專利名稱：抽空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于對(duì)箱、腔室以及類似物進(jìn)行抽空的抽空裝置，它設(shè) 置有機(jī)械式真空升壓泵以及串聯(lián)地設(shè)置在機(jī)械式真空升壓泵下游側(cè)的增壓 泵。
背景技術(shù)：
為了實(shí)現(xiàn)以快速的泵送速度使箱、腔室以及類似物的內(nèi)部形成真空，傳 統(tǒng)地是在具有較低泵送速度的真空泵(增壓泵)的上游側(cè)(真空側(cè))使用用于抽 吸真空的機(jī)械式升壓泵。就該機(jī)械式升壓泵而言，通常采用羅茨式真空泵021，如圖5所示，它通過旋轉(zhuǎn)一對(duì)羅茨式葉片020來執(zhí)行壓縮/排氣工作。并 且已知的是，通過采用機(jī)械式升壓泵，增壓泵能實(shí)現(xiàn)幾倍的最大泵送速度。 然而，即使機(jī)械式升壓泵將大量的氣體輸送至位于下游側(cè)，即大氣側(cè)的 增壓泵，但是在運(yùn)行過程中大氣壓附近周圍處的泵送速度的提高并不十分明 顯，這是由于增壓泵有限的排氣容量而導(dǎo)致整個(gè)裝置的有限泵送速度所造成 的。即，在圖3中，泵送速度和壓力之間的關(guān)系示出了，采用增壓泵在大氣 壓下泵送氣體開始時(shí)，由于增壓泵本身有限的排氣容量，因此在機(jī)械式升壓 泵的輔助下，整個(gè)裝置的泵送速度并沒有有效地提高。當(dāng)真空度變得很高時(shí)， 可以獲得提高的效果，但是這種提高不能在整個(gè)壓力范圍內(nèi)獲得。另外，例如，日本授權(quán)的實(shí)用新型No.JP/7-19554(之后將其稱作文獻(xiàn)l) 披露了一件申請(qǐng)；其中將類似機(jī)械式升壓泵的升壓泵設(shè)置在真空泵的上游 側(cè)；并且通過串聯(lián)設(shè)置的兩級(jí)真空泵來執(zhí)行氣體的排氣。在文獻(xiàn)l的技術(shù)中，如圖6所引證，初級(jí)排氣管(通道)A和主排氣管(通道)B 從腔室的內(nèi)部引出，并且彼此相連。初級(jí)排氣管A上設(shè)置有串聯(lián)的停止閥03a 和蝶形閥04,并連接到初級(jí)泵Ol。主排氣管B上設(shè)置有停止閥03bl、 03b2和 排氣泵02。根據(jù)這個(gè)構(gòu)造，通過關(guān)閉停止閥03a和蝶形閥04以及開啟停止閥 03bl、 03b2和排氣泵02,由初級(jí)泵01和排氣泵02來完成主排氣(抽空)工作。
另外，正如兩級(jí)安裝的真空泵的例子那樣，如圖7中所引證，也披露了一種構(gòu)造，其中升壓泵012連接到多級(jí)干式真空泵10的中間級(jí)或者真空泵10 的末級(jí)，從而達(dá)到降低能量消耗的目的(專利文獻(xiàn)2: JP2003-155998A)。然而，根據(jù)專利文獻(xiàn)l,由于當(dāng)進(jìn)行初級(jí)排氣時(shí)，僅僅只有初級(jí)泵01排 氣，因此不能期望泵送速度有所改進(jìn)。雖然，當(dāng)執(zhí)行主排氣操作時(shí)，初級(jí)泵 01和排氣泵02以兩級(jí)的形式排氣，但是，在專利文獻(xiàn)l中并未披露涉及到排 氣泵02的操作控制。因此，該文獻(xiàn)的技術(shù)留下了這樣一個(gè)問題，即不僅在從 大氣壓到低真空的壓力范圍內(nèi)以及包括從低真空到高真空的整個(gè)壓力范圍 內(nèi)如何^R高泵送速度。此外，專利文獻(xiàn)2中的升壓泵012的目的是為了降低驅(qū)動(dòng)干式真空泵OIO 所必需的能量消耗。在專利文獻(xiàn)2中并未提到提高泵送速度。發(fā)明內(nèi)容就上述背景技術(shù)而言，本發(fā)明的目的是為了實(shí)現(xiàn)一種用于對(duì)箱、腔室以 及類似物進(jìn)行抽空的抽空裝置，它設(shè)置有機(jī)械式真空升壓泵以及串聯(lián)地設(shè)置 在機(jī)械式真空升壓泵下游側(cè)的增壓泵，從而在從大氣壓到低真空的壓力范圍 內(nèi)提高泵送速度，由此在從大氣壓到高真空的整個(gè)壓力范圍內(nèi)提高泵送速 度。