專利名稱：一種分子泵真空抽氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空抽氣裝置，尤其屬于真空鍍膜生產(chǎn)線中的分子泵真空抽氣裝置。
背景技術(shù)：
目前在真空鍍膜生產(chǎn)線中，一條生產(chǎn)線往往需要幾十個(gè)甚至上百個(gè)相互獨(dú)立的真空腔室，真空腔室內(nèi)的氣體經(jīng)分子泵抽出進(jìn)入兩側(cè)的支管，再由兩側(cè)支管匯合進(jìn)入主管，由前級(jí)真空泵排出，這樣涉及到分子泵連接的支管與主管連接的問題，現(xiàn)有技術(shù)中往往是主管位于高于真空腔室的上蓋，分子泵連接支管與主管通過波紋軟管進(jìn)行連接，這樣一方面每個(gè)真空腔室在需要打開或蓋上上蓋時(shí)都需要將分子泵連接的支管與主管的波紋軟管進(jìn)行手工拆卸，由于一條生產(chǎn)線往往需要幾十個(gè)甚至上百個(gè)相互獨(dú)立的真空腔室，這樣需要花費(fèi)大量的時(shí)間來進(jìn)行分子泵連接的支管與主管的波紋軟管的拆裝工作，從而大大影響了生產(chǎn)效率，而且也浪費(fèi)了大量的能源，不僅造成生產(chǎn)成本大大提高，而且也不利于環(huán)保；另一方面，分子泵連接的支管與主管管內(nèi)真空度較高，對(duì)連接處的密封要求較高，現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)置往往導(dǎo)致連接處漏氣。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是，為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷與不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、適用范圍廣、安裝方便的分子泵真空抽氣裝置。本實(shí)用新型的目的可以通過采取以下技術(shù)方案達(dá)到一種分子泵真空抽氣裝置，包括真空腔體、真空腔體蓋板、分子泵、抽氣管A和抽氣管B組成，所述的分子泵可拆卸地連接在真空腔體蓋板上，所述的分子泵與抽氣管A連接，抽氣管B和A —端都具有與水平面平行的法蘭，當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋在真空腔體上時(shí)，所述的抽氣管A和B在所述的法蘭處形成氣密性連接。作為本實(shí)用新型專利的優(yōu)選實(shí)施例，所述的抽氣管B通過波紋軟管與法蘭B連接， 法蘭B固結(jié)在真空腔體上，法蘭B沿圓周方向有凹槽，凹槽內(nèi)放置有密封膠圈，所述的抽氣管A通過波紋軟管與法蘭A連接，當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋在真空腔體上時(shí)，法蘭B和法蘭 A形成氣密性連接，并且法蘭A和法蘭B結(jié)合面與真空腔體和真空腔體蓋板結(jié)合面平齊。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)一、在真空鍍膜生產(chǎn)線中，采用本實(shí)用新型專利分子泵真空抽氣裝置，拆裝真空腔體蓋板時(shí)不需要人工來拆裝抽氣管A與抽氣管B的連接裝置，由于一條生產(chǎn)線往往需要幾十個(gè)甚至上百個(gè)相互獨(dú)立的真空腔室，這樣可以節(jié)省用來進(jìn)行抽氣管A與抽氣管B的拆裝工作的大量時(shí)間，從而大大提高了生產(chǎn)效率，而且也節(jié)約了大量的能源，不僅使得生產(chǎn)成本大大降低，而且也有利于環(huán)保。二、由于本實(shí)用新型專利分子泵真空抽氣裝置使得與抽氣管B連接的法蘭B水平， 當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋在真空腔體上時(shí)，法蘭B和法蘭A連接處靠重力的作用形成氣密性連接，而且在抽真空的過程中，由于抽氣管A和抽氣管B都具有一定的真空度，這樣法蘭 B和法蘭A靠大氣壓力自然形成更為緊固的密封，因此，解決了現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)置往往導(dǎo)致連接處漏氣的難題。
