專利名稱：壓電泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過對壓電元件施加電壓而使膜片彎曲位移、來輸送流體的壓 電泵。
背景技術(shù)：
對于筆記本電腦等小型電子設(shè)備的冷卻水輸送用泵或燃料電池的燃料輸 送用泵等，使用壓電微型泵。壓電微型泵是使用通過向壓電元件施加電壓而彎 曲變形的膜片的泵，具有結(jié)構(gòu)簡單、可以形成得輕薄、且耗電量低這樣的優(yōu)點。
作為以往的壓電微型泵的膜片單元(對膜片粘貼壓電元件)，具有代表性 的有對膜片粘貼單層壓電元件的單壓電晶片結(jié)構(gòu)；以及對膜片粘貼層疊型壓 屯元件的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)。特別是，如液壓泵那樣的在以比較低的頻率驅(qū)動膜 片單兀時，與單壓電晶片結(jié)構(gòu)相比，雙壓電晶片結(jié)構(gòu)的效率更好，但如氣壓泵 那樣的在以高頻驅(qū)動膜片單元時，單壓電晶片結(jié)構(gòu)更為有利。
在單壓電晶片結(jié)構(gòu)的情況下，將在平面方向伸縮的壓電元件粘貼在不伸縮 的膜片上， 一般而言彎曲位移的中性面存在于壓電元件中。此處所述的中性面， 是指整個膜片單元彎曲變形時、在膜片單元內(nèi)的壓縮及拉伸的應(yīng)力為0的面。 若中性面存在于壓電元件中，則由于壓電元件的一部分對于彎曲位移進(jìn)行產(chǎn)生 阻礙那樣的動作，因此會帶來膜片單元的位移減小、或產(chǎn)生無用的發(fā)熱這樣的 問題。
在專利文獻(xiàn)1中，披露了一種使用單壓電晶片結(jié)構(gòu)的膜片單元的噴墨式記 錄頭。此時，通過適當(dāng)設(shè)定膜片及壓電元件的厚度，使驅(qū)動的中性面位于膜片 內(nèi)，抑制壓電元件的一部分對于彎曲位移進(jìn)行產(chǎn)生阻礙那樣的動作。
另一方面，在對雙壓電晶片結(jié)構(gòu)的壓電元件粘貼膜片的膜片單元的情況 下，由于壓電元件本身進(jìn)行彎曲位移，因此無論如何設(shè)定膜片及壓電元件的厚 度，也不會使中性面位于膜片內(nèi)。因此，壓電元件的一部分對于彎曲位移進(jìn)行
3產(chǎn)生阻礙那樣的動作，位移減小，有損泵的效率，且無用的發(fā)熱增大。
專利文獻(xiàn)l:日本專利特開2001 — 260348號公報

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的理想的實施方式的目的在于，在使用雙壓電晶片結(jié)構(gòu)的壓 電元件的膜片式的壓電泵中，去除阻礙壓電元件的位移的主要原因，提供一種 效率高的壓電泵。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的壓電泵，包括具有開口部的泵本體； 為關(guān)閉上述開口部而固定在泵本體、在與泵本體之間形成泵室的膜片；以及面 對面粘接在膜片的表面上的壓電元件，通過對上述壓電元件施加電壓，使包含 壓電元件的膜片彎曲位移，其特征是，上述壓電元件是層疊多個壓電體層的雙 壓電晶片型壓電元件，上述多個壓電體層中，位于上述壓電元件的厚度方向中 間的至少一層是不會由于上述施加電壓而自發(fā)地位移的中性層，包含上述壓電 元件的整個膜片的中性面位于上述壓電元件的中性層內(nèi)。
