專利名稱：真空泵的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體制造技術，尤其涉及一種真空泵。
背景技術：
半導體制造業(yè)的許多工藝是發(fā)生在工藝腔里的化學反應，所謂工藝腔是指一個受 控的真空環(huán)境，使得化學反應能夠在受控條件下進行。工藝腔內的真空環(huán)境是通過真空泵 提供的，因此，真空泵在很多工藝步驟中都需要使用到。如圖1所示的真空泵包括腔殼11、設置在腔殼11上的進氣口 13和排氣口 14、以及 設置在腔殼11內的兩轉子12，且兩轉子12之間以及轉子12與腔殼11之間間隙很小。在 真空泵運行過程中會產生一些副生成物，這些副生成物 容易附著在轉子12和腔殼11內壁 上，當真空泵停止運行時，泵體的溫度會快速下降，隨著泵體溫度的下降，附著在轉子12和 腔殼11內壁上的副生成物凝固變硬，凝固變硬的副生成物會卡住轉子12，使得真空泵無法 再啟動，如此一來，不僅會影響機臺的檢修，同時還需要更換真空泵，對新的真空泵進行底 壓、抽速檢測等，大大增加了工作量，降低工作效率，增加生產成本。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種真空泵，在真空泵停止運行時，使泵體的溫度保 持在一定溫度范圍內，能有效防止副生成物凝固變硬，保證任何時候都能重啟真空泵。為了達到上述的目的，本實用新型提供一種真空泵，包括腔殼、設置在腔殼外壁上 的加熱裝置和與加熱裝置連接的控制電路。上述真空泵，其中，所述控制電路包括電源開關、繼電器、控制模塊和溫度傳感器； 所述電源開關的輸入端與外部電源連接，其輸出端與繼電器的選擇開關的輸入端連接；所 述繼電器的選擇開關的輸出端有兩個端子，一個端子為常閉端子，另一個端子為常開端子， 當選擇開關的輸入端與常閉端子連接時，繼電器與外部電源處于連接狀態(tài)，當選擇開關的 輸入端與常開端子連接時，繼電器與外部電源處于斷開狀態(tài)；所述繼電器的輸出端與加熱 管連接；所述控制模塊的輸入端與溫度傳感器連接，所述控制模塊的輸出端與繼電器的控 制端連接。上述真空泵，其中，所述繼電器的選擇開關與真空泵電源開關連接，閉合真空泵電 源開關，繼電器的選擇開關的輸入端與常開端子連接，斷開真空泵電源開關，繼電器的選擇 開關的輸入端與常閉端子連接。上述真空泵，其中，所述加熱裝置為設置在腔殼外壁上的數(shù)根加熱管。 上述真空泵，其中，所述加熱裝置還包括數(shù)個中空管，所述數(shù)個中空管設置在腔殼 的外壁上，所述加熱管設置在中空管內。上述真空泵，其中，所述數(shù)個中空管相互平行。上述真空泵，其中，所述加熱裝置為纏繞在腔殼外壁上的加熱帶。上述真空泵，其中，所述加熱帶為數(shù)條環(huán)繞在腔殼外壁上的加熱帶。上述真空泵，其中，所述加熱帶為數(shù)條相互平行粘貼在腔殼外壁上的加熱帶。本實用新型的真空泵由于在腔殼的外壁上設置加熱管或加熱帶，能在真空泵停機后保持泵體溫度處在一定溫度范圍內，防止停機后泵體溫度下降到太低，使附著在轉子和 腔殼內壁上的副生成物凝固變硬，影響真空泵重啟，因此，本實用新型的真空泵在任何時候 都能重啟，保證了機臺正常運行。
本實用新型的真空泵由以下的實施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有技術中真空泵的剖視圖。圖2是本實用新型真空泵實施例一的剖視圖。圖3是本實用新型真空泵實施例一的側視圖。圖4是本實用新型實施例一中控制電路的電路原理圖。圖5是本實用新型真空泵實施例二的側視圖。圖6是本實用新型真空泵實施例三的側視圖。
具體實施方式
