有地震保護作用的氟氣體設(shè)備本發(fā)明要求于2010年9月16日提交的歐洲專利申請?zhí)?0177216.8的優(yōu)先權(quán)(出于所有的目的將這個申請的全部內(nèi)容通過引用結(jié)合在此)，并且涉及具有保護作用以免受可能由地震引起的損害的一種氟氣體設(shè)備。氟氣體例如分子氟(F2)以及它的混合物例如在半導(dǎo)體制造工藝中作為用于處理室的清潔氣體，或作為用于制造半導(dǎo)體、光電設(shè)備或平板顯示器的蝕刻氣體是有用的。文件WO 2006/067364-A1披露了將高純度氟遞送到一個處理系統(tǒng)中的方法，其中一個現(xiàn)場氟發(fā)生器將高純度氟供應(yīng)到一個固定的存儲裝置中，該高純度氟從該固定的存儲裝置被提供到處理系統(tǒng)中?，F(xiàn)場氟產(chǎn)生設(shè)備(“匕氣體設(shè)備”)通常包含用于HF存儲的罐，用于生產(chǎn)粗匕氣以及作為副產(chǎn)物的H2的電解池、用于純化該粗F2氣以得到純F2的裝置、包括多個緩沖罐用于將該F2遞送到使用點的裝置、用于減少該F2氣體設(shè)備從周圍空氣通風(fēng)的氣體中的F2以及HF的洗滌器、用于減少被認(rèn)為是超過規(guī)格的F2的洗滌器、在泄露的情況下用于減少F2以及HF的應(yīng)急洗滌器、用于從H2 (H2也作為一種產(chǎn)物而形成)中去除HF的洗滌器、基于熱調(diào)節(jié)的水的回路，該回路在電解反應(yīng)開始之前將電解池加熱，并且該回路在電解反應(yīng)過程中將這些池冷卻、并且該回路將離開這些池的粗F2氣體冷卻。HF被存儲在HF罐中，這些HF罐被加壓從而通過閥將HF遞送到這些池中，當(dāng)F2發(fā)生器生產(chǎn)F2時這些閥是打開的。蒸發(fā)器將熱量提供給HF從而將它以蒸發(fā)的形式引入到這些池中。例如，除其他之外通過將所生產(chǎn)的F2穿過加熱的NaF吸收塔來對它進行純化。該設(shè)備通常包含用于分析粗的以及純化的F2氣體的裝置，例如FT-1R以及UV光譜儀、用于將電流提供到這些電解池中的電整流器、變壓器、實用設(shè)施以及便利設(shè)施，例如一個實驗室、一個控制臺室，其中過程數(shù)據(jù)可以在一個或多個控制臺上進行控制、以及為人員提供的多個休息室，以及如果希望的話，一個應(yīng)急電源，例如一個柴油發(fā)電機。在被傳送到用戶之前將所生產(chǎn)的F2加壓。元素的F2、HF、以及包含F(xiàn)2或HF的氣體當(dāng)然是潛在有害的化合物。結(jié)果，在F2氣設(shè)備中要采取預(yù)防措施以避免危害。殼體得到良好地通風(fēng)、使廢氣通過洗滌器、將多個氣體檢測器分布于設(shè)備中，存在多個煙霧檢測器以及滅火設(shè)施、并且將多個應(yīng)急按鈕分布于該設(shè)備中用于手動關(guān)閉(如果需要時)。對于運行該設(shè)備所必要的多個零件是冗余的，例如多個泵以及洗滌器。對于在氟氣體設(shè)備的安全操作方面的改善仍然存在一種需要。本發(fā)明提供了一種改進的氟氣體設(shè)備以及用于以更安全的方式來制造純F2的一種改進的方法。根據(jù)本發(fā)明的氟氣體設(shè)備包括連接到一個氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)2上的一個F2發(fā)生裝置1，該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)具有一個氟氣體使用點3，以及可連接到所述供應(yīng)系統(tǒng)上的一個氟氣體存儲單元4，其中所述氟氣體設(shè)備包含至少一個地震檢波器15。參考符號參照

