專利名稱：雙低溫泵系統(tǒng)及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造的雙低溫泵系統(tǒng)及其控制方法。
背景技術(shù)：
伴隨集成電路制造工藝的 不斷進(jìn)步，晶圓的產(chǎn)量也不斷增加，作為物理氣相沉積設(shè)備中用于將工藝腔抽至真空的低溫泵是使工藝腔達(dá)到工藝真空條件的重要部件。如圖I所示，現(xiàn)有的工藝腔大多只配有一個(gè)低溫泵，通過隔離閥連接于工藝腔，該低溫泵用來抽真空以使工藝腔達(dá)到晶圓長(zhǎng)膜的工藝環(huán)境，但在修理或維護(hù)低溫泵時(shí)所對(duì)應(yīng)的工藝腔就必須停止工作導(dǎo)致無法正常作業(yè)。低溫泵維護(hù)需要的時(shí)間最少為6小時(shí)，如有其他的維護(hù)或者修理需要更長(zhǎng)的時(shí)間，因此會(huì)影響到整個(gè)生產(chǎn)線的進(jìn)度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種高效的雙低溫泵控制系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)在低溫泵進(jìn)行維護(hù)時(shí)工藝腔能夠正常工作，解決現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)需要對(duì)低溫泵進(jìn)行維護(hù)時(shí)工藝腔無法連續(xù)工作的問題。為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種雙低溫泵系統(tǒng)，工藝腔；第一低溫泵，第一隔離閥以及第一抽氣管，所述第一隔離閥與所述第一低溫泵相連；所述第一抽氣管連接于所述第一隔離閥與所述工藝腔之間；第二低溫泵，第二隔離閥以及第二抽氣管，所述第二隔離閥與所述第二低溫泵相連；所述第二抽氣管連接于所述第二隔離閥與所述工藝腔之間；以及控制單元，與所述第一隔離閥和第二隔離閥相連，所述控制單元判斷所述第一低溫泵是否滿足維護(hù)條件，并在所述第一低溫泵滿足維護(hù)條件時(shí)關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥，其中所述維護(hù)條件為所述第一低溫泵故障或所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。優(yōu)選的，所述控制單元包括檢測(cè)單元，所述檢測(cè)單元連接所述第一低溫泵，所述第二低溫泵，當(dāng)所述檢測(cè)單元檢測(cè)到所述第一低溫泵發(fā)生故障時(shí)，所述控制單元發(fā)出信號(hào)使所述第一低溫泵停止運(yùn)行，并關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥。優(yōu)選的，所述控制單元包括計(jì)數(shù)單元，所述計(jì)數(shù)單元連接所述第一低溫泵以及所述第二低溫泵；所述計(jì)數(shù)單元對(duì)所述第一低溫泵及所述第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)，當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)到達(dá)所述預(yù)設(shè)值時(shí)，所述計(jì)數(shù)單元停止對(duì)所述第一低溫泵工作參數(shù)計(jì)數(shù)，所述控制單元發(fā)出信號(hào)使所述第一低溫泵停止運(yùn)行，并關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥。優(yōu)選的，所述控制單元還包括第一壓力傳感器和第二壓力傳感器，所述第一壓力傳感器連接所述第一低溫泵和所述計(jì)數(shù)單元，用于檢測(cè)所述第一低溫泵的氣壓；所述第二壓力傳感器連接所述第二低溫泵和所述計(jì)數(shù)單元，用于檢測(cè)所述第二低溫泵的氣壓；當(dāng)所述第一壓力傳感器或第二壓力傳感器檢測(cè)到所述第一低溫泵或第二低溫泵內(nèi)的氣壓變化時(shí)，發(fā)出信號(hào)使所述計(jì)數(shù)單元開始對(duì)所述第一低溫泵或第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。優(yōu)選的，所述控制單元打開所述第一隔離閥或第二隔離閥的同時(shí)發(fā)送信號(hào)至所述計(jì)數(shù)單元使其開始對(duì)所述第一低溫泵或第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。優(yōu)選的，所述第一抽氣管與第二抽氣管通過焊接相連通。優(yōu)選的，所述第一抽氣管與所述工藝腔、第一隔離閥、第一低溫泵的連接方式為螺紋連接；所述第二抽氣管與所述工藝腔、第二隔離閥、第二低溫泵的連接方式為螺紋連接。