以下將結合圖2 圖5對本實用新型的真空泵作進一步的詳細描述?，F(xiàn)有技術中，真空泵停機后無法再啟動的原因是停機使真空泵泵體溫度下降，溫 度下降使附著在轉子和腔殼內壁上的副生成物凝固變硬而卡住轉子。因此，要真空泵停機 后能重新啟動，就要避免真空泵停機后溫度下降到太低，從而防止副生成物凝固變硬。實施例一參見圖2，本實用新型的真空泵包括腔殼2、設置在腔殼2上的進氣口 21和排氣口 22、設置在腔殼2內的兩轉子23，在腔殼2的外壁上設有數(shù)個中空管24，所述中空管24內 設有加熱管3。參見圖3，所述數(shù)個中空管24相互平行設置在腔殼2的外壁上，所述中空管24內 的加熱管3與控制電路4連接。本實施例中，上述中空管24在腔殼2的外壁上鑄造成型，該中空管24與腔殼2成 一體。為了加工及安裝的方便，鑄造上述中空管24的區(qū)域避開了設有進氣口 21和排氣口 22的區(qū)域，即上述中空管24設置在進氣口 21和排氣口 22之間的腔殼2的外壁上，如圖2 所示，為了受熱均勻，每個設置中空管24的區(qū)域內各中空管24相互平行且等間距分布。參見圖4，所述控制電路4包括電源開關41、固態(tài)繼電器42、控制模塊43和溫度傳 感器44。所述電源開關41的輸入端與外部電源連接，其輸出端與固態(tài)繼電器42的選擇開 關421的輸入端連接；所述固態(tài)繼電器42的選擇開關421的輸出端有兩個端子，一個端子 為常閉端子，另一個端子為常開端子，當選擇開關421的輸入端與常閉端子連接時，固態(tài)繼 電器42與外部電源處于連接狀態(tài)，當選擇開關421的輸入端與常開端子連接時，固態(tài)繼電 器42與外部電源處于斷開狀態(tài)；固態(tài)繼電器42的選擇開關421還與真空泵電源開關5連 接，由真空泵電源開關5控制所述選擇開關421的連接方式，真空泵電源開關5閉合(即真 空泵運行)時，選擇開關421的輸入端與常開端子連接，固態(tài)繼電器42與外部電源斷開，真 空泵電源開關5斷開(即真空泵停機)時，選擇開關421的輸入端與常閉端子連接，固態(tài)繼 電器42與外部電源連接；所述固態(tài)繼電器42的輸出端與加熱管3連接；所述控制模塊43 的輸入端與溫度傳感器44連接，所述控制模塊43的輸出端與固態(tài)繼電器42的控制端連 接，所述溫度傳感器44用于真空泵停機后實時監(jiān)測泵體的溫度。[0034]本實用新型的真空泵的工作原理是，閉合電源開關41，接通控制電路4與外部電 源(市電)，當真空泵運行時，真空泵電源開關5閉合，固態(tài)繼電器42的選擇開關421的輸 入端與常開端子連接，此時，固態(tài)繼電器42與外部電源處于斷開狀態(tài)，加熱管3不加熱 ’關 閉真空泵(即停機)，真空泵電源開關5斷開，固態(tài)繼電器42的選擇開關421的輸入端與常 閉端子連接，此時，固態(tài)繼電器42與外部電源處于連接狀態(tài)，但固態(tài)繼電器42本身處于斷 開狀態(tài)，加熱管3仍不加熱，與此同時，溫度傳感器44開始工作，實時監(jiān)測泵體的溫度并將 監(jiān)測到的溫度數(shù)據(jù)實時發(fā)送給控制模塊43，當泵體溫度下降到預設最小溫度值(防止副生 成物凝固的最低溫度值)時，控制模塊43控制固態(tài)繼電器42處于接通狀態(tài)，加熱管3開始 加熱，當泵體溫度高于預設最大溫度值時，控制模塊43控制固態(tài)繼電器42處于斷開狀態(tài)， 加熱管3停止加熱，泵體降溫，當泵體溫度下降到預設最小溫度值時，控制模塊43又控制固 態(tài)繼電器42處于接通狀態(tài)，如此循環(huán)?？刂颇K43通過控制固態(tài)繼電器42的狀態(tài)(斷開 狀態(tài)或接通狀態(tài))，實現(xiàn)加熱管3加熱與不加熱，從而實現(xiàn)保持泵體溫度處于一定溫度范圍 內(即預設最小溫度值與預設最大溫度值范圍內)。