專利名稱：電極結(jié)構(gòu)、基材保持裝置以及陽極氧化層的形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電極結(jié)構(gòu)、基材保持裝置以及陽極氧化層的形成方法。
背景技術(shù)：
若對(duì)鋁進(jìn)行陽極氧化，則會(huì)在其表面形成具有多孔氧化鋁層的陽極氧化層。以往，鋁的陽極氧化作為能夠形成有規(guī)則地排列的納米級(jí)的圓柱狀細(xì)孔(微細(xì)凹部)的簡易方法而受到關(guān)注。若在硫酸、草酸或磷酸等酸性電解液或堿性電解液中浸潰鋁基材，將其作為陽極施加電壓，則能夠在鋁基材的表面同時(shí)進(jìn)行氧化和溶解，在其表面形成具有細(xì)孔的氧化膜。該圓柱狀細(xì)孔相對(duì)于氧化膜垂直地取向，在一定的條件下(電壓、電解液的種類、溫度等)表現(xiàn)出自組織的規(guī)則性，因此期待著應(yīng)用于各種功能材料(參照專利文獻(xiàn)I 4)。在特定的條件下形成的多孔氧化鋁層，當(dāng)從垂直于氧化膜的表面的方向看時(shí)，為大致正六邊形的單元在二維上以最高密度填充的排列。各個(gè)單元在其中央具有細(xì)孔，細(xì)孔的排列具有周期性。單元是作為局部的皮膜的溶解和生長的結(jié)果而形成的，在被稱為阻擋層的細(xì)孔底部，皮膜的溶解和生長同時(shí)進(jìn)行。已知這時(shí)單元的尺寸，即相鄰的細(xì)孔的間隔(中心間距離)相當(dāng)于阻擋層的厚度的大致2倍，與陽極氧化時(shí)的電壓大致成比例。另外，已知細(xì)孔的直徑依賴于電解液的種類、濃度、溫度等，但通常為單元尺寸(從垂直于膜面的方向看時(shí)的單元的最長對(duì)角線的長度)的1/3程度。這種多孔氧化鋁層的細(xì)孔在特定的條件下形成具有高規(guī)則性(具有周期性)的排列，另外，根據(jù)條件的不同形成規(guī)則性以某種程度紊亂的排列，或形成不規(guī)則(不具有周期性)的排列。例如，陽極氧化層被用于防反射構(gòu)件的制作(參照專利文獻(xiàn)I 4)。防反射構(gòu)件利用所謂的蛾眼(Motheye，蛾子的眼)結(jié)構(gòu)的原理。凹凸的周期被控制在可見光(λ =380nm 780nm)的波長以下的微細(xì)凹凸圖案形成在基板表面。使對(duì)入射到基板的光的折射率沿著凹凸的深度方向從入射介質(zhì)的折射率連續(xù)地變化至基板的折射率，從而抑制想要防止反射的波段的反射。構(gòu)成發(fā)揮防反射功能的凹凸圖案的凸部的二維大小為IOnm以上且不到500nmo將防反射構(gòu)件設(shè)置在用于電視、便攜電話等的顯示裝置、照相機(jī)鏡頭等光學(xué)元件的表面，能夠降低表面反射，提高光的透射量。利用防反射技術(shù)，在光通過折射率不同的介質(zhì)的界面的情況下(例如光入射到空氣和玻璃的界面的情況)，由于菲涅爾反射等而導(dǎo)致的光的透射量下降被抑制，其結(jié)果是視覺識(shí)別性提高。除了能夠涵蓋較寬的波段發(fā)揮入射角依賴性小的防反射作用以外，蛾眼結(jié)構(gòu)還具有能夠應(yīng)用于較多的材料、能夠直接將凹凸圖案形成在基板上等優(yōu)點(diǎn)。其結(jié)果是，能夠以低成本提供高性能的防反射膜(或防反射表面)。例如，在專利文獻(xiàn)2中公開了使用表面具有陽極氧化多孔氧化鋁膜的壓模來形成防反射膜(防反射表面)的方法。在專利文獻(xiàn)3中公開了通過反復(fù)進(jìn)行鋁的陽極氧化和孔徑擴(kuò)大處理來形成細(xì)孔孔徑連續(xù)地變化的錐形的凹部的技術(shù)。另外，在專利文獻(xiàn)4中公開了使用微細(xì)凹部具有階梯狀側(cè)面的氧化鋁層來形成防反射膜的技術(shù)。通過像這樣利用陽極氧 化多孔氧化鋁膜，能夠容易地制造用于在表面形成蛾眼結(jié)構(gòu)的模具(以下稱為“蛾眼用模具”。)。特別是若如專利文獻(xiàn)2和4所述那樣，將陽極氧化膜的表面原樣用作模具，則能夠降低制造成本。另外，已知與上述的專利文獻(xiàn)I 4不同，作為電子照片感光體的支撐體，使用將圓筒狀的鋁合金的表面陽極氧化了的陽極氧化層(參照專利文獻(xiàn)5)。在專利文獻(xiàn)5中公開了由承載圓筒狀的鋁合金的固定座進(jìn)行供電。此外，在專利文獻(xiàn)5中記載了優(yōu)選用絕緣體材料形成固定座，由與圓筒狀的鋁合金的內(nèi)側(cè)表面隔著電解液被包圍的供電棒進(jìn)行間接供電的內(nèi)容。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:特表2001 — 517319號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特表2003 — 531962號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特開2005 - 156695號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:國際公開第2006/059686號(hào)專利文獻(xiàn)5:專利第3346062號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題在使電極和鋁基 材直接接觸進(jìn)行供電的情況下，若在陽極氧化時(shí)電極和鋁基材的接觸不充分，則有時(shí)陽極氧化不能均勻進(jìn)行。另外，電極經(jīng)由引線與電源電連接，但若電解液侵入電極和引線的連接部分，則有時(shí)引線會(huì)溶解。本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于，提供抑制電極和鋁基材的接觸不良并且抑制電解液侵入電極和引線的連接部分的電極結(jié)構(gòu)、基材保持裝置以及陽極氧化層的形成方法。用于解決問題的方案本發(fā)明的實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)是用于對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽極氧化的電極結(jié)構(gòu)，具備:鋁電極，其與上述鋁基材的表面接觸；固定部件，其將上述鋁電極固定于上述鋁基材的表面；彈性部件，其配置于上述固定部件和上述鋁基材之間；引線，其至少在有的條件下與上述鋁電極電連接；以及蓋部件，其設(shè)置有開口部，并且覆蓋上述鋁電極的至少一部分，以上述引線貫通了上述蓋部件的上述開口部的狀態(tài)被封閉。在有的實(shí)施方式中，上述電極結(jié)構(gòu)具備多個(gè)電極部，上述多個(gè)電極部各自具有上述鋁電極、上述固定部件、上述彈性部件、上述引線以及上述蓋部件。在有的實(shí)施方式中，上述鋁基材為圓筒狀或圓柱狀，上述多個(gè)電極部安裝于上述鋁基材的外側(cè)表面。在有的實(shí)施方式中，上述固定部件設(shè)置有開口部，上述鋁電極具有:接觸區(qū)域，其設(shè)置于上述鋁基材和上述彈性部件之間；以及連接區(qū)域，其經(jīng)由上述固定部件的上述開口部與上述接觸區(qū)域電連接。在有的實(shí)施方式中，上述鋁電極包含上述接觸區(qū)域和上述連接區(qū)域連續(xù)的導(dǎo)電膜。在有的實(shí)施方式中，上述弓I線在其他條件下與上述鋁電極絕緣。
在有的實(shí)施方式中，上述蓋部件具有:帶螺紋部，其是在上述蓋部件中挑出螺紋而形成的；絕緣性的螺絲，其與上述帶螺紋部螺合；導(dǎo)電部件，其在上述蓋部件的內(nèi)部與上述引線電連接；以及軸承，其設(shè)置于上述導(dǎo)電部件，支撐上述螺絲的頂端。在有的實(shí)施方式中，在旋緊上述螺絲的情況下，上述導(dǎo)電部件接觸上述鋁電極，上述導(dǎo)電部件與上述鋁電極電連接，在旋松上述螺絲的情況下，上述導(dǎo)電部件離開上述鋁電極，上述導(dǎo)電部件與上述招電極絕緣。在有的實(shí)施方式中，在上述蓋部件的上述開口部設(shè)置有橡皮塞。
在有的實(shí)施方式中，上述蓋部件由螺絲固定于上述固定部件。在有的實(shí)施方式中，上述固定部件包含樹脂層。在有的實(shí)施方式中，上述蓋部件與上述固定部件一體形成。在有的實(shí)施方式中，上述蓋部件和上述固定部件包括樹脂層。在有的實(shí)施方式中，上述彈性部件設(shè)置有開口部，上述鋁電極經(jīng)由上述彈性部件的開口部與上述鋁基材電連接。在有的實(shí)施方式中，在安裝于上述鋁基材之前的上述電極結(jié)構(gòu)中，上述鋁電極以上述鋁電極的表面比上述彈性部件的表面突出的方式配置。本發(fā)明的實(shí)施方式的基材保持裝置具備:如上所述的至少I個(gè)電極結(jié)構(gòu)，其安裝于圓筒狀的鋁基材；以及支撐部件，其從上述圓筒狀的鋁基材的內(nèi)側(cè)表面支撐上述鋁基材。在有的實(shí)施方式中，上述支撐部件包含:電極相對(duì)支撐部件，其隔著上述鋁基材與上述電極結(jié)構(gòu)相對(duì)；以及電極非相對(duì)支撐部件，其以不與上述電極結(jié)構(gòu)相對(duì)的方式支撐上述招基材。在有的實(shí)施方式中，上述至少I個(gè)電極結(jié)構(gòu)具有:第I電極結(jié)構(gòu)；以及第2電極結(jié)構(gòu)，其安裝于與上述第I電極結(jié)構(gòu)不同的位置。在有的實(shí)施方式中，上述電極相對(duì)支撐部件包含:上述第I電極相對(duì)支撐部件，其隔著上述鋁基材與上述第I電極結(jié)構(gòu)相對(duì)；以及上述第2電極相對(duì)支撐部件，其隔著上述鋁基材與上述第2電極結(jié)構(gòu)相對(duì)。在有的實(shí)施方式中，上述電極非相對(duì)支撐部件配置于上述第I電極相對(duì)支撐部件和上述第2電極相對(duì)支撐部件之間。在有的實(shí)施方式中，上述電極相對(duì)支撐部件和上述電極非相對(duì)支撐部件分別具有圓盤形狀，上述電極相對(duì)支撐部件的直徑的最大值比上述鋁基材的內(nèi)徑大，上述電極相對(duì)支撐部件的直徑的最小值和上述電極非相對(duì)支撐部件的直徑的最大值比上述鋁基材的內(nèi)徑小。