專利名稱：真空系統(tǒng)保護(hù)裝置、方法及真空玻璃抽真空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空系統(tǒng)的保護(hù)裝置、保護(hù)方法以及對(duì)真空玻璃的抽真空系統(tǒng)有保護(hù)功能的快速反應(yīng)閥。
背景技術(shù)：
真空系統(tǒng)中抽真空均采用真空泵，真空泵按照工作原理基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵，例如分子泵、擴(kuò)散泵等；氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，這種泵內(nèi)一般都設(shè)置有用于吸附氣體分子的吸附劑，例如吸附泵、吸氣劑泵等。真空泵正常穩(wěn)定工作，需要保證抽真空空間始終保持在密閉環(huán)境下，在抽氣過程中一旦抽空空間漏氣，由于內(nèi)外壓差的關(guān)系，大量的空氣會(huì)快速涌入真空泵，對(duì)于氣體傳輸泵，受到強(qiáng)勁的氣流沖擊，可能會(huì)影響其中構(gòu)件的正常工作，嚴(yán)重的可能會(huì)造成真空泵損壞，導(dǎo)致抽真空效率低以及無法抽真空等問題。對(duì)于氣體捕集泵，大量涌入的空氣分子會(huì)吸附在氣體捕集泵的吸附劑上，造成吸附劑的快速失效，同樣會(huì)導(dǎo)致抽真空效率低以及無法抽真空等問題。為了防止發(fā)生以上問題，在抽真空過程中需要有專門的值守人員進(jìn)行監(jiān)控，一旦發(fā)現(xiàn)抽空空間漏氣或真空泵工作異常，需要人為強(qiáng)制關(guān)閉真空泵。如果抽空空間發(fā)生小范圍漏氣一般是不容易察覺的，一旦值守人員未發(fā)現(xiàn)漏氣而令真空泵長(zhǎng)期在漏氣狀態(tài)下工作，會(huì)嚴(yán)重影響抽真空效率以及真空泵的使用壽命；如果抽空空間發(fā)生大范圍漏氣，一旦值守人員反應(yīng)不及沒能關(guān)閉真空泵，會(huì)造成真空泵的損壞。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的之一在于提供一種無需專人值守，一旦發(fā)生漏氣能夠快速對(duì)真空泵進(jìn)行保護(hù)的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置。本發(fā)明的另一目的在于提供一種對(duì)真空系統(tǒng)中真空泵進(jìn)行保護(hù)的方法。本發(fā)明的第三目的在于提供一種用于保護(hù)真空玻璃的真空泵的快速反應(yīng)閥。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)置有第一腔室和第二腔室，第一腔室與抽空空間相連，第二腔室與真空泵的輸入口相連，第一和第二腔室之間通過抽氣口連通，所述抽氣口處設(shè)置有可活動(dòng)封堵結(jié)構(gòu)，正常抽真空狀態(tài)下，封堵結(jié)構(gòu)處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置，抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵； 當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣，所述封堵結(jié)構(gòu)在氣壓作用下能夠快速移動(dòng)，從預(yù)設(shè)位置移動(dòng)到封堵
4位置以封堵抽氣口，阻止大氣涌入真空泵。進(jìn)一步，所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道，該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。進(jìn)一步，所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開，所述抽氣口設(shè)置在隔板上， 抽氣口的大小和形狀與所述封堵結(jié)構(gòu)相配。進(jìn)一步，所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列，所述封堵結(jié)構(gòu)處于第一腔室內(nèi)，正常抽真空狀態(tài)下封堵結(jié)構(gòu)通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。進(jìn)一步，所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有至少一根彈簧，彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的頂面或底面將封堵結(jié)構(gòu)吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。進(jìn)一步，所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置一根彈簧，所述殼體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置，該導(dǎo)向裝置可以是貫穿封堵結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。進(jìn)一步，所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有四根彈簧，四根彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的四角處。進(jìn)一步，所述真空系統(tǒng)保護(hù)裝置為閥結(jié)構(gòu)，所述殼體為閥體，所述封堵結(jié)構(gòu)為閥
