專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空泵并且特別是一種復合真空泵，其帶有多個端口，適于對多個腔室進行差分抽吸。
在差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)中，將試樣和載氣導入質(zhì)量分析器進行分析。一個這樣的實例在

圖1中給出。參考圖1，在該系統(tǒng)中，存在高真空腔室10，其緊隨第一和第二真空接口腔室12、14。第一接口腔室12是真空分光計系統(tǒng)中的最高壓力腔室并且可包含小孔或毛細管，通過其將離子從離子源抽入第一接口腔室12。第二、中間腔室14可具有離子光學器件以用于引導離子從第一接口腔室12進入高真空腔室10。在該實例中，在使用時，第一接口腔室處于大約1毫巴的壓力，第二接口腔室處于大約10-3毫巴的壓力，并且高真空腔室處于大約10-5毫巴的壓力。
高真空腔室10和第二接口腔室14可利用復合真空泵16抽空。在該實例中，真空泵具有形式為一組渦輪分子站的第一抽吸部分18和第二抽吸部分20，以及第三抽吸部分，其形式為Holweck牽引機構(gòu)22；可選形式的牽引機構(gòu)，例如Siegbahn或Gaede機構(gòu)，也可替代上述機構(gòu)使用。每組18、20渦輪分子站包括多個(在圖1中示出三個，但是可設(shè)置任意適當?shù)臄?shù)目)已知斜向構(gòu)造的轉(zhuǎn)子19a、21a和定子19b、21b葉片對。該Holweck機構(gòu)22以本質(zhì)已知的方式具有多個(圖1中示出兩個，但是可設(shè)置任意適當?shù)臄?shù)目)旋轉(zhuǎn)缸23a和相應的環(huán)形定子23b和螺旋凹槽。
在該實例中，第一泵入口24連接到高真空腔室10，并且通過入口24泵送的流體順序通過兩組渦輪分子站以及Holweck機構(gòu)22并且經(jīng)由出口30離開該泵。第二泵入口26連接到第二接口腔室14，并且通過入口26泵送的流體通過一組渦輪分子站和機構(gòu)22并且經(jīng)由出口30離開該泵。在該實例中，第一接口腔室12連接到初級泵(未示出)，該泵還從復合真空泵16的出口30抽取流體。由于進入各個泵入口的流體在離開該泵之前通過各自不同數(shù)目的站，該泵16能夠在腔室10、14中提供所要求的真空水平。
為了改進系統(tǒng)性能，期望增加試樣和載氣的質(zhì)量流率。對于在圖1中示意的泵，這可通過增加第二抽吸部分20的渦輪分子站的轉(zhuǎn)子21a和定子21b的直徑以提高復合真空泵16的能力而得以實現(xiàn)，同時不會影響系統(tǒng)壓力。例如，為了使得泵16的能力提高到兩倍，轉(zhuǎn)子21a和定子21b的面積需要在尺寸上提高到兩倍。除了增加泵16的總尺寸，并且由此增加質(zhì)量分光計系統(tǒng)的總尺寸，該泵16更加難以驅(qū)動，這是因為，由于第二抽吸部分20的轉(zhuǎn)子和定子更大而使得作用在傳動軸上的質(zhì)量增加?；蛘?，如果系統(tǒng)流率增加并且泵能力沒有增加，在進入渦輪分子站20的入口處的壓力，可超出操作限度。這種類型的渦輪分子技術(shù)的已知問題在于，在大約10-3毫巴以上壓力操作時可以造成過度的熱量產(chǎn)生和嚴重的性能損耗并且甚至還會危及泵的可靠性。
至少本發(fā)明優(yōu)選實施例的目的在于提供一種差分抽吸、多端口、復合真空泵，其使得特別地在需要時，抽吸系統(tǒng)中的質(zhì)量流率增加，而不會顯著增加泵的尺寸。
在第一方面，本發(fā)明提供一種真空泵，包括第一抽吸部分、位于第一抽吸部分下游的第二抽吸部分、位于第二抽吸部分下游的第三抽吸部分、第一泵入口，流體可通過該第一泵入口進入該泵并且朝向泵出口通過各個抽吸部分、第二泵入口，流體可通過該第二泵入口進入該泵并且朝向出口僅通過第二和第三抽吸部分，其中第三抽吸部分包括形成在其定子中的螺旋凹槽，并且第一和第二抽吸部分中的至少一個包括形成在其轉(zhuǎn)子中的螺旋凹槽。