在有的實(shí)施方式中，上述電極相對(duì)支撐部件和上述電極非相對(duì)支撐部件分別設(shè)置有開口部。在有的實(shí)施方式中，上述電極相對(duì)支撐部件比上述電極非相對(duì)支撐部件厚。本發(fā)明的實(shí)施方式的陽極氧化層的形成方法包含:準(zhǔn)備鋁基材的工序；將電極結(jié)構(gòu)安裝于上述鋁基材的工序，上述電極結(jié)構(gòu)具備:鋁電極，其與上述鋁基材的表面接觸；固定部件，其將上述鋁電極固定于上述鋁基材的表面；彈性部件，其配置于上述固定部件和上述鋁基材之間；引線，其至少在有的條件下與上述鋁電極電連接；以及蓋部件，其設(shè)置有開口部，并且覆蓋上述鋁電極的至少一部分，以上述引線貫通了上述蓋部件的上述開口部的狀態(tài)被封閉；以及在使上述鋁基材的表面接觸電解液的狀態(tài)下進(jìn)行陽極氧化的工序。在有的實(shí)施方式中，在上述準(zhǔn)備鋁基材的工序中，上述鋁基材為圓筒狀或圓柱狀。在有的實(shí)施方式中，在上述安裝電極結(jié)構(gòu)的工序中，上述電極結(jié)構(gòu)具有多個(gè)電極部，上述多個(gè)電極部各自具備上述鋁電極、上述固定部件、上述彈性部件、上述引線以及上述蓋部件，上述多個(gè)電極部各自的鋁電極具有:接觸區(qū)域，其設(shè)置于上述鋁基材和上述彈性部件之間；以及連接區(qū)域，其經(jīng)由上述固定部件的上述開口部與上述接觸區(qū)域電連接，上述多個(gè)電極部各自的上述接觸區(qū)域構(gòu)成為圈狀。在有的實(shí)施方式中，上述陽極氧化層的形成方法還包含在進(jìn)行上述陽極氧化后進(jìn)行上述鋁基材的蝕刻的工序。在有的實(shí)施方式中，上述進(jìn)行陽極氧化的工序是在上述引線和上述鋁電極電連接的狀態(tài)下進(jìn)行，上述進(jìn)行蝕刻的工序是在上述引線和上述鋁電極絕緣的狀態(tài)下進(jìn)行。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，能夠提供抑制電極和鋁基材的接觸不良并且抑制了電解液的侵入的電極結(jié)構(gòu)。



圖1 (a)是示出本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第I實(shí)施方式的示意性截面圖，(b)是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的示意性側(cè)視圖。圖2是安裝有本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的鋁基材的示意圖。圖3 Ca)和(b)是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的電極部的示意圖。圖4是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的示意性截面圖。圖5是本發(fā)明的基材保持裝置的實(shí)施方式的示意圖。圖6是本實(shí)施方式的基材保持裝置中的支撐部件的示意圖。圖7 Ca)是從y方向觀察的電極非相對(duì)支撐部件的示意圖，(b)是從x方向觀察的電極非相對(duì)支撐部件的示意圖。圖8 (a)是從y方向觀察的電極相對(duì)支撐部件的示意圖，(b)是從X方向觀察的電極相對(duì)支撐部件的示意圖。圖9 (a)是從y方向觀察的另一電極非相對(duì)支撐部件的示意圖，(b)是從y方向觀察的另一電極相對(duì)支撐部件的示意圖。圖10是本實(shí)施方式的陽極氧化處理裝置的示意圖。圖11 (a)和(b)是示出本實(shí)施方式的陽極氧化處理裝置中的電極結(jié)構(gòu)的組裝的示意圖。圖12是示出安裝有本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的鋁基材的一例的示意圖。圖13 (a)和(b)是示出本實(shí)施方式的陽極氧化層的形成方法的示意圖。圖14是用圖13所示的形成方法形成的陽極氧化層的示意性截面圖。圖15是本實(shí)施方式的蝕刻處理裝置的示意圖。圖16 Ca) (e)是示出本實(shí)施方式的陽極氧化層的形成方法的示意圖。圖17是用圖16所示的形成方法形成的陽極氧化層的示意性截面圖。圖18是用于說明將本實(shí)施方式的陽極氧化層用作模具來轉(zhuǎn)印的工序的示意性截面圖。圖19 (a) (C)是示出本實(shí)施方式的運(yùn)送部件的示意圖。圖20是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的變形例的示意性截面圖。圖21是本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第2實(shí)施方式的示意性截面圖。圖22是本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第2實(shí)施方式的示意性放大截面圖。圖23是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的變形例的示意性放大截面圖。圖24是示出用具備圖23所示的電極結(jié)構(gòu)的陽極氧化處理裝置形成的陽極氧化層的SEM圖像的圖。圖25是示出比較例的陽極氧化層的SEM圖像的圖。圖26 (a)是示出本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第3實(shí)施方式的示意性截面圖，(b)是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的示意性側(cè)視圖。圖27 (a)是本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)的示意圖，(b)是沿著(a)的27b — 27b’線的示意性截面圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)、基材保持裝置以及陽極氧化層的形成方法的實(shí)施方式。但是本發(fā)明不限于下面的實(shí)施方式。(實(shí)施方式I)
下面，參照?qǐng)D1 圖4說明本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第I實(shí)施方式。圖1 (a)和圖1(b)示出本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)100A的示意圖。圖1 (a)是從y方向觀察的電極結(jié)構(gòu)100A的示意圖，圖1 (b)是從X方向觀察的電極結(jié)構(gòu)100A的示意圖。電極結(jié)構(gòu)100A包括電極部100a、100b。在此，電極部100a、IOOb具有同樣的構(gòu)成，
從y方向觀察時(shí)具有對(duì)稱的構(gòu)成。電極部100a、IOOb分別具備鋁電極10、固定部件20、彈性部件30、引線40以及蓋部件50。電極結(jié)構(gòu)100A用于對(duì)圓筒狀或圓柱狀的鋁基材(圖1中未圖示)進(jìn)行陽極氧化。例如，電極結(jié)構(gòu)100A的寬度(從X方向觀察電極結(jié)構(gòu)100A時(shí)的沿著y方向的長度)為50mm。鋁電極10的鋁的純度比鋁基材的純度低。例如，鋁基材的表面的鋁為99.99質(zhì)量％ (有時(shí)寫為4N。)以上的鋁，而鋁電極10由純度99.50質(zhì)量％以上的鋁形成。此外，在本說明書中，有時(shí)將招電極10簡稱為電極10。電極10的至少一部分與鋁基材的表面接觸。電極10經(jīng)由引線40與電源(未圖示)電連接。在進(jìn)行陽極氧化的情況下，經(jīng)由引線40和電極10對(duì)鋁基材施加電壓。固定部件20在與鋁基材的表面接觸的狀態(tài)下固定電極10。固定部件20由較高硬度的材料形成。例如，固定部件20由縮醛樹脂形成。一般來說，縮醛樹脂在強(qiáng)度和彈性率方面優(yōu)異。例如，縮醛樹脂的彎曲強(qiáng)度和彎曲彈性率分別為910kg/Cm2、26X 103kg/Cm2。固定部件20具有與鋁基材的表面對(duì)應(yīng)的形狀。彈性部件30配置于鋁基材和固定部件20之間。彈性部件30例如由硅膠形成。一般來說，硅膠示出較高耐熱性，例如周圍溫度為200°C也可使用。在引線40中，導(dǎo)電性的配線被絕緣部件覆蓋。例如，配線由銅形成?；蛘吲渚€也可以是鋼芯鋁線或鋁合金線。從耐化學(xué)腐蝕性和柔性的觀點(diǎn)來看，絕緣部件由聚乙烯(polyethylene:PE)或氟樹脂形成。蓋部件50遮蓋電極10和引線40的連接部分。蓋部件50由螺絲固定于固定部件
