專利名稱：真空排氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種無油螺旋式真空泵，該真空泵設(shè)有吸氣口和用于排氣的排氣口。本發(fā)明的真空泵優(yōu)選地用于排出在制造諸如半導(dǎo)體產(chǎn)品、電子產(chǎn)品等產(chǎn)品時(shí)所進(jìn)行的表面處理過程中從處理腔抽出的、且包含會(huì)影響真空泵工作的氣體成分的氣體。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體產(chǎn)品過程中，采用化學(xué)氣相沉積裝置(CVD)，以便在所處理的目標(biāo)物表面上形成諸如多硅膜、氮化硅膜、氧化硅膜等保護(hù)膜，并采用蝕刻裝置，以便通過流過反應(yīng)氣體等來進(jìn)行表面處理。
化學(xué)氣相沉積裝置(CVD)包括反應(yīng)腔、用于加熱該反應(yīng)腔的加熱器、設(shè)置在該反應(yīng)腔下方的爐口法蘭、與爐口法蘭相連的爐氣供應(yīng)裝置和與反應(yīng)腔內(nèi)的上部相連的排氣系統(tǒng)。帶有大量待處理目標(biāo)物的石英盤布置在反應(yīng)腔的預(yù)定位置上，且例如SiH4、SiH2Cl2、NH3等爐氣在較小的壓力下供應(yīng)到反應(yīng)腔中，并同時(shí)進(jìn)行加熱，從而在待處理的目標(biāo)物上形成例如多Si膜、氮化硅膜等反應(yīng)生成膜。
在上述化學(xué)氣相沉積裝置(CVD)和蝕刻裝置中，用于制造半導(dǎo)體所需的氣體供應(yīng)給布置在真空腔內(nèi)的晶片，從而對(duì)晶片進(jìn)行處理。處理后真空腔內(nèi)所有的氣體都通過真空泵從真空腔中抽出，然后將其經(jīng)過泵的出口排出到大氣中或處理裝置中。
在制造半導(dǎo)體過程中，使用無油干燥真空泵，以便油分子不會(huì)泄漏到處理腔中。通常，對(duì)于用于制造半導(dǎo)體的裝置的真空泵，除了單獨(dú)使用如螺旋泵、渦輪分子泵等干燥真空泵以外，還可使用包括組合在一起的多個(gè)泵的多級(jí)真空泵，以提高排氣效率。如圖3所示，螺旋式干燥真空泵具有平行地安裝在外殼100內(nèi)的兩個(gè)軸101、102。兩個(gè)轉(zhuǎn)子103、104固定在軸101、102上，并具有相互嚙合的螺旋槽。其中一個(gè)軸，也就是軸101由馬達(dá)105驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，并通過設(shè)置在軸101端部的齒輪106將轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給另一個(gè)軸102。外殼100設(shè)有吸氣口107和排氣口108。對(duì)于上述的結(jié)構(gòu)，通過沿相反方向同步轉(zhuǎn)動(dòng)螺旋轉(zhuǎn)子103、104，螺旋轉(zhuǎn)子103、104和外殼100之間所包圍的氣體通過軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)并被排出。
螺旋式真空泵的功能包括將氣體從吸氣口107吸入到轉(zhuǎn)子中的吸入步驟、在轉(zhuǎn)子內(nèi)傳遞氣體的傳遞步驟和將氣體從排氣口108排出的排出步驟。
在這些步驟中，在泵中形成固態(tài)物質(zhì)是一個(gè)所面臨的問題。泵排出的氣體成分之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、氣體成分在表面上發(fā)生反應(yīng)、和/或催化作用就會(huì)沉積并形成固態(tài)物質(zhì)。除了這些化學(xué)反應(yīng)以外，壓力升高或進(jìn)行冷卻引起結(jié)塊狀態(tài)發(fā)生變化也會(huì)形成固態(tài)物質(zhì)。
另外，如圖4所示，普通螺旋式干燥真空泵的排氣口108設(shè)置在外殼的底部，以提高排氣效率。因此，由于可轉(zhuǎn)動(dòng)地支承螺旋轉(zhuǎn)子的軸承109布置在底部，因此使排氣口的截面形狀尺寸受到限制。
由于真空泵通常是豎直布置的，其恰好位于真空腔的下方，因此，將吸氣口107設(shè)置在外殼100的頂部以提高導(dǎo)氣率。
