專利名稱：高流量環(huán)形拖動復合分子泵的制作方法
技術領域：
本發(fā)明與盤形分子泵有關，尤其與多級串聯(lián)構成的復合盤拖泵有關。
背景技術：
分子泵是一種工藝要求高、高速旋轉的精密機械，從結構上分為兩大類普通渦輪
分子泵和復合分子泵，前者的泵芯部分全部由渦輪葉片動靜相間匹配組成，后者的泵芯部
分則由渦輪級合理串接分子牽引級組成，而牽引級又分為筒式牽引級(柱拖泵)和盤式牽
引級(盤拖泵)；目前盤拖泵或串接有盤式牽引結構的復合分子泵中的抽氣盤盤面上的抽
氣溝槽通常由若干個均布的同類型溝槽組成，其溝槽槽壁型線為阿基米德螺旋線、漸開線、
圓弧線或直線幾種，這幾種型線的抽氣通道由于是若干個抽氣槽均布組成，槽壁的首尾兩
端分別位于環(huán)形抽氣圓盤的內外圓周上，對每一級來說，這些均布的每一個抽氣槽對氣體
的牽引拖動效果是等同的，這樣一來，抽氣槽的當量通道長度較短，抽氣性能不佳，而且由
于泵的結構屬性所限，這類盤拖泵或串接有這類盤式牽引結構的復合分子泵對分子量較小
的氣體(如氫氣等)的壓縮比較低，再者，阿基米德螺旋線和漸開線槽壁的加工工藝復雜，
制造麻煩，不易實現(xiàn)。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供一種結構簡單，制造容易，成本低廉，抽氣性能良好的高流量
環(huán)形拖動復合分子泵。 本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的 本發(fā)明高流量環(huán)形拖動復合分子泵，泵體1內沿主軸的軸向從進氣口到排氣口依 次串聯(lián)有渦輪組件、牽引組件，每個組件由一級單元或串聯(lián)的多級單元構成，渦輪組件的每 級單元由渦輪動葉片和渦輪靜葉片配合組成，牽引組件的每級單元由光面動葉片和抽氣盤 組成，牽引組件的末級單元的抽氣盤在單面有環(huán)形抽氣槽，其它單元的抽氣盤在上、下面有 環(huán)形抽氣槽，渦輪動葉片和光面動葉片與主軸連接成轉子體，渦輪靜葉片和抽氣盤與泵體1 的內壁固連，主軸與電機組件8連接，抽氣盤的形環(huán)抽氣槽底壁上有通孔13，渦輪動葉片和
光面動葉片與抽氣盤的連接處有抽氣道通。 渦輪組件與牽引組件之間有過渡組件，過渡組件的每級單元由渦輪動葉片和上、 下面開有環(huán)形抽氣槽的抽氣盤組成，抽氣盤的環(huán)形抽氣槽內有隔板12將環(huán)形抽氣槽截斷， 隔板一側的抽氣槽底壁有通孔13，只有下面的抽氣槽的外側壁有缺口 14位于隔板另一側。
抽氣盤的環(huán)形抽氣槽內有斷頭12，斷頭12 —側的抽氣槽內有通孔13，另一側的抽 氣槽有缺口 14，缺口的外槽壁靠近抽氣盤的外圓周，與動葉片的外圓柱面形成抽氣通道。
相鄰的兩抽氣盤的通孔13和缺口 14錯位構成圓周角。
抽氣盤的單面有內圓臺階15與動葉片間隙配合。 渦輪組件由五級串聯(lián)的單元構成，渦輪靜葉片3之間有隔環(huán)4、過渡組件由一級單 元構成，牽引組件由六級串聯(lián)的單元構成，末級單元的抽氣盤6的光面上的通孔13通水平軸向的排氣口 16，渦輪組件的上面單元與豎直軸向的進氣口 17相通。
主軸與光面動葉片為整體，渦輪動葉片為組合體。