20。此外，蓋部件50也可以用密封材料密封于固定部件20，或者也可以在蓋部件50和固定部件20的邊界設(shè)置橡皮墊。蓋部件50設(shè)置有貫通的開口部50a，蓋部件50以引線40貫通了開口部50a的狀態(tài)被封閉。例如，在開口部50a設(shè)置有橡皮塞52。此外，開口部50a也可以用密封材料密封，或者開口部50a也可以使用螺絲封閉。電極結(jié)構(gòu)100A具有與圓筒狀或圓柱狀的外側(cè)表面對(duì)應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面。因此，盡管鋁基材為圓筒狀或圓柱狀，電極結(jié)構(gòu)100A也能夠可靠地進(jìn)行與鋁基材的電連接。另外，在鋁基材和固定部件20之間設(shè)置有彈性部件30，因此即使鋁基材變形也能夠可靠地進(jìn)行鋁基材和電極10的接觸。圖2中不出安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的招基材aL的不意圖。招基材aL為圓筒狀或圓柱狀，電極結(jié)構(gòu)100安裝于招基材aL的外側(cè)表面。招基材aL的外徑約為308mm,母線的長度為500mm。詳細(xì)情況后述，鋁基材aL也可以是塊狀的鋁。或者鋁基材aL也可以是在層疊結(jié)構(gòu)的最表面設(shè)置有鋁膜的構(gòu)成。例如，鋁基材aL也可以是在圓筒狀或圓柱狀的支撐體的外側(cè)表面設(shè)置有鋁膜的構(gòu)成。在這種情況下，可以在絕緣性的支撐體上形成鋁膜，或者也可以在導(dǎo)電性的支撐體上隔著絕緣層形成鋁膜。在此，在鋁基材aL的兩端設(shè)置有2個(gè)電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2。電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2具有相同的構(gòu)成。電極結(jié)構(gòu)100A1設(shè)置在鋁基材aL的一個(gè)端部，電極結(jié)構(gòu)100A2設(shè)置在鋁基材aL的另一個(gè)端部。在本說明書中有時(shí)將電極結(jié)構(gòu)100A1U00A2分別稱為第I電極結(jié)構(gòu)100A1、第2電極結(jié)構(gòu)100A2。詳細(xì)情況后述，通過 對(duì)像這樣安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的鋁基材aL進(jìn)行陽極氧化，能夠形成圓筒狀的陽極氧化層。此外，在鋁基材aL中的安裝有電極結(jié)構(gòu)100A1U00A2的部分，不與其它部分同樣地被陽極氧化，因此優(yōu)選電極結(jié)構(gòu)100A1U00A2的寬度短。圓筒狀的陽極氧化層適于用作模具。例如，能夠?qū)A筒狀的陽極氧化層用作模具以輥到輥方式進(jìn)行轉(zhuǎn)印。此外，此處所說的“模具”包含用于各種加工方法(壓印、鑄造)的模具，有時(shí)也稱為壓模。另外，該“模具”也能夠用于印刷(包含納米印刷)。下面，參照?qǐng)D3具體說明電極結(jié)構(gòu)100A的構(gòu)成。圖3 Ca)是電極結(jié)構(gòu)100A的電極部IOOa的電極10和引線40的連接部分附近的示意圖，圖3 (b)是將圖1 (a)的3b —3b’線附近放大了的示意圖。如圖3 (a)所示，電極10具有與鋁基材aL接觸的接觸區(qū)域12和連接于接觸區(qū)域12的連接區(qū)域14。電極10的接觸區(qū)域12與鋁基材aL (圖3中未圖示)的表面接觸。在此，固定部件20設(shè)置有開口部20a，電極10的連接區(qū)域14經(jīng)由固定部件20的開口部20a與接觸區(qū)域12電連接。如上所述，電極10具有鋁。作為電極10例如可以使用純度99.85%以上的鋁合金(所謂的1085)。優(yōu)選電極10的接觸區(qū)域12和連接區(qū)域14連續(xù)，電極10也可以是彎折的鋁膜。例如，電極10可以是將所謂的鋁箔彎折而成的。例如鋁箔的厚度為0.2mm以下。一般的鋁板上有時(shí)會(huì)殘留切削痕，由于切削痕，鋁板有時(shí)不能與鋁基材aL充分接觸。但是，通過使用鋁箔，能夠可靠地進(jìn)行與鋁基材aL的接觸。
引線40與連接區(qū)域14電連接。例如，引線40可以與連接區(qū)域14用螺栓(螺絲)和螺母固定，引線40也可以用黏合劑固定在連接區(qū)域14?；蛘咭部梢砸耘c連接區(qū)域14直接接觸的方式用絕緣部件夾住引線40?；蛘咭€40也可以經(jīng)由另一導(dǎo)電部件與電極10電連接。蓋部件50覆蓋電極10和引線40電連接的部分。蓋部件50例如由聚氯乙烯(polyvinyl chloride:PVC)形成。優(yōu)選蓋部件50具有透明、絕緣性以及耐化學(xué)腐蝕性等特性。在此，蓋部件50設(shè)置有開口部50a，蓋部件50以引線40經(jīng)由蓋部件50的開口部50a從外部貫通到內(nèi)部的狀態(tài)被封閉。在開口部50a設(shè)置有橡皮塞52。如圖3 (b)所示，在電極結(jié)構(gòu)100A中，彈性部件30配置于電極10 (接觸區(qū)域12)和固定部件20之間。因此，彈性部件30配置于鋁基材aL和固定部件20之間。在此，彈性部件30配置于2個(gè)O型圈32a、32b之間。例如，彈性部件30的厚度為3.5mm,寬度為30mm，O型圈32a、32b的直徑為4mm。此外，在此說明了電極部IOOa的構(gòu)成，而電極部IOOb也具有同樣的構(gòu)成。圖4中示出電極結(jié)構(gòu)100A的示意圖。電極部IOOaUOOb例如由螺絲110固定。例如，電極部IOOaUOOb使用螺栓和螺母以形成與圓筒狀或圓柱狀的外側(cè)表面對(duì)應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面的方式組裝。此外，在本說明書中，有時(shí)將電極部IOOaUOOb分別稱為第I電極部100a、第2電極部IOOb0在電極部IOOaUOOb分別設(shè)置有2個(gè)電極10。在電極部IOOa設(shè)置有2個(gè)電極10a、10b，在電 極部IOOb設(shè)置有2個(gè)電極10c、10d。電極10a、10b、10c、IOd可相互分離。在電極部IOOa中，電極10a、IOb的一部分貫通固定部件20的開口部20a。同樣地，在電極部IOOb中，電極10c、10d的一部分貫通固定部件20的開口部20a。在電極結(jié)構(gòu)100A中，電極10a、10b、10c、10d各自的接觸區(qū)域12的組合也具有大致圓筒形狀，從y方向觀察它時(shí)為大致環(huán)狀。同樣地，電極部100a、IOOb各自的固定部件20的組合也具有大致圓筒形狀，從y方向觀察它時(shí)為大致環(huán)狀。另外，電極部100a、IOOb各自的彈性部件30的組合雖在一部分設(shè)置有開口部，也具有大致圓筒形狀，從y方向觀察它時(shí)為大致環(huán)狀。此外，將電極10a、10b、10c、10d各自的接觸區(qū)域12組合而成的圓筒的內(nèi)徑比圓筒狀的鋁基材的外徑稍微大一些。通過將電極結(jié)構(gòu)100A安裝于鋁基材aL，電極10a、10b、10c、IOd的接觸區(qū)域12與圓筒狀或圓柱狀的鋁基材aL的外側(cè)表面接觸。這樣，在電極結(jié)構(gòu)100A中，電極10a、10b、10c、IOd的接觸區(qū)域12整體構(gòu)成圓筒形狀,為了與鋁基材aL的外側(cè)表面可靠地接觸，電極10a、10b、10c、IOd的接觸區(qū)域12的內(nèi)側(cè)表面隔著彈性部件30用固定部件20固定。因此，即使鋁基材的外側(cè)表面為圓筒狀或圓柱狀，甚至鋁基材aL的表面稍有變形，也能夠可靠地進(jìn)行電極10a、10b、10c、IOd的接觸區(qū)域12和鋁基材aL的接觸。對(duì)安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的鋁基材aL進(jìn)行陽極氧化。此外，如下所述，也可以對(duì)該鋁基材aL不僅進(jìn)行陽極氧化還進(jìn)行蝕刻，也可以分別多次進(jìn)行陽極氧化和蝕刻。另外，鋁基材的支撐體既可以是圓筒狀也可以是圓柱狀。不過，若將同樣材料的支撐體作比較，則圓筒狀的支撐體比圓柱狀的支撐體輕，容易處理。在鋁基材aL是圓筒狀的情況下，優(yōu)選按如下方式保持鋁基材aL。
下面，說明保持鋁基材aL的基材保持裝置200。圖5中示出基材保持裝置200的示意圖?；谋３盅b置200具備安裝于圓筒狀的鋁基材aL的外側(cè)表面的電極結(jié)構(gòu)100A(100A1U00A2)和支撐圓筒狀的鋁基材aL的內(nèi)側(cè)表面的支撐部件210。在此，參照?qǐng)D6 圖8說明支撐部件210。圖6中示出安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的圓筒狀的鋁基材aL以及與該鋁基材aL組裝之前的支撐部件210的示意圖。支撐部件210具有圓盤狀的部件。支撐部件210包含:電極相對(duì)支撐部件212，其隔著鋁基材aL與電極結(jié)構(gòu)100A相對(duì)；以及電極非相對(duì)支撐部件214，其以不與電極結(jié)構(gòu)100A相對(duì)的方式支撐鋁基材aL。在此，電極相對(duì)支撐部件212和電極非相對(duì)支撐部件214分別具有大致圓盤形狀。此外，在本說明書中，有時(shí)將電極相對(duì)支撐部件212和電極非相對(duì)支撐部件214分別簡稱為支撐部件212和支撐部件214。支撐部件212、214分別由樹脂形成。在此，支撐部件212、214安裝于共同的軸230a。另外，優(yōu)選在支撐部件212中安裝有從其中心延伸到外側(cè)的軸230b。如上所述，在鋁基材aL上安裝有2個(gè)電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2。支撐部件212具有分別與電極結(jié)構(gòu)100A1U00A2相對(duì)的支撐部件212a、212b。支撐部件212a隔著鋁基材aL與電極結(jié)構(gòu)100A1相對(duì)，支撐部件212b隔著鋁基材aL與電極結(jié)構(gòu)100A2相對(duì)。此外，在本說明書中，有時(shí)將電極相對(duì)支撐部件212a、212b分別稱為第I電極相對(duì)支撐部件212a、第2電極相對(duì)支撐部件212b。支撐部件214配置于2個(gè)支撐部件212a、212b之間。圖7 (a)和圖7 (b)中示出支撐部件214的示意圖。圖7 (a)是從y方向觀察的支撐部件214的示意圖，圖7 (b)是從X方向觀察的支撐部件214的示意圖。此外，在支撐部件214中設(shè)置有讓軸230a貫通的孔214s。從制作的容易性的觀點(diǎn)來看， 支撐部件214的直徑的值是恒定的，另外，優(yōu)選支撐部件214在從+ y方向和一 y方向觀察的情況下的圓的直徑大致相等。在這種情況下，支撐部件214的直徑比鋁基材aL的內(nèi)徑稍小。此外，支撐部件214的直徑也可以不是恒定的。從y方向觀察支撐部件214也可以不是嚴(yán)格的圓。在這種情況下，支撐部件214的直徑的最大值也比鋁基材aL的內(nèi)徑稍小。例如，在招基材aL的內(nèi)徑為300_的情況下,支撐部件214的直徑的最大值為299.8_。圖8 (a)和圖8 (b)中示出支撐部件212a的示意圖。圖8 (a)是從y方向觀察的支撐部件212a的示意圖，圖8 (b)是從X方向觀察的支撐部件212a的示意圖。在支撐部件212a中設(shè)置有安裝軸230a的孔212s。此外，在此雖未圖示，在與支撐部件212a的圖8 Ca)所示的面相反的面設(shè)置有安裝軸230b的孔。支撐部件212a在從+ y方向和一 y方向觀察的情況下的圓的直徑不同。較長的直徑(即支撐部件212a的直徑的最大值)比鋁基材aL的內(nèi)徑大，較短的直徑(即支撐部件212a的直徑的最小值)比鋁基材aL的內(nèi)徑小。例如，在鋁基材aL的內(nèi)徑為300mm的情況下，支撐部件212a的直徑的最小值為299.8mm,支撐部件212a的直徑的最大值為300.2mm。例如，如圖8(b)所示，在支撐部件212a的外周面設(shè)置有臺(tái)階?；蛘咧尾考?12a也可以加工為其直徑從外側(cè)向內(nèi)側(cè)漸漸變長。優(yōu)選像這樣，支撐部件212a具有其至少一部分的直徑比鋁基材aL的內(nèi)徑稍微大一些的形狀。支撐部件212a的直徑小的面以與支撐部件214相對(duì)的方式配置，支撐部件212a的一部分進(jìn)入不到鋁基材aL的內(nèi)側(cè)。