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種用于對(duì)箱、腔室以及類似物進(jìn)行 抽空的抽空裝置，它包括機(jī)械式升壓泵、串聯(lián)地設(shè)置在機(jī)械式升壓泵下游側(cè) 的增壓泵和用于控制裝置運(yùn)行的控制器；其中機(jī)械式升壓泵具有用于排放低 壓縮氣體的排氣口，通過該排氣口，在升壓泵內(nèi)以部分壓縮方式進(jìn)行壓縮的 具有低壓縮比的低壓縮氣體被排放，和用于排放高壓縮氣體的排氣口，通過 該排氣口，具有高壓縮比的高壓縮氣體被排放；并且控制器這樣控制，從而 在排氣初始階段，通過操作機(jī)械式升壓泵，該氣體通過用于排放高壓縮氣體 的排氣口朝大氣側(cè)排放，在排氣壓力隨后達(dá)到中度真空階段，增壓泵起動(dòng)運(yùn) 行，并且氣體通過用于排放低壓縮氣體的排氣口被送至增壓泵。根據(jù)上述實(shí)施例，在排氣初始時(shí)，通過操作機(jī)械式升壓泵，該氣體通過 用于排放高壓縮氣體的排氣口朝大氣側(cè)(外部)排放。以這種方式，箱內(nèi)大氣 壓水平的氣體以高壓縮比被壓縮并且直接被排放到外部。由于該氣體是在沒
有影響到增壓泵的情況下被排放到外部，因此它能夠在不導(dǎo)入具有較高排放 容量的大型增壓泵的前提下提高泵送速度，從而確保較高的泵送速度。此外，由于與增壓泵的泵送速度相比，升壓泵的泵送速度較高，因此， 它能夠排放氣體，同時(shí)在壓力為大氣壓時(shí)在初始時(shí)維持泵送速度。首先，它 能夠在從大氣壓到低真空的范圍內(nèi)提高泵送速度。當(dāng)通過機(jī)械式升壓泵的用于排放高壓縮氣體的排氣口排氣而獲得中度 真空時(shí)，隨后中度真空的氣體從用于排放低壓縮氣體的排氣口 (或多個(gè)排氣 口)被送至增壓泵，同時(shí)增壓泵起動(dòng)。這樣，到達(dá)某種程度的真空狀態(tài)氣體 從用于排放低壓縮氣體的排氣口(或多個(gè)排氣口)被送至增壓泵。由于機(jī)械式 升壓泵的增大氣壓/增加流量的功能，因此，增壓泵的泵送速度得以提高并且 能夠保持該被提高的泵送速度，由此實(shí)現(xiàn)了高真空。因此，使得不僅在從大氣壓到低真空的范圍內(nèi)而且包括從大氣壓到高真 空的整個(gè)范圍內(nèi)提高泵送速度成為可能。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例，優(yōu)選地是，控制器通過來自計(jì)時(shí)器的耗用時(shí) 間信號(hào)來識(shí)別中度真空的執(zhí)行狀況。在上面的實(shí)施例中，控制器通過這種構(gòu)造自動(dòng)地控制增壓泵泵送操作， 其中所述構(gòu)造為，排放氣體通過用于排放低壓縮氣體的排氣口 (或多個(gè)排氣 口)被供給到增壓泵，同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述增壓泵。這里，由于該控制并不是基于 來自壓力傳感器的信號(hào)，而是基于來自計(jì)時(shí)器的耗用時(shí)間信號(hào)來進(jìn)行工作 的，因此，將會(huì)排除關(guān)于壓力傳感器的故障和/或性能惡化的風(fēng)險(xiǎn)。這樣，將 實(shí)現(xiàn)高度可靠的控制。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，機(jī)械式升壓泵是爪式真空泵，其中用于排放 高壓縮氣體的排氣口位于泵殼體的壁面處，壁面處于垂直于泵轉(zhuǎn)子軸的平面 內(nèi)，同時(shí)用于排放高壓縮氣體的排氣口正對(duì)壓縮空間，該壓縮空間處于平行 于包含泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)軸的平面的平面內(nèi)。