因此，例如參考圖1所述的已知泵的第二、渦輪分子抽吸部分20，能夠有效地被具有外螺紋或螺旋的轉(zhuǎn)子的抽吸部分所代替。在這種布置中，螺旋的入口在使用中將用作渦輪分子站的轉(zhuǎn)子，并且因此通過軸向和徑向的相互作用提供抽吸作用。作為比較，如圖1中在22處所示的具有靜螺紋的Holweck機構(gòu)利用螺紋和旋轉(zhuǎn)缸之間微弱的徑向相互作用抽吸流體。超過一定的螺紋徑向深度，該機構(gòu)變得更加低效，這是因為徑向相互作用的數(shù)目降低，并且因此典型的“靜態(tài)”Holweck機構(gòu)的能力被限制為低于具有相等直徑的渦輪分子站的能力，該渦輪分子站利用微弱的軸向相互作用抽吸并且具有更高的徑向葉片深度。通過提供一種具有外螺紋的轉(zhuǎn)子，該外螺紋轉(zhuǎn)子的螺紋入口可被制造的沿著徑向比靜態(tài)Holweck機構(gòu)中的螺旋凹槽深得多，從而導致顯著更高的抽吸能力。通過適當?shù)脑O(shè)計，當在例如低于10-3毫巴的低入口壓力下操作時，外螺紋深槽螺旋轉(zhuǎn)子的能力可與相等直徑的渦輪分子站的能力相當。使用這種深槽螺旋轉(zhuǎn)子替代渦輪分子站的優(yōu)點在于，其能夠在更高的入口壓力(高于10-3毫巴)時提供更高的能力，而功率消耗/熱量產(chǎn)生水平較低，這是渦輪分子泵操作窗口的一個限制因素。通過利用深槽螺旋轉(zhuǎn)子并且將入口壓力提高到高于適于渦輪分子泵的壓力水平，可以抽吸更多的流量而無需增加有效抽吸能力，由此滿足改進抽氣系統(tǒng)性能而不增加該泵包絡面尺寸的要求。
降低泵尺寸/長度的增加，同時當需要時改進系統(tǒng)性能可以使得該泵特別適于用作復合泵，該復合泵用于對例如工作臺式質(zhì)量分光計系統(tǒng)的多個腔室進行差分抽吸，該系統(tǒng)要求在例如中間腔室處具有更高的質(zhì)量流率以增加進入分析器中的試樣流率，同時泵尺寸的增加最小或沒有增加。
而且，通過設(shè)置具有形成在其定子中的螺旋凹槽的第三抽吸部分，靠近螺旋轉(zhuǎn)子站的出口提供靜態(tài)表面，能夠進一步優(yōu)化泵的性能。
由于分子從轉(zhuǎn)子入口側(cè)朝向出口側(cè)輸送，抽吸作用類似于靜態(tài)Holweck機構(gòu)，并且是由于旋轉(zhuǎn)和靜止元件之間的徑向相互作用。因此，該螺旋轉(zhuǎn)子優(yōu)選從入口到出口具有逐漸變尖的螺紋深度(優(yōu)選在入口側(cè)比在出口側(cè)更深)。而且，該螺旋轉(zhuǎn)子優(yōu)選在入口側(cè)具有與在出口側(cè)不同的螺旋角度；螺紋深度和螺旋角度優(yōu)選沿著抽吸部分的軸向長度從入口側(cè)朝向出口側(cè)平滑地降低。
在一種優(yōu)選布置中，第一抽吸部分包括至少一個渦輪分子站，優(yōu)選至少三個渦輪分子站。第一和第二抽吸部分可具有不同的尺寸/直徑。這可提供可選擇的抽吸性能。
因此，優(yōu)選螺旋轉(zhuǎn)子位于所述至少一個渦輪分子站的下游。為了保證流體關(guān)于螺旋葉片以最大相對速率進入螺旋葉片，并且由此優(yōu)化抽吸性能，通過鄰近螺旋轉(zhuǎn)子入口側(cè)將定子站設(shè)置成渦輪分子部分的終點站，該渦輪分子站優(yōu)選設(shè)置為使得進入螺旋轉(zhuǎn)子的流體分子已從渦輪分子站定子的表面噴射出。
除了螺旋轉(zhuǎn)子，第二抽吸部分還可包括至少一個位于螺旋轉(zhuǎn)子下游的渦輪分子抽吸站。通過將第二入口設(shè)置成使其局部圍繞螺旋轉(zhuǎn)子延伸，而不是與其軸向間隔，可提高從連接到第二入口的腔室對分子的捕獲效率，特別是對于較輕的氣體，由此降低通過第二入口抽真空的腔室中的壓力。因此，在第二方面，本發(fā)明提供一種真空泵，其包括第一抽吸部分和位于其下游的第二抽吸部分；第一泵入口，通過第一泵入口流體可進入該泵并且朝向泵出口通過第一抽吸部分和第二抽吸部分；以及第二泵入口，通過第二泵入口流體可進入該泵并且朝向出口通過所述部分中的僅僅第二抽吸部分，其中，第一和第二抽吸部分中的一個包括外螺紋轉(zhuǎn)子并且第一和第二泵入口中的一個至少局部地圍繞該外螺紋轉(zhuǎn)子延伸。
本發(fā)明還提供一種差分抽吸的真空系統(tǒng)，其包括兩個腔室以及如上所述的用于對每個腔室抽吸的泵。設(shè)置成從腔室抽吸流體的抽吸部分中的一個優(yōu)選包括外螺紋轉(zhuǎn)子，該腔室中將產(chǎn)生高于10-3毫巴，更優(yōu)選高于5×10-3毫巴的壓力。
