專利名稱：用于空氣壓縮機的供氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于空氣壓縮機的供氣裝置。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，在很多場合需要使用干燥氣體作為干燥劑。半導(dǎo)體所使用壓縮空氣為干燥氣體，并且干燥氣體對晶圓的生產(chǎn)非常關(guān)鍵。請參考圖1，在現(xiàn)有技術(shù)中，用來為機臺供應(yīng)壓縮空氣的設(shè)備是空氣壓縮機200，所述空氣壓縮機200包括壓縮單元(未圖示)、油箱210、油泵220和油呼吸器230，所述油呼吸器230設(shè)置于油箱210外。油呼吸器230的目的是去除潤滑過程中產(chǎn)生的油霧，確保油箱210內(nèi)的壓力和油泵220的正常運行，從而保證空氣壓縮機200的安全穩(wěn)定，保證生產(chǎn)機臺的正常工作。所述空氣壓縮機為機臺供應(yīng)的壓縮氣體是由進氣管路101提供的，然后經(jīng)過壓縮機200的壓縮單元壓縮后經(jīng)由供氣管路102流經(jīng)干燥塔300，經(jīng)干燥塔300干燥處理后，經(jīng)由出氣管路103提供給機臺(如圖1中粗箭頭所示方向)。此外，經(jīng)過壓縮機200的壓縮單元壓縮后的空氣還需要經(jīng)由支路110提供給油呼吸器230，以便油呼吸器230保持油箱210的正壓，去除油箱210內(nèi)的油霧，防止油霧含水汽導(dǎo)致潤滑油乳化，確保油泵220的正常工作，然而，由于直接經(jīng)由支路110為油呼吸器230供氣(如圖1中箭頭細箭頭所示方向)，使得該空氣未經(jīng)過干燥塔300，因而為油呼吸器提供的空氣中含水量過高(通常含水量高達3.1g/Kg左右)。一方面，這將造成油箱210內(nèi)的潤滑油中含水量過高，從而使?jié)櫥蛪毫^低，造成空氣壓縮機停機，進而間接造成與空氣壓縮機連接的機臺報警停機，影響正常的運行及生產(chǎn)。另一方面，一旦潤滑油中含水量過高，使得潤滑油容易被乳化，從而失去潤滑的功能，發(fā)生此類情況，需要立即清除已經(jīng)被乳化的潤滑油，更換新的潤滑油，導(dǎo)致增加維修成本。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提出的一種用于空氣壓縮機的供氣裝置，以降低為油呼吸器供氣的空氣中水分的含量。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出一種用于空氣壓縮機的供氣裝置，包括進氣管路，其一端連接一供氣源，其另一端與所述壓縮單元連接；供氣管路，其一端與所述壓縮單元連接，其另一端與一干燥塔連接；出氣管路，其一端與所述干燥塔連接，其另一端與一機臺連接；支管路，其一端與所述出氣管路連接，其另一端與所述油呼吸器連接。進一步的，還包括設(shè)置于所述支管路上的電磁閥門以及控制所述電磁閥門關(guān)斷的PLC。進一步的，還包括設(shè)置于所述支管路上的減壓調(diào)節(jié)閥。進一步的，還包括設(shè)置于所述支管路上的壓力表。進一步的，還包括設(shè)置于所述支管路上的多個維護手閥。[0015]進一步的，所述維護手閥的數(shù)量為三個。進一步的，還包括設(shè)置于所述支管路上的多個快速接頭。進一步的，所述快速接頭的數(shù)量為兩個。進一步的，還包括設(shè)置于所述支管路上的空氣檢查試鏡。進一步的，所述支管路的管徑為1/8或3/8或7/8英寸。進一步的，所述支管路的材質(zhì)為聚丙烯。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在進氣管路的氣體經(jīng)由壓縮單元到供氣管路，再經(jīng)過干燥塔干燥后傳輸?shù)匠鰵夤苈?，由出氣管路的支管路為空氣壓縮機的油呼吸器提供氣體，使得為油呼吸器提供空氣是經(jīng)過干燥塔干燥處理的，減少了該空氣中的含水量，不僅防止?jié)櫥秃窟^高導(dǎo)致潤滑油壓力過低，造成空氣壓縮機停機，而且還防止?jié)櫥偷娜榛瘑栴}，從而增加了潤滑油的潤滑性能，進一步的，降低了設(shè)備維護的成本。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于空氣壓縮機的供氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型中用于空氣壓縮機的供氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了便于理解，下面結(jié)合具體實施例對本實用新型進行詳細的描述。請參考圖2，在本實施例提出一種用于空氣壓縮機的供氣裝置，所述空氣壓縮機200包括壓縮單元(圖中未示出)、油箱220以及設(shè)置于油箱外的油呼吸器230，所述供氣裝置包括進氣管路101，其一端連接一供氣源(圖中未示出)，其另一端與所述空氣壓縮機200的壓縮單元連接；供氣管路102，其一端與所述空氣壓縮機200的壓縮單元連接，其另一端與一干燥塔300連接；出氣管路103，其一端與所述干燥塔300連接，其另一端與一機臺連接；支管路110’，其一端與所述出氣管路103連接，其另一端與所述油呼吸器230連接。其中，所述支管路110’的管徑可以為1/8或3/8或7/8英寸，材質(zhì)優(yōu)選為聚丙烯，俗稱PP管，所述支管路110’由PP制成，安裝快捷簡單，成本較低。 