專利名稱：微型油封式雙級(jí)真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體的是涉及一種密封反應(yīng)釜中抽 除酸性氣體用的微型油封式雙級(jí)真空泵。
背景技術(shù)：
本實(shí)用新型涉及微型油封式雙級(jí)真空泵，特別適合密封反應(yīng)釜中抽除 酸性氣體用。目前化工、輕工、印染、醫(yī)藥、鋼鐵、機(jī)械、電子、儀表、電鍍等工業(yè)部門生產(chǎn)過(guò)程 中多排放出硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸等尾氣及硫氧化物(SOx)、氮氧化物(NOx)、碳氧化合 物(C0、C02)、氰化物(HCN)等酸性氣體，酸性氣體一般具有腐蝕性，個(gè)別有氧化性，對(duì)人體及 大氣環(huán)境有嚴(yán)重的污染性，酸性氣體中易溶于水的較多，因此傳統(tǒng)的水封式真空泵顯然不 能使用。在獲得真空的設(shè)備中，旋片式真空泵因結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，整機(jī)尺寸小，且其工作可 靠性高，使用方便，易于維修等優(yōu)點(diǎn)，是目前使用范圍最廣的真空泵，但單級(jí)旋片式真空泵 只能得到低真空，不適于對(duì)真空度要求高的情況。真空泵在運(yùn)行的過(guò)程中，泵內(nèi)溫度不宜過(guò)高，否則會(huì)影響真空度，因此需要冷卻散 熱設(shè)置。目前采用的方式是在真空泵驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上設(shè)置有風(fēng)葉，電機(jī)工作時(shí)，帶動(dòng)風(fēng) 葉轉(zhuǎn)動(dòng)，形成風(fēng)冷，但這種方式通常冷卻效果不是很好。真空泵直接安裝在基礎(chǔ)或地面上，工作時(shí)，因震動(dòng)而發(fā)出的噪聲較大，工作環(huán)境惡 劣。發(fā)明內(nèi)容鑒于已有技術(shù)存在的缺陷，及抽除酸性氣體的需要，本實(shí)用新型的目的 是要提供一種能夠延長(zhǎng)真空泵使用壽命，實(shí)現(xiàn)高真空度，降低噪音，散熱性好、避免排氣堵 塞的微型油封式雙級(jí)真空泵。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)解決方案是由進(jìn)氣口、串聯(lián)通道油槽、 螺桿、串聯(lián)通道、排氣口、排氣口油槽、散熱片、泵體、前級(jí)工作室、橡膠底座、后級(jí)工作室、 旋片彈簧、轉(zhuǎn)子、旋片組成；泵體及泵體上設(shè)置的進(jìn)氣口、排氣口，泵體下設(shè)置的橡膠底座， 泵體內(nèi)安裝的前級(jí)工作室和后級(jí)工作室，所述的前級(jí)工作室和后級(jí)工作室在同一泵體內(nèi)， 兩級(jí)工作室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，兩級(jí)工作室內(nèi)都有旋片、旋片彈簧和轉(zhuǎn)子。在本實(shí)用新型中，旋片采用氮化硅陶瓷材料制作，轉(zhuǎn)子及泵內(nèi)腔鍍氮化硅薄膜，采 用油封方式。在本實(shí)用新型中，泵體外壁作成散熱片形，泵體底部安裝有橡膠緩沖地腳。在本實(shí)用新型中，進(jìn)氣口較排氣口管徑細(xì)，兩級(jí)工作室串聯(lián)處連接油槽，油槽中設(shè) 有一螺桿。采用上述方案后，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果本實(shí)用新型旋片采用耐磨損、抗腐蝕能力強(qiáng)及傳熱性差的氮化硅陶瓷材料制作， 轉(zhuǎn)子及泵內(nèi)腔鍍氮化硅薄膜材料，此設(shè)計(jì)可以延長(zhǎng)所述真空泵的使用壽命及減弱熱傳導(dǎo)作 用。泵體內(nèi)采用雙級(jí)旋片式設(shè)計(jì)，兩級(jí)工作室在同一泵體內(nèi)，兩級(jí)工作室串聯(lián)處連接油槽， 該設(shè)計(jì)使本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、生產(chǎn)制造容易，并可獲得高真空度。本實(shí)用新型進(jìn)氣口 較排氣口管徑細(xì)，可有效避免氣體排出過(guò)程中受到阻塞，使排氣過(guò)程順暢，油槽中所設(shè)螺桿 具有調(diào)節(jié)系統(tǒng)內(nèi)的真空度的作用。
圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方式
圖1附圖標(biāo)記如下進(jìn)氣口 1、串聯(lián)通道油槽2、螺桿3、串聯(lián)通道4、排氣口 5、排氣 口油槽6、散熱片7、泵體8、前級(jí)工作室9、橡膠底座10、后級(jí)工作室11、旋片彈簧12、轉(zhuǎn)子 13、旋片14。在圖1所示的密封反應(yīng)釜中抽除酸性氣體用的微型油封式雙級(jí)真空泵示意 圖中，其主要結(jié)構(gòu)包括泵體8及泵體8上設(shè)置的進(jìn)氣口 1、排氣口 5，泵體8下端設(shè)置的橡 膠底座10，泵體8內(nèi)安裝的前級(jí)工作室9和后級(jí)工作室11，所述的前級(jí)工作室9和后級(jí)工 作室11在同一泵體8內(nèi)，前級(jí)工作室9和后級(jí)工作室11通過(guò)串聯(lián)通道4串聯(lián)，同向等速旋 轉(zhuǎn)。前級(jí)工作室9和后級(jí)工作室11內(nèi)都有旋片14、旋片彈簧12和轉(zhuǎn)子13。排氣口 5通過(guò) 排氣口油槽6排出氣體。串聯(lián)通道4上接串聯(lián)通道油槽2，串聯(lián)通道油槽2內(nèi)設(shè)有螺桿3。 泵體外部作成散熱片7的形式。
權(quán)利要求1.微型油封式雙級(jí)真空泵，其特征是由進(jìn)氣口、串聯(lián)通道油槽、螺桿、串聯(lián)通道、排氣 口、排氣口油槽、散熱片、泵體、前級(jí)工作室、橡膠底座、后級(jí)工作室、旋片彈簧、轉(zhuǎn)子、旋片組 成；泵體上設(shè)置進(jìn)氣口、排氣口，泵體下設(shè)置橡膠底座，泵體內(nèi)安裝前級(jí)工作室和后級(jí)工作 室，所述的前級(jí)工作室和后級(jí)工作室在同一泵體內(nèi)，兩級(jí)工作室前后串聯(lián)，兩級(jí)工作室內(nèi)都 有旋片、旋片彈簧和轉(zhuǎn)子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所說(shuō)的微型油封式雙級(jí)真空泵，其特征在于旋片采用氮化硅陶瓷材 料制作，轉(zhuǎn)子及泵內(nèi)腔鍍氮化硅薄膜，采用油封方式。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所說(shuō)的微型油封式雙級(jí)真空泵，其特征在于進(jìn)氣口較排氣口管徑 細(xì)，兩級(jí)工作室串聯(lián)處連接油槽，油槽中設(shè)有一螺桿。
專利摘要一種密封反應(yīng)釜中抽除酸性氣體用的微型油封式雙級(jí)真空泵，其特征是主要包括泵體及泵體上設(shè)置的進(jìn)氣口、排氣口，泵體下設(shè)置的橡膠底座，泵體內(nèi)安裝的前級(jí)工作室和后級(jí)工作室，所述的前級(jí)工作室和后級(jí)工作室在同一泵體內(nèi)，兩級(jí)工作室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，兩級(jí)工作室內(nèi)都有旋片、旋片彈簧和轉(zhuǎn)子。旋片采用耐磨損、抗腐蝕能力強(qiáng)及傳熱性差的氮化硅陶瓷材料制作，轉(zhuǎn)子及泵內(nèi)腔鍍氮化硅薄膜材料，此設(shè)計(jì)可以延長(zhǎng)所述真空泵的使用壽命及減弱熱傳導(dǎo)作用。泵體內(nèi)采用雙級(jí)旋片式設(shè)計(jì)，兩級(jí)工作室在同一泵體內(nèi)，兩級(jí)工作室串聯(lián)處連接油槽，該設(shè)計(jì)使本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、生產(chǎn)制造容易，并可獲得高真空度。
文檔編號(hào)F04C29/06GK201786661SQ20102022863
公開(kāi)日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月18日
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