本發(fā)明屬于有機(jī)自發(fā)光二極管（oled）制造領(lǐng)域，具體涉及一種用于高精度金屬掩模板（fmm）蒸鍍后除去掩膜版表面及狹縫中各類污染物的電解清洗液。

背景技術(shù)：

1、有機(jī)自發(fā)光二極管（oled）由于其超高對比、逼真色彩、外形輕薄、高清高刷新率等特點已成為第三代主流顯示技術(shù)。目前主流的oled屏幕絕大多數(shù)都為主動驅(qū)動式有機(jī)自發(fā)光二極管（amoled）。從amoled的制備流程來看，其關(guān)鍵的三大技術(shù)分別是：背板技術(shù)、蒸鍍技術(shù)、封裝技術(shù)。蒸鍍技術(shù)除了需要精密的蒸鍍設(shè)備之外，還需要用于蒸鍍的高精度金屬掩模板（fmm），fmm決定了oled顯示屏像素高低和尺寸大小。fmm是一種成本昂貴的損耗品，通常會反復(fù)使用。而在蒸鍍過程及蒸鍍后的清洗中，蒸鍍材料和各類雜質(zhì)在會在fmm上沉積和附著，常規(guī)的n-甲基吡咯烷酮（nmp）只能去除有機(jī)發(fā)光材料，而工序流轉(zhuǎn)中產(chǎn)生的其他雜質(zhì)，諸如灰塵、細(xì)小顆粒和纖維絲等，極易殘留在fmm的狹縫中，如沒能洗凈，會影響再次蒸鍍的效果，堵塞開孔甚至影響fmm的使用壽命。

2、目前，為解決fmm上其他雜質(zhì)的清洗問題，一般采用電解清洗法，即將fmm作為陰極浸泡于電解清洗液中，通以直流電時，由于極化作用，陰極會產(chǎn)生細(xì)密的氣泡，當(dāng)氣泡聚集形成氣流從污物與fmm的間隙中逸出時，可起到鼓動和攪拌剝離的作用，使雜質(zhì)從fmm表面和狹縫中清除，達(dá)到清洗效果。因此，電解清洗液的清洗能力對fmm的清洗效果非常關(guān)鍵。目前市面上的電解清洗液對雜質(zhì)中細(xì)小顆粒物（particle）污染的清洗較差，需要加大電流、提升溫度或延長清洗時間達(dá)到清洗效果。而電解清洗液在長期循環(huán)使用過程中，加大電流或是電解時清洗液溫度提升，均會導(dǎo)致溶液濃度增加，且當(dāng)環(huán)境溶液中存在氧、氯離子等侵蝕性組分的條件下，掩膜版會遭到不同程度的腐蝕，因而使用目前市面上的清洗液，往往都存在腐蝕現(xiàn)象?。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于以上現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明提供了一種oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其可解決現(xiàn)有技術(shù)中fmm表面及狹縫中的灰塵、細(xì)小顆粒、油污、纖維絲等產(chǎn)生的污染，清洗效果優(yōu)異，并能有效防止對fmm的腐蝕，提高電解效率，易漂洗，無殘留。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

3、一種oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，以質(zhì)量百分?jǐn)?shù)之和為100%計，其所用原料及各原料占比為：無機(jī)堿5%~10%、螯合劑3%-10%、表面活性劑3%~10%、抗蝕劑0.1%-1%、有機(jī)助劑8%-15%、余量為去離子水。

4、進(jìn)一步地，所述無機(jī)堿為氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀中的任意一種或多種。無機(jī)堿在電解液中主要作為電解質(zhì)，同時堿性條件也有利于污染物的清洗。

5、進(jìn)一步地，所述螯合劑為羧甲基淀粉鈉（cms），cms能夠很好的封閉金屬離子，具有良好的懸浮、分散以及防止固體污垢再沉淀造成二次污染的能力，同時cms可以生物降解，對環(huán)境友好。

6、進(jìn)一步地，所述表面活性劑是由油酰二乙醇胺（odea）與椰油酸二乙醇酰胺聚氧乙烯醚（poea-15）按質(zhì)量比3:7復(fù)配而成。odea與poea-15復(fù)配，表面活性劑分子間存在強(qiáng)烈相互作用而產(chǎn)生協(xié)同效應(yīng)，能更有效降低體系表面張力，同時增加在強(qiáng)堿條件下體系的穩(wěn)定性。

7、進(jìn)一步地，所述抗蝕劑為巰基苯駢噻唑（mbt）。mbt對fmm主要的材料——因瓦合金也具有較好的防腐蝕性能，其主要依靠和金屬表面上的活性金屬原子或金屬離子產(chǎn)生一種化學(xué)吸附作用；或進(jìn)而發(fā)生螯合作用，以形成一層致密而牢固的保護(hù)膜，使因瓦合金得到良好的保護(hù)。