雙壓電晶片型壓電元件是將由于施加電壓而伸長的層和收縮的層層疊而 成，在對壓電元件施加的驅(qū)動電壓的強度和極化度相同時，厚度方向中央(伸 長的層和收縮的層之間)成為伸縮反轉(zhuǎn)面。但是，在將雙壓電晶片型壓電元件 粘貼在膜片上時，由于膜片單元(膜片+壓電元件)的中性面從壓電元件的厚 度方向中央偏離，因此壓電元件的一部分對于彎曲位移進(jìn)行產(chǎn)生阻礙那樣的動 作。S卩，壓縮應(yīng)力作用在欲伸長的層的一部分，反之，拉伸應(yīng)力作用在欲收縮 的層的一部分。因此，在本發(fā)明中，通過在壓電元件的厚度方向中間部設(shè)置不 自發(fā)地位移的中性層，將壓電元件與膜片粘接的狀態(tài)下的中性面置于中性層 內(nèi)，可以消除壓電元件的一部分對于彎曲位移進(jìn)行產(chǎn)生阻礙那樣的動作。特別 是，即使因膜片或壓電體層的厚度的偏差、膜片與壓電體層的粘接狀態(tài)的偏差， 而使中性面從壓電元件的厚度方向中央偏離的量有偏差，但由于具有中性層的 厚度的量，因此可以穩(wěn)定中性面，使其位于中性層厚度內(nèi)。
用于本壓電泵的壓電元件是層疊多個壓電體層而成的。即，壓電元件是對 生片(green sheet)狀態(tài)的壓電陶瓷層將電極置于其間進(jìn)行層疊壓接，進(jìn)行 燒成，之后進(jìn)行極化而成的。因此，與以往的將已燒成的壓電板利用粘接劑貼合的雙壓電晶片型壓電元件相比，可以更輕薄，并且可以降低驅(qū)動電壓，實現(xiàn) 小型的低驅(qū)動電壓的泵。構(gòu)成壓電元件的多個壓電體層中，位于壓電元件的厚 度方向中間的至少一層是不會由于施加電壓而自發(fā)地位移的中性層。此處，不 會由于施加電壓而自發(fā)地位移的中性層分為下面三種。第一種是在厚度方向被 極化、但電場不作用的層；第二種是沒有被極化、電場作用的層；第三種是沒 有被極化、電場也不作用的層。電場不作用是指中性層的兩面的電極是同一電 位(也包括接地)的情況。無論哪種情況下，在對壓電元件施加電壓時，中性 層都不會自發(fā)地伸縮。
也可以設(shè)置樹脂或金屬等非壓電體層來代替中性層，但在這種情況下，需 要將非壓電體層置于其間將兩個壓電體層貼合，難以制造，并且，由于中性面 的偏差等也無法保證穩(wěn)定的品質(zhì)，且厚度也會變厚。與之相反，若將中性層由 與其他層相同的壓電體層形成，則可以一并層疊構(gòu)成壓電元件的所有壓電體 層，制造容易，品質(zhì)穩(wěn)定，且厚度也降低。
如上所述，中性層不一定必須要被極化，但較為理想的是包含中性層的所 有壓電體層在厚度方向被極化，將中性層作為不會通過施加電壓而施加電場的 層。例如只將中性層作為未極化層時，在極化時在極化層與未極化層(中性層) 的邊界會產(chǎn)生由于極化度之差而導(dǎo)致的形變或應(yīng)力，有可能產(chǎn)生裂紋等。另外， 在驅(qū)動時也由于極化時的殘余應(yīng)力，在極化層與未極化層的邊界有可能易于產(chǎn) 生裂紋等。與之相反，若中性層也與其他壓電體層同樣被極化，則可以抑制由 于極化度之差而導(dǎo)致的形變或應(yīng)力，可以防止產(chǎn)生裂紋等。
一般而言，膜片單元的中性面是相對于壓電元件的厚度方向中央處于偏向 膜片側(cè)的位置。該偏離量因膜片的楊氏模量或厚度而不同。因此，也可以將中 性層置于其間，使膜片側(cè)的壓電體層的層疊數(shù)比與膜片側(cè)相反側(cè)的壓電體層的 層疊數(shù)少。即，將中性層不是設(shè)置在壓電元件的厚度方向中央，而是設(shè)置在靠 近膜片側(cè)的位置。據(jù)此，即使在中性層的厚度較薄時，也可以使中性面易于位 于中性層之中。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于在利用雙壓電晶片結(jié)構(gòu)的壓電元件的壓電泵 中這樣設(shè)定，使得在壓電元件的厚度方向中間部設(shè)置不自發(fā)地位移的中性層， 包含壓電元件的整個膜片的中性面位于該中性層內(nèi)，因此在整個膜片彎曲位移時，可以抑制在壓電元件產(chǎn)生阻礙位移的部分，可以實現(xiàn)效率高的壓電泵。