現(xiàn)在僅通過實例參考附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選特征，其中圖1是通過適于對差分抽吸的質(zhì)量分光計系統(tǒng)進行抽真空的已知的多端口真空泵的簡化截面；圖2是通過適于對圖1差分抽吸的質(zhì)量分光計系統(tǒng)進行抽真空的多端口真空泵第一實施例的簡化截面；圖3示意了圖2所示泵的外螺紋轉(zhuǎn)子；圖4(a)是通過適于對圖1差分抽吸的質(zhì)量分光計系統(tǒng)進行抽真空的多端口真空泵第二實施例的簡化截面；圖4(b)是圖4(a)所示泵的平面視圖；圖5示意了圖4(a)所示泵的泵入口的構(gòu)造；圖6(a)是通過適于對圖1差分抽吸的質(zhì)量分光計系統(tǒng)進行抽真空的多端口真空泵第三實施例的簡化截面；并且圖6(b)是圖6(a)所示泵的平面視圖。
參考圖2，適于對如上參考圖1所述差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的至少高真空腔室10和中間腔室14抽真空的真空泵100的第一實施例包括多構(gòu)件本體102，在其內(nèi)部安裝軸104。利用圍繞軸104設(shè)置的發(fā)動機(未示出)例如不帶電刷的直流發(fā)動機旋轉(zhuǎn)該軸。該軸104安裝在相對的軸承(未示出)上。例如，傳動軸104可由混合式永磁軸承和油潤滑軸承系統(tǒng)支撐。
該泵具有三個抽吸部分106、108和112。第一抽吸部分106包括一組渦輪分子站。在圖2所示實施例中，該組渦輪分子站106包括具有已知斜向構(gòu)造的三個轉(zhuǎn)子葉片和三個定子葉片。轉(zhuǎn)子葉片在107a處表示并且定子葉片在107b處表示。在該實例中，轉(zhuǎn)子葉片107a安裝在傳動軸104上。
第二抽吸部分108包括外螺紋轉(zhuǎn)子109，如在圖3中更加詳細示出的。轉(zhuǎn)子109包括孔110，傳動軸104通過該孔；以及形成螺旋凹槽111b的外螺紋111a。螺紋111a的深度，并且因此凹槽111b的深度，可設(shè)計成從轉(zhuǎn)子109的入口側(cè)111c朝向出口側(cè)111d逐漸變尖。在該實施例中，螺紋111a在入口側(cè)比在出口側(cè)更深，但是這不是必要的。轉(zhuǎn)子的螺旋角度，即螺紋關(guān)于垂直于軸104的軸線的平面的傾斜角度，也可從入口側(cè)到出口側(cè)改變；在該實施例中，螺紋角度在出口側(cè)比在入口側(cè)更淺，但是這不是必要的。
如圖2所示，在第一和第二抽吸部分的下游是形式為Holweck或其它類型的牽引機構(gòu)的第三抽吸部分112。在該實施例中，該機構(gòu)包括兩個旋轉(zhuǎn)缸113a、113b以及對應的以本質(zhì)上已知的方式具有在其中形成的螺旋凹槽的環(huán)形定子114a、114b。旋轉(zhuǎn)缸113a、113b優(yōu)選由碳纖維材料形成，并且安裝在設(shè)置于傳動軸104上的圓盤115上。在該實例中，圓盤115也安裝在傳動軸104上。在機構(gòu)112下游是泵出口116。
作為在傳動軸104上單獨安裝旋轉(zhuǎn)元件107a，109和115的替代，這些元件的一個或多個可設(shè)置在安裝于傳動軸104上的公共葉輪上，優(yōu)選與其成一體地形成，其中Holweck機構(gòu)112的碳纖維旋轉(zhuǎn)缸113a、113b隨這些整體旋轉(zhuǎn)元件之后安裝在旋轉(zhuǎn)圓盤115上。
如在圖2中示意的，泵100具有兩個入口；雖然在該實施例中僅使用兩個入口，該泵可具有三個或更多個入口，它們能夠被選擇性地打開和關(guān)閉并且能夠例如利用內(nèi)部導流板將不同的氣流引導到機構(gòu)的特定部分。第一，低流體壓力入口120設(shè)置在所有抽吸部分的上游。第二、高流體壓力入口122設(shè)置在第一抽吸部分106和第二抽吸部分108之間。