圖1是現(xiàn)有技術(shù)分子泵真空抽氣裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。圖2是本實(shí)用新型分子泵真空抽氣裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作詳細(xì)描述。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中分子泵真空抽氣裝置包括真空腔體2、真空腔體蓋板1、分子泵3、抽氣管A4和抽氣管B6組成，抽氣管B6高于真空腔體蓋板1，抽氣管A4通過波紋軟管15與抽氣管B6用手工進(jìn)行機(jī)械連接。如圖2所示，本實(shí)用新型分子泵真空抽氣裝置包括真空腔體2、真空腔體蓋板1、 分子泵3、抽氣管A4和抽氣管B6組成，抽氣管B6低于真空腔體蓋板1，抽氣管B6通過波紋軟管118與法蘭B7連接，法蘭B7沿圓周方向有凹槽(圖中為示)，凹槽內(nèi)放置有密封膠圈 (圖中為示)，所述的抽氣管A4通過波紋軟管15與法蘭119連接，當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋1蓋在真空腔體2上時(shí)，由于法蘭119和法蘭B7結(jié)合面與真空腔體和真空腔體蓋板結(jié)合面平行即與水平面平行，法蘭16依靠抽氣管A4及真空腔體蓋板1的重力壓在法蘭B7上， 同時(shí)，法蘭B7沿圓周方向有凹槽(圖中為示)，凹槽內(nèi)放置有密封膠圈(圖中為示)，因此， 法蘭B7和法蘭119不需要任何的機(jī)械連接即可形成氣密性連接，使得吊裝真空腔體蓋板非常方便，這樣，對(duì)于一條生產(chǎn)線往往需要幾十個(gè)甚至上百個(gè)相互獨(dú)立的真空腔室，可以節(jié)省用來進(jìn)行抽氣管B6與抽氣管A4拆裝工作的大量時(shí)間，從而大大提高了生產(chǎn)效率，而且也節(jié)約了大量的能源，不僅使得生產(chǎn)成本大大降低，而且也有利于環(huán)保。同時(shí)，在抽空的過程中，抽氣管A4和抽氣管B6具有一定的真空度，法蘭B7和法蘭 119的接觸面靠大氣的壓力會(huì)越吸越緊，不會(huì)產(chǎn)生漏氣的問題，這樣，很好地解決了目前現(xiàn)有技術(shù)的容易漏氣的難題。
以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此，依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種分子泵真空抽氣裝置，包括真空腔體、真空腔體蓋板、分子泵、抽氣管A和抽氣管B組成，所述的分子泵可拆卸地連接在真空腔體蓋板上，所述的分子泵與抽氣管A連接， 其特征在于抽氣管B和A—端都具有有與水平面平行的法蘭，當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋在真空腔體上時(shí)，所述的抽氣管A和B在所述的法蘭處形成氣密性連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵真空抽氣裝置，其特征在于所述的抽氣管B和抽氣管 A的法蘭連接處與真空腔體和真空腔體蓋板結(jié)合面平齊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵真空抽氣裝置，其特征在于所述的抽氣管B通過波紋軟管與法蘭B連接，所述的法蘭B沿圓周方向有凹槽，凹槽內(nèi)放置有密封膠圈，所述的抽氣管A通過波紋軟管與法蘭A連接，當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋在真空腔體上時(shí)，法蘭B和法蘭 A形成氣密性連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種分子泵真空抽氣裝置，包括真空腔體2、真空腔體蓋板2、分子泵3、抽氣管A4和抽氣管B6組成，所述的分子泵3可拆卸地連接在真空腔體蓋板2上，所述的分子泵3與抽氣管A4連接，抽氣管A4和B6一端都具有有與水平面平行的法蘭，當(dāng)所述的真空腔體蓋板蓋在真空腔體上時(shí)，所述的抽氣管A4和B6在所述的法蘭處形成氣密性連接；本實(shí)用新型可以節(jié)省用來進(jìn)行抽氣管A4與抽氣管B6的拆裝工作的大量時(shí)間，從而大大提高了生產(chǎn)效率，而且也節(jié)約了大量的能源，不僅使得生產(chǎn)成本大大降低，提高設(shè)備的利用率，而且也有利于環(huán)保。
文檔編號(hào)F04D19/04GK202048001SQ20102062276
公開日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者蘇貴方 申請(qǐng)人:蘇貴方