一種雙面電泳架裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及雙面GPP保護(hù)晶體管芯片生產(chǎn)設(shè)備，具體是一種改造后的電泳用雙面電泳架裝置。雙面電泳架包括橫梁、負(fù)極板、正極環(huán)、托板、定位板、插槽和側(cè)板，其中橫梁的兩端水平固定在兩側(cè)板的上部?jī)?nèi)側(cè)，兩定位板分別固定在兩側(cè)板的上部外側(cè)，用于與電泳設(shè)備電源連接的插槽固定在其中的一個(gè)側(cè)板的上端，托板的兩端水平固定在兩側(cè)板的下部?jī)?nèi)側(cè)，數(shù)個(gè)負(fù)極板和正極環(huán)依次交替固定在托板上。使用雙面電泳架裝置，硅片兩面同時(shí)電泳一致性好，避免兩次單面電泳造成的硅片兩面玻璃層厚度不一致的問(wèn)題，兩面同時(shí)電泳不易損壞，由此提高了產(chǎn)品良率及可靠性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種雙面電泳架裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及雙面GPP保護(hù)晶體管芯片生產(chǎn)設(shè)備，具體是一種改造后的電泳用 雙面電泳架裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)雙面GPP保護(hù)晶體管(二極管、放電管等)芯片兩面都需要 進(jìn)行玻璃鈍化保護(hù)，雙面電泳工藝通常采用先電泳一面，再電泳另一面的工藝。現(xiàn)有技術(shù)存 在問(wèn)題：1、兩次電泳造成兩面的玻璃層厚度不一致， 2、在第二次電泳后，發(fā)現(xiàn)第一次電泳面 外圍的部分區(qū)域玻璃脫落，產(chǎn)生參數(shù)不良、良率低及可靠性差等問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本實(shí)用新型的目的就是為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種雙面電泳架裝置。通過(guò) 使用重新設(shè)計(jì)的雙面電泳架裝置進(jìn)行雙面一次電泳工藝，可以提高產(chǎn)品的良率及可靠性。 [0004]本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是：一種雙面電泳架裝置，其特征在于：包括橫梁、負(fù) 極板、正極環(huán)、托板、定位板、插槽和側(cè)板，其中橫梁的兩端水平固定在兩側(cè)板的上部?jī)?nèi)側(cè)， 兩定位板分別固定在兩側(cè)板的上部外側(cè)，用于與電泳設(shè)備電源連接的插槽固定在其中的一 個(gè)側(cè)板的上端，托板的兩端水平固定在兩側(cè)板的下部?jī)?nèi)側(cè)，數(shù)個(gè)負(fù)極板和正極環(huán)依次交替 固定在托板上。
[0005]本實(shí)用新型所產(chǎn)生的有益效果是：使用雙面電泳架，硅片兩面同時(shí)電泳一致性好， 避免兩次單面電泳造成的硅片兩面玻璃層厚度不一致的問(wèn)題，兩面同時(shí)電泳不易損壞，由 此提尚了廣品良率及可靠性。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0006] 圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0007] 圖2是圖1中正極環(huán)結(jié)構(gòu)側(cè)視局部放大圖；
[0008]圖3是圖1中負(fù)極板結(jié)構(gòu)平面示意圖；
[0009] 圖4是側(cè)托板結(jié)構(gòu)局部放大示意圖；
[0010] 圖5是中托板結(jié)構(gòu)局部放大示意圖；
[0011]圖6是兩側(cè)側(cè)托板和中托板相對(duì)位置局部放大示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0012]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明：