在本實施例中，用于空氣壓縮機的供氣裝置還包括設(shè)置于所述支管路110 ’上的電磁閥門150以及控制所述電磁閥門150關(guān)斷的PLC 160。PLC 160的工作電壓例如為24V，用于控制電磁閥門150的打開和關(guān)閉，提高空氣的利用率，避免了老式油呼吸器氣體浪費的問題。在本實施例中，用于空氣壓縮機的供氣裝置還包括設(shè)置于所述支管路110’上的減壓調(diào)節(jié)閥140。減壓調(diào)節(jié)閥140用來降低空氣支管路110’的壓力，例如由原來7Kg/cm減壓至2Kg/cm，既能保證油呼吸器的正常工作，又能減少空氣的浪費，節(jié)約成本。在本實施例中，用于空氣壓縮機的供氣裝置還包括設(shè)置于所述支管路110’上的壓力表180。壓力表180便于觀察記錄供應(yīng)氣體的壓力，使供應(yīng)氣體在減壓后的壓力更加直觀，方便運行人員判斷減壓閥門140工作是否良好。在本實施例中，用于空氣壓縮機的供氣裝置還包括設(shè)置于所述支管路110’上的三個維護手閥120。維護手閥120用來停止空氣支管路110’的氣體，便于整個裝置的停機檢查或故障維修。在本實施例中，用于空氣壓縮機的供氣裝置還包括設(shè)置于所述支管路110’上的兩個快速接頭130?？焖俳宇^130分別靠近維護手閥120連接，所述快速接頭130用來快速連接和斷開空氣支管路110’，快速接頭130相比于常規(guī)的絲扣連接，維修方便快捷，提高工作效率。若空氣支管路110’出現(xiàn)問題，可以隨時快速的更換，能夠在短時間內(nèi)的解決故障，保持生產(chǎn)的順暢。在本實施例中，用于空氣壓縮機的供氣裝置還包括設(shè)置于所述支管路110’上的空氣檢查試鏡170?？諝鈾z查試鏡170的作用是用于檢測空氣品質(zhì)供應(yīng)是否有變化，若有變化可隨時關(guān)閉維護閥門120，確保系統(tǒng)安全穩(wěn)定。在本實施例中，供應(yīng)空氣的位置由空氣壓縮機200出口改為干燥塔300出口，因此空氣經(jīng)過干燥塔300干燥過后，提供給油呼吸機230的空氣含水量低于0. 001g/Kg，遠遠低于現(xiàn)有技術(shù)中3. lg/Kg左右的含水量。綜上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于空氣壓縮機的供氣裝置，所述空氣壓縮機包括壓縮單元、油箱以及設(shè)置于油箱外的油呼吸器，所述供氣裝置包括 進氣管路，其一端連接一供氣源，其另一端與所述壓縮單元連接； 供氣管路，其一端與所述壓縮單元連接，其另一端與一干燥塔連接； 出氣管路，其一端與所述干燥塔連接，其另一端與一機臺連接； 支管路，其一端與所述出氣管路連接，其另一端與所述油呼吸器連接。
2.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支管路上的電磁閥門以及控制所述電磁閥門關(guān)斷的PLC。
3.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支管路上的減壓調(diào)節(jié)閥。
4.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支管路上的壓力表。
5.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支管路上的多個維護手閥。
6.如權(quán)利要求5所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，所述維護手閥的數(shù)量為三個。
7.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支管路上的多個快速接頭。
8.如權(quán)利要求7所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，所述快速接頭的數(shù)量為兩個。
9.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支管路上的空氣檢查試鏡。
10.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，所述支管路的管徑為1/8或3/8或7/8英寸。
11.如權(quán)利要求1所述的用于空氣壓縮機的供氣裝置，其特征在于，所述支管路的材質(zhì)為聚丙細。
專利摘要本實用新型提出一種用于空氣壓縮機的供氣裝置，進氣管路的氣體經(jīng)由壓縮單元到供氣管路，再經(jīng)過干燥塔干燥后傳輸?shù)匠鰵夤苈罚沙鰵夤苈返闹Ч苈窞榭諝鈮嚎s機的油呼吸器提供氣體，使得為油呼吸器提供的氣體是經(jīng)過干燥塔干燥處理的，減少了該空氣中的含水量，不僅防止?jié)櫥秃窟^高導(dǎo)致潤滑油壓力過低，造成空氣壓縮機停機，而且還防止?jié)櫥偷娜榛瘑栴}，從而增加了潤滑油的潤滑性能，進一步的，降低了設(shè)備維護的成本。
文檔編號F04B39/00GK202833032SQ20122052054
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者楊瑞成 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司