專利名稱：一種真空泵傳動結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種真空泵傳動結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
干式真空泵是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。隨著半導體工業(yè)、電子工業(yè)的蓬勃興起，對于真空環(huán)境的要求越來越多、越來越嚴格。由于由普通的油封機械泵、擴散泵所組成的真空系統(tǒng)易于向真空室中返油，真空室中的油分子會在硅片晶體上沉積，使硅晶體成為廢品。所以這樣的真空系統(tǒng)在半導體工業(yè)、電子工業(yè)中的應用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要潤滑油來潤滑密封，做到了無油蒸汽污染，而且對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感。所以，由干式真空泵組成的真空系統(tǒng)得到了廣泛的應用，并在半導體工業(yè)、電子工業(yè)的發(fā)展過程中起到了推動的作用。由于在PECVD工藝中，使用的氣體往往都含有較多粉塵。氣體經(jīng)過反應腔進入泵體內(nèi)部，最后經(jīng)泵的排氣口排出。因此部分粉塵會殘留在腔體內(nèi)部，久而久之，會損傷軸承軸封的易損件，以及會造成真空泵在使用過程中間隙被粉塵積滿卡死。當轉(zhuǎn)子卡死時，電機會繼續(xù)運轉(zhuǎn)，一方面會對泵造成更大的損傷另一方面會引起安全問題。同時存在由于羅茨泵不能直排大氣，而必須電控羅茨泵相對于前級泵延遲啟動的繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種真空泵傳動結(jié)構(gòu)。該真空泵傳動結(jié)構(gòu)能夠確保當泵組傳動出現(xiàn)問題或者內(nèi)部卡死時，轉(zhuǎn)子卡住后電機仍然可以旋轉(zhuǎn)而不會造成電機燒毀，從而避免發(fā)生安全事故。同時避免了由于羅茨泵不能直排大氣，而必須電控羅茨泵相對于前級泵延遲啟動的繁瑣。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案—種真空泵傳動結(jié)構(gòu)，包括電機、耦合腔、右耦合器、左耦合器、耦合器罩及主動轉(zhuǎn)子軸，其中耦合腔的腔體一端與真空泵殼體連接，另一端與電機的法蘭連接，所述右耦合器、左耦合器和耦合器罩均設(shè)置于耦合腔內(nèi)，所述左耦合器與主動轉(zhuǎn)子軸固接，所述右耦合器與電機的輸出軸固接，所述耦合器罩可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于主動轉(zhuǎn)子軸上、并一端與右耦合器連接，所述左耦合器容置于耦合器罩內(nèi)，所述電機驅(qū)動右耦合器旋轉(zhuǎn)，所述右耦合器帶動耦合器罩旋轉(zhuǎn)，所述右耦合器帶動耦合腔內(nèi)的油旋轉(zhuǎn)，泵油帶動左耦合器旋轉(zhuǎn)，所述左耦合器帶動主動轉(zhuǎn)子軸旋轉(zhuǎn)。所述耦合器罩與右耦合器之間設(shè)有密封膠圈。所述右耦合器和左耦合器均通過內(nèi)部的葉輪和油實現(xiàn)傳動。本發(fā)明具有如下優(yōu)點及有益效果1.本發(fā)明相對于傳統(tǒng)的直連屏蔽電機或者聯(lián)軸器傳動方式來說，在泵出問題的時候不會對泵造成更大的損傷，無安全隱患。2.本發(fā)明避免了由于羅茨泵不能直排大氣，而必須電控羅茨泵相對于前級泵延遲啟動的繁瑣。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1為電機；2為稱合腔；3為右稱合器；4為左稱合器；5為稱合器罩；6為主動轉(zhuǎn)子軸。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。如圖1所示，本發(fā)明包括電機1、耦合腔2、右耦合器3、左耦合器4、耦合器罩5及主動轉(zhuǎn)子軸6，其中耦合腔2的腔體一端與真空泵殼體連接，另一端與電機I的法蘭連接，右率禹合器3、左稱合器4和稱合器罩5均設(shè)置于稱合腔2內(nèi)，左稱合器4與主動轉(zhuǎn)子軸6固接，右耦合器3與電機I的輸出軸固接，耦合器罩5可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于主動轉(zhuǎn)子軸6上、并一端與右率禹合器3連接,左稱合器4容置于稱合器罩5內(nèi)，電機I驅(qū)動右稱合器3旋轉(zhuǎn),右稱合器3帶動耦合器罩5旋轉(zhuǎn)。