專利名稱：：用于可變原位置分配系統(tǒng)的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明的實施方式通常涉及泵，更具體為分配泵。甚至更具體的，本發(fā)明的實施方式提供用于減少分配泵的殘存體積的系統(tǒng)和方法。背景在半導(dǎo)體制造中使用的分配系統(tǒng)被設(shè)計成將準(zhǔn)確量的流體分配到晶片上。在一相系統(tǒng)中，流體從分配泵通過過濾器分配到晶片上。在兩相系統(tǒng)中，流體在進(jìn)入分配泵之前在過濾相中進(jìn)行過濾。接著將分配相中的流體直接分配到晶片上。在任何一種情況下，分配泵一般具有儲存特定體積的流體的室以及移動的隔板以推動室內(nèi)的流體。在分配前，隔板一般被定位使得不考慮分配操作所需的流體的體積而利用室的最大體積。因此，例如，10mL的分配泵，室能儲存10.5mL或llmL流體，即使每次分配僅需要3mL流體(10mL分配泵會具有稍大的室以確保有足夠的流體進(jìn)行最大預(yù)期分配10mL)。每次分配周期，室被填充至其最大容量(例如，取決于泵，10.5mL或llmL)。這意味著一次3mL的分配，至少有7.5mL"殘存，，體積(例如，具有10.5mL室的泵)的流體沒有用于分配。對于兩相分配系統(tǒng)，由于兩項系統(tǒng)采用具有殘存體積的進(jìn)給泵，殘存體積增加。如果進(jìn)給泵也具有10.5mL的容量，但是每次分配操作只需相分配泵提供3mL流體，進(jìn)給泵也將具有7.5mL未使用的殘存體積，導(dǎo)致在該實施例中該分配系統(tǒng)總體上有15mL未使用的殘存體積。殘存體積存在幾個問題。一個問題是產(chǎn)生額外的化學(xué)廢棄物。當(dāng)分配系統(tǒng)開始啟動時，需要超過用于分配操作的額外的流體填充分配泵和/或進(jìn)給泵的額外的體積。當(dāng)沖洗分配系統(tǒng)時殘存體積也產(chǎn)生廢棄物。由于殘存體積增加加劇化學(xué)廢棄物的問題。殘存體積的第二個問題是產(chǎn)生流體停滯?；瘜W(xué)制品有形成膠體、結(jié)晶、脫氣、分離等的機(jī)會。再者，這些問題在低體積分配應(yīng)用中具有較大殘存體積的情況下特別變得更糟。流體停滯可能對分配操作具有有害的影響。具有大殘存體積的系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造過程中檢測新的化學(xué)制品顯示另外的缺點。由于很多半導(dǎo)體制造過程化學(xué)制品昂貴(例如一升數(shù)千美元)，新的化學(xué)制品在小批晶片上進(jìn)行檢測。由于半導(dǎo)體制造商不希望采用多級泵進(jìn)行測試分配而浪費流體殘存體積和相關(guān)費用，他們例如使用注射器分配少量的測試化學(xué)制品。這是一種不準(zhǔn)確、花費時間并具有潛在危險的方法，其不代表實際的分配過程。發(fā)明概述本發(fā)明的實施方式提供一種流體泵的系統(tǒng)和方法，其消除或至少基本上減少現(xiàn)有技術(shù)泵系統(tǒng)和方法的缺點。本發(fā)明的一種實施方式可以包括泵系統(tǒng)，所述泵系統(tǒng)包括具有在分配室內(nèi)移動的分配隔板的分配泵，以及與分配泵連接的控制器。所述泵控制器，根據(jù)一種實施方式，可操作地控制分配泵從而移動分配室內(nèi)的分配隔板至分配室原位置，從而部分填充分配泵。與分配室原位置相應(yīng)的可用體積小于分配泵的最大可用體積，并且在分配周期中是分配泵的最大可用體積。其中基于分配操作的一個或多個參數(shù)選擇分配泵原位置。根據(jù)本發(fā)明的另一種實施方式包括多級泵系統(tǒng)，其包括具有在進(jìn)給室內(nèi)移動的進(jìn)給隔板的進(jìn)給泵，位于進(jìn)給泵下游并具有在分配室內(nèi)移動的分配隔板的分配泵，與進(jìn)給泵和分配泵連接從而控制進(jìn)給泵和分配泵的泵控制器。分配泵可以具有最大可用體積，該體積是分配泵可以容納在分配室內(nèi)的最大流體量?？刂破骺梢钥刂品峙浔靡苿臃峙涫覂?nèi)的分配隔板到達(dá)分配泵原位置從而部分填充分配泵。與分配室原位置相應(yīng)的分配泵保存流體的可用體積小于分配泵的最大可用體積，并且是分配泵在分配周期內(nèi)的最大可用體積。通過減少分配泵保存的流體量至分配泵在特定分配周期所需的量(或從最大可用體積的一些其它減少量)，減少流體的殘存體積。本發(fā)明的另一種實施方式包括一種減少泵的殘存體積的方法，其包括保持對處理流體的壓力，在分配周期內(nèi)部分填充分配泵至分配泵原位置，并且將分配量的處理流體從分配泵分配到晶片上。分配泵具有與分配泵原位置相應(yīng)的可用體積，其小于分配泵的最大可用體積，并且是分配泵在分配周期內(nèi)的最大可用體積。與分配泵的分配泵原位置相應(yīng)的可用體積至少為分配體積。本發(fā)明的另一實施方式包括用于控制泵的計算機(jī)程序產(chǎn)品。計算機(jī)程序產(chǎn)品包括存儲在計算機(jī)可讀介質(zhì)內(nèi)的由處理器執(zhí)行的軟件指令。一套計算機(jī)指令可以包括引導(dǎo)分配泵移動分配隔板至分配泵原位置從而部分填充分配泵、并且引導(dǎo)分配泵從分配泵分配分配量的處理流體的可執(zhí)行指令。與分配泵原位置相應(yīng)的分配泵可用體積小于分配泵的最大可用體積，并且是分配泵在分配周期內(nèi)的最大可用體積。本發(fā)明的實施方式通過減少泵(單級或多級)的殘存體積提供超過現(xiàn)有技術(shù)泵系統(tǒng)和方法的優(yōu)點，從而減少處理流體的停滯。本發(fā)明的實施方式通過減少少量和測試分配中未^f吏用的處理流體的廢棄物提供另一優(yōu)點。本發(fā)明的實施方式還通過更有效地排出停滯流體提供另一優(yōu)點。本發(fā)明的實施方式還通過使泵隔板的有效范圍最佳提供另一優(yōu)點o附圖的簡要描述參考下面的說明書并結(jié)合附圖，可以更全面地理解本發(fā)明及其優(yōu)點，其中相同的參考數(shù)字表示相同的部件，其中圖l是泵系統(tǒng)的圖示顯示；圖2是多級泵的圖示顯示；圖3A-3G提供在不同操作級中多級泵的一種實施方式的圖示顯示。圖4A-4C是運行多種配制的泵的原位置的圖示顯示。圖5A-5K在分配周期的不同階段多級泵的另一實施方式的圖示顯示。圖6是用戶界面的圖示顯示。圖7是顯示用于減少多級泵的殘存體積的方法的一種實施方式的流程圖；圖8是單級泵的圖示顯示。詳細(xì)描述在圖中描述本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，相同的數(shù)字用于表示不同圖的相同或相應(yīng)的部件。