圖1中隨附的圖。如果希望的話，該設(shè)備的多個零件能夠以滑動器的形式來組裝。附圖簡要說明圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個氟氣體設(shè)備。該設(shè)備包括一個氟氣體存儲單元4，該存儲單元具有多個存儲容器5，這 些存儲容器用于被遞送到一個使用點3的F2。一個地震檢波器15被附連到該氟氣體存儲單元5上。發(fā)明詳細(xì)描述該地震檢波器應(yīng)當(dāng)是對于腐蝕性介質(zhì)具有耐受性的并且優(yōu)選地包括一個對應(yīng)的殼體。例如可以將它用螺栓固定到該氟氣體設(shè)備的零件上或固定到地面上。優(yōu)選地，為了冗余度預(yù)見至少要有2個地震檢波器。該設(shè)備優(yōu)選地包括一個關(guān)閉系統(tǒng)。該關(guān)閉系統(tǒng)將預(yù)定的過程關(guān)閉。在檢測出地震的情況下該地震檢波器產(chǎn)生一個信號。該信號是選自下組的至少一個信號，該組由以下各項組成:光信號、聲信號、以及電信號，該信號被傳送到一個接收器中(例如一個整合到控制臺中的接收器)。優(yōu)選地，這些地震檢波器產(chǎn)生一種電信號，該電信號被傳送到或者該設(shè)備的對應(yīng)的裝置中用于關(guān)閉，亦或傳送到控制臺中，該控制臺致動該自動關(guān)閉開關(guān)從而關(guān)閉該氟氣體設(shè)備中正在運行的至少一個過程。可以將該控制臺組織為使得不同的過程被分配給一個單個的關(guān)閉開關(guān)或可以將每個過程分配給一個單獨的關(guān)閉開關(guān)。優(yōu)選地，該地震檢波器的信號被傳送到該控制臺上，該控制臺進而自動地致動該一個或多個關(guān)閉開關(guān)。現(xiàn)在將以替代方案的形式來說明本發(fā)明，其中一個關(guān)閉開關(guān)使數(shù)個正在運行的過程停止。該關(guān)閉開關(guān)將該設(shè)備中所執(zhí)行的預(yù)定過程關(guān)閉，例如電解過程、遞送氟至使用點、或甚至在F2生產(chǎn)中所執(zhí)行的所有過程，包括洗滌、純化、以及分析。地震檢波器與自動關(guān)閉開關(guān)之間的連接可以是處于線纜的形式，通過該線纜可以發(fā)送數(shù)字的或模擬的電信號?？商娲兀梢酝ㄟ^電磁波來連接地震檢波器以及該關(guān)閉開關(guān)，這些電磁波從地震檢波器中通過一個發(fā)射器來發(fā)送并且由一個接收器來接收。優(yōu)選的是該地震檢波器被連接到一個控制臺上，該控制臺包括該關(guān)閉系統(tǒng)。該地震檢波器檢測地震活動 ，尤其是地震。如果檢測出地震，該地震檢波器將一個電信號發(fā)送到該自動關(guān)閉開關(guān)(或多個開關(guān))上，優(yōu)選地，該一個或多個開關(guān)被包括在控制臺中。該關(guān)閉開關(guān)自動地將該氟氣體設(shè)備的預(yù)定的正在運行的過程停止。優(yōu)選地，該開關(guān)將穿過這些整流器進入電解池的電流中斷，并且因此將F2產(chǎn)生過程停止。優(yōu)選的是通過該地震檢波器信號來啟動警報信號，例如聲信號、例如特定的聲音或公告，或光信號，例如報警燈。該地震檢波器還可以將一個信號發(fā)送至使用所產(chǎn)生氟氣體的設(shè)施上，指示F2遞送將被中斷?！胺鷼怏w”應(yīng)當(dāng)被理解為具體地指代分子的氟(F2)及其混合物，特別是與惰性氣體的混合物。這些惰性氣體可以是選自例如隊0、氧、氬、以及氮。一種優(yōu)選的氟氣體是由或基本上由F2組成。該地震檢波器還可以觸發(fā)其他動作。例如，包含HF、氟氣體或F2的存儲罐的閥可以被關(guān)閉這樣使得沒有氣體通過多個管線以及管道被進一步分配，或可以將電加熱關(guān)閉，該電加熱被應(yīng)用到熱水或冷卻液體上，該熱水或冷卻液體使電解池中電解質(zhì)鹽的的溫度保持在約80°C至100°C之間范圍內(nèi)的一個溫度下?？梢詫⑦@些閥關(guān)閉以使得多個管線或管道隔離從而防止空氣或濕氣的侵入?？梢栽黾语L(fēng)扇將設(shè)備的空氣通風(fēng)通過洗滌器的能力?？梢詫⒍栊詺怏w吹入該氟氣體設(shè)備的特定部分之中。例如，通過使N2穿過這些洗滌器或應(yīng)急洗滌器可以迫使這些管線或管道中的氣體或液體穿過這些洗滌器或應(yīng)急洗滌器。這種措施對于防止空氣或濕氣侵入到這些管線或管道中也將是有用的，這改善了該設(shè)備的隨后的重新開工?？梢詫㈩A(yù)防措施的柴油發(fā)動機啟動以保證電力供應(yīng)。