近些年來，由于晶片直徑變大并旨在獲取高質(zhì)量的膜，因此，對(duì)于用于制造半導(dǎo)體的裝置有使用大量氣體的趨勢(shì)。只有一部分進(jìn)入用于制造半導(dǎo)體的裝置的真空腔內(nèi)的氣體進(jìn)行了反應(yīng)，而大部分剩下的氣體沒有進(jìn)行反應(yīng)就被排出。所有剩余的反應(yīng)生成氣體都通過真空泵，且由于壓力升高，從真空泵排出的反應(yīng)生成氣體易于在排氣口凝結(jié)。特別是，在通過壓縮氣體來進(jìn)行排出的真空泵例如螺旋式干燥真空泵中，反應(yīng)生成氣體的壓力在排出之前的壓縮過程中升高，排氣口附近的凝結(jié)狀態(tài)發(fā)生變化而產(chǎn)生固態(tài)物質(zhì)。通常，螺旋式干燥真空泵的排氣口大致設(shè)置在包含螺桿的外殼排氣側(cè)的底面上，氣體從底面排出。但是，在氣體從底面排出的情況下，由于設(shè)置了包括用于支承螺旋轉(zhuǎn)子的軸承和用于防止?jié)櫥托孤┑脚艢馇坏拿芊鈾C(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)，因此，不可能將排氣口的截面面積做得很大。因此，在上述固態(tài)物質(zhì)粘結(jié)到排氣口并沉積在此時(shí)，固態(tài)物質(zhì)就會(huì)在短時(shí)間內(nèi)堵塞排氣口，并可能減少真空泵的工作時(shí)間。
另外，對(duì)于普通排氣口，必須將排氣口與充滿潤滑油的潤滑腔徹底隔離開，且必須設(shè)置排氣通道以便將廢氣排入到真空泵外部。為此，在反應(yīng)生成氣體流經(jīng)該通道時(shí)，所產(chǎn)生的結(jié)塊就會(huì)粘結(jié)到排氣通道的內(nèi)表面，并減小排氣口的截面面積，從而導(dǎo)致排氣能力降低。由于具有小截面面積的排氣通道穿過包括軸承和用于防止?jié)櫥托孤┑脚艢馇坏拿芊鈾C(jī)構(gòu)等結(jié)構(gòu)在內(nèi)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，因此，不可避免地延長了清除這些粘結(jié)沉積物所需的維護(hù)時(shí)間。
而且，這種結(jié)塊粘結(jié)現(xiàn)象也出現(xiàn)在吸氣口附近的外殼部分上。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述問題而提出的，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種螺旋式真空泵，該真空泵可消除由于反應(yīng)生成氣體固化而形成的反應(yīng)生成物沉積并堵塞排氣通道從而使工作時(shí)間受到限制的缺憾，并延長了維護(hù)了周期。
根據(jù)本發(fā)明，在螺旋式真空泵中，該真空泵包括一個(gè)設(shè)有轉(zhuǎn)子腔的外殼、可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該轉(zhuǎn)子腔中并相互嚙合的一對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子、在外殼內(nèi)壁和前述這對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子的槽之間所形成的氣體傳遞腔、以及與傳遞腔相通的吸氣口和排氣口，氣體從吸氣口被吸入到傳遞腔中，并從排氣口排出，前述排氣口設(shè)置在外殼側(cè)面上。
通過這種結(jié)構(gòu)，可克服現(xiàn)有技術(shù)中由于排氣口設(shè)置在外殼排氣側(cè)的底部，且由于設(shè)有用于支承螺旋轉(zhuǎn)子的軸承、用于防止?jié)櫥托孤┑脚艢馇坏拿芊鈾C(jī)構(gòu)等而使排氣口面積受到限制的缺陷，并可制出比普通排氣口的面積更大的排氣口。因此，就可延長直到物質(zhì)沉積并將排氣口堵塞到使真空泵性能下降的程度所需的時(shí)間。因此，就延長了用于清除沉積在排氣口的沉積物的維護(hù)周期。換句話說，就可延長真空泵連續(xù)工作的時(shí)間。而且，不必設(shè)置用于將氣體排出到泵外部的排氣通道，因此，可消除排氣口附近排氣通道中的物質(zhì)沉積。
本發(fā)明的特征在于設(shè)置在外殼側(cè)面的前述排氣口成形為其孔口面積小于外殼內(nèi)壁和前述螺旋轉(zhuǎn)子的槽之間所形成的傳遞腔的面積。通過這種結(jié)構(gòu)，外殼側(cè)面排氣口的面積可做得大一些，從而不會(huì)降低真空泵的性能。
本發(fā)明的特征在于排氣口設(shè)置在螺旋轉(zhuǎn)子排氣側(cè)的最末端部。通過這種結(jié)構(gòu)，在維護(hù)時(shí)可方便地將沉積在排氣口的物質(zhì)清除掉，而且還可方便地將外殼底部的沉積物清除掉。