本發(fā)明的實施方式提供一種減少泵的殘存體積的系統(tǒng)和方法。更具體的，本發(fā)明的實施方式提供一種確定原位置以減少分配泵和/和進(jìn)給泵的殘存體積的系統(tǒng)和方法。可以選擇隔板的原位置使得分配泵和/或進(jìn)給泵的室內(nèi)含有足夠的流體進(jìn)行分配周期的各個步驟，同時使殘存體積最小。此外，可選擇隔板的原位使容積的有效范圍最佳。圖1是泵系統(tǒng)10的圖示顯示。泵系統(tǒng)IO可以包括流體源15，泵控制器20和多級("多級，，)泵100，其一起運作將流體分配到晶片25。多級泵100的操作可由泵控制器20控制，其可以是機(jī)載多級泵100或通過一個或多個傳送控制信號、數(shù)據(jù)或其它信息的通訊連接裝置與多級泵100相連。泵控制器20可以包括計算機(jī)可讀介質(zhì)27(例如，RAM,ROM,閃速存儲器，光盤或磁盤驅(qū)動器或其它計算機(jī)可讀介質(zhì))，所述計算機(jī)可讀介質(zhì)包含一套控制多級泵100操作的控制指令30。處理器35(例如CPU，ASIC，RISC或其它處理器)可以執(zhí)行指令。在圖1的實施方式中，控制器20通過通訊連接裝置40和45與多級泵100通訊。通訊連接裝置40和45可以是網(wǎng)絡(luò)(例如Ethernet,無線網(wǎng)絡(luò)，全球網(wǎng)，DeviceNet網(wǎng)絡(luò)或其它現(xiàn)有技術(shù)已知或開發(fā)的網(wǎng)絡(luò))，數(shù)據(jù)傳送總線(例如SCSI總線)或其它通訊連接裝置。泵控制器20可以包括適宜的接口(例如網(wǎng)絡(luò)接口，1/0接口，模擬至數(shù)字轉(zhuǎn)換器以及其它部件)從而允許泵控制器20與多級泵100通訊。泵控制器20包括本領(lǐng)域已知的多種計算機(jī)部件，包括處理器、存儲器、接口、顯示器裝置、外圍設(shè)備或其它計算機(jī)裝置。泵控制器20控制多級泵的各個閥和電動機(jī)從而使多級泵準(zhǔn)確地分配流體，包括低粘度流體(即，小于5厘泊)或其它流體。應(yīng)當(dāng)注意盡管圖l采用多級泵的實施例，泵系統(tǒng)IO也可使用單級泵。圖2是多級泵100的圖示顯示。多級泵100包括進(jìn)給級部分105和分開的分配級部分110。從流體流動方面來看，位于進(jìn)給級部分105和分配級部分110之間的是過濾器120，用于過濾處理流體中的雜質(zhì)。許多閥可以控制通過多級閥100的流體流動，包括例如，入口閥125,隔離閥130，阻擋閥135，清洗閥140,排出閥145和出口閥147。分配級部分110可以進(jìn)一步包括確定分配級110內(nèi)流體壓力的壓力傳感器112。進(jìn)給級105和分配級110可以包括滾動隔膜泵以泵送多級泵100內(nèi)的流體。進(jìn)給級泵150("進(jìn)給泵150"),例如包括收集流體的進(jìn)給室155,在進(jìn)給室155內(nèi)移動并移動流體的進(jìn)給級隔板160，移動進(jìn)給級隔板160的活塞165,導(dǎo)螺桿170和進(jìn)給電動機(jī)175。導(dǎo)螺桿170通過螺母、齒輪或其它裝置連接進(jìn)給電動機(jī)175，用于將電動機(jī)的能量傳遞到導(dǎo)螺桿170。根據(jù)一種實施方式，進(jìn)給電動機(jī)175旋轉(zhuǎn)螺母，所述螺母反過來旋轉(zhuǎn)導(dǎo)螺桿170，導(dǎo)致活塞165啟動。分配級泵180("分配泵180")可以類似地包括分配室185,分配級隔板190，活塞192，導(dǎo)螺桿195和分配電動才幾200。才艮據(jù)其它實施方式，進(jìn)給級105和分配級IIO各自可以包括各種其它泵，包括氣動泵、液壓泵或其它泵。進(jìn)給級采用氣動泵和步進(jìn)電動機(jī)驅(qū)動的分配泵的多級泵一種實施例在美國專利申請No.ll/051，576中描述，在這里結(jié)合其全部內(nèi)容作為參考。進(jìn)給電動機(jī)175和分配電動機(jī)200可以是任何適宜的電動機(jī)。根據(jù)一種實施方式，分配電動機(jī)200為具有位置傳感器203的永磁同步電動機(jī)("PMSM，，)。PMSM可以被利用電動機(jī)200上的場定向控制器("FOC")的數(shù)字信號處理器("DSP")，控制器機(jī)栽多級泵100或分開的泵控制器(例如，圖l所示)所控制。位置傳感器203可以是編碼器(例如精密線旋轉(zhuǎn)位置編碼器)用于實時反饋電動機(jī)200的位置。使用位置傳感器203準(zhǔn)確并重復(fù)控制活塞192的位置，其導(dǎo)致準(zhǔn)確并重復(fù)控制分配室185內(nèi)流體的運動。例如，使用2000線編碼器可能準(zhǔn)確地測量并控制0.045度的旋轉(zhuǎn)。此外，PMSM可以在低速下運轉(zhuǎn)，4艮少或沒有振動。進(jìn)給電動機(jī)175也可以是PMSM或步進(jìn)電動才幾。多級泵100的閥打開或關(guān)閉以允許或限制流體流到多級泵100的不同部分。根據(jù)一種實施方式，所述閥可以是氣動(即，氣體驅(qū)動)隔膜閥，根據(jù)維持的壓力或真空打開或關(guān)閉。但在本發(fā)明的其它實施方式中，可以使用任意適宜的閥。運轉(zhuǎn)時，分配周期內(nèi)多級泵100可以包括準(zhǔn)備階段、分配階段、填充階段、預(yù)過濾階段、過濾階段、排出階段、清洗階段和靜態(tài)清洗階段。也可以包括額外階段用于閥打開和關(guān)閉的延遲。在其它實施方式中，分配周期(即，多級泵100準(zhǔn)備分配到晶片上到前一分配之后多級泵100又準(zhǔn)備分配到晶片之間的連續(xù)階段)可能需要更多或更少的階段，可以不同次序執(zhí)行各種階段。在進(jìn)給階段中，打開入口閥125，進(jìn)給級泵150移動(例如拖動)進(jìn)給級隔板160將流體吸入進(jìn)給室155。一旦足夠量的流體填充進(jìn)給室155，入口閥125關(guān)閉。在過濾階段，進(jìn)給級泵150移動進(jìn)給級隔板160從而移動進(jìn)給室155內(nèi)的流體。打開隔離閥130和阻擋閥135允許流體通過過濾器120流入分配室185。隔離閥130,根據(jù)一種實施方式，可以先打開(例如，在"預(yù)過濾階段")從而允許在過濾器120內(nèi)產(chǎn)生壓力，接著打開阻擋閥135允許流體流入分配室185。此外在泵180收縮前，泵150可保持對流體的壓力，從而也導(dǎo)致產(chǎn)生壓力。