圖1是本發(fā)明所涉及的壓電泵的第一實施例的剖視圖。
圖2是沿圖1的II一II線的剖視圖。
圖3是沿圖i的in—ni線的剖視圖。
圖4是壓電元件的一個例子的極化時的剖視圖。
圖5是壓電元件的一個例子的驅(qū)動時的剖視圖。
圖6是表示以往的膜片單元和本發(fā)明的膜片單元的中性面的位置的圖。 圖7是本發(fā)明的第二實施例的壓電元件的極化時的剖視圖。 圖8是使用圖7所示的壓電元件的膜片單元的驅(qū)動時的剖視圖。 圖9是用于本發(fā)明所涉及的壓電泵的膜片單元的第三實施例的驅(qū)動時的 剖視圖。
標(biāo)號說明
1壓電泵
IO泵本體
12泵室
20膜片單元
21膜片
22壓電元件
22a、 22c壓電體層(驅(qū)動層) 22b壓電體層(中性層) Fd中性面
具體實施例方式
下面，基于實施例說明本發(fā)明的理想的實施方式。 實施例1
圖1 圖3表示本發(fā)明所涉及的壓電泵的第一實施例。此處，圖l是壓電 泵的整體俯視圖，圖2是沿圖1的II一II線的剖視圖；圖3是沿圖1的III一III線的剖視圖。
該壓電泵1包括泵本體10;膜片單元20 (在膜片21上粘貼壓電元件
22);和按壓板18。泵本體10由金屬材料或者樹脂材料這樣的高剛性材料形 成。在泵本體10與膜片單元20之間形成泵室12。在泵本體10與按壓板18 之間，形成通過連接流通路徑14與泵室12連通的流入側(cè)閥室11;和通過連接 流通路徑15與泵室12連通的排出側(cè)閥室13。在流入側(cè)閥室11配置流入側(cè)單 向閥16。流入側(cè)單向閥16的功能是，容許流體從流入側(cè)端口流向流入側(cè)閥室 11，但阻止其反向的流動。在排出側(cè)閥室13配置排出側(cè)單向閥17。排出側(cè)單 向閥17的功能是，容許流體從泵室12流向排出側(cè)閥室13，但阻止其反向的流 動。
泵室12是高度方向的尺寸與平面方向的尺寸相比較小的扁平空間，通過 用膜片21關(guān)閉在泵本體10形成的凹型的開口部10a而形成。作為泵本體10， 可以使用金屬材料，也可以使用樹脂材料。此處將泵室12形成為俯視圓形，
但也可以是方形。
膜片21由具有彈性的薄板制成，配置在泵本體10的上表面的幾乎整個表 面，與按壓板18之間粘接固定。膜片21的材質(zhì)沒有特別限定，玻璃環(huán)氧板、 樹脂片材、橡膠片材等這樣的楊氏模量較低、厚度較薄的板材較為合適。使用 這樣的膜片時，由于不阻礙壓電體的運動，因此位移量增大。反之，若使用金 屬薄板等楊氏模量較高的膜片，則雖然位移量會下降，但可以得到壓力較高的 泵。在膜片21的外表面(與泵室12相反側(cè)的面)面對面粘接壓電元件22。在 本實施例中，使壓電元件22的面積大于泵室12的面積，但壓電元件22的面 積也可以是泵室12的面積以下。由于本實施例的膜片21配置在泵本體10的 幾乎整個上表面，因此除了作為防止泵室12內(nèi)的液體接觸壓電元件22的保護(hù) 片材作用之外，還具有作為防止來自泵室12的液體泄漏的密封件的作用。對 按壓板18，在與壓電元件22對應(yīng)的部位形成窗孔19，壓電元件22的背面?zhèn)?向泵室12的外部開放。
圖4、圖5表示壓電元件22的一個例子的結(jié)構(gòu)，圖4是極化時，圖5是 驅(qū)動時。該壓電元件22是對由三層壓電陶瓷制成的壓電體層22a 22c將電極 23、 24置于其間進(jìn)行層疊、燒成，在表面和背面形成電極25、 26后極化而成的。壓電元件22如圖5所示，面對面粘接在膜片21的表面。