上面的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了 一種升壓泵，該升壓泵設(shè)置有用于排放高壓縮氣體 的排氣口和用于排放低壓縮氣體的排氣口 ，其中用于排放高壓縮氣體的排氣口設(shè)置在泵殼體的壁面處，從而正對(duì)壓縮空間，所述壁面處于垂直于泵轉(zhuǎn)子 軸的平面內(nèi)，并且用于排放低壓縮氣體的排氣口處于泵殼體的側(cè)壁表面上， 本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了用于對(duì)箱、腔室以及類似物進(jìn)行抽空的抽空裝置，它包括 機(jī)械式升壓泵以及串聯(lián)地設(shè)置在機(jī)械式升壓泵下游側(cè)的增壓泵，它通過提高 從大氣壓到低真空范圍內(nèi)的泵送速度而提高了從大氣壓到高真空的整個(gè)范 圍的泵送速度。


現(xiàn)在將參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更為詳細(xì)的說明。其中圖1示出了本發(fā)明第 一 實(shí)施例的整體構(gòu)造； 圖2示出了圖1中的A-A剖視圖； 圖3示出了泵送速度對(duì)真空度的特性；圖4示出了時(shí)間圖，其中(a)示出了機(jī)械式升壓泵的時(shí)間圖；(b)示出了增 壓泵的時(shí)間圖；(c)示出了第一開/閉閥的時(shí)間圖；(d)示出了第二開/閉閥的時(shí) 間圖；圖5示出了羅茨式真空泵的圖解； 圖6為用于解釋傳統(tǒng)技術(shù)的附圖；以及 圖7也是用于解釋傳統(tǒng)技術(shù)的附圖。
具體實(shí)施方式
下面，將參照附圖所示實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。然而，在這些實(shí) 施例中描述的部件的尺寸、材料、形狀、相對(duì)位置等僅僅是用于解釋并不對(duì) 發(fā)明范圍構(gòu)成限制，除非有任何特定的說明。圖1示出了本發(fā)明實(shí)施例的整體構(gòu)造并且圖2示出了圖1中的A-A剖視圖。如圖l所示，抽空裝置1配置有增壓泵3和設(shè)置在增壓泵3上游側(cè)的機(jī)械式 真空升壓泵5，從而通過運(yùn)行泵3和5對(duì)真空箱7進(jìn)行抽空。 機(jī)械式真空升壓泵5是一種爪式真空泵9,它包括一對(duì)泵轉(zhuǎn)子11 a和11 b、 吸氣口13以及排氣口15。機(jī)械式升壓泵5還包括泵殼體17(殼體)，所述一對(duì)泵 轉(zhuǎn)子lla和llb容納于其中，以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通過該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，將動(dòng)力從作為 動(dòng)力源的馬達(dá)(未示出)傳遞至轉(zhuǎn)子而使泵轉(zhuǎn)子lla和llb繞軸19旋轉(zhuǎn)。另外， 增壓泵3的類型并不限于羅茨式，而是可為任何其它類型的真空泵，例如爪 式、螺桿式、齒輪式等。
在上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使得泵轉(zhuǎn)子l la和l lb彼此以反向旋轉(zhuǎn)的同時(shí)(如圖1中的 箭頭S所示)，通過利用泵殼體17和泵轉(zhuǎn)子lla和llb包圍的密封空間的容積改 變來執(zhí)行吸氣和排氣操作。泵轉(zhuǎn)子lla和llb分別具有像爪(猛禽的爪)的突起部21a和21b。并且突起 部21a和21b分別配合到反向凹入部23b和23a內(nèi)。這樣，配合空間形成了壓縮 空間25。