在排出階段開始時，隔離閥130打開，阻擋閥135關(guān)閉，排出閥145打開。在另一實施方式中，阻擋閥135可以在排出階段過程中保持打開，在排出階段結(jié)束時關(guān)閉。進(jìn)給級泵150向流體施加壓力，從而通過打開的出口閥145迫使流體離開出口除去來自過濾器120的氣泡?？梢钥刂七M(jìn)給級閥150使以預(yù)定速度進(jìn)行排出，允許更長的排出時間和更低的排出速度，從而允許準(zhǔn)確地控制排出廢棄物的量。在清洗階段開始時，關(guān)閉隔離閥130,阻擋閥135如果在排出階段是打開的則關(guān)閉，排出閥145關(guān)閉，清洗閥140打開。分配泵180對分配室185內(nèi)的流體施加壓力。流體可以被驅(qū)趕離開多級泵IOO或返回流體源或進(jìn)給泵150。在靜態(tài)清洗階段，分配泵180停止，但是清洗泵140保持打開以減少清洗階段過程中產(chǎn)生的壓力。在清洗或靜態(tài)清洗階段中除去的任何過量的流體可以被驅(qū)趕離開多級泵1OO(例如返回流體源或廢棄)或再循環(huán)至進(jìn)給級泵150。在準(zhǔn)備階段中，可以關(guān)閉全部閥。在分配階段過程中，出口閥147打開，分配泵180向分配室185內(nèi)的流體施加壓力。由于出口閥147可能對控制的反應(yīng)比分配泵180更慢，出口閥147可能先被打開，經(jīng)過某一預(yù)定的時間之后分配電動機(jī)200啟動。這防止分配泵180推動流體通過階段打開的出口閥147。在另一實施方式中，出口閥147打開之前泵可以啟動，或者出口閥l47可以;故打開，分配泵180可以同時開始分配?？梢赃M(jìn)行額外的回吸階段，其中通過將流體吸回，除去分配噴嘴內(nèi)過量的流體。在回吸階段，出口閥147可以關(guān)閉，可以使用第二電動機(jī)或真空從出口噴嘴吸出過量的流體?？蛇x擇的，出口閥147保持打開，分配電動才幾200可以反轉(zhuǎn)將流體吸回至分配室。所述回吸階段有助于防止過量流體滴到晶片上。圖3A-3G提供不同操作階段過程中多級泵100的圖示顯示，其中多級泵100沒有補(bǔ)償殘存體積。例如，假i殳分配泵180和進(jìn)給泵150各自具有20mL最大可用體積，分配過程分配4mL流體，排出階段排出0.5mL流體，清洗階段(包括靜態(tài)清洗)清洗lmL流體，回吸體積為lmL。在準(zhǔn)備階段(圖3A)，隔離閥130和阻擋閥135打開，而入口閥125、排出閥145、清洗閥140和出口閥147關(guān)閉。分配泵180接近其最大體積(例如19mL)(即，最大體積減去前一周期清洗的lmL)。在分配階段(圖3B)，隔離閥130、阻擋閥135、清洗閥140、排出閥145和入口閥125關(guān)閉，出口閥147打開。分配泵180分配預(yù)先限定量的流體(例如4mL)。在該實施例中，在分配階段結(jié)束時，分配泵180具有15mL的體積。在回吸階段(圖3C)，在分配階段分配的一些流體(例如lmL)可能被吸回到分配泵180以清洗分配噴嘴。這可以，例如通過反轉(zhuǎn)分配電動機(jī)而實現(xiàn)。在其它實施方式中，通過真空或另一泵，可以從分配噴嘴中除去額外的lmL流體。使用將lmL吸回分配泵180的實施例，回吸階段后，分配泵180具有16mL體積。在進(jìn)給階段(圖3D)，出口閥147關(guān)閉，出口閥125打開。進(jìn)給泵150在先前系統(tǒng)中，填充流體至其最大容量(例如20mL)。在過濾階段，入口閥125關(guān)閉，隔離閥130和阻擋閥135打開。進(jìn)給泵150推動流體離開進(jìn)給泵150通過過濾器120，導(dǎo)致流體進(jìn)入分配泵180。在先前的系統(tǒng)中，在所述階段分配泵180被填充至其最大容量(例如20mL)。在分配階段繼續(xù)先前的實施例，進(jìn)給泵150將移動4mL流體，導(dǎo)致分配泵180由16mL(在回吸階段結(jié)束時的容量)填充至20mL(分配泵180的最大體積)。這使得進(jìn)給泵150具有16mL體積。在排出階段(圖3F)，阻擋閥135可以關(guān)閉或打開，排出岡145打開。進(jìn)給泵150移動預(yù)定量的流體(例如，5mL)從而迫4吏在過濾器120聚積的過量流體或氣泡排出出口閥145。因此，在排出階段結(jié)束時，在所述實施例中進(jìn)給泵150為15.5mL。分配泵180在清洗階段(圖3G)可以使少量流體(例如lmL)清洗通過打開的清洗閥140。流體可3皮送至廢棄物中或再循環(huán)。在清洗階段結(jié)束時，多級泵IOO返回準(zhǔn)備階段，分配泵有19mL。在圖3A至3G的實施例中，分配泵180僅使用5mL流體，4mL用于分配階段(其中的lmL在回吸時重新獲得)，lmL用于清洗階段。相似的，在過濾階段進(jìn)給泵150僅使用4以再填充分配泵180(分配階段再填充的4mL減去回吸過程重新獲得的lmL加上清洗階段再填充的lmL)，在排出階段使用0.5mL。由于進(jìn)給泵150和分配泵180被填充至其最大可用體積(例如各自20mL)，具有相當(dāng)大的殘存體積。進(jìn)給泵150例如具有15.5mL殘存體積，分配泵180具有15mL殘存體積，組合殘存體積為30.5mL。如果在回吸階段流體沒有被吸回到分配泵中，殘存體積會稍微減少。在這種情況下，分配泵180仍使用5mL流體，分配階段為4mL，清洗階段為lmL。然而，進(jìn)給泵150，使用上述實施例，必須再填克沒有在回吸過程中重新獲得的lmL流體。結(jié)果，在過濾階段進(jìn)給泵150不得不給分配泵180再填充5mL流體。在這種情況下，進(jìn)給泵150具有14.5mL殘存體積，分配泵180將具有15mL殘存體積。本發(fā)明的實施方式通過減少殘存體積減少廢棄流體。根據(jù)本發(fā)明的實施方式，可以限定進(jìn)給和分配泵的原位置使得分配泵的流體體積足以應(yīng)付給定"配制"(即，影響分配操作的一系列因素，包括例如分配速度、分配時間、清洗體積、排出體積和影響分配操作的其它因素)，給定最大配制或一套給定配制。泵的原位置對于給定循環(huán)是具有最大可用體積的泵的位置。例如，原位置可以是在分配循環(huán)中給予最大可容許體積的隔板位置。與泵的原位置相應(yīng)的可用體積一般小于泵的最大可用體積。