本發(fā)明還提供了一種雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，應(yīng)用于具有第一低溫泵和第二低溫泵的雙低溫泵控制系統(tǒng)，所述第一低溫泵通過第一隔離閥連接于工藝腔，所述第二低溫泵通過第二隔離閥連接于工藝腔，所述運(yùn)作方法包括以下步驟打開所述第一隔離閥，關(guān)閉所述第二隔離閥，使所述第一低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣；判斷所述第一低溫泵是否滿足維護(hù)條件，當(dāng)滿足維護(hù)條件時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥，使所述第二低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣；其中所述維護(hù)條件為所述第一低溫泵故障或所述第一低 溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。優(yōu)選的，所述控制方法還包括當(dāng)檢測(cè)到所述第一低溫泵的氣壓變化時(shí)，開始對(duì)所述第一低溫泵的工作參數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥使所述第二低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣。優(yōu)選的，所述控制方法還包括當(dāng)所述第一隔離閥打開時(shí)，開始對(duì)所述第一低溫泵的工作參數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥使所述第二低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣。優(yōu)選的，所述控制方法還包括當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，停止所述第一低溫泵運(yùn)行，停止對(duì)所述第一低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，通過交替使用低溫泵，不但使得工藝腔避免了在低溫泵維護(hù)時(shí)的停機(jī)，保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，也降低了能耗，并延長(zhǎng)了低溫泵的使用壽命。


圖I所示為現(xiàn)有技術(shù)中低溫泵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示為本發(fā)明一實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3所不為本發(fā)明一實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)的方塊圖。圖4a所示為本發(fā)明一較佳實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)的方塊圖。圖4b所示為本發(fā)明另一較佳實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)的方塊圖。圖5所不為本發(fā)明另一實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)的方塊6所示為本發(fā)明一實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)控制方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。請(qǐng)參照?qǐng)D2，其所示為本發(fā)明一實(shí)施例雙低溫泵系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，雙低溫泵系統(tǒng)包括工藝腔10，第一低溫泵20a，第二低溫泵20b以及控制單元30。第一低溫泵20a與第一隔離閥21a連接，第一抽氣管22a —端與工藝腔10連通，另一端與第一隔離閥21a連接。第二低溫泵20b與第二隔離閥21b連接，第二抽氣管22b —端與工藝腔10連通，另一端與第二隔離閥21b連接于。其中，第一抽氣管22a與工藝腔10、第一隔離閥21a，以及第一隔離閥21a與第一低溫泵20a的連接方式為螺紋連接，連接處加密封圈；第二抽氣管22b與工藝腔10、第一隔離閥21b，以及第二隔離閥21b與第一低溫泵20b的連接方式為螺紋連接，連接處加密封圈。第一低溫泵20a為主低溫泵,在一實(shí)施例中,其抽氣速度為1200L/sec,氣體容量為1000L ;氣體流量為700sccm(9torr-L/sec)，第一抽氣管22a材料為不銹鋼，形狀為圓柱體，管徑為4英寸，長(zhǎng)度為0. 3米，管壁的厚度為3至5毫米；第二低溫泵20b為輔低溫泵，其氣體容量小于第一低溫泵20a，為500L ;抽氣速度為1200L/sec ;氣體流量為700sccm(9torr-L/sec),第二抽氣管22b的長(zhǎng)度小于第一抽氣管,為0. I米,形狀為圓柱體,管徑為4英寸，管壁的厚度為3至5毫米。較佳的，第一抽氣管22a和第二抽氣管22b是通過焊接的方式相互連通，相當(dāng)于第一低溫泵20a和第二低溫泵20b共用同一個(gè)抽氣管以與工藝腔10相連?？