另外，支撐部件212a隔著鋁基材aL與電極結(jié)構(gòu)100A1相對(duì)。為了抑制安裝電極結(jié)構(gòu)100A時(shí)的支撐部件212a的變形，優(yōu)選支撐部件212a的寬度達(dá)到一定程度。例如，優(yōu)選支撐部件212a的寬度(從X方向觀察的長度)比支撐部件214寬。此外，在此說明了支撐部件212a的構(gòu)成，而支撐部件212b也具有與支撐部件212a同樣的構(gòu)成。例如，支撐部件210按如下方式安裝。使在拆卸了支撐部件212a、212b的一方的狀態(tài)下的支撐部件210在鋁基材aL的內(nèi)側(cè)表面內(nèi)移動(dòng)，然后再次安裝先前拆卸的支撐部件212a、212b。此外，為了順利進(jìn)行鋁基材aL相對(duì)于支撐部件210的安裝和拆卸，也可以在支撐部件212、214的一部分設(shè)置切缺部，利用該切缺部進(jìn)行空氣釋放?；蛘咴诶美鋮s使鋁基材aL的體積減少的狀態(tài)下將招基材aL安裝于支撐部件210。此外，優(yōu)選支撐部件212、214是使用金屬模具(例如，C型圈)安裝于軸230a。在這種情況下，即使安裝于支撐部件210的鋁基材aL的長度不同，也能夠使安裝于軸230a的支撐部件212、214的位置滑動(dòng)。如圖9 (a)和圖9 (b)所示，優(yōu)選支撐部件212和支撐部件214各自在設(shè)置有用于軸230a、230b的孔214s和孔212s之外，另外還設(shè)置有開口部212o、214o。一般來說，陽極氧化會(huì)產(chǎn)生熱，而且陽極氧化速度隨溫度變化。電解液通過設(shè)置于支撐部件212和支撐部件214的開口部212o、214o而流動(dòng)，從而能夠抑制由于由鋁基材aL產(chǎn)生的熱而導(dǎo)致的溫度不均，其結(jié)果是能夠均勻進(jìn)行陽極氧化。上述的基材保持裝置200適用于下述的陽極氧化處理裝置。下面，參照?qǐng)D10說明本實(shí)施方式的陽極氧化處理裝置300。陽極氧化處理裝置300具備:參照?qǐng)D5 圖9所述的基材保持裝置200、陽極電線310、陰極電線320、電極結(jié)構(gòu)330、將陰極電線320和電極結(jié)構(gòu)330電連接的引線340以及陽極氧化槽350。電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2的引線40與陽極電線310電連接。因此，安裝于鋁基材aL的外側(cè)表面的電極結(jié)構(gòu)100A1U00A2被用作用于陽極氧化的陽極，電極結(jié)構(gòu)330被用作用于陽極氧化的陰極。此夕卜，如上所述，鋁基材aL可以是圓筒狀，其`內(nèi)部由支撐部件210支撐。不過鋁基材aL也可以是圓柱形狀。電極結(jié)構(gòu)330以同心圓狀設(shè)置于鋁基材aL的周圍。電極結(jié)構(gòu)330具有多個(gè)線狀部332以及與多個(gè)線狀部332的兩端接觸的連接部334。線狀部332和連接部334例如由不銹鋼形成。電極結(jié)構(gòu)330以與大致圓筒狀或大致圓柱狀的鋁基材aL的最短距離大致恒定的方式設(shè)置為同心圓狀。各線狀部332與鋁基材aL的母線平行設(shè)置。例如，在鋁基材aL的直徑為150mm的情況下，寬度40mm的線狀部332以距鋁基材aL的表面78.7mm的距離在鋁基材aL的周圍配置12個(gè)。在陽極氧化槽350中蓄有電解液。例如，電解液為濃度0.3質(zhì)量％的草酸。安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的鋁基材aL和電極結(jié)構(gòu)330整體浸潰于電解液中。例如，鋁基材aL以其母線與電解液的界面平行的方式浸潰。在進(jìn)行陽極氧化的情況下，在陽極電線310和陰極電線320之間施加8V的電壓。這時(shí)，相鄰的線狀部332相互分離，因而促進(jìn)電解液的循環(huán)。此外，在此雖未圖示，線狀部332和連接部334分別被蒙著布。通過這種遮蔽，能夠抑制在電極結(jié)構(gòu)330中由于產(chǎn)生的氫的泡而導(dǎo)致的電解液的流動(dòng)不均。
此外，電極結(jié)構(gòu)330也可以是可容易分離的構(gòu)成。如圖11 (a)所示，電極結(jié)構(gòu)330具有下部分330a和上部分330b，下部分330a被未圖示的支撐部件支撐。之后，設(shè)置安裝有電極結(jié)構(gòu)100A1U00A2的鋁基材aL。如圖11 (b)所示，將上部分330b與下部分330a組合。上部分330b由螺絲組裝于下部分330a。鋁基材aL和電極結(jié)構(gòu)330的距離對(duì)陽極氧化層的特性有很大影響，因而優(yōu)選在電解液內(nèi)鋁基材aL和電極結(jié)構(gòu)330的距離不變動(dòng)。例如，電極結(jié)構(gòu)330由不銹鋼(Stainless Used Steel:SUS)形成,為了輕量化,優(yōu)選電極結(jié)構(gòu)330較薄。另外，為了抑制在電解液內(nèi)產(chǎn)生搖晃，優(yōu)選電極結(jié)構(gòu)330由L字形狀或C字形狀的部件形成。通過像這樣使電極結(jié)構(gòu)330變得可組裝，能夠容易地將鋁基材aL設(shè)置于陽極氧化處理裝置300。如上所述，鋁基材aL也可以是塊狀的鋁?；蛘咪X基材aL也可以是在層疊結(jié)構(gòu)的最表面設(shè)置有鋁膜的構(gòu)成。下面，參照?qǐng)D12說明鋁基材aL的一例。在此，鋁基材aL具有:圓筒狀的支撐體
21、絕緣層22、無機(jī)基底層23、緩沖層24以及鋁膜25。此外，也可以省略無機(jī)基底層23和緩沖層24中的至少一者。

作為支撐體21，可以使用圓筒狀的金屬管，或者也可以使用金屬套筒。在將圓筒狀的金屬管用作支撐體21的情況下，例如將厚度1.0mm以上的金屬制的圓筒用作支撐體21。作為圓筒狀的金屬管，例如能夠使用鋁制的管、不銹鋼(例如，JIS規(guī)格SUS304)制的管。另外，在使用金屬套筒作為支撐體21的情況下，使用厚度為0.02mm以上1.0mm以下的金屬制的圓筒。作為金屬套筒，例如能夠使用以鎳、不銹鋼、鈦中的任一種或包含它們中的至少一種的合金形成的金屬套筒。在使用金屬套筒作為支撐體21的情況下，金屬套筒較輕，因而容易處理。絕緣層22形成于支撐體21的外周面上。絕緣層22例如是有機(jī)絕緣層。作為有機(jī)絕緣層的材料，例如使用樹脂。通過在支撐體21的外周面上賦予固化性樹脂來形成固化性樹脂層，之后使固化性樹脂固化，從而在支撐體21的外周面上形成有機(jī)絕緣層。固化性樹脂層例如能夠利用電沉積法形成。作為電沉積法能夠使用公知的電沉積涂裝方法。例如，首先清洗支撐體21，然后將支撐體21浸潰于積存有包含電沉積樹脂的電沉積液的電沉積槽。在電沉積槽中設(shè)置有電極。例如，當(dāng)利用陽離子電沉積形成固化性樹脂層時(shí)，將支撐體21作為陰極，將設(shè)置于電沉積槽內(nèi)的電極作為陽極，使電流在支撐體21和陽極之間流動(dòng)，使電沉積樹脂析出到支撐體21的外周面上，從而形成固化性樹脂層?；蛘弋?dāng)利用陰離子電沉積形成固化性樹脂層時(shí)，將支撐體21作為陽極，將設(shè)置于電沉積槽內(nèi)的電極作為陰極，使電流流動(dòng)，從而形成固化性樹脂層。之后，通過進(jìn)行清洗工序、燒結(jié)工序等，形成有機(jī)絕緣層。作為電沉積樹脂，例如能夠使用聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、密胺樹脂、尿烷樹脂或它們的混合物。作為形成固化性樹脂層的方法，除了電沉積法以外，例如還能夠使用噴霧涂裝。能夠使用尿烷系樹脂、聚酰胺酸，利用噴涂法、靜電涂裝法，在支撐體21的外周面上形成固化性樹脂層。作為尿烷系樹脂，例如能夠使用日本涂料株式會(huì)社(日本 4 >卜株式會(huì)社)制的烏來陶普(勺 > 卜7°)。除了上述以外，例如也可以使用浸涂法、輥涂法。在使用熱固化性的聚酰胺酸作為固化性樹脂的情況下，在利用浸涂法涂敷聚酰胺酸形成固化性樹脂層之后，將聚酰胺酸加熱到300°C程度，從而形成有機(jī)絕緣層。聚酰胺酸例如能夠從日立化成工業(yè)株式會(huì)社得到。通過在支撐體21的外周面上設(shè)置絕緣層22，使支撐體21和形成于絕緣層22的上的鋁膜25之間絕緣。此外，若支撐體和鋁膜之間的絕緣不充分，則有時(shí)會(huì)在后述的反復(fù)進(jìn)行陽極氧化工序和蝕刻工序的蛾眼用模具的制造工序中，在進(jìn)行蝕刻時(shí)在支撐體和鋁膜之間發(fā)生局部電池反應(yīng)，從而在鋁膜上形成直徑Iym程度的凹陷。