8、進(jìn)一步地，所述有機(jī)助劑由醇類和醇醚類按質(zhì)量比1:1組成。

9、更進(jìn)一步地，所述醇類選自乙醇、乙二醇、丙醇、丙二醇等中的一種；所述醇醚類選自二乙二醇單甲醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單丁醚等中的一種。有機(jī)溶劑兼有穩(wěn)定清洗液體系和助洗的效果，對殘留的有機(jī)類污染物有較好的作用，同時有機(jī)溶劑能有效降低加熱使用時清洗液的揮發(fā)量，提高其使用壽命。

10、進(jìn)一步地，所述去離子水在25℃時的電阻率不低于18mω/cm。

11、進(jìn)一步地，所述oled精密金屬掩膜板用電解清洗液的配制方法是在常溫下先將去離子水加入攪拌釜，在20r/min的轉(zhuǎn)速下加入無機(jī)堿，持續(xù)攪拌30min后，待溶液溫度降至室溫，再將轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)至40r/min，依次添加有機(jī)助劑、表面活性劑、螯合劑和抗蝕劑（每種材料投入后攪拌5min以上，至體系澄清后再添加下一種材料），全部添加完畢后繼續(xù)攪拌30min，再先后經(jīng)孔徑為5μm和1μm的濾芯過濾，即得。

12、本發(fā)明的顯著優(yōu)點在于：

13、（1）本發(fā)明通過選用無機(jī)堿，提高了電解效率，同時有利于污染物的清除；通過添加螯合劑cms封閉析出的金屬離子，并具有良好的懸浮、分散以及防止固體污垢再沉淀造成二次污染的能力，同時cms可以生物降解，對環(huán)境友好；添加油酰二乙醇胺與椰油酸二乙醇酰胺聚氧乙烯醚復(fù)配的非-非離子表面活性劑，產(chǎn)生協(xié)同效應(yīng)，更有效降低了體系表面張力，同時增加了在強(qiáng)堿條件下體系的穩(wěn)定性；通過添加抗蝕劑mbt在fmm表面形成一層致密而牢固的保護(hù)膜，使因瓦合金得到良好的保護(hù)；通過添加醇類和醇醚類有機(jī)助劑，穩(wěn)定了清洗液體系，提高了清洗的效果，同時能有效降低電解液在加熱使用時清洗液的揮發(fā)量，提高其使用壽命。

14、（2）本發(fā)明oled精密金屬掩膜板用電解清洗液洗凈效果好，易清洗不殘留腐蝕，使用不影響現(xiàn)有fmm清洗工藝，可實現(xiàn)對蒸鍍后fmm表面及狹縫中殘留的微小污染物的有效清洗，并能有效防止對fmm的腐蝕，且其可有效提高生產(chǎn)效率，提高生產(chǎn)良率，降低企業(yè)生產(chǎn)成本。

技術(shù)特征：

1.一種oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，以質(zhì)量百分?jǐn)?shù)之和為100%計，其所用原料及各原料占比為：無機(jī)堿5%~10%、螯合劑3%-10%、表面活性劑3%~10%、抗蝕劑0.1%-1%、有機(jī)助劑8%-15%、余量為去離子水。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述無機(jī)堿為氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀中的任意一種或多種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述螯合劑為羧甲基淀粉鈉。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述表面活性劑是由油酰二乙醇胺與椰油酸二乙醇酰胺聚氧乙烯醚按質(zhì)量比3:7復(fù)配而成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述抗蝕劑為巰基苯駢噻唑。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述有機(jī)助劑由醇類和醇醚類按質(zhì)量比1:1組成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述醇類選自乙醇、乙二醇、丙醇、丙二醇中的一種；所述醇醚類選自二乙二醇單甲醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單丁醚中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，所述去離子水在25℃時的電阻率不低于18mω/cm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的oled精密金屬掩膜板用電解清洗液，其特征在于，其配制方法是在常溫下先將去離子水加入攪拌釜，在20r/min的轉(zhuǎn)速下加入無機(jī)堿，持續(xù)攪拌30min后，待溶液溫度降至室溫，再將轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)至40r/min，依次添加有機(jī)助劑、表面活性劑、螯合劑和抗蝕劑，全部添加完畢后繼續(xù)攪拌30min，再先后經(jīng)孔徑為5μm和1μm的濾芯過濾，即得。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種OLED精密金屬掩膜板用電解清洗液，其由無機(jī)堿、螯合劑、表面活性劑、有機(jī)助劑、抗蝕劑和去離子水組成。該電解清洗液洗凈效果好，易清洗不殘留腐蝕，產(chǎn)品材料環(huán)保，可實現(xiàn)對蒸鍍后FMM表面及狹縫中殘留的微小污染物的有效清洗，并能有效提高生產(chǎn)效率，提高產(chǎn)品良率。

技術(shù)研發(fā)人員：劉小勇,田博,房龍翔,葉鑫煌,肖小江,劉文生,黃曉莉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/17