刂茊卧?0連接第一隔離閥21a、第二隔離閥21b，用于在第一低溫泵20a/第二低溫泵20b對(duì)工藝腔進(jìn)行抽真空作業(yè)時(shí)，判斷該低溫泵是否滿足維護(hù)條件，并在其滿足維·護(hù)條件時(shí)關(guān)閉第一隔離閥21a/第二隔離閥21b同時(shí)打開第二隔離閥21b/第一隔離閥21a，其中維護(hù)條件為第一低溫泵20a/第二低溫泵20b故障或第一低溫泵20a/第二低溫泵20b的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。以下將詳細(xì)描述雙低溫泵的具體運(yùn)作方式。當(dāng)進(jìn)行例如晶圓氣相沉積工藝時(shí)，要求工藝腔10處于真空工作狀態(tài)，也即是工藝腔10被抽氣，其中的壓力保持真空狀態(tài)。通過控制單元30將第一隔離閥21a打開，使第一低溫泵20a對(duì)工藝腔10抽氣，此時(shí)第二隔離閥21b關(guān)閉，使得工藝腔10與第二低溫泵20b相隔離。當(dāng)控制單元30判斷需要對(duì)第一低溫泵20a進(jìn)行維護(hù)時(shí)，控制單元30關(guān)閉第一隔離閥21a，使工藝腔10與第一低溫泵20a隔離，第一低溫泵20a不再對(duì)工藝腔10抽氣；同時(shí)打開第二隔離閥21b，使工藝腔10與第二低溫泵20b相連通，第二低溫泵Ilb對(duì)工藝腔10抽氣。因此，通過切換第一低溫泵20a和第二低溫泵20b對(duì)工藝腔10抽氣，工藝腔10能夠連續(xù)作業(yè)，從而有效避免停機(jī)，進(jìn)一步保證了生產(chǎn)線不受干擾。請(qǐng)參考圖3，為了精確判斷第一低溫泵20a與第二低溫泵20b何時(shí)需要停機(jī)維護(hù)，在本發(fā)明的一實(shí)施例中，控制單元30包括檢測(cè)單元31，判斷單元32以及執(zhí)行單元33。檢測(cè)單元31連接第一低溫泵20a和第二低溫泵20b，用于檢測(cè)第一低溫泵和第二低溫泵的工作狀態(tài)；判斷單元32與檢測(cè)單元相接31，根據(jù)第一低溫泵和第二低溫泵的工作狀態(tài)判斷其是否滿足維護(hù)條件；執(zhí)行單元33與判斷單元32，第一隔離閥21a和第二隔離閥21b相接，當(dāng)?shù)谝坏蜏乇?0a的工作狀態(tài)滿足維護(hù)條件時(shí)，關(guān)閉第一隔離閥21a同時(shí)打開第二隔離閥21b。如圖4a所示，在一實(shí)施例中，檢測(cè)單元31包括計(jì)數(shù)模塊310，用于對(duì)第一低溫泵及第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。判斷單元32比較第一低溫泵20a工作參數(shù)的計(jì)數(shù)值及預(yù)設(shè)值，當(dāng)?shù)谝坏蜏乇?0a的工作參數(shù)到達(dá)預(yù)設(shè)值時(shí)，說明第一低溫泵20a需要停機(jī)維護(hù)，判斷單元32發(fā)出信號(hào)給執(zhí)行單元33，執(zhí)行單元33關(guān)閉第一隔離閥21a同時(shí)打開第二隔離閥21b，由第二低溫泵20b對(duì)工藝腔10抽氣。此外，判斷單元32還可發(fā)送信號(hào)給計(jì)數(shù)模塊310，使其停止對(duì)第一低溫泵20a的工作參數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。其中工作參數(shù)例如為工作時(shí)間或低溫泵氣體容量。例如可設(shè)計(jì)工作參數(shù)為低溫泵氣體容量，預(yù)設(shè)值為500L，當(dāng)計(jì)數(shù)模塊310計(jì)數(shù)氣體容量達(dá)到500L，判斷單元32判斷此時(shí)低溫泵滿足維護(hù)條件，從而發(fā)出信號(hào)給執(zhí)行單元33以使執(zhí)行單元33進(jìn)行后續(xù)動(dòng)作。較佳的，執(zhí)行單元33也可連接第一低溫泵20a和第二低溫泵20b，當(dāng)執(zhí)行單元33接收到判斷單元32的信號(hào)，說明第一低溫泵20a需要停機(jī)維護(hù)時(shí)，執(zhí)行單元33會(huì)停止第一低溫泵20a運(yùn)行。此外，第一低溫泵20a運(yùn)行的時(shí)候，第二低溫泵20b也可處于運(yùn)行狀態(tài)，但由于第二隔離閥21b關(guān)閉，等同于第二低溫泵20b處于密閉狀態(tài)沒有氣體進(jìn)入，第二低溫泵20b未對(duì)工藝腔抽氣，第二低溫泵工作參數(shù)的計(jì)數(shù)值不增加，計(jì)數(shù)模塊310不會(huì)對(duì)第二低溫泵20b的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。較佳的，檢測(cè)單元31還包括與計(jì)數(shù)模塊311相連的第一壓力傳感器311a和第二壓力傳感器311b，第一壓力傳感器311a用于檢測(cè)第一低溫泵20a內(nèi)的氣壓，第二壓力傳感器311b用于檢測(cè)第二低溫泵20b內(nèi)的氣壓。當(dāng)?shù)谝坏蜏乇?0a對(duì)工藝腔10抽真空時(shí)，氣