排氣口15具有兩個(gè)開口，即，用于排放低壓縮氣體的排氣口(此后，將 其稱作DOLC)27和用于排放高壓縮氣體的排氣口 (此后將其稱作DOHC)29。 DOLC 27排放較低壓縮比階段在機(jī)械式升壓泵內(nèi)壓縮的氣體，而DOHC29排 放達(dá)到較高壓縮比階段的氣體。另外，DOLC27被設(shè)置成在氣體被壓縮到由 泵轉(zhuǎn)子lla和llb形成的壓縮空間25內(nèi)之前，排放通過吸氣口 13吸入的氣體。 此外，DOLC27包括相應(yīng)于泵轉(zhuǎn)子1 la的用于排放低壓縮氣體的第 一排氣口 27a和相應(yīng)于泵轉(zhuǎn)子11 b的用于排放低壓縮氣體的第二排氣口 27b。另外，當(dāng)用于排放低壓縮氣體的第 一排氣口 27a的橫截面積與用于排放 低壓縮氣體的第二排氣口27b的橫截面積相等時(shí)，這些排氣口的橫截面積被 形成為遠(yuǎn)大于DOHC29的橫截面積。如圖2所示，DOHC 29設(shè)置于泵殼體17的壁面處，該壁面處于垂直于泵 轉(zhuǎn)子lla和llb的軸線的平面內(nèi)，而DOHC29正對(duì)著壓縮空間25，以排放高壓 縮氣體。此外，如圖2所示，吸氣口13纟皮^:置在泵殼體17的一個(gè)側(cè)壁表面上，所 述側(cè)壁表面處于平行于包含泵轉(zhuǎn)子lla和llb的旋轉(zhuǎn)軸線的平面的平面內(nèi)，而 用于低壓縮氣體的第一和第二排氣口27a和27b處于泵殼體17的另一側(cè)壁表 面上，該側(cè)壁表面處于平行于包含泵轉(zhuǎn)子lla和llb的旋轉(zhuǎn)軸線的平面的平面 內(nèi)。這樣，通過在垂直于泵轉(zhuǎn)子lla和Ub軸線的殼體壁面和平行于包含泵轉(zhuǎn) 子lla和llb的軸線的平面的殼體壁面上形成排氣口 ，可構(gòu)成具有DOHC29和 DOLC 27的機(jī)械式升壓泵5。在可連通地將用于排放低壓縮氣體的第一排氣口 27a連接到增壓泵3上 的第一低壓縮排氣通道30上，設(shè)置有由控制器32控制的第一開/閉閥34。另一 方面，輸送流經(jīng)用于排放低壓縮氣體的第二排氣口 27b的氣體的第二低壓縮 排氣通道36,在閥34的上游側(cè)與第一低壓縮排氣通道30連接在一起，從而使 流經(jīng)用于排放低壓縮氣體的第二排氣口 27b的氣體流入到第 一低壓縮排氣通道30內(nèi)。此外，高壓縮排氣通道38在閥34的下游側(cè)處與通道30連接在一起， 從而使流經(jīng)用于排放高壓縮氣體的排氣口29的氣體流入到該通道30內(nèi)。另 外，在通道38上設(shè)置有第二開/閉閥39，該閥的開/閉由控制器32控制。這里，將給出關(guān)于控制器32的說明。來自真空箱7的壓力信號(hào)或者來自 機(jī)械式升壓泵5的進(jìn)口壓力信號(hào)通過壓力傳感器40輸入到控制器32中，并且 耗用時(shí)間信號(hào)從計(jì)時(shí)器42輸入到控制器32中。在排氣開始時(shí)，第一開/閉閥34將被關(guān)閉，第二開/閉閥39將被打開，增 壓泵3將停機(jī)，從而僅僅只有機(jī)械式升壓泵5將運(yùn)行。這樣，將來自用于排放 低壓縮氣體的第 一排氣口 27a和用于排放低壓縮氣體的第二排氣口 27b的排 放氣體切斷，而來自DOHC29的排放氣體通過高壓縮排氣通道38被直接排放 到外部。在將氣體通過高壓縮排氣通道38排放的上述運(yùn)行階段，箱內(nèi)部的大氣壓 氣體在被以高壓縮比壓縮后被直接排放到外部。由于該氣體是在沒有流經(jīng)增 壓泵3的情況下，即沒有被增壓泵3影響的情況下直接被排放到外部，因此， 例如它可在不選擇較大容量的增壓泵3的情況下排放氣體，從而獲得更高的 泵送速度。另夕卜，機(jī)械式升壓泵5的泵送速度被調(diào)整成使該泵送速度超過增壓泵3的 泵送速度。因此，氣體可在機(jī)械式升壓泵5的泵送速度沒有惡化的情況下被 排放，由此，在開始排氣時(shí)，泵送速度基本上沒有從原始的泵送速度上降低。