專利名稱：高精持續(xù)供膠泵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶片噴涂領(lǐng)域，具體為一種高精持續(xù)供膠泵裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中對晶片噴涂的供膠。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)晶圓均為旋轉(zhuǎn)涂覆，利用間歇式供膠膠泵配合離心力使晶圓表面膠膜均 勻，但在不規(guī)則表面無法實施。傳統(tǒng)的甩膠技術(shù)無法解決不規(guī)則晶圓表面的膠膜均勻 性，噴涂技術(shù)的產(chǎn)生解決了這個難題，噴膠的供液泵需要實現(xiàn)高精度并可以連續(xù)供液。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種高精持續(xù)供膠泵裝置，可實現(xiàn)噴膠工藝中的膠液供 應(yīng)，對液體流量高精度控制，保證連續(xù)運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種高精持續(xù)供膠泵裝置，該裝置設(shè)有三個活塞缸，每個活塞缸的一端安裝活 塞，每個活塞缸的另一端分別通過活塞缸出口連接管路與出口管路連通，通過活塞缸進 口連接管路與進口管路連通，在所述活塞缸出口連接管路、活塞缸進口連接管路上分別 設(shè)有單向閥，出口管路連接外部噴嘴，進口管路連接供液罐，三個活塞的活塞桿端部分 別與一傳動軸上的三個凸輪頂觸，三個凸輪圍繞傳動軸均勻分布。所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，三個活塞缸設(shè)置于防護體內(nèi)。所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，防護體頂部設(shè)置上端蓋，出口管路、進口管路設(shè) 置于上端蓋中。所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，三個活塞桿與凸輪頂觸點的高度按順序逐漸升高 或降低。所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，傳動軸通過聯(lián)軸器與微步進馬達連接。本發(fā)明的有益效果是1、本發(fā)明為半導(dǎo)體不規(guī)則表面晶片噴涂技術(shù)，它是強化對晶片不規(guī)則表面均勻 噴涂的供液裝置。持續(xù)噴膠方法噴霧不規(guī)則表面晶片，需要用高精度持續(xù)供膠裝置供應(yīng) 光刻膠。該裝置設(shè)有步進電機、活塞、凸輪實現(xiàn)高精度持續(xù)供膠，利用微步進控制器與 凸輪和活塞配合實現(xiàn)高精度控制。2、本發(fā)明利用微步進馬達與活塞缸及活塞配合單向閥實現(xiàn)液體的吐出和回吸， 交替工作，實現(xiàn)液體的連續(xù)供應(yīng)和連續(xù)補充。


圖1為本發(fā)明高精持續(xù)供膠泵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明高精持續(xù)供膠泵裝置的管路示意圖。圖中，1上端蓋；2出口管路；3進口管路；4單向閥；5防護體；6活塞缸；7活塞；8凸輪；9傳動軸；10聯(lián)軸器；11微步進馬達；12活塞缸出口連接管路；13活塞 缸進口連接管路。
具體實施方式
如圖1-2所示，本發(fā)明高精持續(xù)供膠泵裝置主要包括上端蓋1、出口管路2、 進口管路3、單向閥4、防護體5、活塞缸6、活塞7、凸輪8、傳動軸9、聯(lián)軸器10、微 步進馬達11、活塞缸出口連接管路12、活塞缸進口連接管路13，具體結(jié)構(gòu)如下在防護體5內(nèi)設(shè)置三個活塞缸6，每個活塞缸6的一端開口用于安裝活塞7，每 個活塞缸6的另一端分別通過活塞缸出口連接管路12與出口管路2連通，通過活塞缸進 口連接管路13與進口管路3連通，在所述活塞缸出口連接管路12、活塞缸進口連接管路 13上分別設(shè)有單向閥4，出口管路2負責(zé)連接外部噴嘴，進口管路3負責(zé)連接供液罐。防 護體5頂部設(shè)置上端蓋1，所述的出口管路2、進口管路3設(shè)置于上端蓋1中。