在極化時，如圖4所示，將兩個直流電源27、 28串聯(lián)連接，將直流電源 27的正極與表面?zhèn)入姌O25連接，將直流電源28的負(fù)極與背面?zhèn)入姌O26連接， 將層間電極23、 24位于兩個直流電源27、 28之間且與接地連接。通過這樣施 加直流電場，除了中間的壓電體層22b外，兩側(cè)的壓電體層22a、 22c在厚度方 向沿相同方向被極化(如圖4的箭頭P所示)。在圖4中，表示電極23 26 在整個面是電極的例子，但例如也可以是只與泵室12對應(yīng)的部分的部分電極。 中間的壓電體層22b是中性層，沒有被極化。在該實施例中，表示了中性層22b 位于壓電元件22的厚度方向的中央、且其厚度與其他壓電體層22a和22c大 致相同的例子，但中性層22b的厚度及位置是這樣設(shè)定，使得后述的中性面Fd 位于中性層22b之中。
在驅(qū)動時，如圖5所示，將交流電源29的一端與表面和背面的電極25、 26連接，將交流電源29的另一端與層間電極23、 24連接。據(jù)此，電場E如圖 5的虛線箭頭所示那樣作用，在上側(cè)的壓電體層22a伸長時，下側(cè)的壓電體層 22c收縮，膜片單元20向上凸出彎曲。若電場方向反轉(zhuǎn)，則由于上側(cè)的壓電體 層22a收縮，下側(cè)的壓電體層22c伸長，因此膜片單元20向下凸出彎曲。通 過這樣，膜片單元20進(jìn)行彎曲振動。由于中性層22b未被極化，因此不會自 發(fā)地伸縮，但在如圖5所示進(jìn)行布線時，由于中性層22b的兩側(cè)的層間電極23、 24是同一電位，因此即使中性層22b沿任一方向被極化，也不會伸縮。
在膜片單元20彎曲變形時，存在壓縮及拉伸的應(yīng)力為0的面、即中性面 Fd。由于壓電元件22粘貼在膜片21上，因此中性面Fd位于比壓電元件22的 厚度方向中央偏向膜片21—側(cè)的位置。在本發(fā)明中，由于將中性面Fd置于壓 電元件22的中性層22b內(nèi)，因此壓電元件22之中對于彎曲位移產(chǎn)生阻礙的部 分消失，可以使膜片單元20的位移量變得較大，提高泵的效率。中性面Fd的 置入取決于中性層22b的材質(zhì)及厚度、膜片21的材質(zhì)(楊氏模量)及厚度等。
圖6是將以往的膜片單元和本發(fā)明的膜片單元的中性面Fd進(jìn)行比較的圖 示。以往的膜片單元(a)是將層疊兩層的壓電體層100a、 100b的雙壓電晶片 型壓電元件100粘貼在膜片110上而成的，本發(fā)明的膜片單元(b)如圖5所 示，是將在中間具有中性層22b的三層結(jié)構(gòu)的壓電元件22粘貼在膜片21上而
8成的。
在以往的膜片單元(a)的情況下，彎曲位移的中性面Fd從壓電元件的厚 度方向中央Fp向膜片110—側(cè)偏離，位于下側(cè)的壓電體層100b之中。例如在 上側(cè)的壓電體層100a伸長、下側(cè)的壓電體層100b收縮時，膜片單元(a)向 上凸出位移，盡管壓電體層100b內(nèi)的中性面Fd與中央Fp之間的區(qū)域欲伸縮， 但有欲伸長的力(拉伸應(yīng)力)作用。因此，壓電元件100的一部分對于彎曲位 移進(jìn)行產(chǎn)生阻礙那樣的動作。
另一方面，在本發(fā)明的膜片單元(b)的情況下，由于中性面Fd位于中性 層22b之中，因此在上側(cè)的壓電體層22a伸長、下側(cè)的壓電體層22b收縮時(膜 片單元(b)向上凸出位移時)，在壓電體層22a 22c中不存在伸長方向和收 縮方向的力相反的部分。因此，壓電元件22可以自由彎曲位移，可以增大壓 電元件22乃至膜片單元的位移量。
實施例2
圖7、圖8表示本發(fā)明的第二實施例。圖7表示壓電元件30的極化時， 圖8表示膜片單元的驅(qū)動時。在該實施例中，壓電元件30是8層壓電體層31a 31h的層疊結(jié)構(gòu)，厚度方向中央的兩個壓電體層31d、 31e是中性層。在這個例 子中，在中性層31d、 31e之間沒有設(shè)置電極，但也可以設(shè)置電極。壓電元件 30粘貼在膜片34上。