本發(fā)明的特征還在于在前述傳遞腔的下端面到達(dá)轉(zhuǎn)子排氣側(cè)的下端面之后，前述排氣腔中的一部分與排氣口相連。通過這種結(jié)構(gòu)，外殼側(cè)面排氣口的孔口面積可做得大一些，從而不會(huì)降低真空泵的性能。
根據(jù)本發(fā)明，在螺旋式真空泵中，該真空泵包括一個(gè)設(shè)有轉(zhuǎn)子腔的外殼、可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該轉(zhuǎn)子腔中并相互嚙合的一對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子、一個(gè)在外殼內(nèi)壁和前述這對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子的槽之間所形成的氣體傳遞腔、以及與傳遞腔相通的吸氣口和排氣口，氣體從吸氣口被吸入到傳遞腔中，并從排氣口排出，前述吸氣口設(shè)置在外殼側(cè)面上。該側(cè)面沿垂直于螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向與螺旋轉(zhuǎn)子相面對(duì)。通過這種結(jié)構(gòu)，便于進(jìn)行維護(hù)。另外，可避免在真空腔生成的反應(yīng)生成物結(jié)塊掉入到排氣腔中，并且不增加真空泵的軸向長度且不降低導(dǎo)氣率。
本發(fā)明的特征在于吸氣口的孔口面積等于或小于(最好是大致等于)傳遞腔的面積。因此，由于在增大吸氣口面積時(shí)可降低氣體的流動(dòng)速度，因此可避免掉落在吸氣口附近的反應(yīng)生成物結(jié)塊在高速氣流的作用下進(jìn)入到排氣腔中。
本發(fā)明的特征在于吸氣口至少部分地設(shè)置在螺旋轉(zhuǎn)子吸氣側(cè)端部所處的位置上。因此，吸氣口可設(shè)置在由外殼和螺旋轉(zhuǎn)子所確定的排氣腔以外的外殼側(cè)面上(也就是，吸氣部分可設(shè)置在不形成排氣腔的外殼端部位置處)。這種結(jié)構(gòu)可使吸氣口做得大一些，以避免反應(yīng)生成物堵塞吸氣口。
本發(fā)明的特征在于吸氣口的形狀是這樣的，以便在螺旋轉(zhuǎn)子吸氣側(cè)端部表面的齒封閉傳遞腔時(shí)刻之前可使傳遞腔和吸氣口之間的連通中斷。通過這種結(jié)構(gòu)，就可最有效地防止排氣側(cè)的氣體利用螺旋轉(zhuǎn)子的螺旋轉(zhuǎn)動(dòng)而產(chǎn)生回流。
本發(fā)明的特征在于吸氣口上固定有收集裝置。即使在沉積物結(jié)塊沿氣流被吸入的情況下，收集裝置也可防止沉積物進(jìn)入到螺旋轉(zhuǎn)子的嚙合部分中。收集裝置可以是一個(gè)覆蓋吸氣口的捕集器，也可以是設(shè)置在管中或吸氣口附近部分的槽。在收集裝置是可拆卸的情況下，因此，在不拆卸泵的情況下，就可方便地將收集在其中的沉積物清除掉。
本發(fā)明的特征在于吸氣口和排氣口設(shè)置在外殼的兩個(gè)相對(duì)的表面上。通過這種結(jié)構(gòu)，吸氣口和排氣口沿垂直于螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向彼此相對(duì)布置，從而可避免增大豎直布置的真空泵的軸向長度。
本發(fā)明涉及日本專利申請(qǐng)2002-55097(2003.2.28申請(qǐng))和2002-196590(2003.7.4申請(qǐng))所包含的內(nèi)容，上述每份申請(qǐng)都在此全部引入。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的真空排氣裝置的主要部件的局部正剖圖。
圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例的真空排氣裝置的主要部件的側(cè)剖圖。
圖3是現(xiàn)有技術(shù)的真空排氣裝置的主要部件的局部正剖圖。
圖4是現(xiàn)有技術(shù)的真空排氣裝置的主要部件的側(cè)剖圖。
圖5是本發(fā)明第二實(shí)施例的真空排氣裝置的主要部件的局部正剖圖。
圖6是本發(fā)明第二實(shí)施例的真空排氣裝置的主要部件的側(cè)剖圖。
圖7是本發(fā)明第三實(shí)施例的真空排氣裝置的主要部件的局部正剖圖。
圖8是本發(fā)明第三實(shí)施例的真空排氣裝置的主要部件的局部后剖圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行描述。圖1和2示出了本發(fā)明第一實(shí)施例的螺旋式干燥真空泵。