三個活塞缸6分別與各自的活塞缸出口連接管路12、活塞缸進口連接管路13進 行連接，活塞缸6負責(zé)膠液緩存。三個活塞7的活塞桿端部分別與三個凸輪8頂觸，三 個凸輪8圍繞傳動軸9均勻分布，即三個活塞桿與凸輪8頂觸點的高度按順序逐漸升高或 降低)，傳動軸9通過聯(lián)軸器10與微步進馬達11連接，三個凸輪8交替上升實現(xiàn)膠液的 連續(xù)供應(yīng)。本發(fā)明中，供膠每分鐘噴射0.1-5.0毫升(精度士0.01)。本發(fā)明中，微步進馬達的技術(shù)參數(shù)如下1.8度/步，可細分至1/2500。本發(fā)明的工作過程如下工作時，微步進馬達11帶動傳動軸9轉(zhuǎn)動，傳動軸9由聯(lián)軸器10與微步進馬達 11連接，傳動軸9帶動三個凸輪8轉(zhuǎn)動，三個凸輪8連接活塞7的部位不同，三個凸輪8 設(shè)計均勻排列，這樣傳動軸9旋轉(zhuǎn)一周時，三個凸輪8交替上升實現(xiàn)膠液的連續(xù)供應(yīng)?；?塞7通過上下吐出和回吸膠液，在活塞缸6中的膠液經(jīng)活塞缸出口連接管路12、活塞缸進 口連接管路13與進、出膠液的單向閥連接實現(xiàn)膠液的控制。利用微步進馬達與活塞缸及 活塞配合單向閥實現(xiàn)液體的吐出和回吸，交替工作，實現(xiàn)液體的連續(xù)供應(yīng)和連續(xù)補充。結(jié)果表明，應(yīng)用微步進馬達，通過對凸輪和活塞缸直徑的運算可以很精確的得 出每次噴射的液體容量，通過三個凸輪的均勻分布實現(xiàn)對液體的持續(xù)供應(yīng)。
權(quán)利要求
1.一種高精持續(xù)供膠泵裝置，其特征在于該裝置設(shè)有三個活塞缸，每個活塞缸的 一端安裝活塞，每個活塞缸的另一端分別通過活塞缸出口連接管路與出口管路連通，通 過活塞缸進口連接管路與進口管路連通，在所述活塞缸出口連接管路、活塞缸進口連接 管路上分別設(shè)有單向閥，出口管路連接外部噴嘴，進口管路連接供液罐，三個活塞的活 塞桿端部分別與一傳動軸上的三個凸輪頂觸，三個凸輪圍繞傳動軸均勻分布。
2.按照權(quán)利要求1所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，其特征在于三個活塞缸設(shè)置于防 護體內(nèi)。
3.按照權(quán)利要求2所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，其特征在于防護體頂部設(shè)置上端 蓋，出口管路、進口管路設(shè)置于上端蓋中。
4.按照權(quán)利要求1所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，其特征在于三個活塞桿與凸輪頂 觸點的高度按順序逐漸升高或降低。
5.按照權(quán)利要求1所述的高精持續(xù)供膠泵裝置，其特征在于傳動軸通過聯(lián)軸器與 微步進馬達連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及晶片噴涂領(lǐng)域，具體為一種高精持續(xù)供膠泵裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中對晶片噴涂的供膠。該裝置設(shè)有三個活塞缸，每個活塞缸的一端安裝活塞，每個活塞缸的另一端分別通過活塞缸出口連接管路與出口管路連通，通過活塞缸進口連接管路與進口管路連通，在所述活塞缸出口連接管路、活塞缸進口連接管路上分別設(shè)有單向閥，出口管路連接外部噴嘴，進口管路連接供液罐，三個活塞的活塞桿端部分別與一傳動軸上的三個凸輪頂觸，三個凸輪圍繞傳動軸均勻分布。本發(fā)明實現(xiàn)噴膠工藝中的膠液供應(yīng)，對液體流量高精度控制，保證連續(xù)運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。
文檔編號F04B9/04GK102022300SQ201010284590
公開日2011年4月20日 申請日期2010年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月17日
發(fā)明者孫東豐, 王沖 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司