體會(huì)進(jìn)入第一低溫泵20a，從而第一壓力傳感器311a檢測(cè)到壓力變化，此時(shí)，第一壓力傳感器311a發(fā)出信號(hào)給計(jì)數(shù)模塊310，使計(jì)數(shù)模塊310開始對(duì)第一低溫泵20a計(jì)數(shù)。其后，當(dāng)判斷單元32判斷第一低溫泵20a的計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，發(fā)送信號(hào)至執(zhí)行單元33，執(zhí)行單元關(guān)閉第一隔離閥21a同時(shí)打開第二隔離閥21b。且判斷單元32還可發(fā)送信號(hào)至計(jì)數(shù)模塊310使其停止對(duì)第一低溫泵20a計(jì)數(shù)。由于第二隔離閥21b打開，第二壓力傳感器311b檢測(cè)到壓力變化，對(duì)計(jì)數(shù)模塊310發(fā)信號(hào)使其開始對(duì)第二低溫泵20b計(jì)數(shù)。請(qǐng)參考圖4b，在本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例中，計(jì)數(shù)模塊310連接于執(zhí)行單元33，當(dāng)執(zhí)行單元33控制第一隔離閥21a打開的同時(shí)，會(huì)觸發(fā)計(jì)數(shù)模塊310開始對(duì)第一低溫泵20a計(jì)數(shù)。其后，當(dāng)判斷模塊32判斷第一低溫泵20a的計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，發(fā)出信號(hào)使計(jì)數(shù)模塊310停止對(duì)第一低溫泵20a的工作參數(shù)計(jì)數(shù)，并發(fā)出信號(hào)使執(zhí)行單元33關(guān)閉第一隔離閥21a，打開第二隔離閥21b，使第二低溫泵20b對(duì)工藝腔10抽真空。執(zhí)行單元33打開第二隔離閥21b時(shí)，觸發(fā)計(jì)數(shù)模塊310開始對(duì)第二低溫泵20b計(jì)數(shù)。執(zhí)行單元33也可連接第一低溫泵20a和第二低溫泵20b，當(dāng)執(zhí)行單元33接收到判斷單元32的信號(hào)，說明第一低溫泵20a需要停機(jī)維護(hù)時(shí)，執(zhí)行單元33會(huì)停止第一低溫泵20a運(yùn)行。此外，第一低溫泵20a運(yùn)行的時(shí)候，第二低溫泵20b也可處于運(yùn)行狀態(tài)，但由于第二隔離閥21b關(guān)閉，等同于第二低溫泵20b處于密閉狀態(tài)沒有氣體進(jìn)入，第二低溫泵20b未對(duì)工藝腔抽氣，第二低溫泵工作參數(shù)的計(jì)數(shù)值不增加，計(jì)數(shù)模塊310不會(huì)對(duì)第二低溫泵20b的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，檢測(cè)單元也可包括與計(jì)數(shù)模塊310相連的隔離閥檢測(cè)模塊，連接第一隔離閥21a和第二隔離閥21b，用于檢測(cè)第一隔離閥21a和第二隔離閥21b的開閉狀態(tài)。當(dāng)隔離閥檢測(cè)模塊檢測(cè)到第一隔離閥21a/第二隔離閥21b打開或關(guān)閉時(shí)，計(jì)數(shù)模塊310相應(yīng)對(duì)第一低溫泵20a/第二低溫泵20b的工作參數(shù)開始計(jì)數(shù)或停止計(jì)數(shù)。請(qǐng)參考圖5，為了精確判斷第一低溫泵20a與第二低溫泵20b何時(shí)需要停機(jī)維護(hù)，在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，控制單元30包括故障檢測(cè)單元34及執(zhí)行單元33.檢測(cè)單元34連接第一低溫泵20a和第二低溫泵20b,用于檢測(cè)第一低溫泵20a及第二低溫泵20b是否發(fā)生故障。故障檢測(cè)單元33也可為兩個(gè)分別連接第一低溫泵20a和第二低溫泵20b，以分別對(duì)不同低溫泵的工作狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。執(zhí)行單元33與故障檢測(cè)單元34相連，當(dāng)故障檢測(cè)單元34檢測(cè)到第一低溫泵20a發(fā)生故障時(shí)，執(zhí)行單元33關(guān)閉第一隔離閥同時(shí)打開第二隔離閥21b，從而使第二低溫泵20b對(duì)工藝腔10抽氣。當(dāng)然，執(zhí)行單元33也可與第一低溫泵20a和第二低溫泵20b相連，故障檢測(cè)單元34檢測(cè)到第一低溫泵20a發(fā)生故障時(shí)，執(zhí)行單元會(huì)發(fā)出信號(hào)使其停止運(yùn)行。