-I-H心。進(jìn)一步，所述閥芯為封堵塞。進(jìn)一步，所述殼體能夠放倒使用。本發(fā)明的真空系統(tǒng)保護(hù)方法，首先在真空系統(tǒng)中設(shè)置上述保護(hù)裝置，抽真空初始階段控制旁路通道打開，粗抽結(jié)束后關(guān)斷旁路通道，通過保護(hù)裝置的抽氣口繼續(xù)抽真空；如果抽空空間發(fā)生漏氣，保護(hù)裝置的封堵結(jié)構(gòu)在氣壓作用下能夠快速移動(dòng)，將抽氣口封堵，阻止大氣涌入真空泵。本發(fā)明的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，包括真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵，所述真空室、 快速反應(yīng)閥和真空泵依次連接，快速反應(yīng)閥包括閥體和閥芯，閥體具有第一腔室和第二腔室，第一腔室與真空室相連，第二腔室與真空泵的輸入口相連，第一和第二腔室之間通過抽氣口連通，閥芯設(shè)置在抽氣口處，正常抽真空狀態(tài)下，閥芯處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置，抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵；當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣，閥芯在氣壓作用下能夠快速移動(dòng)，從預(yù)設(shè)位置移動(dòng)到封堵位置以封堵抽氣口，阻止大氣涌入真空泵。進(jìn)一步，所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道，該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。進(jìn)一步，所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開，所述抽氣口設(shè)置在隔板上， 抽氣口的大小和形狀與所述閥芯相配。進(jìn)一步，所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列，所述閥芯處于第一腔室內(nèi)，正常抽真空狀態(tài)下閥芯通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。進(jìn)一步，所述閥芯上設(shè)置有至少一根彈簧，彈簧設(shè)置在閥芯的頂面或底面將閥芯吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。進(jìn)一步，所述閥芯上設(shè)置一根彈簧，所述閥體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置，該導(dǎo)向裝置可以是貫穿閥芯的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在閥芯上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在閥芯上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。進(jìn)一步，所述閥芯上設(shè)置有四根彈簧，其分別設(shè)置在閥芯的四角處。
進(jìn)一步，所述閥芯為封堵塞。進(jìn)一步，所述閥體能夠放倒使用。本發(fā)明的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置通過壓差控制抽真空通道關(guān)斷，一旦抽真空空間發(fā)生漏氣，在保護(hù)裝置的兩個(gè)腔室間會(huì)產(chǎn)生壓力差，從而可以快速驅(qū)動(dòng)保護(hù)裝置中的封堵結(jié)構(gòu)封閉抽真空通道，可以有效防止大氣涌入真空泵，使真空泵能夠得到有效保護(hù)。


圖1為實(shí)施例1的抽真空系統(tǒng)的示意圖； 圖2為實(shí)施例2的抽真空系統(tǒng)的示意圖3為實(shí)施例3的抽真空系統(tǒng)的示意圖； 圖4為實(shí)施例4的抽真空系統(tǒng)的示意圖； 圖5為實(shí)施例5的抽真空系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例1
如圖1所示，本發(fā)明的抽真空系統(tǒng)，包括真空室1、快速反應(yīng)閥2和真空泵5，真空室 1、快速反應(yīng)閥2和真空泵5通過管道依次連通，快速反應(yīng)閥2具有沿豎直方向排列的第一腔室21和第二腔室22，第一腔室21與真空室1相連，第二腔室22與真空泵5的輸入口相連，第一腔室21和第二腔室22之間通過隔板23隔開，隔板23上具有連通第一腔室21和第二腔室22的抽氣口 231，封堵塞3通過彈簧4支撐在第一腔室21中，正常抽真空狀態(tài)下， 封堵塞3處于與抽氣口 231相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置，抽空空間1內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口 231抽至真空泵5 ；如果抽空空間1發(fā)生漏氣，封堵塞3在氣壓作用下能夠快速向上移動(dòng)堵住抽氣口 231，阻止大氣涌入真空泵5。其中，抽氣口 231的設(shè)置位置以及大小是與封堵塞3的安裝位置和大小相匹配的，封堵塞3的上密封面的寬度比抽氣口的寬度略大。實(shí)施例2
