專利名稱：一種專門抽除水蒸氣的低溫泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種專門抽除水蒸氣的低溫泵技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型屬于真空制冷領(lǐng)域。具體來說，本實(shí)用新型涉及一種GM制冷機(jī)型低溫泵，該低溫泵主要是針對(duì)需要排出大量水蒸氣的真空腔體而發(fā)明的，它是利用低溫冷凝原理抽除水蒸氣來獲得腔體潔凈的高真空。
背景技術(shù)：
[0002]某些行業(yè)如石英玻璃的制備過程中，工作腔體內(nèi)會(huì)釋放出大量的水蒸氣，對(duì)水蒸氣的抽除使用低溫泵效果最為理想，但常規(guī)的低溫泵泵口有障板通導(dǎo)較小，在抽除大量水蒸氣時(shí)會(huì)造成冰堵，另外水蒸氣進(jìn)入低溫泵內(nèi)后很容易使二級(jí)吸附冷傘達(dá)到飽和，這兩種現(xiàn)象都會(huì)影響低溫泵的抽氣能力下降，縮短有效工作周期。鑒于常規(guī)低溫泵對(duì)抽除水蒸氣的弊端，需要發(fā)明一種專門用于抽除水蒸氣的低溫泵。發(fā)明內(nèi)容[0003]為了解決上述問題，本實(shí)用新型提出了一種通導(dǎo)大，對(duì)水蒸氣有很強(qiáng)的抽氣能力和長(zhǎng)時(shí)間高的抽氣效率的專門抽除水蒸氣的低溫泵。[0004]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:[0005]一種專門抽除水蒸氣的低溫泵，包括低溫泵泵殼、單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭、冷凝板，其中低溫泵泵殼包括直筒體和焊接其底部的下法蘭及焊接其頂部的泵口法蘭，下法蘭上設(shè)置有粗抽接口、安全閥、放水口及放水閥門，單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭安裝固定于低溫泵泵殼下法蘭上，冷頭與低溫泵泵殼的直筒體同軸，冷凝板固定在GM制冷機(jī)冷頭的換熱器上。[0006]其中，泵殼下法蘭上的放水口焊接一直管，直管端安裝一閥門，用于低溫泵再生時(shí)放掉被抽除的水蒸氣所凝結(jié)的水。[0007]進(jìn)一步地，下法蘭內(nèi)部設(shè)計(jì)為中間高圓周低的結(jié)構(gòu)，利于放掉凝結(jié)水。[0008]進(jìn)一步地，粗抽接口管和安全閥接口管在泵殼內(nèi)部都有一個(gè)90度折彎角，避免凝結(jié)水進(jìn)入粗抽口和安全閥內(nèi)。[0009]進(jìn)一步地，冷凝板根據(jù)所需要的抽速對(duì)應(yīng)不同的冷凝面積可設(shè)計(jì)成不同的結(jié)構(gòu)形式，可為單個(gè)板，也可為多個(gè)板組合形式，不同形式冷凝板的底部都有一個(gè)圓形平板結(jié)構(gòu)，其上有螺釘孔，通過螺釘將冷凝板固定于制冷機(jī)冷頭的換熱器上，二者連接處墊有銦片。[0010]其中，單個(gè)板形式的冷凝板為圓弧型和圓錐型，底部沖壓一圓形平板。[0011]其中，多個(gè)板組合形式的冷凝板為一圓形平板，其上焊接或鉚接多個(gè)豎直長(zhǎng)方形平板。[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:[0013]本實(shí)用新型的低溫泵泵殼的下法蘭內(nèi)部設(shè)計(jì)為中間高圓周低的結(jié)構(gòu)，并在法蘭外部設(shè)置有放水口和放水閥門，用于低溫泵再生時(shí)放掉被抽除的水蒸氣所凝結(jié)的水；本實(shí)用新型的低溫泵結(jié)構(gòu)形式，通導(dǎo)大，對(duì)水蒸氣有很強(qiáng)的抽氣能力和長(zhǎng)時(shí)間高的抽氣效率。


[0014]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。[0015]圖1是本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖。[0016]圖2是本實(shí)用新型專門抽除水蒸氣的低溫泵泵殼的結(jié)構(gòu)示意圖。[0017]圖3是本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的單個(gè)板圓弧形式冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。[0018]圖4是本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的單個(gè)板圓錐形式冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。