如圖3所示，在氣體正好排經(jīng)高壓縮排氣通道38的上述運(yùn)行階段時(shí)，該 氣體以泵送速度超過增壓泵3的泵送速度而排放，其中所述增壓泵3的泵送速 度以Q表示，然后，氣壓從大氣壓P0降低至中度真空P1。在第二階段，當(dāng)控制器通過來自壓力傳感器40的輸入信號(hào)判斷出達(dá)到預(yù) 定的中度真空P1時(shí)，控制器32便將第一開/閉閥34打開，將第二開/閉閥39關(guān) 閉，并且使增壓泵3開啟。通過上面的方法，經(jīng)用于排放低壓縮氣體的第 一排氣口 27a和用于排放 低壓縮氣體的第二排氣口 27b排放的氣體被輸送到增壓泵3 。通過將中度真空P1(箱中的)的氣體經(jīng)用于排放低壓縮氣體的第 一排氣口 27a和用于排放低壓縮氣體的第二排氣口27b朝增壓泵3輸送，由于機(jī)械式升
壓泵5的升壓功能以及增壓泵3的壓縮功能，可使得在不惡化泵送速度的前提 下，使中度真空P1的氣體達(dá)到高真空。圖4(a) (d)分別示出了機(jī)械式升壓泵5、增壓泵3、第一開/閉閥34和第二 開/閉閥39的開/關(guān)時(shí)間。在排氣開始時(shí)間tO處，機(jī)械式升壓泵5、增壓泵3、 第一開/閉閥34和第二開/閉閥39分別處于開、關(guān)、關(guān)閉和打開的狀態(tài)。在這 種條件下，經(jīng)用于排放高壓縮氣體的排氣口 29排放的氣體經(jīng)高壓縮排氣通道 38被直接送至外部。此后，在壓力為Pl的時(shí)間tl處，機(jī)械式升壓泵5、增壓 泵3、第一開/閉閥34和第二開/閉閥39分別處于開、開、打開和關(guān)閉的狀態(tài)，氣體供給而獲得。這樣，被排放的氣體從用于排放低壓縮氣體的第一排氣口 27a和用于排放低壓縮氣體的第二排氣口 27b被送至增壓泵3。本發(fā)明的上述實(shí)施例使得甚至在增壓泵3具有小尺寸以及小排放容量時(shí) 也能在不惡化泵送速度的前提下，在大氣壓附近的低真空度范圍內(nèi)提高泵送 速度，從而獲得高真空。此外，它能夠在從大氣壓到高真空的整個(gè)壓力范圍 內(nèi)提高泵送速度。[第二實(shí)施例]然后，將對(duì)第二實(shí)施例進(jìn)行說明。在該第二實(shí)施例中，是來自計(jì)時(shí)器42的耗用時(shí)間信號(hào)，而不是來自壓力 傳感器40的壓力信號(hào)對(duì)泵5和3的開/關(guān)狀態(tài)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，并且還對(duì)開/閉閥34和39的開/閉狀態(tài)進(jìn)行轉(zhuǎn)換。通過基于例如對(duì)真空箱7的容積、機(jī)械式升壓泵5的壓縮空間25的排氣容 量、機(jī)械式升壓泵5的特定操作因素、周圍環(huán)境溫度等條件的計(jì)算來預(yù)定時(shí) 間tl,該時(shí)間tl是壓力PO下降至壓力Pl(中度真空)所需的時(shí)間。當(dāng)控制器通過來自計(jì)時(shí)器42的信號(hào)識(shí)別到時(shí)間tl已經(jīng)經(jīng)過時(shí)間tO時(shí)，控 制器控制運(yùn)行狀態(tài)，從而機(jī)械式升壓泵5處于開的狀態(tài)，增壓泵3處于開的狀 態(tài)，第一開/閉閥34處于打開的狀態(tài)，并且第二開/閉閥39處于關(guān)閉的狀態(tài)。 這樣，就在不惡化泵送速度的前提下獲得了經(jīng)過中度真空P1的高真空。第二實(shí)施例和第一實(shí)施例在從大氣壓到低真空的范圍內(nèi)提高了泵送速 度，從而泵送速度在從大氣壓到高真空的整個(gè)范圍內(nèi)得以提高。此外，在采用壓力傳感器40的情況下，存在由于真空箱7或者氣體通道 內(nèi)的灰塵、廢棄顆粒物或者水滴導(dǎo)致傳感器40堵塞和/或性能惡化的危險(xiǎn)，由此造成錯(cuò)誤的壓力檢測。