本發(fā)明還提供了一種雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，應(yīng)用于上述具有第一低溫泵和第二低溫泵的雙低溫泵系統(tǒng)，如圖6所示，雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法包括以下步驟打開第一隔離閥，關(guān)閉第二隔離閥，使第一低溫泵對(duì)工藝腔進(jìn)行抽真空作業(yè)；判斷所述第一低溫泵是否滿足維護(hù)條件，當(dāng)滿足維護(hù)條件時(shí)，關(guān)閉第一隔離閥同時(shí)打開第二隔離閥，使第二低溫泵對(duì)工藝腔進(jìn)行抽真空作業(yè)；其中維護(hù)條件為第一低溫泵故障或第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。由上述本發(fā)明較佳實(shí)施例可知，應(yīng)用本發(fā)明的雙低溫泵裝置，藉由交替使用低溫泵，不但使得工藝腔避免了在低溫泵維護(hù)時(shí)的停機(jī)，保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，也降低了能 耗，并延長(zhǎng)了低溫泵的使用壽命。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述諸多實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤(rùn)飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，包括 工藝腔； 第一低溫泵，第一隔離閥以及第一抽氣管，所述第一隔離閥與所述第一低溫泵相連，所述第一抽氣管連接于所述第一隔離閥與所述工藝腔之間； 第二低溫泵，第二隔離閥以及第二抽氣管，所述第二隔離閥與所述第二低溫泵相連，所述第二抽氣管連接于所述第二隔離閥與所述工藝腔之間；以及 控制單元，與所述第一隔離閥和第二隔離閥相連，所述控制單元判斷所述第一低溫泵是否滿足維護(hù)條件，并在其維護(hù)條件時(shí)關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥，其中所述維護(hù)條件為所述第一低溫泵故障或所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元包括 檢測(cè)單元，連接所述第一低溫泵和所述第二低溫泵，用于檢測(cè)所述第一低溫泵和所述第二低溫泵的工作狀態(tài)； 判斷單元，與所述檢測(cè)單元相接，根據(jù)所述第一低溫泵和所述第二低溫泵的工作狀態(tài)判斷其是否滿足維護(hù)條件；以及 執(zhí)行單元，與所述判斷單元，所述第一隔離閥和所述第二隔離閥相接，當(dāng)所述第一低溫泵的工作狀態(tài)滿足維護(hù)條件時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)單元包括計(jì)數(shù)模塊，用以對(duì)所述第一低溫泵及所述第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述判斷單元比較所述第一低溫泵工作參數(shù)的計(jì)數(shù)值及所述預(yù)設(shè)值，當(dāng)所述第一低溫泵工作參數(shù)的計(jì)數(shù)值達(dá)到所述預(yù)設(shè)值時(shí)，判斷所述第一低溫泵滿足維護(hù)條件，所述判斷單元發(fā)出信號(hào)使所述計(jì)數(shù)單元停止對(duì)所述第一低溫泵工作參數(shù)計(jì)數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)單元還包括第一壓力傳感器和第二壓力傳感器，所述第一壓力傳感器連接所述第一低溫泵和所述計(jì)數(shù)模塊，用于檢測(cè)所述第一低溫泵的氣壓；所述第二壓力傳感器連接所述第二低溫泵和所述計(jì)數(shù)模塊，用于檢測(cè)所述第二低溫泵的氣壓；當(dāng)所述第一壓力傳感器或第二壓力傳感器檢測(cè)到所述第一低溫泵或第二低溫泵內(nèi)的氣壓變化時(shí)，發(fā)出信號(hào)使所述計(jì)數(shù)模塊開始對(duì)所述第一低溫泵或第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述執(zhí)行單元與所述計(jì)數(shù)單元相連，當(dāng)所述執(zhí)行單元打開所述第一隔離閥或第二隔離閥的同時(shí)發(fā)送信號(hào)至所述計(jì)數(shù)模塊使其開始對(duì)所述第一低溫泵或第二低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元包括 故障檢測(cè)單元，連接所述第一低溫泵和所述第二低溫泵，用于檢測(cè)所述第一低溫泵和所述第二低溫泵是否發(fā)生故障； 執(zhí)行單元，與所述故障檢測(cè)單元，所述第一隔離閥和所述第二隔離閥相接，當(dāng)所述第一低溫泵發(fā)生故障時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或7所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元的執(zhí)行單元與所述第一低溫泵及所述第二低溫泵相連，當(dāng)所述判斷單元判斷所述第一低溫泵滿足維護(hù)條件時(shí)，所述執(zhí)行單元停止所述第一低溫泵運(yùn)行。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于， 所述第一抽氣管與第二抽氣管通過焊接相連通。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，所述第一抽氣管與所述工藝腔、第一隔離閥、第一低溫泵的連接方式為螺紋連接；所述第二抽氣管與所述工藝腔、第二隔離閥、第二低溫泵的連接方式為螺紋連接。