使用上述實施例，假設(shè)配制，其中分配階段使用4mL流體，清洗階段lmL，排出階段0.5mL,回吸階段重新獲得lmL流體，分配泵所需的最大體積為vDMax=vD+vP+ei[等式11vDMax=分配泵所需的最大體積vD=在分配階段分配的體積VP=在清洗階段清洗的體積ei-分配泵的誤差體積進(jìn)給泵150所需的最大體積為VFmax=VD+VP+Vv-Vsuckback+e2[等式2VFmax=分配泵所需的最大體積VD=分配階段分配的體積Vy-排出階段排出的體積Vsuckbaek=回吸過程重新獲得的體積e2=進(jìn)給泵的誤差體積假i殳沒有誤差體積并釆用上述實施例，VDMax=4+1=5mL，VFmax=4+l+0.5-l=4.5mL。在分配泵180在回吸過程中沒有重新獲得流體的情況下，Vsuekbaek相可被設(shè)定為O或省略。ei和e2可以為0,預(yù)定體積(例如lmL)，計算體積或其它誤差因子。e,和e2可以具有相同值或不同值(在先前實施例中假定為0)。返回圖3A-3G，使用VDMax=5mL和VFmax=4.5mL的實施例，在準(zhǔn)備階段(圖3A),分配泵180具有4mL體積，進(jìn)給泵150具有OmL體積。分配泵180在分配階段(圖3B)分配4mL流體，在回吸階段(圖3C)重新獲得lmL。在進(jìn)給階段(圖3D)，進(jìn)給泵150被重新填充至4.5mL。在過濾階段(圖3E)，進(jìn)給泵150可以移動4mL流體，導(dǎo)致分配泵180被填充5mL流體。此外，在排出階段，進(jìn)給泵150可以排出0.5mL流體(圖3F)。分配泵180在清洗階段(圖3G)可以清洗lmL流體返回到準(zhǔn)備階段。在所述實施例中，由于在進(jìn)給階段和分配階段移動所有流體，沒有殘存體積。對于用于幾個不同分配配制的泵來說，可以將分配泵和進(jìn)給泵的原位置選定為可以處理最大配制的原位置。下面的表1提供多級泵的示例性配制。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>排出0.25mL0.25mL預(yù)分配速度lmL/秒0.5mL/秒預(yù)分配體積lmL0.5mL在上述實施例中，假設(shè)在回吸過程中沒有重新獲得流體。同樣假設(shè)具有預(yù)分配周期，其中從分配室中分配少量流體?？梢允褂妙A(yù)分配周期，例如促使一些流體通過分配噴嘴從而清洗噴嘴。根據(jù)一種實施方式，在預(yù)分配和主分配之間沒有重新填充分配泵。在這種情況下[等式3VDPM-預(yù)分配分配的量VoMain-主分配的量因此分配隔板的原位可以設(shè)定為4.5mL體積(3+1+0.5)，進(jìn)給泵的原位置可以設(shè)定為4.75mL(3+1+0.5+0.25)。具有這些原位置，分配泵180和進(jìn)給泵150對于配制1或配制2具有足夠的容量。根據(jù)另一實施方式，分配泵或進(jìn)給泵的原位置可以根據(jù)有效配制或用戶限定位置改變。如果用戶調(diào)節(jié)配制從而改變泵所需的最大體積或在分配操作中泵相對新的有效配制進(jìn)行調(diào)節(jié)，例如改變配制2從而需要4mL流體，可以手動或自動調(diào)節(jié)分配泵(或進(jìn)給泵)。例如，可以移動分配泵隔板位置將分配泵的容量從3mL改至4mL，可以將額外的lmL流體加入分配泵中。如果用戶指定較低體積配制，例如改變配制2從而僅需要2.5mL流體，分配泵可以等到執(zhí)行完一次分配，再填充到所需的新的較低容量。同樣可以改變進(jìn)給泵或分配泵的原位置以彌補(bǔ)其它問題，例如使特定泵的有效范圍最佳。特定泵隔板的最大和最小范圍(例如，rollingedge隔板、平面隔板或本領(lǐng)域已知的其它隔板)可能與移動體積或壓力非線性從而驅(qū)動隔板，因為例如隔板可能開始伸展或壓縮。對于較大流體容量泵的原位置可能設(shè)定為受力位置或在不需要較大流體容量的情況下設(shè)定為較小受力位置。為了解決壓力問題，隔板的原位置可以調(diào)節(jié)至將隔板定位在有效范圍內(nèi)。作為一種實施例，具有10mL容量的分配泵180可以具有2至8mL的有效范圍。有效范圍可被限定為分配泵的線性范圍，其中隔板沒有承受相當(dāng)大的負(fù)栽。圖4A-C提供設(shè)定10mL泵的分配隔板(例如圖2的分配隔板190)的原位置的三種實施例的圖示顯示，所述泵具有2mL至8mL有效范圍內(nèi)的6mL。應(yīng)當(dāng)注意在所述實施例中，OmL表示導(dǎo)致分配泵具有10mL有效容量的隔板位置，lOmL位置會導(dǎo)致分配泵具有OmL容量。換句話說，OmL-10mL范圍指的是移動體積。圖4A提供具有泵的原位的圖示顯示，所述泵在VDMax=3mL最大體積以及對于具有6mL非受力有效范圍(例如8mL和2mL之間)的泵，VDMax-1.5mL最大體積的配制下運行。在該實施例中，可以設(shè)定分配泵的隔板使得分配泵的體積為5mL(用205表示)。這為3mL分配過程提供足夠的體積，而不需要使用OmL到2mL或?qū)е率芰Φ?mL到10mL。在該實施例中，較少體積較少有效范圍的2mL體積(即，泵具有較少有用體積的較少有效范圍)加入泵的最大VDMax，使得原位置為3mL+2mL=5mL。因此，原位置可以說明泵的非受力有效范圍。圖4B提供第二實施例的圖示顯示。在該第二實施例中，分配泵進(jìn)4亍8mL最大體積分配過程和3mL最大體積分配過程。在這種情況下，必須使用一些較少有效范圍。因此可以設(shè)定隔板原位置為兩個過程(即，可以設(shè)定在允許8mL流體的位置)提供8mL最大允許體積(用210表示)。在這種情況下，較少體積分配過程能全部在有效范圍內(nèi)進(jìn)行。在圖4B的實施例中，選擇原位置從而利用較少體積較少有效范圍(即，當(dāng)泵接近排空時產(chǎn)生的較少有效范圍)。在其它實施方式中，原位置可以在較高體積較少有效范圍內(nèi)。但是，這意味著在較少有效范圍內(nèi)進(jìn)行部分較低體積分配，在圖4B的實施例中，就有一些殘存體積。在圖4C第三實施例中，分配泵進(jìn)行9mL最大體積分配過程和4mL最大體積分配過程。部分過程再次在較少有效范圍內(nèi)進(jìn)行。在該實施例中，可以設(shè)定分配隔板的原位置以提供9mL最大允許體積(例如，表示為215)。如果，如上述，每個配制使用相同的原位置，部分4mL分配過程在較少有效范圍內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)其它實施方式，對于進(jìn)入有效范圍的較少分配過程可以重新設(shè)定原位置。在上述實施例中，對于較少體積分配過程具有一些殘存體積用于防止使用泵的較少有效范圍。可以設(shè)定泵使得對于較大體積分配過程泵僅使用較少有效范圍，其中流動準(zhǔn)確性不很重要。這些特性可能使(i)具有較高準(zhǔn)確性的低體積和(ii)具有較低準(zhǔn)確性的高體積的結(jié)合最佳。