在極化時，如圖7所示，將兩個直流電源35、 36串聯(lián)連接，將直流電源 35的正極與33b、 33d連接，將直流電源36的負(fù)極與33e、 33g連接，將其他 電極33a、 33c、 33f、 33h位于兩個直流電源35、 36之間且與接地連接。通過 這樣施加直流電場，在靠近厚度方向中央的上側(cè)(膜片34的相反側(cè))的壓電 體層31a 31d的在厚度方向相鄰的壓電體層彼此之間在互相相反的方向被極 化。同樣，靠近厚度方向中央的下側(cè)(膜片34偵ij)的壓電體層31e 31h在厚 度方向相鄰的壓電體層彼此之間也在互相相反的方向被極化。中央的中性層 31d、 31e在厚度方向沿相同的方向被極化。實線箭頭P表示極化方向。若以如 上所述的方法極化，則能以較少的布線數(shù)量對任一壓電體層進(jìn)行同樣的極化， 可以使每層的極化度相同。
在驅(qū)動時，如圖8所示，將上數(shù)第一電極33a、第三電極33c、第六電極33f、第八電極33h與交流電源32的一端連接，將上數(shù)第二電極33b、第四電 極33d、第五電極33e、第七電極33g與交流電源32的另一端連接。因此，如 圖8的虛線箭頭E所示那樣施加電場，在上側(cè)的三層壓電體層31a 31c伸長 時，下側(cè)的三層壓電體層31f 31h會收縮，膜片單元向上凸出位移。若電場 方向反轉(zhuǎn)，則膜片單元向下凸出位移。中性層31d、 31e雖然在厚度方向被極 化，但由于兩面的電極33d、 33e是同一電位，因此不會施加驅(qū)動電場，不會 自發(fā)地位移。
在該實施例的情況下，也由于中性面Fd位于中性層31d、 31e之中，因此 在壓電元件30中不存在妨礙彎曲位移的部分，可以增大膜片單元的位移量。 另外，中性層31d、 31e與其他壓電體層31a 31c和31f 31h同樣在厚度方 向被極化，每層的極化度相同。因此，整個壓電元件為一樣的極化狀態(tài)，在中 性層31d、 31e與其他壓電體層31c、 31f的邊界，由于極化度之差而導(dǎo)致的形 變或殘余應(yīng)力較小。另外，具有可以緩和在彎曲時的伸縮區(qū)域與中性區(qū)域的界 面的應(yīng)力、可以防止產(chǎn)生裂紋等效果。
實施例3
圖9表示本發(fā)明所涉及的膜片單元的第三實施例。該實施例是第二實施例 的變形例。壓電元件40是9層壓電體層41a 41i的層疊結(jié)構(gòu)，厚度方向中間 的兩個壓電體層41e、 41f是中性層。在這個例子中，在中性層41e、 41f之間 也沒有設(shè)置電極，但也可以設(shè)置電極。在壓電元件40的表面和背面及層間設(shè) 置電極43a 43i。壓電元件40粘貼在膜片44上。
上數(shù)第一電極43a、第三電極43c、第五電極43e、第六電極43f、第八電 極43h與交流電源42的一端連接，上數(shù)第二電極43b、第四電極43d、第七電 極43g與交流電源42的另一端連接。因此，如圖9的虛線箭頭E所示那樣施 加電場，在上側(cè)的四層壓電體層41a 41d伸長時，下側(cè)的三層壓電體層41g 4li會收縮，膜片單元向上凸出位移。若電場方向反轉(zhuǎn)，則膜片單元向下凸出 位移。中性層41e、 41f雖然在厚度方向被極化，但由于兩面的電極43e、 43f 是同--電位，因此不會施加驅(qū)動電場，不會自發(fā)地位移。