11.一種雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，應(yīng)用于具有第一低溫泵和第二低溫泵的雙低溫泵控制系統(tǒng)，所述第一低溫泵通過第一隔離閥連接于工藝腔，所述第二低溫泵通過第二隔離閥連接于工藝腔，其特征在于，所述運(yùn)作方法包括以下步驟 打開所述第一隔離閥，關(guān)閉所述第二隔離閥，使所述第一低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣; 判斷所述第一低溫泵是否滿足維護(hù)條件，當(dāng)滿足維護(hù)條件時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥，使所述第二低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣； 其中所述維護(hù)條件為所述第一低溫泵故障或所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，所述方法還包括 當(dāng)檢測(cè)到所述第一低溫泵的氣壓變化時(shí)，開始對(duì)所述第一低溫泵的工作參數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)； 當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)的計(jì)數(shù)值達(dá)到所述預(yù)設(shè)值時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥使所述第二低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，所述方法還包括 當(dāng)所述第一隔離閥打開時(shí)，開始對(duì)所述第一低溫泵的工作參數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)； 當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到所述預(yù)設(shè)值時(shí)，關(guān)閉所述第一隔離閥同時(shí)打開所述第二隔離閥使所述第二低溫泵對(duì)所述工藝腔進(jìn)行抽氣。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，所述方法還包括 當(dāng)所述第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，停止對(duì)所述第一低溫泵的工作參數(shù)計(jì)數(shù)。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的雙低溫泵系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，所述方法還包括當(dāng)判斷所述第一低溫泵滿足維護(hù)條件時(shí)，停止所述第一低溫泵運(yùn)行。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種雙低溫泵系統(tǒng)，應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)中，包括工藝腔；第一低溫泵，第一隔離閥以及第一抽氣管；第二低溫泵，第二隔離閥以及第二抽氣管；以及控制單元，與第一隔離閥和第二隔離閥相連，判斷第一低溫泵是否滿足維護(hù)條件，并在第一低溫泵滿足維護(hù)條件時(shí)關(guān)閉第一隔離閥同時(shí)打開第二隔離閥，其中維護(hù)條件為第一低溫泵故障或第一低溫泵的工作參數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)值。本發(fā)明通過交替使用低溫泵，不但使得工藝腔避免了在低溫泵維護(hù)時(shí)的停機(jī)，保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，也降低了能耗，并延長(zhǎng)了低溫泵的使用壽命。
文檔編號(hào)F04B37/08GK102953958SQ201210510059
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月3日
發(fā)明者張偉 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司