另外，若支撐體和鋁膜之間的絕緣不充分，則有時(shí)在后述的陽極氧化工序中，支撐體中也會(huì)有電流流動(dòng)。若電流流到支撐體，則包含支撐體和鋁膜的基材整體中有過多電流流動(dòng)，因而從安全性的觀點(diǎn)來看不優(yōu)選。絕緣層22也可以是無機(jī)絕緣層。作為無機(jī)絕緣層的材料，例如能夠使用SiO2或Ta2O50此外，有機(jī)絕緣層與無機(jī)絕緣層相比，能夠提高形成于絕緣層上的鋁膜的表面的鏡面性。這樣，形成于絕緣層上的鋁膜的表面的鏡面性高，則能夠提高之后形成的多孔氧化鋁層的表面的平坦性。在絕緣層22上形成鋁膜25。例如，鋁膜25利用鋁的沉積來形成。鋁膜25例如用濺射法形成。優(yōu)選鋁膜25由高純度的鋁靶形成。例如，優(yōu)選鋁膜25由4N以上的鋁靶形成。此外，鋁膜25例如也可以通過一邊使在外周面上形成有絕緣層22的支撐體21旋轉(zhuǎn)一邊蒸鍍招來形成。在設(shè)置有機(jī)絕緣層作為絕緣層22的情況下,從絕緣性的觀點(diǎn)來看,優(yōu)選有機(jī)絕緣層的厚度例如為7μπι以上。另外，在設(shè)置有機(jī)絕緣層作為絕緣層22的情況下，優(yōu)選用等離子灰化來處理有機(jī)絕緣層的表面。通過進(jìn)行等離子灰化，能夠提高有機(jī)絕緣層和形成于有機(jī)絕緣層上的鋁膜25的貼緊性。此外，在設(shè)置有機(jī)絕緣層作為絕緣層22的情況下，優(yōu)選在有機(jī)絕緣層和鋁膜25之間形成包含無機(jī)氧化物的無機(jī)基底層23。通過設(shè)置無機(jī)基底層23，能夠提高有機(jī)絕緣層22和鋁膜25的貼緊性。優(yōu)選無機(jī)基底層23例如由氧化硅或氧化鈦形成?；蛘邿o機(jī)基底層23也可以由無機(jī)氮化物形成。例如，無機(jī)基底層23也可以由氮化硅形成。無機(jī)基底層23能夠用濺射法來制作。例如能夠用DC反應(yīng)濺射法、RF濺射法來制作。無機(jī)基底層23的厚度優(yōu)選為500nm以下，更優(yōu)選為300nm以下。另外，從鋁膜25的貼緊性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選無機(jī)基底層23的厚度為50nm以上。在用濺射法形成的情況下，從貼緊性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選形成于無機(jī)基底層23內(nèi)的針孔數(shù)少，從抑制針孔的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選無機(jī)基底層23的厚度為70nm以上。此外，優(yōu)選在無機(jī)基底層23上形成含有鋁的緩沖層24。緩沖層24以提高無機(jī)基底層23和鋁膜25的黏接性的方式發(fā)揮作用。另外，緩沖層24保護(hù)無機(jī)基底層23不被酸腐蝕。優(yōu)選緩沖層24包含鋁和氧或者包含鋁和氮。氧或氮的含有率可以是恒定的，但特別優(yōu)選鋁的含有率具有在鋁膜25側(cè)比在無機(jī)基底層23側(cè)高的分布。這是因?yàn)樵跓崤蛎浵禂?shù)等物性值的整合方面優(yōu)異。緩沖層24內(nèi)的鋁的含有率的厚度方向的分布可以階段性地變化，也可以連續(xù)地變化。例如，在用鋁和氧形成緩沖層24的情況 下，以隨著靠近鋁膜25而層中的氧含有率逐漸下降的方式形成多個(gè)氧化鋁層，在最上層上形成鋁膜25。換言之，以鋁的含有率具有在鋁膜25側(cè)比在無機(jī)基底層23側(cè)高的分布的方式形成多個(gè)氧化鋁層。
以隨著靠近鋁膜25而層中的氧含有率逐漸下降的方式形成多個(gè)氧化鋁層，從而，越是靠近鋁膜25的層越能夠提高熱膨脹系數(shù)，越是靠近鋁膜25的層越能夠使熱膨脹系數(shù)接近鋁膜25的熱膨脹系數(shù)。其結(jié)果是，能夠形成對(duì)由于反復(fù)進(jìn)行較低溫的陽極氧化和較高溫的蝕刻而產(chǎn)生的熱應(yīng)力的抵抗力強(qiáng)、貼緊性高的鋁膜25。緩沖層24例如能夠使用下面的(I) - (3)的3種方法來形成。(I)使用包含Ar氣體和O2氣體的混合氣體和氧元素的鋁靶，利用反應(yīng)性濺射法來成膜。優(yōu)選這時(shí)靶中的氧含有率在lat%以上40at%以下的范圍內(nèi)。若靶中的氧含有率不到lat%，則沒有靶中含氧的效果，若超過40at%，則沒有必要使用O2氣體。(2)使用包含作為濺射氣體的純Ar氣體和氧元素的鋁靶，利用反應(yīng)性濺射法來成膜。優(yōu)選這時(shí)靶中的氧含有率在5at%以上60at%以下的范圍內(nèi)。若靶中的氧含有率不到5at %，則有時(shí)不能夠在成膜的氧化鋁層中含有充足量的氧，若超過60at %，則有時(shí)成膜的氧化鋁層中包含的氧元素的含有率變得過高。若無機(jī)基底層側(cè)的氧化鋁層中包含的氧元素的含有率超過60at%，則有時(shí)無機(jī)基底層(SiO2)和氧化鋁層的黏接性下降。(3)使用純鋁靶利用反應(yīng)性濺射法來成膜。這時(shí)，將用于濺射的混合氣體的Ar氣體和O2氣體的流量比設(shè)為超過2:0且為2:1以下的程度。若Ar氣體和O2氣體的流量比超過2:1，則有時(shí)成膜的氧化鋁層中包含的氧元素的含有率變得過高。此外，緩沖層24也可以包括單一的氧化鋁層。另外，包含鋁和氮的緩沖層24也能夠與上述同樣地形成。另外，從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選緩沖層24的厚度為Iym以下。下面，參照?qǐng)D1 圖4、圖10以及圖13說明本實(shí)施方式的陽極氧化層的形成方法。圖13放大不出招基材a L的一部分的表面。如圖13 (a)所不，準(zhǔn)備招基材aL。如上所述，招基材aL也可以是塊狀的招基材，或者也可以是在支撐體上設(shè)置有鋁膜的構(gòu)成。例如，鋁基材aL也可以具有圖12所示的構(gòu)成。如圖2所示，在該鋁基材aL上安裝電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2。電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2如參照?qǐng)D1和圖4所述那樣，分別具備:電極10，其與鋁基材aL的表面接觸；固定部件20，其相對(duì)于鋁基材aL的表面固定電極10 ;彈性部件30，其配置于固定部件20和鋁基材aL之間；引線40，其與電極10電連接；以及蓋部件50，其以引線40貫通了蓋部件50的開口部50a的狀態(tài)被封閉。如參照?qǐng)D1 圖4所述，在電極結(jié)構(gòu)100A1、100A2包括2個(gè)電極部IOOaUOOb的情況下，將電極部100a、IOOb分別安裝于鋁基材aL，電極部100a、IOOb的連接部分由螺絲110固定。如圖13 (b)所示，在將鋁基材aL浸潰于電解液的狀態(tài)下進(jìn)行陽極氧化。陽極氧化例如在參照?qǐng)D10所述的陽極氧化裝置300中進(jìn)行。這時(shí)，蓋部件50相對(duì)于電解液封閉電極10和引線40的連接部分，從而能夠抑制引線40的溶解。利用陽極氧化，在鋁基材aL的表面形成具有多個(gè)細(xì)孔aq (微細(xì)凹部)的多孔氧化鋁層ap。多孔氧化鋁層ap具備具有細(xì)孔aq的多孔層和阻擋層。陽極氧化例如在酸性的電解液中進(jìn)行。電解液例如是包含從由草酸、酒石酸、磷酸、鉻酸、檸檬酸、蘋果酸組成的群中選出的酸的水溶液。按如上方式形成陽極氧化層an。圖14中示出陽極氧化層an的示意性截面圖。在陽極氧化層an的表面設(shè)置有多孔氧化鋁層ap。在此，細(xì)孔aq為大致圓柱形狀。
此外，通過調(diào)整陽極氧化條件(例如，電解液的種類、施加電壓)，能夠調(diào)節(jié)細(xì)孔間隔、細(xì)孔的深度、細(xì)孔的尺寸等。另外，也能夠適當(dāng)調(diào)整多孔氧化鋁層的厚度。在鋁基材aL的表面具有規(guī)定厚度的鋁膜的情況下，也可以將該鋁膜完全陽極氧化。這樣，在鋁基材aL的表面形成陽極氧化層an。陽極氧化層an可以用作模具。通過將陽極氧化層an用作模具，能夠簡便地進(jìn)行表面積的增大。例如，陽極氧化層an適用于放熱元件、熱電元件等的制作。此外，也可以根據(jù)需要進(jìn)行蝕刻。例如，不僅進(jìn)行陽極氧化還進(jìn)行蝕刻，從而能夠使形成于鋁基材aL的表面微細(xì)凹部的形狀變化。圖15中示出蝕刻處理裝置400。蝕刻處理裝置400具備蓄有蝕刻液的蝕刻槽410。在進(jìn)行蝕刻的情況下，在蝕刻槽410中浸潰有鋁基材aL。此外，上述的陽極氧化是對(duì)安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的鋁基材aL進(jìn)行的，而利用蓋部件50能抑制電解液侵入電極10和引線40的連接部分。同樣地，蝕刻也可以是對(duì)安裝有電極結(jié)構(gòu)100A的鋁基材aL進(jìn)行的。特別是，在反復(fù)進(jìn)行陽極氧化和蝕刻的情況下，從效率性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選不拆卸在陽極氧化中使用的電極結(jié)構(gòu)100A地進(jìn)行蝕刻。另外，在陽極氧化中如上述那樣使用 從內(nèi)側(cè)支撐圓筒狀的鋁基材aL的支撐部件210的情況下，從成本和縮短處理時(shí)間的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選不從鋁基材aL拆卸支撐部件210地進(jìn)行蝕刻。下面，參照?qǐng)D16，說明不僅包含陽極氧化工序還包含蝕刻工序的陽極氧化層的形成工序。圖16 (a) 圖16 (e)是將鋁基材以及陽極氧化層的表面附近放大的示意圖。首先，如圖16 (a)所示，準(zhǔn)備鋁基材aL。如上所述，在該鋁基材aL上安裝有電極結(jié)構(gòu)100A。