因此有效范圍可能和所期望的殘存體積平衡。結(jié)合圖2討論，分配泵180可以包括具有位置傳感器203(例如，旋轉(zhuǎn)編碼器)的分配電動機(jī)200。位置傳感器203可以提供導(dǎo)螺桿195的位置的反饋，因而當(dāng)導(dǎo)螺桿移動隔板時，導(dǎo)螺桿195的位置與分配室185的特定允許體積相應(yīng)。所以泵控制器可以選擇導(dǎo)螺桿的位置，使得分配泵的體積至少為VDMax。根據(jù)另一實施方式，原位置可以是用戶選擇或用戶編程的。例如采用圖形用戶界面或其它界面，用戶可以編程一用戶選擇體積，其足以完成各種分配過程或多級泵的有效分配過程。根據(jù)一種實施方式，如果用戶選擇體積小于VDispense+VPurge,可以返回一錯誤。泵控制器(例如泵控制器20)可以對用戶指定體積增加誤差體積。例如，如果用戶選擇5cc作為用戶指定體積，泵控制器20可以增加lcc以解釋誤差。因此泵控制器會為具有相應(yīng)允許體積為6cc的分配泵180選擇原位置。這可以轉(zhuǎn)化成可以存儲在泵控制器20或機(jī)栽控制器的相應(yīng)導(dǎo)螺桿位置。使用來自位置傳感器203的反饋，可以準(zhǔn)確控制分配泵180使得在過濾周期結(jié)束時，分配泵180位于其原位置(即，其在分配周期具有最大允許體積的位置)。應(yīng)當(dāng)注意可以相似的方式控制使用位置傳感器的進(jìn)給泵150。根據(jù)另一實施方式，沒有位置傳感器的分配泵180和/或進(jìn)給泵150可以由步進(jìn)電動機(jī)驅(qū)動。步進(jìn)電動機(jī)的每一步或計數(shù)與隔板的特定移動相應(yīng)。采用圖2的實施例，分配電動機(jī)200的每次計數(shù)將移動因此從分配室185移動一定量的流體。如果CfuU"r。keD是移動分配隔板從分配室180具有其最大體積的位置(例如20mL)到0mL的計數(shù)(即，移動分配隔板90通過其最大移動范圍的總數(shù))，Cp是移動Vp的總數(shù)，CD是移動Vo的總數(shù)，那么步進(jìn)電動機(jī)200的原位置可以為CH。meD=Cfu||strokeD-(Cp+Cd+Cei)[等式3其中，是Cd與誤差體積相應(yīng)的總數(shù)。類似的，如果C涵str。keF是移動進(jìn)給隔板160從分配室155具有其最大體積的位置(例如20mL)到OmL的計數(shù)(即，移動進(jìn)給隔板160通過其最大移動范圍的總數(shù))，Cs是與分配泵180重新獲得的Vsuckback相應(yīng)的進(jìn)給電動機(jī)175的總數(shù)，Cv是進(jìn)給電動機(jī)175移動Vv的總數(shù)，那么進(jìn)給電動機(jī)175的原位置可以為CH。me產(chǎn)Cfuiistr。keF國(Cp+Cd-Cs+Ce2)[等式4其中，是Ce2與誤差體積相應(yīng)的總數(shù)。圖5A-5K提供根據(jù)本發(fā)明的另一實施方式的多級泵500的不同階段的圖示顯示。多級泵500，根據(jù)一種實施方式，包括進(jìn)給階段泵501("進(jìn)給泵501")，分配階段泵502("分配泵502")，過濾器504,入口閥506和出口閥508。入口閥506和出口閥508可以為三通閥。如下面所討論的，這允許入口閥506用作入口閥和隔離閥，出口閥508用作出口閥和清洗閥。進(jìn)給泵501和分配泵502可以為電動機(jī)驅(qū)動泵(例如步進(jìn)電動機(jī)，無刷直流電動機(jī)或其它電動機(jī))。進(jìn)給泵501和分配泵502的位置分別在510和512顯示。電動機(jī)位置用各自泵的進(jìn)給室或分配室的相應(yīng)可用流體量表示。在圖5A-5K的實施例中，每個泵具有20cc最大可用體積。每個階段的流體運動用箭頭表示。圖5A是多級泵500位于準(zhǔn)備階段的圖示顯示。在該實施例中，進(jìn)給泵501具有提供7cc可用體積的電動機(jī)位置，分配泵502具有提供6cc可用體積的電動機(jī)位置。在分配階段(圖5B所述)，分配泵502的電動才幾運4亍移動5.5cc流體通過出口閥508。分配泵在回吸階段重新獲得0.5cc流體(圖5C所述)。在清洗階段(圖5D所示)，分配泵502移動lcc流體通過出口閥508。在清洗階段，可以驅(qū)動分配泵502的電動機(jī)至硬停機(jī)(即，至0cc可用體積)。這可以確保電動機(jī)在隨后的階段后退適宜數(shù)量的步驟。在排出階段(圖5E所示)，進(jìn)給泵501可以推動少量流體通過過濾器502。在分配泵延遲階段(圖5F所示)，在分配泵502重新填充之前，進(jìn)給泵501可以開始推動流體至分配泵502。這稍微給流體加壓以幫助填充分配泵502并防止過濾器504內(nèi)的負(fù)壓。過量的流體可以;故清洗通過出口閥508。在過濾階段(圖5G所示)，出口閥508關(guān)閉，流體填充分配泵502。在所示的實施例中，6cc流體,皮進(jìn)給泵501移動到分配泵502。在分配電動機(jī)停止后，進(jìn)給泵501可以繼續(xù)保持對流體的壓力(例如，圖5H的進(jìn)給延遲階段所示)。在圖5H的實施例中，大約0.5cc流體留在進(jìn)給泵501中。根據(jù)一種實施方式，進(jìn)給泵501可以被驅(qū)動至硬停機(jī)(例如，具有Occ可用體積)，如圖5I所示。在進(jìn)給階段(圖5J所示)，進(jìn)給泵501被重新填充流體，多級泵500返回準(zhǔn)備階段(圖5K和5A所示)。在圖5A-5K的實施例中，在回吸階段而不是如圖2實施例的排出階段之后，立即進(jìn)行清洗階段使分配泵502產(chǎn)生硬停機(jī)。分配體積為5.5cc，回吸體積為0.5cc，清洗體積為lcc。根據(jù)階段的次序，分配泵502所需的最大體積為VDMax=VDispense+Vpurge-Vsuckback+Cl[等式如果分配泵502采用步進(jìn)電動機(jī)，特定計數(shù)量將導(dǎo)致移動VDMax。電動機(jī)從硬停機(jī)位置后退(例如，0計數(shù))與VDMax相應(yīng)的計數(shù)量，分配泵具有可用體積VDMax。對于進(jìn)給泵501,Vvent為0.5cc,額外的0.5cc誤差體積4吏進(jìn)給泵501產(chǎn)生硬停機(jī)。根據(jù)等式2:VFmax=5.5+l+0.5-0.5+0.5在該實施例中，Vpmax為7CC。如果進(jìn)給泵501使用步進(jìn)電動機(jī)，所述步進(jìn)電動機(jī)在重新填充階段可以從硬停機(jī)位置后退與7cc相應(yīng)的計數(shù)量。