實施例二 實施例二與實施例一的不同之處在于，用加熱帶替換加熱管，由于加熱帶是柔性 材質，因此，加熱帶可直接纏繞在腔殼的外壁上，而不再需要中空管，如圖5所示，數(shù)條加熱 帶6環(huán)繞在腔殼2的外壁上，同樣地，纏繞加熱帶6的區(qū)域避開了設有進氣口 21和排氣口 22的區(qū)域，即上述加熱帶6設置在進氣口 21和排氣口 22之間的腔殼2的外壁上，每個設置 加熱帶6的區(qū)域內各加熱帶6等間距分布。所述數(shù)條加熱帶6與控制電路4連接，由控制 電路4控制加熱帶6加熱與不加熱。實施例三如圖6所示，實施例三與實施例二的區(qū)別在于，加熱帶6相互平行粘貼在腔殼2的 外壁上。設置加熱帶6的區(qū)域內各加熱帶6等間距分布。所述數(shù)條加熱帶6與控制電路4 連接，由控制電路4控制加熱帶6加熱與不加熱。
權利要求一種真空泵，包括腔殼，其特征在于，還包括設置在腔殼外壁上的加熱裝置和與加熱裝置連接的控制電路。
2.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述控制電路包括電源開關、繼電器、控 制模塊和溫度傳感器；所述電源開關的輸入端與外部電源連接，其輸出端與繼電器的選擇開關的輸入端連 接；所述繼電器的選擇開關的輸出端有兩個端子，一個端子為常閉端子，另一個端子為常開 端子，當選擇開關的輸入端與常閉端子連接時，繼電器與外部電源處于連接狀態(tài)，當選擇開 關的輸入端與常開端子連接時，繼電器與外部電源處于斷開狀態(tài)；所述繼電器的輸出端與 加熱管連接；所述控制模塊的輸入端與溫度傳感器連接，所述控制模塊的輸出端與繼電器 的控制端連接。
3.如權利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述繼電器的選擇開關與真空泵電源開 關連接，閉合真空泵電源開關，繼電器的選擇開關的輸入端與常開端子連接，斷開真空泵電 源開關，繼電器的選擇開關的輸入端與常閉端子連接。
4.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述加熱裝置為設置在腔殼外壁上的數(shù) 根加熱管。
5.如權利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述加熱裝置還包括數(shù)個中空管，所述數(shù) 個中空管設置在腔殼的外壁上，所述加熱管設置在中空管內。
6.如權利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述數(shù)個中空管相互平行。
7.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述加熱裝置為纏繞在腔殼外壁上的加 熱帶。
8.如權利要求7所述的真空泵，其特征在于，所述加熱帶為數(shù)條環(huán)繞在腔殼外壁上的 加熱帶。
9.如權利要求7所述的真空泵，其特征在于，所述加熱帶為數(shù)條相互平行粘貼在腔殼 外壁上的加熱帶。
專利摘要本實用新型的真空泵包括腔殼和設置在腔殼外壁上的保溫裝置，該保溫裝置可以是設置在腔殼外壁上的加熱管，也可以是設置在腔殼外壁上的保溫帶。本實用新型的真空泵在任何時候都能重啟，保證了機臺正常運行。
文檔編號F04C25/02GK201560944SQ20092007804
公開日2010年8月25日 申請日期2009年7月9日 優(yōu)先權日2009年7月9日
發(fā)明者王剛 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司