抽氣盤上的環(huán)形抽氣槽的深度有差別。 本發(fā)明由于采用了上述技術方案，所提供的復合分子泵結構比較簡單、工藝性良 好、便于加工制造、造價低；更為重要的是本發(fā)明的復合分子泵由于抽氣槽的當量通道 長，抽氣通道錯開，抽氣性能優(yōu)越，工作范圍寬，返流量低、泄漏量小，在低真空區(qū)域和高真 空區(qū)域工作時，即使是對分子量較小的氣體(如氫氣等)，也均能獲得很高的排氣量和很大 的壓縮比。
圖1為本發(fā)明總體結構示意圖，其中1為泵體、2為渦輪動葉片、3為渦輪靜葉片、 4為隔環(huán)、5為過渡級盤形拖動抽氣盤、6為牽引級盤形拖動抽氣盤、7為牽引組件末級拖動 抽氣盤、8為電機組件、9為底盤、10為油杯組件、11為地腳組件。 圖2為本發(fā)明用作過渡組件(渦輪級過渡到盤形拖動牽引級)的定抽氣盤結構示 意圖。 圖3為圖2的右視圖。
圖4為圖2的左視圖。 圖5為本發(fā)明牽引組件抽氣盤結構示意圖。
圖6為圖5的右視圖。
圖7為圖5的左視圖。 圖8為本發(fā)明牽引組件最后一級(最終排氣級)的抽氣盤結構示意圖。
圖9為圖8的右視圖。
具體實施例方式以下結合附圖對本發(fā)明進一步的說明 圖1為本發(fā)明一種總體結構示意圖，其中1為泵體、2為渦輪動葉片、3為渦輪靜 葉片、4為隔環(huán)、5為過渡組件的抽氣盤、6為牽引組件的抽氣盤、7為牽引組件末級單元抽氣 盤、8為電機組件、9為底盤、10為油杯組件、11為地腳組件。 本實施例中，渦輪組件為五單元，過渡組件為1單元，牽引組件為六單元。 本實施例中，六層渦輪動葉片疊加，通過螺栓和墊圈與主軸聯(lián)接。六個光面動葉片
與主軸為一體。 本實施例中，過渡組件的抽氣盤5和牽引組合前三個單元的抽氣盤6的槽深制成 同一深度，牽引組件后三單元的抽氣盤6槽深另制成同一深度。 圖2為本發(fā)明用作過渡組件(渦輪級過渡到盤形拖動牽引級)的抽氣盤5結構示 意圖，其上側面不開缺口 ，下側開有缺口 ，本實施例中為扇形缺口 ，供氣體從本級抽氣通道 流到下級抽氣通道用；抽氣槽上開有通孔13，本實施例中為扇形通孔。 圖5為本發(fā)明用作盤形拖動牽引級的環(huán)形圓盤結構示意圖，其上下兩側面開有缺 口 ，本實施例中為扇形缺口 ，供氣體從上級抽氣通道引入到本級抽氣通道或供氣體從本級 抽氣通道流到下級抽氣通道用；抽氣槽上開有通孔，本實施例中為扇形通孔。
圖8為本發(fā)明用作盤形拖動牽引組件最后一級(最終排氣級)的抽氣盤7結構示 意圖，其下側為光平面，不開抽氣槽及缺口 ，上側開有抽氣槽及其缺口 ，本實施例中為扇形 缺口，供氣體從上級抽氣通道引入到本級抽氣通道用；抽氣槽上開有通孔13，作為牽引級 最終排氣孔，本實施例中為扇形通孔。 相鄰兩抽氣盤的通孔13錯位，同一抽氣盤的正面和背面的缺口錯位。
權利要求