如圖16 (b)所示，通過對(duì)鋁基材aL的表面as進(jìn)行陽極氧化來形成具有多個(gè)細(xì)孔aq (微細(xì)凹部)的多孔氧化鋁層ap。多孔氧化鋁層ap具備具有細(xì)孔aq的多孔層和阻擋層。陽極氧化例如用陽極氧化處理裝置300 (圖10)進(jìn)行。陽極氧化例如在酸性的電解液中進(jìn)行。電解液例如是包含從草酸、酒石酸、磷酸、鉻酸、檸檬酸、蘋果酸組成的群中選出的酸的水溶液。例如，通過使用草酸水溶液(濃度0.3wt%、液溫18°C)對(duì)鋁基材aL的表面as以施加電壓80V進(jìn)行37秒鐘陽極氧化，來形成多孔氧化鋁層ap。通過調(diào)整陽極氧化條件(例如，電解液的種類、施加電壓)，能夠調(diào)節(jié)細(xì)孔間隔、細(xì)孔的深度、細(xì)孔的形狀等。此外，能夠適當(dāng)變更多孔氧化鋁層的厚度。在鋁基材aL的表面具有規(guī)定厚度的鋁膜的情況下，也可以將該鋁膜完全陽極氧化。如圖16 (c)所示，通過使多孔氧化鋁層ap接觸氧化鋁的蝕刻劑進(jìn)行蝕刻來擴(kuò)大細(xì)孔aq的孔徑。在此，通過采用濕式蝕刻，能夠?qū)?xì)孔壁和阻擋層大致各向同性地進(jìn)行蝕亥IJ。蝕刻例如用蝕刻處理裝置400 (圖15)進(jìn)行。調(diào)整蝕刻液的種類、濃度以及蝕刻時(shí)間，從而能夠控制蝕刻量(即細(xì)孔aq的大小和深度)。作為蝕刻液，例如能夠使用10質(zhì)量％的磷酸、蟻酸、醋酸、檸檬酸等有機(jī)酸的水溶液、鉻酸磷酸混合水溶液。例如，通過使用磷酸(濃度ImoI/L、液溫30°C )進(jìn)行29分鐘蝕刻來擴(kuò)大細(xì)孔aq。此外，也可以根據(jù)需要，如圖16 (d)所示，再次對(duì)鋁基材aL的表面進(jìn)行陽極氧化。在這種情況下，細(xì)孔aq向深度方向生長，并且多孔氧化鋁層ap變厚。在此，細(xì)孔aq的生長從已經(jīng)形成的細(xì)孔aq的底部開始，因此細(xì)孔aq的側(cè)面變?yōu)殡A梯狀。例如，該陽極氧化也可以用相同陽極氧化處理裝置300 (圖10)進(jìn)行。另外，根據(jù)需要，通過使多孔氧化鋁層ap接觸氧化鋁的蝕刻劑進(jìn)一步進(jìn)行蝕刻，從而進(jìn)一步擴(kuò)大細(xì)孔aq的孔徑。在此，蝕刻也可以用相同蝕刻處理裝置400 (參照?qǐng)D15)進(jìn)行。通過像這樣反復(fù)進(jìn)行上述的陽極氧化工序和蝕刻工序，如圖16 Ce)所示，得到具備具有期望的凹凸形狀的多孔氧化鋁層ap的陽極氧化層an。此外，在反復(fù)進(jìn)行陽極氧化工序和蝕刻工序的情況(即至少進(jìn)行2次陽極氧化工序的情況)下，優(yōu)選在最后進(jìn)行陽極氧化。陽極氧化層an的凹部aq具有越是深的部分越變窄的形狀。像這樣，形成設(shè)置有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)的陽極氧化層an。這種陽極氧化層an例如適用于作為用于實(shí)現(xiàn)防反射構(gòu)件的蛾眼結(jié)構(gòu)的模具。圖17中示出陽極氧化層an的示意性截面圖。如圖17所示，在陽極氧化層an的表面設(shè)置有多孔氧化鋁層ap。在此，細(xì)孔aq具有越是深的部分越變窄的尖狀形狀。按如上方式形成圓筒狀的陽極氧化層an。如上所述，圖14或圖17所示的陽極氧化層an被用作以輥到輥方式進(jìn)行轉(zhuǎn)印的模具。此外，在圓筒狀的鋁基材aL的表面形成了陽極氧化層an的情況下，若在轉(zhuǎn)印時(shí)只使用設(shè)置有陽極氧化層an的鋁基材aL，則有時(shí)會(huì)由于剛度、圓形度低而不能進(jìn)行充分的轉(zhuǎn)印。在這種情況下，通過在圓筒狀的鋁基材aL的內(nèi)部插入芯材，能夠改善陽極氧化層an的剛度、圓形度。例如，作為芯材，可以使用參照?qǐng)D5 圖8所述的支撐部件210。下面，參照?qǐng)D18說明使用陽極氧化層an的轉(zhuǎn)印。在此，使用圖17所示的陽極氧化層an。將表面有紫外線固化樹脂510的被加工物520按壓于陽極氧化層an的狀態(tài)下對(duì)紫外線固化樹脂510照射紫外線(UV)，將紫外線固化樹脂510固化。作為紫外線固化樹脂510，例如能夠使用丙烯系樹脂。被加工物520例如為TAC (Triacetyl cellulose ;三醋酸纖維素)膜。被加工物520由卷出 輥(未圖示)卷出，之后，例如利用狹縫涂敷器等對(duì)其表面賦予紫外線固化樹脂510。被加工物520由支撐輥532和534支撐。支撐輥532和534具有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，運(yùn)送被加工物520。另外，圓筒狀的陽極氧化層an以與被加工物520的運(yùn)送速度對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。之后，將陽極氧化層an從被加工物520分離，從而轉(zhuǎn)印了陽極氧化層an的凹凸結(jié)構(gòu)(反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu))的固化物層510’形成于被加工物520的表面。表面形成有固化物層510’的被加工物520由卷取輥卷取。此外，如上所述，優(yōu)選在不拆卸在陽極氧化和蝕刻中安裝于鋁基材aL的電極結(jié)構(gòu)100A的情況下，運(yùn)送基材保持裝置200。同樣地，優(yōu)選在不拆卸在陽極氧化和蝕刻中根據(jù)需要設(shè)置的支撐部件210的情況下，運(yùn)送基材保持裝置200。下面，參照?qǐng)D19說明運(yùn)送部件600。運(yùn)送部件600具備基材保持裝置200和底面部610，在底面部610上設(shè)置有基材保持裝置200。另外，運(yùn)送部件600也可以還具備與底面部610連結(jié)、包圍基材保持裝置200的框架部件620。例如，也可以通過將棒掛在設(shè)置于框架部件620的上方的掛鉤622上，使用起重機(jī)等將該棒與運(yùn)送部件600 —同吊起而使之移動(dòng)，來進(jìn)行運(yùn)送部件600的運(yùn)送。另外，運(yùn)送部件600也可以還具備圖10和圖11所示的電極結(jié)構(gòu)330或其下部分330a，在這種情況下，電極結(jié)構(gòu)330或其下部分330a經(jīng)由未圖示的支撐結(jié)構(gòu)安裝于底面部610。在進(jìn)行陽極氧化的情況下，運(yùn)送部件600被運(yùn)送到參照?qǐng)D10所述的陽極氧化處理裝置300的陽極氧化槽350內(nèi)，設(shè)置于陽極氧化處理裝置300。在這種情況下，也可以將底面部610或框架部件620與陰極電線320電連接。在進(jìn)行蝕刻的情況下，運(yùn)送部件600被運(yùn)送到參照?qǐng)D15所述的蝕刻處理裝置400的蝕刻槽410內(nèi)，設(shè)置于蝕刻處理裝置400。像這樣，運(yùn)送部件600也可以被用作陽極氧化處理裝置300和蝕刻處理裝置400的一部分。此外，在向蝕刻處理裝置400運(yùn)送時(shí)，也可以以拆卸了圖10和圖11所示的電極結(jié)構(gòu)330或其上部分330b的狀態(tài)運(yùn)送運(yùn)送部件600。此外，在上述的說明中，電極結(jié)構(gòu)100A包括2個(gè)電極部100a、100b，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。電極結(jié)構(gòu)100A也可以包括3個(gè)以上的電極部。例如，電極結(jié)構(gòu)100A也可以包括4個(gè)電極部?；蛘呷鐖D20所示，電極結(jié)構(gòu)100A也可以包括I個(gè)電極部。此外，在上述的說明中，在陽極氧化工序和蝕刻工序中，圓筒狀或圓柱狀的鋁基材aL以其母線與重力方向正交的方式配置，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。圓筒狀或圓柱狀的鋁基材aL也可以以其母線與重力方向平行的方式配置。在這種情況下，優(yōu)選在鋁基材aL上安裝I個(gè)電極結(jié)構(gòu)100A。例如，電極結(jié)構(gòu)100A安裝于鋁基材aL的上部。(實(shí)施方式2) 在上述的說明中，電極10和引線40通常電連接，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。電極10和引線40的導(dǎo)通和絕緣可以根據(jù)條件來切換。下面，參照?qǐng)D21和圖22說明本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第2實(shí)施方式。圖21是從y方向觀察本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)100B的示意性截面圖，圖22是將電極結(jié)構(gòu)100B的一部分放大的示意圖。本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)100B除了電極和引線的電連接是可切換的方面之外，具有與上述的電極結(jié)構(gòu)100A同樣的構(gòu)成，為了避免冗長而省略重復(fù)說明。在此，電極結(jié)構(gòu)100B也包括電極部100a、100b，電極部100a、IOOb分別具備:電極