優(yōu)選地，該地震檢波器是一種加速計。使用地震檢波器，尤其是加速計的優(yōu)點是在檢測發(fā)展中的地震方面它比人靈敏的多。由于早檢測出地震，可以將設(shè)備以安全的或至少較少倉促的方式關(guān)閉，并且可以由設(shè)備中現(xiàn)有人員執(zhí)行另外的安全措施，包括保護他們自己的措施。適合應(yīng)用于該F2氣設(shè)備中的地震檢波器是普遍已知的。加速計尤其適合作為地震檢波器，因為它們能夠非常良好地測量地震活動。具有非常不同的工作原理的加速計是已知的。例如，根據(jù)已知的多普勒效應(yīng)，基于電阻率(電位法或延伸法)、誘導(dǎo)率、電磁學(xué)、靜電學(xué)、壓電阻、壓電性或光電學(xué)的原理的加速計是適合的。這些加速計檢測出的加速范圍是從lCT2ms-2( —些甚至從lCr9msecT2)至102msecT2( —些甚至高達(dá)106msecT2)并且頻率為> O至IO2Hz ( 一些甚至高達(dá)IO4Hz)?？梢员粦?yīng)用于本發(fā)明的F2氣設(shè)備中的一種特定設(shè)備是如US-A5，742，235中所述。在這個設(shè)備中，將一個質(zhì)塊吊在被安裝在一個底座上的一個扁平彈簧的末端上，該底座被緊固到與地相接觸的一個建筑物內(nèi)的多個物體的多個元件上。使該質(zhì)塊的移動與底座的移動分離。當(dāng)?shù)鬃?jīng)歷向上的加速作用以及位移時(大地震的初始沖擊波的特征)，該質(zhì)塊的慣性在彈簧上施加 了一個相對向下的力，關(guān)閉了電接觸，從而允許電流從電池流過一個燈。通過調(diào)節(jié)該組件的惰性質(zhì)塊、彈簧以及阻尼力以及這些接觸之間的距離，可以容易地將該組件的光譜響應(yīng)調(diào)諧到任何希望的加速以及位移閾值?，F(xiàn)在將以優(yōu)選方案的觀點來說明本發(fā)明，其中包括F2的氟氣體被存儲在多個空心體中。在一個優(yōu)選的實施方案中，該氟氣體設(shè)備包括存儲的F2以便為氟發(fā)生器提供支持(back up)。如果該氟氣體設(shè)備包括連接到一個氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)2上的一個F2產(chǎn)生裝置1，該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)具有一個氟氣體的使用點3，以及可連接到所述供應(yīng)系統(tǒng)上的一個永久性的氟氣體存儲單元4，其中所述氟氣體存儲單元包括多個空心體5，則將需要量的氟氣體穩(wěn)定地并且經(jīng)濟地供應(yīng)到一個使用點上同時將與存在F2相關(guān)的安全性風(fēng)險降至最低是尤其有可能的?！坝谰眯缘姆鷼怏w存儲單元”被理解為具體地指代一種氟氣體存儲單元，該氟氣體存儲單元被整合到該氟氣體設(shè)備中。優(yōu)選地，該永久性氟氣體存儲單元被設(shè)計以包含相對于被存儲在該設(shè)備中的氟氣體的總重量大于90wt%，更優(yōu)選地大于95wt%，最優(yōu)選地約100wt%的氟氣體。優(yōu)選地，F(xiàn)2以氣體的形式進行存儲?！胺鷼怏w供應(yīng)系統(tǒng)”被理解為具體地指代一個元件，該元件可以包含氟氣體并且該元件能夠?qū)⒎鷼怏w從該F2產(chǎn)生裝置輸送到使用點。氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)的可能的部件包括但不限于供應(yīng)管線、壓縮機、混合器以及緩沖罐?！翱蛇B接的”被理解為具體地表示該永久性氟氣體存儲單元被裝備為能夠被連接到該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)的一個部件上。