圖1和2分別是該實(shí)施例真空泵主要部件的局部正剖圖和側(cè)剖圖，其簡要示出了真空泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。真空泵包括外殼11，外殼11設(shè)有吸氣口11a和排氣口11b；陰螺旋轉(zhuǎn)子和陽螺旋轉(zhuǎn)子21、22，陰和陽螺旋轉(zhuǎn)子21、22平行布置在外殼11中，兩者以留有預(yù)定間隙(微小間隙)的非接觸嚙合方式相互嚙合；設(shè)置在外殼11和螺旋轉(zhuǎn)子21、22之間的軸承23a、23b；用于密封軸向孔隙的密封件24a、24b；整體地固定在螺旋轉(zhuǎn)子21、22上以便沿相反的方向使轉(zhuǎn)子21、22同步旋轉(zhuǎn)的同步齒輪25；和驅(qū)動(dòng)裝置27，驅(qū)動(dòng)裝置27例如馬達(dá)與轉(zhuǎn)子22的一端相連。
陰螺旋轉(zhuǎn)子21和陽螺旋轉(zhuǎn)子22的外徑和軸向長度與外殼11的內(nèi)壁面留有預(yù)定的間隙，例如50微米。外殼11和螺旋轉(zhuǎn)子21、22之間設(shè)有多條螺旋形狀的工作腔31，其由螺旋轉(zhuǎn)子21、22的嚙合部分相互分隔開，并隨著螺旋轉(zhuǎn)子21、22的轉(zhuǎn)動(dòng)而沿轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸向傳遞。
隨著螺旋轉(zhuǎn)子21、22的轉(zhuǎn)動(dòng)，這些工作腔31位于圖1左端側(cè)的傳遞部分(transfer section)處的容積增大，并在容積增大的同時(shí)與圖2所示的外殼吸氣口11a相通。在氣體被吸入后，工作腔31傳遞到圖的右側(cè)，并在圖1右端側(cè)的傳遞部分處容積減小。然后，在氣體被壓縮之后工作腔容積低于預(yù)定容積的部分處，圖1中右端側(cè)的工作腔與排氣口11b相通，從而將氣體排出。
如圖所示，通過在外殼側(cè)面設(shè)置排氣口11b，與將排氣口設(shè)置在外殼底面的情況相比，排氣口的面積增大了。因此，就可顯著地延長直到由反應(yīng)所產(chǎn)生的氣體形成的沉積物將排氣口堵塞所需的時(shí)間。而且，在排氣口設(shè)置在底面的情況下，當(dāng)氣體被排到真空泵外部時(shí)，必須設(shè)置排氣通道以便將氣體與充滿油和裝有軸承或類似裝置的腔體完全分離開。因此，堆積沉積物的通道延長，堵塞排氣口和排氣通道的可能性就增大。但是，在排氣口設(shè)置在外殼側(cè)面的情況下，外部排氣通道就可直接與排氣口相連，而且就不會(huì)擔(dān)心沉積物會(huì)堆積在外殼內(nèi)的排氣通道中。另外，由于排氣口露出于泵的外殼，因此，在維護(hù)時(shí)可很容易地將沉積物除去，而且還可縮短維護(hù)時(shí)間。
根據(jù)本發(fā)明的前述實(shí)施例，可獲得如下的優(yōu)點(diǎn)(1)與排氣口設(shè)置在底面的現(xiàn)有技術(shù)相比，可提供一個(gè)較大的排氣口。因此，即使反應(yīng)所產(chǎn)生的氣體流入螺旋式干燥真空泵的排氣口中且沉積物堆積于此，也可將沉積物堵塞排氣口所需的時(shí)間延長。因此，延長了維護(hù)周期，從而可進(jìn)行連續(xù)工作。(2)而且，在維護(hù)時(shí)，由于氣體可直接從側(cè)面排出，因此，與排氣口設(shè)置在底面的現(xiàn)有技術(shù)相比，即使發(fā)生沉積物堆積，也可很容易地將沉積物除去，而且顯著地縮短了維護(hù)的時(shí)間。
本發(fā)明第一實(shí)施例中所描述的有關(guān)排氣口的新結(jié)構(gòu)也可用于吸氣口。圖5和6示出了本發(fā)明第二實(shí)施例的螺旋式干燥真空泵，其中，將第一實(shí)施例中所描述的有關(guān)排氣口的新結(jié)構(gòu)不僅用于排氣口中而且還用于了吸氣口中。
吸氣口111a設(shè)置在外殼11的側(cè)面。該側(cè)面在垂直于螺旋轉(zhuǎn)子21、22軸線的方向與螺旋轉(zhuǎn)子21、22相互面對(duì)。也就是，如圖6所示，吸氣口111a設(shè)置在面向螺旋轉(zhuǎn)子21、22的螺桿的外殼11側(cè)面最上部。即使沉積在吸氣管內(nèi)壁的反應(yīng)生成物積塊脫落下來掉入吸氣口111a，也可避免反應(yīng)生成物積塊直接掉入排氣腔。反應(yīng)生成物積塊進(jìn)入排氣腔就可能引起真空泵堵塞和停止工作。傳遞腔101c由外殼11的內(nèi)壁和螺旋轉(zhuǎn)子21、22的嚙合齒構(gòu)成。吸氣口111a的開口面積(和排氣口11b的開口面積)等于或小于，最好是大致等于傳遞腔101c的面積。