高流量環(huán)形拖動復合分子泵，其特征在于泵體(1)內沿主軸的軸向從進氣口到排氣口依次串聯(lián)有渦輪組件、牽引組件，每個組件由一級單元或串聯(lián)的多級單元構成，渦輪組件的每級單元由渦輪動葉片和渦輪靜葉片配合組成，牽引組件的每級單元由光面動葉片和抽氣盤組成，牽引組件的末級單元的抽氣盤在正面有環(huán)形抽氣槽，背面為光面，牽引組件的其它單元的抽氣盤在正面和背面面有環(huán)形抽氣槽，渦輪動葉片和光面動葉片與主軸連接成轉子體，渦輪靜葉片和抽氣盤與泵體(1)的內壁固連，主軸與電機組件(8)連接，抽氣盤的形環(huán)抽氣槽底壁上有通孔(13)，抽氣盤的環(huán)形抽氣槽內有隔板(12)將環(huán)形抽氣槽截斷，隔板(12)一側的抽氣槽內有通孔(13)，另一側的抽氣槽外側壁上有缺口(14)，缺口的外槽壁靠近抽氣盤的外圓周，與動葉片的外圓柱面形成抽氣通道，相鄰兩抽氣盤中，位于前面的抽氣盤的缺口與位于后面的抽氣盤的缺口對齊。
2. 根據權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于渦輪組件與牽引組件之間有過渡組 件，過渡組件的每級單元由渦輪動葉片和上、下面開有環(huán)形抽氣槽的抽氣盤組成，抽氣盤的 環(huán)形抽氣槽內有隔板(12)將環(huán)形抽氣槽截斷，隔板一側的抽氣槽底壁有通孔(13)，只有下 面的抽氣槽的外側壁有缺口 (14)位于隔板另一側。
3. 根據權利要求1或2所述的復合分子泵，其特征在于相鄰的兩抽氣盤的通孔(13)錯位。
4. 根據權利要求1或2所述的復合分子泵，其特征在于同一抽氣盤的正面和背面的缺 口錯位。
5. 根據權利要求1或2所述的復合分子泵，其特征在于抽氣盤的單面有內圓臺階(15) 與動葉片間隙配合。
6. 根據權利要求2所述的復合分子泵，其特征在于渦輪組件由多級串聯(lián)的單元構成， 渦輪靜葉片(3)之間有隔環(huán)(4)、過渡組件由至少一級單元構成，牽引組件由多級串聯(lián)的單 元構成，末級單元的抽氣盤(6)的光面上的通孔(13)通水平軸向的排氣口 (16)，渦輪組件 的上面單元與豎直軸向的進氣口 (17)相通。
7. 根據權利要求1或2所述的復合分子泵，其特征在于主軸與光面動葉片為整體，渦輪 動葉片為組合體，通過螺栓和墊圈與主軸連接。
8. 根據權利要求1或2所述的復合分子泵，其特征在于抽氣盤上的環(huán)形抽氣槽的深度 有差別。
全文摘要
本發(fā)明為高流量環(huán)形拖動復合分子泵解決已有復合盤拖分子泵結構復雜，成本高，抽氣槽的當量通道長度較短，對分子量較小的氣體的壓縮比低的問題。高流量環(huán)形拖動復合分子泵，其特征在于泵體(1)內沿主軸的軸向從進氣口到排氣口依次串聯(lián)有渦輪組件、牽引組件，每個組件由一級單元或串聯(lián)的多級單元構成，渦輪組件的每級單元由渦輪動葉片和渦輪靜葉片配合組成，牽引組件的每級單元由光面動葉片和抽氣盤組成，牽引組件的末級單元的抽氣盤在單面有環(huán)形抽氣槽，其它單元的抽氣盤在上、下面有環(huán)形抽氣槽，渦輪動葉片和光面動葉片與主軸連接成轉子體，渦輪靜葉片和抽氣盤與泵體(1)的內壁固連，主軸與電機組件(8)連接，抽氣盤的形環(huán)抽氣槽底壁上有通孔(13)，渦輪動葉片和光面動葉片與抽氣盤的連接處有抽氣通道，與環(huán)形抽氣槽相通，相鄰單元的抽氣通道相通。
文檔編號F04D19/04GK101709713SQ20091026357
公開日2010年5月19日 申請日期2009年12月25日 優(yōu)先權日2009年12月25日
發(fā)明者劉安良, 唐洪, 李金鑫, 范林東, 靳毅 申請人:成都南光機器有限公司