用于連接被連接到該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)的一個部件上的氟氣體存儲單元的適當(dāng)?shù)脑O(shè)備包括一個歧管6，該歧管通過一個管線連接到該氟氣體存儲單元的各空心體5上，并且優(yōu)選地在各管線中具有一個關(guān)閉閥7以允許單獨地隔離每個空心體，并且所述歧管被進一步連接到該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)的一個部件上。該氟氣體存儲單元優(yōu)選地包括從4個至25個空心體，更優(yōu)選地從5個至8個空心體。這些空心體優(yōu)選地具有基本上完全相同的形狀以及大小。圓柱體形狀的空心體是優(yōu)選的。每個空心體優(yōu)選地包含最大約6kg至IOkg,優(yōu)選約8kg的F2
在根據(jù)本發(fā)明的氟氣體設(shè)備的一個優(yōu)選的實施方案中，該氟氣體存儲單兀被包含在一個封閉的空間8中。該封閉的空間總體上包括一個氟傳感器，該氟傳感器能夠觸發(fā)該封閉空間至一個氟銷毀系統(tǒng)9的連接。適當(dāng)?shù)?，該封閉的空間通過連接到一個泵11上的一個抽吸管線10被連接到該氟銷毀系統(tǒng)上，該泵是可運行的從而將氣體從該封閉的空間泵送至該氟銷毀系統(tǒng)。在一個進一步的實施方案中，根據(jù)本發(fā)明的氟氣體設(shè)備進一步包括一個混合器12，優(yōu)選地一個靜態(tài)混合器，所述混合器優(yōu)選地能夠從氟產(chǎn)生單元I接收氟并且能夠從惰性氣體供應(yīng)管線13中接收惰性氣體，例如優(yōu)選地氬和/或氮。本發(fā)明還涉及一種用于供應(yīng)氟氣體的方法，包括使用根據(jù)本發(fā)明的氟氣體設(shè)備來將氟氣體供應(yīng)至使用點。圖1顯 示了本發(fā)明的一個說明性的優(yōu)選的氟氣體設(shè)備。F2發(fā)生裝置I被連接到氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)2上，該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)包括一個氟氣體供應(yīng)管線，該氟氣體供應(yīng)管線被連接到使用點3上，該使用點被連接到一個半導(dǎo)體制造設(shè)備上。在如虛線所示的一個任選的實施方案中，該氟氣體供應(yīng)管線被連接到混合器12上，該混合器被進一步連接到惰性氣體供應(yīng)管線13上，并且另一個氟氣體供應(yīng)管線通過閥14將混合器12連接到使用點3上。該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)2通過歧管6被進一步連接到氟氣體存儲單元4上，該歧管通過一個管線(并且優(yōu)選地具有一個關(guān)閉閥7)被連接到該氟氣體存儲單元的每個空心體5上。該氟氣體存儲單元被包含在一個封閉空間8中，該空間包括一個氟傳感器，該氟傳感器能夠觸發(fā)封閉的空間至該氟銷毀系統(tǒng)9的連接。該封閉的空間通過連接到一個泵11上的一個抽吸管線10被連接到該氟銷毀系統(tǒng)上，該泵是可操作的從而將氣體從該封閉的空間泵送至該氟銷毀系統(tǒng)。一個地震檢波器(加速計)15被定位在存儲裝置8的外殼上。它還可以被定位在設(shè)備中任何地方或甚至處于緊密鄰近狀態(tài)。它檢測出地震震動并且將一個對應(yīng)的信號提供給控制臺，該控制臺除其他之外例如自動地關(guān)閉任何空心體5，該空心體與多個將氟氣體提供到使用點處的管線以及管道處于流體接觸。優(yōu)選地，還將應(yīng)急洗滌器置于“備用”，這樣使得在檢測出危險氣體(HF或F2)的情況下，可以將包含危險氣體的環(huán)境大氣通風(fēng)通過該應(yīng)急洗滌器以達(dá)到減輕的目的?？傮w上，應(yīng)急洗滌器能夠銷毀I或2個空心體中所包含的氟氣體，尤其是F2，優(yōu)選地能夠銷毀約I個空心體中所包含的氟氣體，尤其是F2。因此，以與一個地震檢波器例如一個加速計相連接的多個空心體(每個空心體僅包含該設(shè)備的總F2支持的一部分)的形式提供一個F2支持的優(yōu)選的實施方案提高了該氟氣體設(shè)備的安全性。