傳遞腔101c的面積是與螺旋轉(zhuǎn)子21、22轉(zhuǎn)動(dòng)一圈所傳遞的量相對(duì)應(yīng)的一個(gè)隔室的面積，且該面積是沿垂直于螺旋轉(zhuǎn)子21、22軸線的方向看上去時(shí)所述一個(gè)隔室的投影面積。吸氣口111a(排氣口11b)至少部分地位于螺旋轉(zhuǎn)子21、22的吸氣側(cè)端部(排氣側(cè)端部)所處的位置處。也就是，吸氣口111a(排氣口11b)位于外殼11和螺旋轉(zhuǎn)子21、22所確定的排氣腔以外的外殼11的側(cè)面(相反側(cè)面)上。吸氣口111a的形狀是這樣的，以便在螺旋轉(zhuǎn)子21、22吸氣側(cè)端部表面的齒封閉傳遞腔101c的時(shí)間點(diǎn)之前，可使傳遞腔101c與吸氣口111a之間的連通中斷。在吸氣口111a的入口處設(shè)有網(wǎng)狀的捕集器120，以防止即使在反應(yīng)生成物積塊掉入管121的情況下反應(yīng)生成物積塊隨著管121中排氣的流動(dòng)而進(jìn)入排氣腔。在與吸氣口111a相連的管121上設(shè)有儲(chǔ)存腔或儲(chǔ)存槽形式的另外的收集裝置301，以便將反應(yīng)生成物儲(chǔ)存在其中，從而防止反應(yīng)生成物進(jìn)入到排氣腔中。收集裝置301通過O形圈可拆卸地固定到管121上，以便于維護(hù)，并且可方便地將收集裝置301中所聚集的物品除去。
吸氣口111a和排氣口11b相對(duì)于通過螺旋轉(zhuǎn)子21、22軸線的平面對(duì)稱布置。
另外，標(biāo)號(hào)127表示驅(qū)動(dòng)裝置，例如馬達(dá)，其轉(zhuǎn)動(dòng)軸120與螺旋轉(zhuǎn)子21相連。
圖7和8示出了本發(fā)明第三實(shí)施例的螺旋式干燥真空泵，其只有吸氣口和排氣口的形狀與第二實(shí)施例不同。在第三實(shí)施例中，如圖7所示，當(dāng)左傳遞腔101cL移動(dòng)到排氣口111b時(shí)，左上部111bL沿左傳遞腔101cL的形狀延伸，當(dāng)右傳遞腔101cR移動(dòng)到排氣口111b時(shí)，右上部111bR沿恰好位于左傳遞腔101cL下方的右傳遞腔101cR的形狀延伸。通過這種結(jié)構(gòu)，使排氣口111b與左傳遞腔101cL和右傳遞腔101cR同時(shí)相通。
另外，如圖8所示，當(dāng)左傳遞腔101cL移動(dòng)到吸氣口211a時(shí)，左下部211aL沿左傳遞腔101cL的形狀延伸，當(dāng)右傳遞腔101cR移動(dòng)到吸氣口211a時(shí)，右下部211aR沿恰好位于左傳遞腔101cL下方的右傳遞腔101cR的形狀延伸。通過這種結(jié)構(gòu)，使吸氣口211a與左傳遞腔101cL和右傳遞腔101cR同時(shí)中斷連通。
權(quán)利要求
1.一種真空泵，其包括一個(gè)外殼，該外殼具有第一側(cè)面、與第一側(cè)面相對(duì)的第二側(cè)面以及介于第一和第二側(cè)面之間的轉(zhuǎn)子腔；一對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子，它們相互嚙合并且可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述轉(zhuǎn)子腔中，從而在所述外殼的內(nèi)壁和所述這對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子的槽之間形成氣體傳遞腔；吸氣口和排氣口，它們與所述傳遞腔相通；其中，所述吸氣口設(shè)置在所述第一側(cè)面上。
2.一種真空泵，其包括一個(gè)外殼，該外殼具有第一側(cè)面、與第一側(cè)面相對(duì)的第二側(cè)面以及介于第一和第二側(cè)面之間的轉(zhuǎn)子腔；一對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子，它們相互嚙合并且可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述轉(zhuǎn)子腔中，從而在所述外殼的內(nèi)壁和所述這對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子的槽之間形成氣體傳遞腔；吸氣口和排氣口，它們與所述傳遞腔相通；其中，所述排氣口設(shè)置在所述第二側(cè)面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述吸氣口和所述排氣口中的至少一個(gè)具有大致多邊形的