在該實施例中，進(jìn)給泵501利用最大20cc中的7cc，進(jìn)給泵502利用最大20cc中的6cc，從而節(jié)省27cc殘存體積。圖6是用于輸入用戶限定體積的用戶界面600的圖示顯示。在圖6的實施例中，用戶在區(qū)域602可以輸入用戶限定體積，此處為10.000mL?？上蚱浼由险`差體積(例如，lmL)，使得分配泵的原位置具有l(wèi)lmL相應(yīng)可用體積。圖6僅顯示設(shè)定分配泵的用戶限定體積，在其它實施方式中，也可選擇進(jìn)給泵的體積。圖7是一種控制泵以減少殘存體積的方法的實施例的圖示顯示。本發(fā)明的實施方式可以通過，例如計算機(jī)處理器可執(zhí)行的軟件程序?qū)嵤亩刂七M(jìn)給泵和分配泵。步驟702，用戶輸入可以包括多個分配周期的分配操作的一個或多個的參數(shù)，包括，例如分配體積、清洗體積、排出體積、用于分配泵體積和/或進(jìn)給泵的用戶指定體積和其它參數(shù)。參數(shù)可以包括用于不同分配周期的不同配制的參數(shù)。泵控制器(例如，圖1的控制器20)可以根據(jù)用戶指定體積、分配體積、清洗體積和與分配周期相關(guān)的其它參數(shù)確定分配泵的原位置。此外，選擇原位置可以基于分配隔板的有效運動范圍。類似的，泵控制器可以確定進(jìn)給泵的原位置。在進(jìn)給階段，可以控制進(jìn)給泵以填充處理流體。根據(jù)一種實施方式，進(jìn)給泵可以填充至其最大容量。根據(jù)另一實施方式，進(jìn)給泵可以填充至進(jìn)給泵原位置(步驟704)。在排出階段，可以進(jìn)一步控制進(jìn)給泵以排出具有排出體積的流體(步驟706)。在過濾階段，控制進(jìn)給泵以保持對處理流體的壓力從而填充分配泵知道分配泵到達(dá)其原位置。移動分配泵的分配隔板知道分配泵達(dá)到原位置從而部分填充分配泵(即，填充分配泵至可用體積，所述可用體積小于分配泵的最大可用體積)(步驟708)。如果分配泵采用步進(jìn)電動機(jī)，分配隔板首先產(chǎn)生硬停機(jī)，步進(jìn)電動機(jī)倒轉(zhuǎn)與分配泵原位置相應(yīng)的計數(shù)量。如果分配泵使用位置傳感器(例如旋轉(zhuǎn)編碼器)，利用來自位置傳感器的反饋可以控制隔板的位置。接著分配泵可以被指引清洗少量流體(步驟710)?？梢赃M(jìn)一步控制分配泵從而分配預(yù)定量的流體(例如，分配體積)(步驟712)?？梢赃M(jìn)一步控制分配泵從而回吸少量流體或者通過另一泵、真空或其它適合裝置可以從分配噴嘴除去流體。應(yīng)當(dāng)注意可以不同的順序完成圖7的步驟并且根據(jù)需要或要求進(jìn)行重復(fù)。首先討論的是多級泵，本發(fā)明的實施方式也可以采用單級泵。圖8是單級泵800的一種實施方式的圖示顯示。單級泵800包括分配泵802以及分配泵802和分配噴嘴804之間、用于過濾處理流體的雜質(zhì)的過濾器820。很多閥可以控制通過單級泵800的液流，包括例如清洗閥840和出口閥847。分配泵802可以包括，例如收集流體的分配室855,在分配室855內(nèi)移動并移動流體的隔板860，移動分配級隔板860的活塞865，導(dǎo)螺桿870和分配電動機(jī)875。導(dǎo)螺桿870通過螺母、齒輪或其它裝置與電動機(jī)875連接從而將電動機(jī)的能量傳遞至導(dǎo)螺桿870。根據(jù)一種實施方式，進(jìn)給電動機(jī)875旋轉(zhuǎn)螺母，所述螺母反過來旋轉(zhuǎn)導(dǎo)螺桿870，導(dǎo)致活塞865啟動。根據(jù)其它實施方式，分配泵802可以包括各種其它泵，包括氣動泵、液壓泵或其它泵。分配電動機(jī)875可以^f壬何適宜的電動才幾。才艮據(jù)一種實施方式，分配電動機(jī)875為具有位置傳感器880的PMSM。PMSM可以由電動機(jī)875上的DSPFOC、泵800栽控制器或分離的泵控制器(例如圖l所示)所控制。位置傳感器800可以是實時反饋電動機(jī)875的位置的編碼器(例如，精密線旋轉(zhuǎn)位置編碼器)。使用位置傳感器880準(zhǔn)確并重復(fù)控制分配泵802的位置。打開或關(guān)閉單級泵800的閥從而允許或限制流體流到單級泵800的不同部分。根據(jù)一種實施方式，所述閥可以是取決于是否保持壓力或真空打開或關(guān)閉的氣動(即，氣體驅(qū)動)隔板閥。但是在本發(fā)明的其它實施方式中，可以使用任何適宜的閥。操作時，單級泵100的分配周期可以包括準(zhǔn)備周期、過濾/分配周期、排出/清洗階段和靜態(tài)清洗階段。也可以包括額外的階段以說明閥打開和關(guān)閉的延遲。在其它實施方式中，分配周期(即，當(dāng)單級泵800準(zhǔn)備分配到晶片上到前一分配之后當(dāng)單級泵800再次準(zhǔn)備分配到晶片上之間的系列階段)可能需要更多或更少的階段，并且可以不同的順序完成各種階段。在進(jìn)給階段，入口閥825打開，分配泵802移動(例如，拖動)隔板860從而將流體吸入分配室855。一旦足夠量的流體填充分配室855，入口閥825關(guān)閉。在分配/過濾階段，泵802移動隔板860從而移動分配室855的流體。打開出口閥847從而允^午流體流動通過過濾器820離開噴嘴804。在泵802開始分配之前、之后或同時，出口閥847可以打開。在清洗/排出階段開始時，打開清洗閥840并關(guān)閉出口閥847。分配泵802向流體提供壓力從而移動流體通過打開的清洗閥840。流體可以離開單級泵800或返回流體源或分配泵802。在靜態(tài)清洗階段，分配泵802停止，但是清洗閥140保持打開從而減少在清洗階段產(chǎn)生的壓力?？梢赃M(jìn)行額外的回吸階段，其中通過將流體拉回出去分配噴嘴內(nèi)過量的流體。在回吸階段，可以關(guān)閉出口閥847，可以使用第二電動機(jī)或真空將過量流體吸出出口噴嘴804?？蛇x擇的，出口閥847可以保持打開，分配電動機(jī)875可以反轉(zhuǎn)從而將流體吸回到分配室?；匚A段幫助防止過量流體滴到晶片上。應(yīng)當(dāng)注意同樣可以完成分配周期的其它階段，單級泵不限于以上述順序完成上述階段。例如，如果分配電動才幾875為步進(jìn)電動4幾，可以增加一階段使電動機(jī)在進(jìn)給階段之前產(chǎn)生硬停機(jī)。此外，結(jié)合的階段(例如。清洗/排出)可以作為單獨階段進(jìn)行。根據(jù)其它實施方式，泵可以不進(jìn)行回吸階段。此外，單級泵可以具有不同結(jié)構(gòu)。例如，單級泵可以不包括過濾器，或者也不具有清洗閥，可以具有用于出口閥147的止回閥。