該地震檢波器允許對發(fā)展中的地震進行快速反應(yīng)，并且提供了僅包含一部分氟氣體的多個空心體(如果與包含支持氟氣體的總數(shù)的一個罐相比較)。如果存在具有減少F2逸出這些空心體中一個或多個的能力的應(yīng)急洗滌器，情況尤其如此。本發(fā)明還提供了一種用于在一個氟氣體設(shè)備中生產(chǎn)氟氣體的方法，該氟氣體設(shè)備包括連接到一個氟供應(yīng)系統(tǒng)2上的一個氟氣體產(chǎn)生單元1，該氟供應(yīng)系統(tǒng)具有一個氟氣體使用點3，以及可連接到所述供應(yīng)系統(tǒng)上的一個氟氣體存儲單元4，其中所述氟氣體設(shè)備包括至少一個地震檢波器，在該方法中一個電流穿過一個熔融的KF/HF組合物，該組合物被電解，由此形成F2以及H2，得到的粗F2被純化并且遞送(任選地在與惰性氣體混合之后)到使用點和/或遞送到一個氟氣體存儲單元中，并且其中如果該地震檢波器檢測出由地震引發(fā)的震動，一個信號被產(chǎn)生并且引起該氟氣體設(shè)備中進行的一個或多個過程關(guān)閉。優(yōu)選地，該電解過程被關(guān)閉。優(yōu)選地，該氟氣體遞送至使用點也被關(guān)閉。優(yōu)選地，該信號關(guān)閉了一個閥從而關(guān)閉了該氟氣體存儲單元(4)。優(yōu)選的是所產(chǎn)生的信號被傳送到一個控制臺中，該控制臺啟動該一個或多個過程的關(guān)閉。根據(jù)本發(fā)明的氟氣體設(shè)備以及根據(jù)本發(fā)明的方法允許穩(wěn)定的、經(jīng)濟的并且尤其是安全的氟氣體供應(yīng)，甚至在地震發(fā)生的區(qū)域中。具體地說，該地震檢波器、氟氣體存儲系統(tǒng)以及任選地氟銷毀系統(tǒng)是高度有效的，從而允許該設(shè)備的高度安全性。若任何通過引用結(jié)合在此的專利、專利申請以及公開物中的披露內(nèi)容與本申請的說明相沖突的程度至它可能使一個術(shù)語不清楚，則本說明應(yīng)該優(yōu)先。實例根據(jù)圖1的基本方案的一個氟設(shè)備(無混合器以及惰性氣體供應(yīng))包括一個地震檢波器。在該設(shè)備 中，在該F2產(chǎn)生單元I中穿過在熔融的KF -2HF電解質(zhì)通過HF電解產(chǎn)生了約415kg/天的F2。該F2通過該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)2被輸送到使用點3處，在那里F2被供應(yīng)到使用F2進行室清洗的一個平板顯示器制造設(shè)備中。根據(jù)需要將F2供應(yīng)到該使用點。通過在該F2產(chǎn)生單元中適配F2生產(chǎn)，該氟供應(yīng)管線2中以及該F2存儲裝置4中的氟壓力被保持在3.5巴表壓(約55磅/平方英寸)。該F2存儲單元4包括6個完全相同的圓柱形的容器，這些容器每一個具有1.3m3的內(nèi)部體積。通過一個壓力控制回路14，將使用點3處的氟壓力進一步減少到1.5巴表壓(約24磅/平方英寸)。在正常操作中，關(guān)閉閥7是開放的并且該F2存儲裝置4與使用點3之間的壓力差提供了一個緩沖，從而允許更平穩(wěn)地控制所遞送的氟氣體流(甚至對于該使用點3處可變的消耗模式或在中斷該F2產(chǎn)生單元的生產(chǎn)的過程中)。如果該地震檢波器15檢測出地震特征的(或該設(shè)備附近的強烈爆炸)加速作用，它發(fā)送一個信號到該設(shè)備的控制臺中，該信號可以是模擬的或數(shù)字的。該控制臺，例如，除其他之外切斷通往這些電解池的電流以及從裝置至該供應(yīng)系統(tǒng)2的氟供應(yīng)。它還切斷了存儲在該F2存儲裝置4中的任何F2的供應(yīng)。進一步地，HF進料罐的增壓，HF蒸發(fā)，通往這些電解池的HF供應(yīng)閥、用于NaF吸收塔的加熱器以及將該F2或F2/惰性氣體混合物遞送至用戶的閥被關(guān)閉。來自該封閉空間的任何含氟氣體體被通過抽吸管線10泵送至該氟銷毀系統(tǒng)9中，該氟銷毀系統(tǒng)是包含一種KOH/硫代硫酸鉀或鈉的水性混合物的一個洗滌器。該洗滌器能夠處理15kg F2。