[0013]參照?qǐng)D1，一種雙面電泳架裝置包括橫梁1、負(fù)極板2、正極環(huán)3、托板4、定位板5、 插槽6和側(cè)板7,其中橫梁1的兩端水平固定在兩側(cè)板7的上部?jī)?nèi)側(cè)，兩定位板5分別固定 在兩側(cè)板7的上部外側(cè)，用于與電泳設(shè)備電源連接的插槽6固定在其中的一個(gè)側(cè)板7的上 端，托板4的兩端水平固定在兩側(cè)板7的下部?jī)?nèi)側(cè)，數(shù)個(gè)負(fù)極板2和正極環(huán)3依次交替固定 在托板4上。
[0014] 參照?qǐng)D2和圖3,固定在托板4上的負(fù)極板2包括加工為一體的負(fù)極板體2A和導(dǎo) 線連接頭2B ;固定在托板4上的正極環(huán)3包括加工為一體的外環(huán)3A和內(nèi)環(huán)3B。
[0015] 參照?qǐng)D4、圖5和圖6,本實(shí)施例的托板4為分體結(jié)構(gòu)，包括兩側(cè)的側(cè)托板4A和中 托板4B，兩側(cè)的側(cè)托板4A上分別依次交替設(shè)有數(shù)個(gè)負(fù)極板槽4A1和正極環(huán)槽4A2,同時(shí)在 兩側(cè)的側(cè)托板4A兩端的側(cè)面設(shè)有安裝孔4A3,中托板4B上依次交替對(duì)應(yīng)設(shè)有數(shù)個(gè)負(fù)極板 槽4B1和Y型觸點(diǎn)4B2,同時(shí)在中托板4B -端的側(cè)面設(shè)有導(dǎo)線槽4B3,在中托板4B兩端的 側(cè)面設(shè)有安裝孔4B4,中托板4B的兩端水平固定在兩側(cè)板7的下部?jī)?nèi)側(cè)，兩側(cè)的側(cè)托板4A 對(duì)稱(chēng)位于中托板4B左右上方，且向內(nèi)側(cè)傾斜并留有間距，分別固定在兩側(cè)板7的下部?jī)?nèi)側(cè)， 即兩側(cè)的側(cè)托板4A和中托板4B組成弧形。
[0016] 參照?qǐng)D4和圖6,兩側(cè)的側(cè)托板4A上的正極環(huán)槽4A2設(shè)于加固和加高部分，加固和 加局部分的局度為2土0· 3mm，覽度為10土0· 3mm。因?yàn)檎龢O環(huán)反復(fù)插拔，因此對(duì)正極環(huán)槽進(jìn) 行加高加固。
[0017] 本實(shí)施例設(shè)計(jì)尺寸：以4英寸硅片使用雙面電泳架的設(shè)計(jì)為例：中托板4B與兩側(cè) 托板4A間距為40±0· 3畫(huà)，兩側(cè)托板4A向內(nèi)側(cè)傾斜角度為45±2°，負(fù)極板體2A圓形部分 直徑為1〇5±0_ 3mm，厚度為1±0· 〇5mm，導(dǎo)線接線頭2B寬度為15±0· 3mm，長(zhǎng)度為±〇. 3mm， 負(fù)極板槽4A1寬度為1· 1±0· 〇5mm mm，正極環(huán)槽4A2寬度為2· 1±0· 05mm，外環(huán)外圓直徑為 1〇5±0· 3臟，環(huán)寬（即外表面半徑與內(nèi)表面半徑之差)為2±0· 05咖，厚度為1±〇· 〇5mm,內(nèi)環(huán) 內(nèi)圓直徑為98±0· 3mm,厚度為0. 8±0· 05mm,負(fù)極板2與正極環(huán)3的間距為30±5mm。
[0018] 雙面電泳架裝置根據(jù)被加工硅片的尺寸進(jìn)行設(shè)計(jì)，其中正極環(huán)的內(nèi)環(huán)外側(cè)的圓直 徑比硅片直徑略大，內(nèi)側(cè)的圓的直徑比硅片直徑略小，內(nèi)環(huán)與外環(huán)的厚度差小于硅片厚度， 保證硅片與正極環(huán)接觸良好，同時(shí)保護(hù)硅片，負(fù)極板外徑與正極環(huán)外徑相等。托板 4結(jié)構(gòu)尺 寸則根據(jù)負(fù)極板和正極環(huán)的尺寸進(jìn)行設(shè)計(jì)。
[0019]本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)原理及裝配關(guān)系如下：固定在一側(cè)側(cè)板7上端的插槽6與電泳 設(shè)備的插頭匹配，兩側(cè)側(cè)板7與橫梁1、定位板5用螺絲連接，電泳設(shè)備上的定位柱插入定 位板上的孔，使電泳架與電泳設(shè)備的位置固定。托板4由兩側(cè)托板4A和中托板4B共三塊 托板組成，三塊托板組成弧形，并通過(guò)兩側(cè)托板4A上的安裝孔4A3和中托板4B上的安裝孔 4B4與側(cè)板7使用螺絲連接，負(fù)極板2插入三塊托板(兩側(cè)托板4A和中托板4B)構(gòu)成的弧形 的負(fù)極板槽中，負(fù)極板 2的導(dǎo)線連接頭2B穿過(guò)中托板4B的負(fù)極板槽4B1，在中托板4B下通 過(guò)導(dǎo)線與插槽6相連。