在使用時，各個入口連接到差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的各個腔室。從低壓力腔室10通過第一入口120的流體通過每個抽吸部分106、108、112并且經(jīng)由泵出口116離開泵100。為了保證流體關(guān)于螺旋葉片(螺紋)以最大相對速率進入第二抽吸站108的螺旋轉(zhuǎn)子109，并且由此優(yōu)化抽吸性能，在該實施例中，第一抽吸部分106優(yōu)選設(shè)置成使得進入螺旋轉(zhuǎn)子109的流體分子從該部分106的最終定子107c的表面噴射出，并且隨后的Holweck機構(gòu)112的站還優(yōu)選是靜止的以便在轉(zhuǎn)子109的出口側(cè)111d提供靜態(tài)表面。
從中間壓力腔室14通過第二入口122的流體進入泵100并且僅通過抽吸部分108、112并且經(jīng)由出口116離開該泵。從高壓力腔室12通過第三入口124的流體可由初級泵(未示出)抽吸，該泵也經(jīng)由出口116輔助泵100。
在該實施例中，在使用時，第一接口腔室12處于大約1毫巴的壓力，第二接口腔室14處于大約10-2-10-3毫巴的壓力，并且高真空腔室10處于大約10-5毫巴的壓力。因此，與圖1所示意的實例相比，在圖2所示實施例中，第二接口腔室14中的壓力可被增加。通過將壓力增加從大約10-3毫巴到大約10-2毫巴，利用對于固定流的舊壓力和新壓力的比率，對于抽吸速度的要求降低。因此，例如，如果壓力提高十倍，并且流率加倍，則在該新壓力下的抽吸速度可被降低五倍，但是在使用時，顯然有利的是，保持盡可能高的的抽吸速度，以便提高從第二接口腔室14的流率。渦輪分子抽吸部分，例如圖1中在20處示出的，對于在第二接口腔室14中保持大約10-2毫巴的壓力，將不如圖2中的抽吸部分108那樣有效，并且在使用時比抽吸部分108消耗更多的功率，產(chǎn)生更多的熱量并且可能具有更低的性能，這是由于操作進一步在其有效性能范圍之外進行。
因此，上述實施例的一個特別的優(yōu)點在于，從中間腔室14進入泵的流體的質(zhì)量流率與圖1所示的已知布置相比至少被加倍而不會增加泵的尺寸。因此，從中間腔室進入高真空腔室10的試樣的流率也被增加，從而改進了差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的性能。
圖4(a)和4(b)示意了適于至少對參考圖1所述的差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的高真空腔室10和中間腔室14抽真空的真空泵200的第二實施例。該第二實施例類似于第一實施例，除了第二抽吸部分108朝向第一抽吸部分106延伸。這可簡單通過增加第二抽吸部分的長度來實現(xiàn)，如圖4(a)中所示，其中長度的增加在209示出，或者通過朝向第一抽吸部分106移動轉(zhuǎn)子109。結(jié)果并非第一和第二抽吸部分106，108均相對于第一和第二入口120，122軸向移動，如在第一實施例中，第二抽吸部分108的一部分現(xiàn)在沿著軸向鄰近第二入口，從而第二入口122現(xiàn)在局部地圍繞第二抽吸部分108延伸。圖5概略示意了至少第二入口122如何局部地圍繞泵200的本體102的圓柱形內(nèi)壁202延伸。通過經(jīng)由第二入口端口122環(huán)向地將螺旋轉(zhuǎn)子109的一部分暴露于中間腔室14，與第一實施例相比，對腔室14的分子捕獲效率可被提高，由此進一步降低中間腔室14中的壓力并且進一步改進差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的性能。
圖6(a)和6(b)示意了適于至少對參考圖1所述的差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的高真空腔室10和中間腔室14抽真空的真空泵200的第三實施例。該第三實施例類似于圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)的泵16，除了第二抽吸部分20現(xiàn)在具有位于第二抽吸部分20和第一抽吸部分18的渦輪分子站之間的螺旋轉(zhuǎn)子302。如在上述第二實施例中一樣，第二抽吸部分20的一部分現(xiàn)在沿著軸向鄰近第二入口26，從而第二入口26現(xiàn)在局部地圍繞第二抽吸部分20的螺旋轉(zhuǎn)子302延伸。由于第二抽吸部分18的螺旋轉(zhuǎn)子302的一部分沿著環(huán)形暴露于中間腔室14，與現(xiàn)有技術(shù)相比，分子從中間腔室14的捕獲效率可被增加，由此降低中間腔室14中的壓力并且改進差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)的性能。