如圖2所示，為本發(fā)明的抽真空系統(tǒng)的另一種形式，其中在快速反應(yīng)閥中的第一和第二腔室之間又設(shè)置了一條用于抽真空的旁路通道6，并且在其中設(shè)置了可以控制通道連通或斷開的閥門61。在抽真空開始階段抽真空系統(tǒng)中并不會(huì)形成很大壓差，即使發(fā)生真空室漏氣，空氣也不會(huì)大量涌入至真空泵，為了提高抽真空系統(tǒng)的效率，在抽真空開始階段控制旁路通道6內(nèi)的閥門61打開，真空室內(nèi)的空氣可分別從旁路通道6和抽氣口抽至真空泵， 與實(shí)施例1相比可以提高抽真空的效率。在經(jīng)過粗抽真空后，控制閥門61關(guān)閉，此時(shí)既能保證抽真空的正常進(jìn)行，如果真空室發(fā)生漏氣又能保證封堵塞可以堵住抽氣通道，阻止大氣涌入真空泵，對(duì)真空泵進(jìn)行有效保護(hù)。本實(shí)施例中除了增加用于抽氣的旁路通道6以外， 還在封堵塞上加裝了多根彈簧，使真空室發(fā)生漏氣時(shí)封堵塞能夠穩(wěn)定上移，確保封堵塞可以堵住抽氣口。實(shí)施例3
如圖3所示，與上述實(shí)施例不同的是封堵塞還可以吊掛在第一腔室中，為了進(jìn)一步提高封堵塞上移的穩(wěn)定度，在快速反應(yīng)閥中還設(shè)置了導(dǎo)向柱7，其沿豎直方向固定在第一腔室中，封堵塞套裝在導(dǎo)向柱7上并且可沿導(dǎo)向柱滑動(dòng)。實(shí)施例4
如圖4所示，為快速反應(yīng)閥中導(dǎo)向裝置的另一種形式，其包括滑軌71和滑輪72，滑軌 71沿豎直方向固定在第一腔室中，滑輪72安裝在封堵塞上并架設(shè)在滑軌上，使封堵塞能夠沿滑軌移動(dòng)。實(shí)施例5
如圖5所示，導(dǎo)向裝置還可以為導(dǎo)管73和套環(huán)74，導(dǎo)管73沿豎直方向固定在第一腔室中，套環(huán)74安裝在封堵塞上并套裝在導(dǎo)管73上，使封堵塞能夠沿導(dǎo)管73移動(dòng)。
上述實(shí)施例中并未對(duì)封堵塞的形狀加以限定，其中封堵塞可以設(shè)計(jì)為梯形，使封堵塞能夠更加嚴(yán)密地將抽氣口堵住。本發(fā)明的抽真空系統(tǒng)應(yīng)用在真空玻璃封裝中，即使抽氣過程中出現(xiàn)真空玻璃破裂也可以有效地對(duì)真空泵進(jìn)行保護(hù)，還能保證真空玻璃封裝的安全、 快速進(jìn)行。在抽真空空間發(fā)生漏氣時(shí)，本發(fā)明的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置、方法及真空玻璃抽真空系統(tǒng)基于壓差原理來驅(qū)動(dòng)封堵塞的動(dòng)作，控制封堵塞堵住抽氣通道，防止大量空氣涌入真空泵，造成真空泵損毀，有效保護(hù)真空泵的工作安全。需要指出的是上述實(shí)施例只是示例性的對(duì)本發(fā)明加以說明，根據(jù)本發(fā)明的精神所做出任意變形，如對(duì)彈簧數(shù)量的變更、封堵塞的形狀、快速反應(yīng)閥放倒使用、導(dǎo)向裝置的常規(guī)改變，均不應(yīng)認(rèn)為脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)置有第一腔室和第二腔室，第一腔室與抽空空間相連，第二腔室與真空泵的輸入口相連，第一和第二腔室之間通過抽氣口連通，所述抽氣口處設(shè)置有可活動(dòng)封堵結(jié)構(gòu)，正常抽真空狀態(tài)下，封堵結(jié)構(gòu)處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置，抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵；當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣，所述封堵結(jié)構(gòu)在氣壓作用下能夠快速移動(dòng)，從預(yù)設(shè)位置移動(dòng)到封堵位置以封堵抽氣口，阻止大氣涌入真空泵。
2.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道，該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。
3.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開，所述抽氣口設(shè)置在隔板上，抽氣口的大小和形狀與所述封堵結(jié)構(gòu)相配。
4.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列，所述封堵結(jié)構(gòu)處于第一腔室內(nèi)，正常抽真空狀態(tài)下封堵結(jié)構(gòu)通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。
5.如權(quán)利要求4所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有至少一根彈簧，彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的頂面或底面將封堵結(jié)構(gòu)吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。