根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式，在填充階段，分配泵802可以被填充至原位置，使得分配室855具有充足的體積從而完成分配周期的每個階段。在上面給出的實施例中，與原位置相應(yīng)的可用體積至少為分配體積加上清洗體積(即，在清洗/排出階段和靜態(tài)清洗階段釋放的體積)。分配室855重新獲得的任何回吸體積可以從分配體積和清洗體積中減去。對于多級泵，可以基于一個或多個配制或用戶限定體積確定原位置。與分配泵原位置相應(yīng)的可用體積小于分配泵的最大可用體積，并且在分配周期中是分配泵的最大可用體積。已經(jīng)參考特定實施方式描述本發(fā)明，應(yīng)當(dāng)理解所述實施方式是示例性的，本發(fā)明的范圍不限于所述實施方式。對上述實施方式的很多變化、修改、增加和改進(jìn)是可能的。設(shè)想這些變化、<務(wù)改、增加和改進(jìn)落在下面權(quán)利要求詳述的本發(fā)明的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種泵系統(tǒng)，包括分配泵，其中所述分配泵具有最大可用體積，所述分配泵進(jìn)一步包括可在分配室內(nèi)移動的分配隔板；以及與分配泵連接的泵控制器，泵控制器可操作地控制分配泵從而移動分配室內(nèi)的分配隔板至分配泵原位置(homeposition)，從而部分填充分配泵，其中與分配泵原位置相應(yīng)的可用體積小于分配泵的最大可用體積，并且在分配周期中是分配泵的最大可用體積，其中基于分配操作的一個或多個參數(shù)選擇分配泵原位置；控制分配泵從而分配來自分配泵的處理流體。2.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括位于分配泵下游的過濾器；位于分配泵上游的入口閥；位于過濾器下游的清洗閥；以及位于過濾器下游的出口閥。3.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括位于進(jìn)給泵下游并且位于分配泵上游的過濾器；位于進(jìn)給泵上游的入口閥；位于進(jìn)給泵和過濾器之間的隔離閥；位于過濾器和分配泵之間的阻擋閥；位于分配泵下游的清洗閥；以及位于分配泵下游的出口閥。4.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，其中控制器進(jìn)一步可操作地控制分配泵從而清洗清洗量的流體，其中與分配泵原位置相應(yīng)的可用體積至少為分配體積加上清洗體積。5.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，其中分配泵進(jìn)一步包括分配電動機(jī)從而移動分配隔板，其中控制器進(jìn)一步可操作地在部分填充分配泵之前控制分配泵從而將分配隔板移動到硬停機(jī)(hardstop);控制分配泵通過反轉(zhuǎn)步進(jìn)電動機(jī)相應(yīng)的步數(shù)，將分配隔板從硬停機(jī)位置移動到分配泵原位置。6.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，其中分配泵進(jìn)一步包括移動分配隔板的分配電動才幾；顯示分配電動機(jī)位置的位置傳感器。7.權(quán)利要求6的系統(tǒng)，其中位置傳感器為線性編碼器。8.權(quán)利要求6的系統(tǒng)，其中位置傳感器為旋轉(zhuǎn)編碼器。9.權(quán)利要求6的系統(tǒng)，其中控制器進(jìn)一步可操作地控制分配電動機(jī)，從將分配隔板從第一位置移動到分配泵原位置。10.權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中根據(jù)來自位置傳感器的反饋，控制器進(jìn)一步可操作地將分配隔板停在原位置。11.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括進(jìn)給泵包括可在進(jìn)給室內(nèi)移動的進(jìn)給隔板；以及其中，泵控制器與進(jìn)給泵連接并可操作地控制進(jìn)給泵，以保持對處理流體的壓力，從而向分配泵提供處理流體。12.權(quán)利要求11的系統(tǒng)，其中控制器進(jìn)一步可操作地控制進(jìn)給泵，將進(jìn)給隔板移動到進(jìn)給泵原位置，從而部分填充進(jìn)給泵。13.權(quán)利要求12的系統(tǒng)，其中控制器進(jìn)一步可操作地控制進(jìn)給泵，從而排出排出量的流體。14.權(quán)利要求13的系統(tǒng)，其中當(dāng)進(jìn)給隔板為進(jìn)給泵原位置時，進(jìn)給泵的可用體積至少等于分配體積、排出體積和清洗體積。15.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，其中與分配泵原位置相應(yīng)的分配泵的可用體積至少等于用戶指定體積。16.權(quán)利要求15的系統(tǒng)，其中控制器進(jìn)一步可操作地接收用戶指定體積；以及用戶指定體積加上誤差體積從而確定與分配泵原位置相應(yīng)的分配泵的可用體積。17.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括進(jìn)給泵包括可在進(jìn)給室內(nèi)移動的進(jìn)給隔板；以及其中，泵控制器與進(jìn)給泵連接并可操作地控制進(jìn)給泵以保持對處理流體的壓力，從而向分配泵提供處理流體；接收進(jìn)給泵的用戶指定體積；用戶指定體積加上誤差體積，從而確定與進(jìn)給泵原位置相應(yīng)的進(jìn)給泵的可用體積。18.權(quán)利要求l的系統(tǒng)，其中選擇分配泵原位置，從而利用分配隔板的有效區(qū)域。19.一種用于減少泵系統(tǒng)的處理流體的殘存(hold-up)體積的方法，包括向分配泵提供處理流體；根據(jù)分配操作的一個或多個參數(shù)，選擇用于分配泵的分配泵原位置；在分配周期內(nèi)部分填充分配泵至分配泵原位置，其中分配泵具有于分配泵原位置相應(yīng)的可用體積，其小于分配泵的最大可用體積，并且是分配周期中分配泵的最大可用體積；將來自分配泵的處理流體分配到晶片上，其中分配量的處理流體被從分配泵分配，至少一部分分配量被分配到晶片上，其中與分配泵的分配泵原位置相應(yīng)的可用體積至少為分配體積。20.權(quán)利要求19的方法，進(jìn)一步包括清洗來自分配泵的清洗量的流體o21.