權(quán)利要求
1.一種真空泵，包括第一抽吸部分、位于第一抽吸部分下游的第二抽吸部分、位于第二抽吸部分下游的第三抽吸部分、第一泵入口，流體可通過所述第一泵入口進入所述泵并且朝向泵出口通過各個抽吸部分，以及第二泵入口，流體可通過所述第二泵入口進入所述泵并且朝向出口僅通過第二和第三抽吸部分，其中第三抽吸部分包括形成在其定子中的螺旋凹槽，并且第一和第二抽吸部分中的至少一個包括形成在其轉(zhuǎn)子中的螺旋凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵，其特征在于，在轉(zhuǎn)子上螺旋凹槽的深度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)改變。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的泵，其特征在于，在轉(zhuǎn)子上螺旋凹槽的深度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)降低。
4.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，在轉(zhuǎn)子上螺旋凹槽的傾斜度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)改變。
5.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，在轉(zhuǎn)子上螺旋凹槽的傾斜度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)降低。
6.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，凹槽在轉(zhuǎn)子入口側(cè)的深度高于凹槽在定子入口側(cè)的深度。
7.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，所述第一和第二抽吸部分中的一個包括至少一個位于所述轉(zhuǎn)子下游的渦輪分子站。
8.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，所述第二抽吸部分包括所述轉(zhuǎn)子。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的泵，其特征在于，所述第一抽吸部分包括至少一個渦輪分子站。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的泵，其特征在于，所述第一抽吸部分的渦輪分子站設(shè)置為使得在使用時進入轉(zhuǎn)子上的螺旋凹槽的流體分子從其定子的表面噴射出。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的泵，其特征在于，所述第一抽吸部分包括至少三個渦輪分子站。
12.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，所述第一和第二抽吸部分均相對于第一和第二入口沿著軸向移動。
13.根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵，其特征在于，所述第一和第二入口中的一個至少局部地圍繞轉(zhuǎn)子延伸。