6.如權(quán)利要求5所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置一根彈簧，所述殼體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置，該導(dǎo)向裝置可以是貫穿封堵結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。
7.如權(quán)利要求5所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述封堵結(jié)構(gòu)上設(shè)置有四根彈簧，四根彈簧設(shè)置在封堵結(jié)構(gòu)的四角處。
8.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述真空系統(tǒng)保護(hù)裝置為閥結(jié)構(gòu)，所述殼體為閥體，所述封堵結(jié)構(gòu)為閥芯。
9.如權(quán)利要求4-7任一項(xiàng)所述的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置，其特征在于，所述殼體能夠放倒使用。
10.真空系統(tǒng)保護(hù)方法，首先在真空系統(tǒng)中設(shè)置如權(quán)利要求2-9任一項(xiàng)所述的保護(hù)裝置，抽真空初始階段控制旁路通道打開，抽真空一段時(shí)間后關(guān)斷旁路通道，通過保護(hù)裝置的抽氣口繼續(xù)抽真空；如果抽空空間發(fā)生漏氣，保護(hù)裝置的封堵結(jié)構(gòu)在氣壓作用下能夠快速移動(dòng)，將抽氣口封堵，阻止大氣涌入真空泵。
11.真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，包括真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵，所述真空室、快速反應(yīng)閥和真空泵依次連接，快速反應(yīng)閥包括閥體和閥芯，閥體具有第一腔室和第二腔室，第一腔室與真空室相連，第二腔室與真空泵的輸入口相連，第一和第二腔室之間通過抽氣口連通，閥芯設(shè)置在抽氣口處，正常抽真空狀態(tài)下，閥芯處于與抽氣口相隔一定距離的預(yù)設(shè)位置，抽空空間內(nèi)的空氣能夠通過抽氣口抽至真空泵；當(dāng)抽空空間發(fā)生漏氣，閥芯在氣壓作用下能夠快速移動(dòng)，從預(yù)設(shè)位置移動(dòng)到封堵位置以封堵抽氣口，阻止大氣涌入真空泵。
12.如權(quán)利要求11所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室上還設(shè)置有用于粗抽真空的旁路通道，該通道內(nèi)設(shè)置有控制通道連通或斷開的閥門。
13.如權(quán)利要求11所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室之間通過隔板隔開，所述抽氣口設(shè)置在隔板上，抽氣口的大小和形狀與所述閥芯相配。
14.如權(quán)利要求11所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室沿豎直方向排列，所述閥芯處于第一腔室內(nèi)，正常抽真空狀態(tài)下閥芯通過其上設(shè)置的彈簧使其保持在所述預(yù)設(shè)位置。
15.如權(quán)利要求14所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述閥芯上設(shè)置有至少一根彈簧，彈簧設(shè)置在閥芯的頂面或底面將閥芯吊掛或支撐在預(yù)設(shè)位置。
16.如權(quán)利要求15所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述閥芯上設(shè)置一根彈簧，所述閥體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向裝置，該導(dǎo)向裝置可以是貫穿閥芯的導(dǎo)向柱或者為設(shè)置在閥芯上的滑輪與沿豎直方向設(shè)置的滑軌的組件或者為設(shè)置在閥芯上的滑塊與沿豎直方向設(shè)置的滑槽。
17.如權(quán)利要求15所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述閥芯上設(shè)置有四根彈簧，其分別設(shè)置在閥芯的四角處。
18.如權(quán)利要求14-17任一項(xiàng)所述的真空玻璃抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述閥體能夠放倒使用。
全文摘要
本發(fā)明公開了真空系統(tǒng)保護(hù)裝置、方法及真空玻璃抽真空系統(tǒng)，該保護(hù)裝置，包括兩個(gè)腔室和封堵結(jié)構(gòu)，兩個(gè)腔室通過抽氣口連通，封堵結(jié)構(gòu)處于間隔抽氣口的預(yù)設(shè)位置。本發(fā)明的真空系統(tǒng)保護(hù)裝置、方法及真空玻璃抽真空系統(tǒng)基于壓差原理來驅(qū)動(dòng)封堵結(jié)構(gòu)的動(dòng)作，控制封堵結(jié)構(gòu)能夠快速堵住抽氣通道，防止大量空氣涌入真空泵，造成真空泵損毀，有效保護(hù)真空泵的工作安全。
文檔編號(hào)F04B49/22GK102330666SQ20111026560
公開日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者史建波, 李彥兵 申請(qǐng)人:洛陽蘭迪玻璃機(jī)器股份有限公司