右耦合器3帶動耦合腔2內(nèi)的油旋轉(zhuǎn)，泵油帶動左耦合器4旋轉(zhuǎn)，左耦合器4帶動主動轉(zhuǎn)子軸6旋轉(zhuǎn)。耦合器罩5與右耦合器3之間設(shè)有密封膠圈。所述右耦合器3和左耦合器為現(xiàn)有技術(shù)，均通過內(nèi)部的葉輪和油實現(xiàn)傳動。本發(fā)明的工作原理是電機I帶動右耦合器3旋轉(zhuǎn)，耦合腔2內(nèi)有適量的真空泵油，當右耦合器3帶動耦合器罩5旋轉(zhuǎn)時，同時帶動耦合腔2內(nèi)的泵油旋轉(zhuǎn)，泵油從右耦合器3的電機側(cè)進入左耦合器4和右耦合器3之間，帶動左耦合器4旋轉(zhuǎn)，從而使主動轉(zhuǎn)子軸6旋轉(zhuǎn)。泵油在左、右耦合器4、3內(nèi)部時，由于I禹合器罩5和左、右f禹合器4、3內(nèi)部葉輪的作用，含在左、右I禹合器4、3內(nèi)不會反流回耦合腔2內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種真空泵傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于包括電機(I)、耦合腔(2)、右耦合器(3)、左耦合器(4)、耦合器罩(5)及主動轉(zhuǎn)子軸￠)，其中耦合腔(2)的腔體一端與真空泵殼體連接，另一端與電機(I)的法蘭連接，所述右耦合器(3)、左耦合器(4)和耦合器罩(5)均設(shè)置于耦合腔(2)內(nèi)，所述左耦合器(4)與主動轉(zhuǎn)子軸￠)固接，所述右耦合器(3)與電機(I)的輸出軸固接，所述耦合器罩(5)可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于主動轉(zhuǎn)子軸(6)上、并一端與右耦合器(3)連接，所述左耦合器(4)容置于耦合器罩(5)內(nèi)，所述電機(I)驅(qū)動右耦合器(3)旋轉(zhuǎn)，所述右耦合器(3)帶動耦合器罩(5)旋轉(zhuǎn)，所述右耦合器(3)帶動耦合腔(2)內(nèi)的油旋轉(zhuǎn)，泵油帶動左耦合器(4)旋轉(zhuǎn)，所述左耦合器(4)帶動主動轉(zhuǎn)子軸(6)旋轉(zhuǎn)。
2.按權(quán)利要求1所述的真空泵傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于所述耦合器罩(5)與右耦合器(3)之間設(shè)有密封膠圈。
3.按權(quán)利要求1所述的真空泵傳動結(jié)構(gòu)，其特征在于所述右耦合器(3)和左耦合器均通過內(nèi)部的葉輪和油實現(xiàn)傳動。
全文摘要
本發(fā)明涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種真空泵傳動結(jié)構(gòu)。包括電機、耦合腔、右耦合器、左耦合器、耦合器罩及主動轉(zhuǎn)子軸，其中耦合腔的腔體一端與真空泵殼體連接，另一端與電機的法蘭連接，所述右耦合器、左耦合器和耦合器罩均設(shè)置于耦合腔內(nèi)，左耦合器與主動轉(zhuǎn)子軸固接，所述右耦合器與電機的輸出軸固接，耦合器罩可轉(zhuǎn)動的套設(shè)于主動轉(zhuǎn)子軸上、并一端與右耦合器連接，所述左耦合器容置于耦合器罩內(nèi)，所述電機驅(qū)動右耦合器旋轉(zhuǎn)，所述右耦合器帶動耦合器罩旋轉(zhuǎn)，所述右耦合器帶動耦合腔內(nèi)的油旋轉(zhuǎn)，泵油帶動左耦合器旋轉(zhuǎn)，所述左耦合器帶動主動轉(zhuǎn)子軸旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明能夠確保當泵組傳動出現(xiàn)問題或者內(nèi)部卡死時，轉(zhuǎn)子卡住后電機仍然可以旋轉(zhuǎn)而不會造成電機燒毀，從而避免發(fā)生安全事故。
文檔編號F04C29/00GK103047145SQ201210591219
公開日2013年4月17日 申請日期2012年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月29日
發(fā)明者王光玉, 張振厚, 于明鶴 申請人:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司