10、固定部件20、彈性部件30、引線40以及蓋部件50。引線40在有的條件下與電極10電連接，但在其他條件下與電極10絕緣。在電極結(jié)構(gòu)100B中，電極部100a、IOOb還分別具備:在蓋部件50中挑出螺紋而形成的帶螺紋部72 ;與帶螺紋部72螺合的絕緣性的螺絲74 ;在蓋部件50的內(nèi)部與引線40電連接的導(dǎo)電部件76 ;以及在支撐螺絲74的頂端的導(dǎo)電部件76中設(shè)置的軸承78。在此，螺絲74由樹脂形成，螺絲74例如由聚四氯乙烯形成。例如，引線40由螺絲固定于導(dǎo)電部件76。導(dǎo)電部件76例如由鋁形成。例如，導(dǎo)電部件76由3N (99.9質(zhì)量％)以上的純度的鋁形成。若旋緊螺絲74，則導(dǎo)電部件76向接近電極10的連接區(qū)域14的方向移動(dòng)。若將螺絲74旋緊到某種程度，則導(dǎo)電部件76與電極10的連接區(qū)域14接觸，引線40經(jīng)由導(dǎo)電部件76與電極10電連接。與此相對(duì)，若旋松螺絲74，則導(dǎo)電部件76向離開電極10的連接區(qū)域14的方向移動(dòng)。若將螺絲74旋松到某種程度，則導(dǎo)電部件76離開電極10的連接區(qū)域14，引線40與電極10絕緣。另外，在此，電極部IOOaUOOb還分別具備在旋緊螺絲74的情況下與導(dǎo)電部件76接觸的絕緣部件79。在將螺絲74完全旋緊的情況下，電極10的連接區(qū)域14被夾在導(dǎo)電部件76和絕緣部件79之間，其結(jié)果是，電源(未圖示)經(jīng)由引線40、導(dǎo)電部件76以及電極10與鋁基材aL電連接。像這樣導(dǎo)電部件76隨螺絲74相對(duì)于電極10的連接區(qū)域14移動(dòng)，從而能夠切換電極10，進(jìn)而切換鋁基材aL和引線40的電連接。此外，也可以對(duì)安裝有電極結(jié)構(gòu)100B的鋁基材aL，如參照?qǐng)D16所述那樣，不僅進(jìn)行陽極氧化還進(jìn)行蝕刻。此外，若在蝕刻時(shí)蝕刻液侵入蓋部件50內(nèi)，則有時(shí)會(huì)發(fā)生電化學(xué)腐蝕。特別是，在蝕刻時(shí)間長的情況下，容易發(fā)生電化學(xué)腐蝕。在電極結(jié)構(gòu)100B中，在蝕刻時(shí)，由于鋁基材aL與引線40絕緣，因而即使蝕刻液浸入蓋部件50內(nèi)，也能夠抑制電化學(xué)腐蝕。此外，在上述的說明中，電極部IOOaUOOb分別設(shè)置有帶螺紋部72、螺絲74、導(dǎo)電部件76以及軸承78各I個(gè)，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。另外，在上述的說明中，電極部100a、IOOb各自的蓋部件50由I根引線40貫通，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。圖23中示出另一電極結(jié)構(gòu)100B的示意圖。在該電極結(jié)構(gòu)100B中，電極部IOOa具有:在蓋部件50中挑出螺紋而形成的帶螺紋部72a、72b ;分別與帶螺紋部72a、72b螺合的螺絲74a、74b ;在蓋部件50的內(nèi)部分別與引線40a、40b電連接的導(dǎo)電部件76a、76b ;以及在支撐螺絲74a、74b的頂端的導(dǎo)電部件76a、76b中分別設(shè)置的軸承78a、78b。在旋緊螺絲74a、74b中的至少一者的情況下，電極10與引線40a、40b電連接。與此相對(duì)，在旋開螺絲74a、74b兩者的情況下，電極10與引線40a、40b絕緣。一般來說，若長時(shí)間使用陽極氧化層進(jìn)行轉(zhuǎn)印，則需要更換電極10，但通過像這樣，在每個(gè)電極10設(shè)置引線40a、40b、螺絲74a、74b、導(dǎo)電部件76a、76b、軸承78a、78b，能夠簡便地進(jìn)行電極10的更換。圖24中示出由安裝了圖23所示的電極結(jié)構(gòu)100B的鋁基材aL形成的陽極氧化層的SEM圖像。在此，鋁基 材aL如參照?qǐng)D12所述那樣，具有圓筒狀的支撐體21、絕緣層22以及鋁膜25。鋁基材aL的外徑約為300mm，母線的長度約為1500mm。支撐體21為厚度100 u m的金屬套筒。具體來說，使用無縫鎳金屬套筒作為支撐體21。絕緣層22為厚度10 以上100 u m以下的丙烯密胺樹脂，例如用電沉積法形成。在絕緣層22上沉積有厚度約I U m的鋁膜25。對(duì)該鋁基材aL安裝本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)100B進(jìn)行陽極氧化和蝕刻。陽極氧化使用參照?qǐng)D10所述的陽極氧化處理裝置300來進(jìn)行。具體來說，使用溫度5°C、濃度
0.05mol/L的草酸作為電解液。電壓為80V,處理時(shí)間為I分鐘。蝕刻使用參照?qǐng)D15所述的蝕刻處理裝置400來進(jìn)行。具體來說，使用溫度30°C、濃度lmol/L的磷酸作為蝕刻液。處理時(shí)間為20分鐘。在此，分別交替進(jìn)行5次陽極氧化、4次蝕刻。為了比較，圖25中示出對(duì)不安裝電極結(jié)構(gòu)100B地與引線電連接的同樣的鋁基材aL進(jìn)行同樣的陽極氧化和蝕刻而形成的陽極氧化層的SEM圖像。由圖25可知，在該陽極氧化層的表面產(chǎn)生電化學(xué)腐蝕。電化學(xué)腐蝕是由于蝕刻液侵入鋁基材和電極的接觸部分而造成的。由圖24與圖25的比較可知，通過安裝電極結(jié)構(gòu)100B，能夠形成設(shè)置有大致均勻的凹部的陽極氧化層。
此外，在上述的說明中，電極結(jié)構(gòu)100B包括2個(gè)電極部100a、100b，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。電極結(jié)構(gòu)100B也可以包括3個(gè)以上的電極部。例如，電極結(jié)構(gòu)100B也可以包括4個(gè)電極部?；蛘唠姌O結(jié)構(gòu)100B也可以包括I個(gè)電極部。另外，在上述的說明中，在電極結(jié)構(gòu)100B中，引線40和鋁基材aL的電連接使用螺絲74等來切換，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。例如，也可以在蓋部件50內(nèi)設(shè)置切換開關(guān)來切換電連接。(實(shí)施方式3)下面，參照?qǐng)D26和圖27說明本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)的第3實(shí)施方式。圖26 (a)是從y方向觀察的電極結(jié)構(gòu)100C的示意圖，圖26 (b)是從X方向觀察的電極結(jié)構(gòu)100C的示意圖。電極結(jié) 構(gòu)100C用于進(jìn)行圓筒狀或圓柱狀的鋁基材的陽極氧化。在此，電極結(jié)構(gòu)100C包括4個(gè)電極部100a、100b、100c、IOOcL電極部100a、100b、100c、IOOd分別與相鄰的2個(gè)電極部由螺絲(未圖示)固定。電極部100a、100b、100c、IOOd分別具備:電極10、固定部件20、彈性部件30、引線40以及蓋部件50。在此，電極10為塊狀的部件。另外，固定部件20、彈性部件30分別具有大致圓筒形狀。固定部件20設(shè)置有凹部20a，電極10配置于固定部件20的凹部20a。彈性部件30設(shè)置在鋁基材aL和固定部件20之間，彈性部件30以使電極10的一部分露出的方式設(shè)置有開口部30a。電極10貫通彈性部件30的開口部30a而與鋁基材aL (圖26中未圖示)接觸。鋁電極10的鋁的純度比鋁基材aL的純度低。例如，鋁基材aL的表面由純度99.99質(zhì)量％ (有時(shí)寫為4N。)以上的鋁形成，而鋁電極10由純度99.50質(zhì)量％以上的鋁形成。在電極結(jié)構(gòu)100C中，固定部件20和蓋部件50 —體形成。例如，固定部件20和蓋部件50包括樹脂層。例如，樹脂層由縮醛樹脂形成。在蓋部件50的一部分設(shè)置有開口部50a，蓋部件50以引線40貫通了開口部50a的狀態(tài)被封閉。例如，在開口部50a設(shè)置有橡皮塞52。此外，開口部50a也可以用密封材料密封，或者開口部50a也可以使用螺絲封閉。另外，在此，在蓋部件50和電極10之間還設(shè)置有彈性部件32，抑制電極10被施加不必要的力。圖27(a)中示出將電極結(jié)構(gòu)100C的內(nèi)側(cè)表面的一部分放大了的示意圖，圖27(b)中示出沿著圖27 Ca)的27b - 27b’線的示意性截面圖。在本實(shí)施方式的電極結(jié)構(gòu)100C中，電極10被固定部件20和彈性部件30覆蓋。因此，即使在陽極氧化時(shí)將安裝有電極結(jié)構(gòu)100C的鋁基材aL浸潰于電解液，電解液也不會(huì)侵入到電極10。在電極結(jié)構(gòu)100C中，電極10和彈性部件30形成與鋁基材aL的圓筒狀或圓柱狀的外側(cè)表面對(duì)應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面。另外,彈性部件30配置于鋁基材aL和固定部件20之間。因此，經(jīng)由彈性部件30的開口部30a露出的電極10能夠與圓筒狀或圓柱狀的鋁基材aL的外側(cè)表面可靠地接觸。另外，即使鋁基材aL的表面稍有變形，也能可靠地進(jìn)行鋁基材aL和電極10的接觸。另外，在將電極結(jié)構(gòu)100C安裝到鋁基材aL之前的狀態(tài)下，電極10的表面比彈性部件30的表面稍微突出一些。例如，電極10的表面比彈性部件30的表面突出0.2mm。從而，在將電極結(jié)構(gòu)100C安裝到鋁基材aL時(shí)，能夠可靠地進(jìn)行電極10和鋁基材aL的電連接。此外，也可以按照彈性部件30的硬度而改變電極10的突出部分的大小。
此外，在上述的說明中，電極結(jié)構(gòu)100C包括4個(gè)電極部，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。電極結(jié)構(gòu)100C也可以包括2個(gè)電極部?；蛘唠姌O結(jié)構(gòu)100C也可以包括I個(gè)電極部。工業(yè)h的可利用件根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，能夠提供抑制電極和鋁基材的接觸不良并且抑制電解液的侵入的電極結(jié)構(gòu)。通過使用這種電極結(jié)構(gòu)，能夠均勻進(jìn)行陽極氧化。附圖標(biāo)記說明