權(quán)利要求20的方法，其中與分配泵原位置相應(yīng)的分配泵可用體積至少是分配體積加上清洗體積。22.權(quán)利要求21的方法，其中在分配周期中在分配前進(jìn)行清洗。23.權(quán)利要求19的方法，其中在分配周期中在分配之后接著進(jìn)行清洗。24.權(quán)利要求19的方法，進(jìn)一步包括部分填充進(jìn)給泵至進(jìn)給泵原位置，其中進(jìn)給泵具有與進(jìn)給泵原位置相應(yīng)的可用體積，其小于進(jìn)給泵的最大可用體積和進(jìn)給泵在分配周期中的最大可用體積，其中與進(jìn)給泵原位置相應(yīng)的可用體積至少為分配體積。25.權(quán)利要求24的方法，其中進(jìn)一步包括排出排出量的處理流體，其中與進(jìn)給泵原位置相應(yīng)的可用體積至少為排出體積加上分配體積。26.權(quán)利要求25的方法，進(jìn)一步包括從分配泵清洗清洗量的處理流體，其中與進(jìn)給泵原位置相應(yīng)的可用體積至少為排出體積加上分配體積加上清洗體積。27.權(quán)利要求26的方法，進(jìn)一步包括回吸分配泵內(nèi)回吸量的處理流體，其中與進(jìn)給泵原位置相應(yīng)的進(jìn)給泵的可用體積至少為排出體積加上分配體積加上清洗體積減去回吸體積。28.權(quán)利要求19的方法，進(jìn)一步包括根據(jù)分配隔板的有效范圍選擇分配泵原位置。29.—種計算機(jī)程序產(chǎn)品，包括存儲在計算機(jī)可讀介質(zhì)內(nèi)的一套計算機(jī)指令，計算機(jī)指令包括可由處理器執(zhí)行的指令從而接收分配操作的一個或多個參數(shù)；根據(jù)一個或多個參數(shù)為分配泵選擇分配泵原位置；指引分配泵移動分配隔板至分配泵原位置，從而使分配泵部分填充處理流體，其中與分配泵原位置相應(yīng)的可用體積小于分配泵的最大可用體積，并且是分配泵在分配周期內(nèi)的最大可用體積；指引分配泵分配來自分配泵的處理流體。30.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括引導(dǎo)分配泵清洗清洗量的流體的可執(zhí)行的指令，其中與分配泵原位置相應(yīng)的分配泵的可用體積至少為分配體積加上清洗體積。31.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括可執(zhí)行的程序，從而在部分填充分配泵之前，引導(dǎo)分配泵移動分配隔板至硬停機(jī)；通過步進(jìn)電動機(jī)反轉(zhuǎn)相應(yīng)步數(shù)，引導(dǎo)分配泵將分配隔板從硬停機(jī)位置移動到分配泵原位置。32.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括控制分配電動機(jī)將分配隔板從第一位置移動到分配隔板原位置的可執(zhí)行指令。33.權(quán)利要求32的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括可執(zhí)行指令，從而接收分配泵內(nèi)位置傳感器的反饋；以及根據(jù)來自位置傳感器的反饋將分配隔板停在原位置。34.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括可執(zhí)行指令，從而引導(dǎo)進(jìn)給泵保持對處理流體的壓力，從而向分配泵提供處理流體；引導(dǎo)進(jìn)給泵將進(jìn)給隔板移動至進(jìn)給級原位置，從而部分填充進(jìn)給泵。35.權(quán)利要求34的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括引導(dǎo)進(jìn)給泵排出排出量流體的可執(zhí)行指令。36.權(quán)利要求35的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中當(dāng)進(jìn)給隔板位于進(jìn)給級原位置時，進(jìn)給泵的可用體積至少等于分配體積加上排出體積加上清洗體積。37.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中當(dāng)分配隔板位于分配泵原位置時，分配泵的可用體積至少等于用戶指定分配泵體積。38.權(quán)利要求37的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中用于分配操作的一個或多個參數(shù)包括用戶指定分配泵體積，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括可執(zhí)行的指令，用于使用戶指定分配泵體積加上誤差體積，從而確定與分配隔板原位置相應(yīng)的可用體積。39.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中當(dāng)進(jìn)給泵位于進(jìn)給泵原位置時，進(jìn)給泵的可用體積至少等于用戶指定進(jìn)給泵體積。40.權(quán)利要求38的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中用于分配操作的一個或多個參數(shù)包括用戶指定進(jìn)給泵體積，其中所述那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括可執(zhí)行的指令，用于使用戶指定進(jìn)給泵體積加上誤差體積，從而確定與分配隔板原位置相應(yīng)的可用體積。41.權(quán)利要求29的計算機(jī)程序產(chǎn)品，其中那套計算機(jī)指令進(jìn)一步包括選擇分配泵原位置從而利用分配隔板的有效范圍的可執(zhí)行指令。全文摘要本發(fā)明的實施方式提供一種用于減少泵的殘存體積的系統(tǒng)和方法。更具體地，本發(fā)明的實施方式提供用于確定原位置從而減少分配泵和/或進(jìn)給泵的殘存體積的系統(tǒng)和方法?？梢赃x擇隔板的原位置從而分配泵和/或進(jìn)給泵的室的體積內(nèi)含有足夠的流體用于完成分配周期的各個步驟，同時使殘存體積最小。此外，可以選擇隔板的原位置使容積的有效范圍最佳。文檔編號F04B49/00GK101155992SQ200580039961公開日2008年4月2日申請日期2005年11月21日優(yōu)先權(quán)日2004年11月23日發(fā)明者G·岡內(nèi)拉,I·加什加伊,J·西德羅恩,M·拉弗迪爾,P·馬貢,T·J·金申請人:恩特格里公司