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述吸氣口和所述排氣口中的至少一個(gè)具有大致五邊形的形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述吸氣口和所述排氣口中的至少一個(gè)具有預(yù)定的形狀，且所述預(yù)定的形狀包括大致平行于一個(gè)所述螺旋轉(zhuǎn)子的所述槽的延伸方向延伸的第一傾斜部分、和大致平行于另一個(gè)所述螺旋轉(zhuǎn)子的所述槽的延伸方向延伸的第二傾斜部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述第一傾斜部分沿與包含所述螺旋轉(zhuǎn)子的軸線的平面平行的方向偏離所述第二傾斜部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于所述螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述吸氣口和所述排氣口中的至少一個(gè)的沿軸向方向的長度大于每個(gè)螺旋轉(zhuǎn)子的一個(gè)螺距的一半。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于所述螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述螺旋轉(zhuǎn)子的部分嚙合部分通過排氣口暴露于真空泵的外部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空泵，其特征在于，所述螺旋轉(zhuǎn)子的嚙合部分的最下端通過排氣口暴露于真空泵的外部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于所述螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述螺旋轉(zhuǎn)子的部分嚙合部分通過吸氣口暴露于真空泵的外部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空泵，其特征在于，所述螺旋轉(zhuǎn)子的嚙合部分的最上端通過吸氣口暴露于真空泵的外部。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，還包括設(shè)置在吸氣口上或設(shè)置在吸氣口附近的收集裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，所述吸氣口和所述排氣口分別設(shè)置在所述第一和第二側(cè)面上。
14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，所述吸氣口和所述排氣口中的至少一個(gè)的寬度大于所述螺旋轉(zhuǎn)子軸線之間的距離。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于所述螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述吸氣口在軸向的最大長度基本上等于每個(gè)螺旋轉(zhuǎn)子的一個(gè)螺距。
16.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于，沿垂直于所述螺旋轉(zhuǎn)子軸線的方向看上去時(shí)，所述排氣口在軸向的最大長度基本上等于每個(gè)螺旋轉(zhuǎn)子的一個(gè)螺距。
全文摘要
在螺旋式真空泵中，該真空泵包括一個(gè)設(shè)有轉(zhuǎn)子腔的外殼、可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在該轉(zhuǎn)子腔中并相互嚙合的一對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子、一個(gè)在外殼內(nèi)壁和前述這對(duì)螺旋轉(zhuǎn)子的槽之間所形成的氣體傳遞腔、以及與傳遞腔相通的吸氣口和排氣口，氣體從吸氣口被吸入到傳遞腔中，并從排氣口排出，通過將前述排氣口設(shè)置在外殼側(cè)面上，就可形成較大的排氣口，并可延長排氣時(shí)間，直到排氣口被沉積物堵塞。
文檔編號(hào)F04C29/00GK1441168SQ03106790
公開日2003年9月10日 申請(qǐng)日期2003年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月28日
發(fā)明者名知毅 申請(qǐng)人:帝人制機(jī)株式會(huì)社