14.一種真空泵，包括第一抽吸部分和位于其下游的第二抽吸部分；第一泵入口，通過所述第一泵入口流體可進入所述泵并且朝向泵出口通過第一抽吸部分和第二抽吸部分；以及第二泵入口，通過所述第二泵入口流體可進入所述泵并且朝向出口通過所述部分中的僅僅第二抽吸部分，其中，所述第一和第二抽吸部分中的一個包括外螺紋轉(zhuǎn)子并且所述第一和第二泵入口中的一個至少局部地圍繞所述外螺紋轉(zhuǎn)子延伸。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的泵，其特征在于，所述外螺紋轉(zhuǎn)子包括螺旋凹槽。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的泵，其特征在于，所述螺旋凹槽的深度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)改變。
17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的泵，其特征在于，所述螺旋凹槽的深度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)降低。
18.根據(jù)權(quán)利要求15到17中任一項所述的泵，其特征在于，所述凹槽的傾斜度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)改變。
19.根據(jù)權(quán)利要求15到18中任一項所述的泵，其特征在于，所述凹槽的傾斜度從其入口側(cè)朝向其出口側(cè)降低。
20.根據(jù)權(quán)利要求15到19中任一項所述的泵，其特征在于，所述第一和第二抽吸部分中的一個包括至少一個位于所述外螺紋轉(zhuǎn)子下游的渦輪分子站。
21.根據(jù)權(quán)利要求15到20中任一項所述的泵，其特征在于，所述第二抽吸部分包括所述外螺紋轉(zhuǎn)子，所述第二入口至少局部地圍繞所述轉(zhuǎn)子延伸。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的泵，其特征在于，所述第一抽吸部分包括至少一個渦輪分子站。
23.根據(jù)權(quán)利要求21或22所述的泵，其特征在于，所述第一抽吸部分包括至少三個渦輪分子站。
24.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的泵，其特征在于，所述渦輪分子站設(shè)置為使得在使用時進入外螺紋的流體分子從其定子的表面噴射出。
25.根據(jù)權(quán)利要求15到24中任一項所述的泵，其特征在于，包括至少一個另外的抽吸部分，其位于第一和第二抽吸部分的下游以用于從其接收流體并且朝向出口輸出流體。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的泵，其特征在于，所述至少一個另外的抽吸部分包括分子牽引站。
27.一種差分抽吸的真空系統(tǒng)，其包括兩個腔室以及根據(jù)前面任一項權(quán)利要求所述的泵以用于對每個腔室抽氣。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置為從腔室抽吸流體的所述抽吸部分中的一個包括外螺紋轉(zhuǎn)子，將在所述腔室中產(chǎn)生高于10-3毫巴的壓力。
29.根據(jù)權(quán)利要求27或28所述的系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置為從腔室抽吸流體的所述抽吸站中的至少一個包括外螺紋轉(zhuǎn)子，將在所述腔室中產(chǎn)生高于5×10-3毫巴的壓力。
全文摘要
一種真空泵，包括第一抽吸部分(106)、位于第一抽吸部分下游的第二抽吸部分(108)。該泵包括第一泵入口(120)，流體可通過其進入該泵并且朝向泵出口通過第一和第二抽吸部分，以及第二泵入口(122)，流體可通過其進入該泵并且朝向該出口僅通過第二抽吸部分。第二抽吸部分(108)包括外螺紋轉(zhuǎn)子(109)。
文檔編號F04D19/04GK1860299SQ200480028085
公開日2006年11月8日 申請日期2004年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月30日
發(fā)明者I·D·斯通斯, D·J·古德溫 申請人:英國氧氣集團有限公司