權(quán)利要求
1.一種氟氣體設(shè)備，包括連接到氟供應(yīng)系統(tǒng)(2)的氟產(chǎn)生單元(I)，該氟供應(yīng)系統(tǒng)具有氟氣體的使用點(3);以及能夠連接到所述供應(yīng)系統(tǒng)的氟氣體存儲單元(4)，其中所述氟氣體設(shè)備包括至少一個地震檢波器。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中該地震檢波器是加速計。
3.如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，包括關(guān)閉系統(tǒng)。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的設(shè)備，其中該氟氣體存儲單元包括多個空心體(5)。
5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中該氟氣體存儲單元包括5個至8個空心體。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的設(shè)備，其中該地震檢波器被連接到控制臺并且將信號發(fā)送到該控制臺。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的設(shè)備,還包括能夠減少至少一個空心體(5)的F2含量的應(yīng)急洗漆器。
8.如權(quán)利要求3至7中任一項所述的設(shè)備，其中該關(guān)閉系統(tǒng)與用于F2產(chǎn)生單元的電源相連接。
9.如權(quán)利要求3至8 中任一項所述的設(shè)備，其中該關(guān)閉系統(tǒng)與能夠關(guān)閉該氟氣體存儲單元(4)的閥相連接。
10.一種用于在氟氣體設(shè)備中生產(chǎn)F2氣體的方法，該氟氣體設(shè)備包括:連接到氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)(2)的氟產(chǎn)生單元(I)，該氟氣體供應(yīng)系統(tǒng)具有氟氣體的使用點(3);以及能夠連接到所述供應(yīng)系統(tǒng)的氟氣體存儲單元(4)，其中所述氟氣體設(shè)備包括至少一個地震檢波器，在該方法中，將電流穿過熔化的KF/HF組合物，該組合物被電解以形成F2和H2，將得到的粗F2純化并且遞送到該使用點和/或氟氣體存儲單元，并且其中，如果該地震檢波器檢測到由于地震產(chǎn)生的振動，則產(chǎn)生信號并且導(dǎo)致在該氟氣體設(shè)備中進行的一個或多個過程的關(guān)閉。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中該電解過程被關(guān)閉。
12.如權(quán)利要求10或11所述的方法，其中該氟氣體至使用點的遞送被關(guān)閉。
13.如權(quán)利要求10至12中任一項所述的方法，其中該信號關(guān)閉閥以關(guān)閉該氟氣體存儲單元⑷。
14.如權(quán)利要求10至13中任一項所述的方法，其中所產(chǎn)生的信號被傳送到控制臺上，該控制臺啟動該一個或多個過程的關(guān)閉。
全文摘要
在此披露了一種氟氣體設(shè)備，該設(shè)備包括連接到一個氟供應(yīng)管線(2)上的一個氟產(chǎn)生單元(1)，該氟供應(yīng)管線具有一個氟的使用點(3)，該氟氣體設(shè)備包括一個地震檢波器。該地震檢波器優(yōu)選地是一種加速計，并且檢測地震。它產(chǎn)生一個信號，該信號可以觸發(fā)在該設(shè)備中正在運行的預(yù)定過程的關(guān)閉。
文檔編號C25B1/24GK103228572SQ201180049610
公開日2013年7月31日 申請日期2011年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月16日
發(fā)明者菲利普·莫雷勒, 奧利維耶羅·黛安娜, 彼得·M·普雷迪坎特 申請人:索爾維公司