在進(jìn)行雙面電泳時(shí)，將需要電泳的硅片放在正極環(huán) 3的外環(huán)3A和內(nèi) 環(huán)3B中間，然后插入兩側(cè)托板4A的正極環(huán)槽4A2中，同時(shí)保證與中托板4B上的Y型觸點(diǎn) 4B2良好接觸，將電泳架放入電泳液進(jìn)行電泳，電泳設(shè)備插頭與插槽6連接，通電后，因?yàn)楣?片與正極環(huán)3接觸，硅片與正極環(huán)3同時(shí)帶正電，相鄰兩側(cè)負(fù)極板帶負(fù)電，可以使電泳液在 電場(chǎng)的作用下向硅片運(yùn)動(dòng)，沉積在溝槽上，形成玻璃層。
[0020]本實(shí)用新型的負(fù)極板、正極環(huán)及定位板材質(zhì)為不銹鋼、其它結(jié)構(gòu)件材料為四氟乙 稀。
[0021]以上4英寸硅片雙面一次電泳后的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)見(jiàn)下表(玻璃層厚度規(guī)范值： 20±3um):
[0022]

【權(quán)利要求】
1. 一種雙面電泳架裝置，其特征在于：包括橫梁（1)、負(fù)極板（2)、正極環(huán)（3)、托板 (4)、定位板（5)、插槽（6)和側(cè)板（7)，其中橫梁（1)的兩端水平固定在兩側(cè)板（7)的上部?jī)?nèi) 偵牝兩定位板（5)分別固定在兩側(cè)板（7)的上部外側(cè)，用于與電泳設(shè)備電源連接的插槽（6) 固定在其中的一個(gè)側(cè)板（7)的上端，托板（4)的兩端水平固定在兩側(cè)板（7)的下部?jī)?nèi)側(cè)，數(shù) 個(gè)負(fù)極板（2)和正極環(huán)（3)依次交替固定在托板（4)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面電泳架裝置，其特征在于：所述固定在托板（4)上的 負(fù)極板（2)包括加工為一體的負(fù)極板體（2A)和導(dǎo)線連接頭（2B);所述固定在托板（4)上的 正極環(huán)（3)包括加工為一體的外環(huán)（3A)和內(nèi)環(huán)（3B)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙面電泳架裝置，其特征在于：所述的托板（4)為分體 結(jié)構(gòu)，包括兩側(cè)的側(cè)托板（4A)和中托板（4B)，兩側(cè)的側(cè)托板（4A)上分別依次交替設(shè)有數(shù) 個(gè)負(fù)極板槽（4A1)和正極環(huán)槽（4A2)，同時(shí)在兩側(cè)的側(cè)托板（4A)兩端的側(cè)面設(shè)有安裝孔 (4A3)，中托板（4B)上依次交替對(duì)應(yīng)設(shè)有數(shù)個(gè)負(fù)極板槽（4B1)和Y型觸點(diǎn)（4B2)，同時(shí)在中 托板（4B) -端的側(cè)面設(shè)有導(dǎo)線槽（4B3)，在中托板（4B)兩端的側(cè)面設(shè)有安裝孔（4B4)，中托 板（4B)的兩端水平固定在兩側(cè)板（7)的下部?jī)?nèi)側(cè)，兩側(cè)的側(cè)托板（4A)對(duì)稱(chēng)位于中托板（4B) 左右上方，且向內(nèi)側(cè)傾斜并留有間距，分別固定在兩側(cè)板（7)的下部?jī)?nèi)側(cè)，即兩側(cè)的側(cè)托板 (4A)和中托板（4B)組成弧形。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種雙面電泳架裝置，其特征在于：所述的兩側(cè)的側(cè)托板 (4A)上的正極環(huán)槽（4A2)設(shè)于加固和加高部分，加固和加高部分的高度為2±0. 3mm，寬度 為 10±0. 3mm。
【文檔編號(hào)】C25D13/16GK204039533SQ201420487058
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】薄勇, 楊玉聰, 劉玉濤, 安毅力, 王曉捧 申請(qǐng)人:天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司