另外，在采用計(jì)時(shí)器42的情況下，就不會(huì)存在有檢 測失敗或者性能惡化的危險(xiǎn)。因此，可完成高度可靠的控制。另外，在上述第一和第二實(shí)施例中，給出的說明是，控制器32自動(dòng)打開 和關(guān)閉第一開/閉閥34和第二開/閉閥39。然而，當(dāng)然操作者也可通過由壓力 傳感器40檢測到的值根據(jù)他們自己的判斷人工地將閥34和39打開和關(guān)閉。就機(jī)械式升壓泵5而言，目前給出的說明是，機(jī)械式升壓泵5是爪式升壓 泵9。然而，毫無疑問地，機(jī)械式升壓泵5可為除了爪式泵之外的羅茨式泵或 螺桿式泵，只要該機(jī)械式升壓泵5配置有排放低壓縮比氣體的排氣口DOLC27 和排放高壓縮比氣體的排氣口 DOHC29 。此外，應(yīng)該注意的是，目前給出的說明是，作為介質(zhì)的氣體是任何一種 包括特定氣體例如空氣的普通氣體。由于本發(fā)明使泵送速度在從大氣壓到低真空的范圍內(nèi)得以提高，從而在 從大氣壓到高真空的整個(gè)范圍內(nèi)的泵送速度得到提高，本發(fā)明可有效地應(yīng)用 于對(duì)箱、腔室以及類似物進(jìn)行抽空的抽空裝置，它設(shè)置有升壓泵以及串聯(lián)地 設(shè)置在升壓泵下游側(cè)的大氣側(cè)的增壓泵。
權(quán)利要求
1.一種抽空裝置，用于對(duì)箱、腔室以及類似物進(jìn)行抽空，該抽空裝置包括機(jī)械式升壓泵、串聯(lián)地設(shè)置在機(jī)械式升壓泵下游側(cè)的增壓泵和用于控制裝置運(yùn)行的控制器；其中機(jī)械式升壓泵具有至少一個(gè)用于排放低壓縮氣體的排氣口，通過該排氣口，在升壓泵內(nèi)以部分壓縮方式進(jìn)行壓縮的具有低壓縮比的低壓縮氣體被排放，和用于排放高壓縮氣體的排氣口，通過該排氣口，具有高壓縮比的高壓縮氣體被排放；并且其中控制器這樣控制，從而在排氣初始階段，通過操作機(jī)械式升壓泵，該氣體通過用于排放高壓縮氣體的排氣口朝大氣側(cè)排放，在排氣壓力隨后達(dá)到中度真空階段，增壓泵起動(dòng)運(yùn)行，并且氣體通過用于排放低壓縮氣體的排氣口被送至增壓泵。
2. 如權(quán)利要求l所述的抽空裝置，其中控制器借助由計(jì)時(shí)器檢測的耗用 時(shí)間來識(shí)別中度真空。
3. 如權(quán)利要求l所述的抽空裝置，其中機(jī)械式升壓泵是爪式真空泵，其 中用于排放高壓縮氣體的排氣口位于泵殼體的壁面處，該壁面處于垂直于泵 轉(zhuǎn)子軸的平面內(nèi)，而用于排放高壓縮氣體的排氣口正對(duì)壓縮空間，該壓縮空 間處于平行于包含泵轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)軸的平面的平面內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明提出了一種抽空裝置。其包括機(jī)械式升壓泵(5)、串聯(lián)地設(shè)置在機(jī)械式升壓泵下游側(cè)的增壓泵(3)，機(jī)械式升壓泵(5)具有用于排放低壓縮氣體的排氣口(27a)和(27b)以及用于排放高壓縮氣體的排氣口(29)，并且，在排氣初始階段，通過操作機(jī)械式升壓泵，氣體通過用于排放高壓縮氣體的排氣口(29)朝大氣側(cè)排放，在排氣壓力隨后達(dá)到中度真空階段，增壓泵起動(dòng)運(yùn)行，并且氣體通過用于排放低壓縮氣體的排氣口(27a)和(27b)被送至增壓泵。
文檔編號(hào)F04B37/00GK101153585SQ20071018219
公開日2008年4月2日 申請(qǐng)日期2007年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月29日
發(fā)明者谷川志郎 申請(qǐng)人:阿耐思特巖田株式會(huì)社