在該實施例中，使靠近中性層41e、 41f上側(cè)的壓電體層的數(shù)量與下側(cè)的 壓電體層的數(shù)量不同。具體而言，使上側(cè)的壓電體層為四層，下側(cè)的壓電體層為三層。如圖8所示，在中性層31d、 31e位于壓電元件30的厚度方向中央時， 由于中性面Fd比壓電元件30的厚度方向中央偏向膜片34 —側(cè)，因此中性面 Fd靠近驅(qū)動層即壓電體層31f，有可能對壓電體層31f的位移造成阻力。與之 相反，如圖9所示，使上側(cè)的壓電體層數(shù)和下側(cè)的壓電體層數(shù)不同，使位于與 膜片相反側(cè)的壓電體層數(shù)增多，這時可以使中性面Fd位于中性層41e、 41f的 大致中央，可以減小對于位于中性層41e、 41f的兩側(cè)的驅(qū)動層(壓電體層) 41d、 41g的位移的阻力。
圖9不過是表示改變中性層的兩側(cè)的壓電體層數(shù)的一個例子，上側(cè)的壓電 體層的數(shù)量及下側(cè)的壓電體層的數(shù)量可以根據(jù)中性面Fd的置入而任意設(shè)定。 即，由于中性面Fd的位置會根據(jù)膜片44的厚度和材質(zhì)(楊氏模量)而改變， 因此根據(jù)其選擇中性層的兩側(cè)的壓電體層數(shù)即可。另外，也可以不改變中性層
的兩側(cè)的壓電體層數(shù)，而將施加在位于與膜片相反側(cè)的壓電體層的驅(qū)動電場的 強度或者極化度、調(diào)整得比施加在位于膜片側(cè)的壓電體層的驅(qū)動電場的強度或 者極化度要高，還可以將位于與膜片相反側(cè)的壓電體層的厚度調(diào)整得變厚，使
驅(qū)動電場的強度或極化度照原樣保持一定。
在圖1 圖3中所示的結(jié)構(gòu)是，將泵本體10形成為平板狀，將流入側(cè)閥 室ll、泵室12及排出側(cè)閥室13排列在同一平面上，但不限于此。在圖1 圖 3所示的壓電泵的情況下，由于可以形成得輕薄，所以適合于筆記本電腦或便 攜式設(shè)備這樣的小型電子設(shè)備的冷卻水輸送用泵或燃料電池的燃料輸送用泵等。
權(quán)利要求
1.一種壓電泵，包括具有開口部的泵本體；為關(guān)閉所述開口部而固定在泵本體、在與泵本體之間形成泵室的膜片；以及面對面粘接在膜片的表面上的壓電元件，通過對所述壓電元件施加電壓，使包含壓電元件的膜片彎曲位移，其特征在于，所述壓電元件是層疊多個壓電體層的雙壓電晶片型壓電元件，所述多個壓電體層中，位于所述壓電元件的厚度方向中間部位的至少一層是不會由于所述施加電壓而自發(fā)地位移的中性層，包含所述壓電元件的整個膜片的中性面位于所述壓電元件的中性層內(nèi)。
2. 如權(quán)利要求l所述的壓電泵，其特征在于， 包含所述中性層的所有壓電體層在厚度方向被極化， 所述中性層是不會由于施加電壓而被施加電場的層。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的壓電泵，其特征在于，將所述中性層置于其間，所述膜片側(cè)的壓電體層的層疊數(shù)比與膜片側(cè)相反 側(cè)的壓電體層的層疊數(shù)少。
全文摘要
在使用雙壓電晶片結(jié)構(gòu)的壓電元件的膜片式的壓電泵中，去除阻礙壓電元件的位移的主要原因，提供一種效率高的壓電泵。壓電泵包括在與泵本體(10)之間形成泵室(12)的膜片(21)、以及面對面粘接在膜片的表面上的壓電元件(22)，壓電元件(22)是層疊多個壓電體層的雙壓電晶片型壓電元件，在壓電元件的厚度方向中間部設(shè)置不自發(fā)地位移的中性層(22b)。由于包含壓電元件的整個膜片的中性面(Fd)位于壓電元件的中性層(22b)內(nèi)，因此壓電元件(22)可以高效地位移。
文檔編號F04B43/04GK101622451SQ20088000123
公開日2010年1月6日 申請日期2008年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月3日
發(fā)明者金井俊吾 申請人:株式會社村田制作所