10 電極 20固定部件 30彈性部件 40 引線 50 蓋部件 50a 開口部
100A, 100B、IOOC 屯極結(jié)構(gòu) 100a、10 0b、100c、IOOd 丨[!極部
權(quán)利要求
1.一種電極結(jié)構(gòu)， 其用于對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽極氧化， 具備: 鋁電極，其與上述鋁基材的表面接觸； 固定部件，其將上述鋁電極固定于上述鋁基材的表面； 彈性部件，其配置于上述固定部件和上述鋁基材之間； 引線，其至少在有的條件下與上述鋁電極電連接；以及 蓋部件，其設(shè)置有開口部，并且覆蓋上述鋁電極的至少一部分，以上述引線貫通了上述蓋部件的上述開口部的狀態(tài)被封閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求 1所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述電極結(jié)構(gòu)具備多個(gè)電極部，上述多個(gè)電極部各自具有上述鋁電極、上述固定部件、上述彈性部件、上述引線以及上述蓋部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述鋁基材為圓筒狀或圓柱狀， 上述多個(gè)電極部安裝于上述鋁基材的外側(cè)表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述固定部件設(shè)置有開口部， 上述鋁電極具有: 接觸區(qū)域，其設(shè)置于上述鋁基材和上述彈性部件之間；以及 連接區(qū)域，其經(jīng)由上述固定部件的上述開口部與上述接觸區(qū)域電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述鋁電極包含上述接觸區(qū)域和上述連接區(qū)域連續(xù)的導(dǎo)電膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述弓I線在其他條件下與上述鋁電極絕緣。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電極結(jié)構(gòu)， 具有: 帶螺紋部，其是在上述蓋部件中挑出螺紋而形成的； 絕緣性的螺絲，其與上述帶螺紋部螺合； 導(dǎo)電部件，其在上述蓋部件的內(nèi)部與上述引線電連接；以及 軸承，其設(shè)置于上述導(dǎo)電部件，支撐上述螺絲的頂端。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電極結(jié)構(gòu)， 在旋緊上述螺絲的情況下，上述導(dǎo)電部件接觸上述鋁電極，上述導(dǎo)電部件與上述鋁電極電連接， 在旋松上述螺絲的情況下，上述導(dǎo)電部件離開上述鋁電極，上述導(dǎo)電部件與上述鋁電極絕緣。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 在上述蓋部件的上述開口部設(shè)置有橡皮塞。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述蓋部件由螺絲固定于上述固定部件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述固定部件包含樹脂層。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述蓋部件與上述固定部件一體形成。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述蓋部件和上述固定部件包括樹脂層。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的電極結(jié)構(gòu)， 上述彈性部件設(shè)置有開口部， 上述鋁電極經(jīng)由上述彈性部件的開口部與上述鋁基材電連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求12至14中的任一項(xiàng)所述的電極結(jié)構(gòu)， 在安裝于上述鋁基材之前的上述電極結(jié)構(gòu)中，上述鋁電極以上述鋁電極的表面比上述彈性部件的表面突出的方式配置。
16.一種基材保持裝置， 具備: 權(quán)利要求1至15中的任一項(xiàng)所述的至少I個(gè)電極結(jié)構(gòu)，其安裝于圓筒狀的鋁基材；以 及 支撐部件，其從上述圓筒狀的鋁基材的內(nèi)側(cè)表面支撐上述鋁基材。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基材保持裝置， 上述支撐部件包含: 電極相對(duì)支撐部件，其隔著上述鋁基材與上述電極結(jié)構(gòu)相對(duì)；以及 電極非相對(duì)支撐部件，其以不與上述電極結(jié)構(gòu)相對(duì)的方式支撐上述鋁基材。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的基材保持裝置， 上述至少I個(gè)電極結(jié)構(gòu)具有:第I電極結(jié)構(gòu)；以及第2電極結(jié)構(gòu)，其安裝于與上述第I電極結(jié)構(gòu)不同的位置。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基材保持裝置， 上述電極相對(duì)支撐部件包含: 上述第I電極相對(duì)支撐部件，其隔著上述鋁基材與上述第I電極結(jié)構(gòu)相對(duì)，以及 上述第2電極相對(duì)支撐部件，其隔著上述鋁基材與上述第2電極結(jié)構(gòu)相對(duì)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基材保持裝置， 上述電極非相對(duì)支撐部件配置于上述第I電極相對(duì)支撐部件和上述第2電極相對(duì)支撐部件之間。
21.根據(jù)權(quán)利要求17至20中的任一項(xiàng)所述的基材保持裝置， 上述電極相對(duì)支撐部件和上述電極非相對(duì)支撐部件分別具有圓盤形狀， 上述電極相對(duì)支撐部件的直徑的最大值比上述鋁基材的內(nèi)徑大， 上述電極相對(duì)支撐部件的直徑的最小值和上述電極非相對(duì)支撐部件的直徑的最大值比上述鋁基材的內(nèi)徑小。
22.根據(jù)權(quán)利要求17至21中的任一項(xiàng)所述的基材保持裝置， 上述電極相對(duì)支撐部件和上述電極非相對(duì)支撐部件分別設(shè)置有開口部。
23.根據(jù)權(quán)利要求17至22中的任一項(xiàng)所述的基材保持裝置，上述電極相對(duì)支撐部件比上述電極非相對(duì)支撐部件厚。
24.一種陽極氧化層的形成方法， 包含: 準(zhǔn)備招基材的工序； 將上述鋁基材安裝于電極結(jié)構(gòu)的工序，上述電極結(jié)構(gòu)具備:鋁電極，其與上述鋁基材的表面接觸；固定部件，其將上述鋁電極固定于上述鋁基材的表面；彈性部件，其配置于上述固定部件和上述鋁基材之間；引線，其至少在有的條件下與上述鋁電極電連接；以及蓋部件，其設(shè)置有開口部，并且覆蓋上述鋁電極的至少一部分，以上述引線貫通了上述蓋部件的上述開口部的狀態(tài)被封閉；以及 在使上述鋁基材的表面接觸電解液的狀態(tài)下進(jìn)行陽極氧化的工序。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的陽極氧化層的形成方法， 在上述準(zhǔn)備鋁基材的工序中，上述鋁基材為圓筒狀或圓柱狀。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的陽極氧化層的形成方法， 在上述安裝電極結(jié)構(gòu)的工序中，上述電極結(jié)構(gòu)具有多個(gè)電極部，上述多個(gè)電極部各自具備上述鋁電極、上述固定部件、上述彈性部件、上述引線以及上述蓋部件，上述多個(gè)電極部各自的鋁電極具有:接觸區(qū)域，其設(shè)置于上述鋁基材和上述彈性部件之間；以及連接區(qū)域，其經(jīng)由上述固定部件的上述開口部與上述接觸區(qū)域電連接，上述多個(gè)電極部各自的上述接觸區(qū)域構(gòu)成為圈狀。
27.根據(jù)權(quán)利要求24至26中的任一項(xiàng)所述的陽極氧化層的形成方法， 還包含在進(jìn)行上述陽極氧化后進(jìn)行上述鋁基材的蝕刻的工序。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的陽極氧化層的形成方法， 上述進(jìn)行陽極氧化的工序是在上述引線和上述鋁電極電連接的狀態(tài)下進(jìn)行， 上述進(jìn)行蝕刻的工序是在上述引線和上述鋁電極絕緣的狀態(tài)下進(jìn)行。
全文摘要
本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)(100)具備鋁電極(10)，其與鋁基材的表面接觸；固定部件(20)，其將鋁電極(10)固定于鋁基材的表面；彈性部件(30)，其配置于固定部件(20)和鋁基材之間；引線(40)，其至少在有的條件下與鋁電極(10)電連接；以及蓋部件(50)，其以引線(40)貫通了開口部(50a)的狀態(tài)被封閉。
文檔編號(hào)C25D17/10GK103228820SQ201180057110
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2011年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者林秀和, 箕浦潔, 石動(dòng)彰信 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社