[0019]圖5是本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的多個(gè)板組合形式冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0020]圖1是本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖。該低溫泵包括低溫泵泵殼1、單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭2、冷凝板3，其中低溫泵泵殼I包括直筒體4和焊接在其底部的下法蘭5以及焊接在其頂部的泵口法蘭6，在下法蘭5上焊接一個(gè)粗抽接口 7、一個(gè)安全閥8和一個(gè)放水口 9，其中粗抽接口 7內(nèi)管和安全閥8接口內(nèi)管有一個(gè)90度折彎，放水口 9焊接的直管端部安裝放水閥門10，單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭2固定于下法蘭5上與低溫泵泵殼I的直筒體4同軸，冷凝板3由低溫泵泵殼I的泵口法蘭6端裝入泵殼I內(nèi)部安裝于制冷機(jī)冷頭2的換熱器上，并用螺釘固定。[0021]圖2是本實(shí)用新型專門抽除水蒸氣的低溫泵泵殼的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，組成低溫泵泵殼I的各部件均采用氬弧焊接的連接方式，焊接泄漏率GXlO-uiPa.m3/s，各部件材料均為SUS304不銹鋼，泵殼內(nèi)外表面采用機(jī)械拋光處理。[0022]圖3給出了本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的單個(gè)板圓弧形式冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。冷凝板采用無氧銅板材料卷制而成，線切割成圓形截面，圓弧底部沖壓出一個(gè)圓形平板，用于與冷頭換熱器平面接觸連接，整體鍍亮鎳處理。[0023]圖4給出了本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的單個(gè)板圓錐形式冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。冷凝板采用無氧銅板材料滾制或沖壓成型圖示結(jié)構(gòu)，并進(jìn)行鍍亮鎳處理。[0024]圖5給出了本實(shí)用新型的專門抽除水蒸氣的低溫泵的多個(gè)板組合形式冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖。圓形平板11和豎直平板12都采用無氧銅材料，豎直平板12為長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)立在圓形平板11上，二者采用釬焊連接，也可將長(zhǎng)方形豎直平板12 —端折個(gè)直角邊，在直角邊上開些孔，對(duì)應(yīng)圓形平板11上也開些孔，通過鉚釘將豎直平板12與圓形平板11鉚接在一起，鉚接前在二者之間墊一層銦片以減少接觸熱阻，整體鍍亮鎳處理。[0025]本實(shí)用新型的低溫泵結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用于各種不同口徑的泵上，各部分結(jié)構(gòu)尺寸依據(jù)泵的口徑?jīng)Q定做相應(yīng)的調(diào)整。冷凝板的幾種結(jié)構(gòu)形式是可以根據(jù)低溫泵對(duì)水蒸氣的抽速和抽氣容量來選擇和進(jìn)行相應(yīng)的修改的，冷凝板的底部均開一通孔，以便低溫泵再生時(shí)冷凝水下流到泵殼底部。[0026]盡管上文對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
給予了詳細(xì)描述和說明，但是應(yīng)該指明的是，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以依據(jù)實(shí)用新型的精神對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行各種等效改變和修改，其所產(chǎn)生的功能作用在未超出說明書及附圖所涵蓋的精神時(shí)，均應(yīng)在本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種專門抽除水蒸氣的低溫泵，包括低溫泵泵殼、單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭、冷凝板，其中低溫泵泵殼包括直筒體和焊接在其底部的下法蘭及焊接其頂部的泵口法蘭，下法蘭上設(shè)置粗抽接口、安全閥、放水口及放水閥門，單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭安裝固定在下法蘭上，單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭與低溫泵泵殼的直筒體同軸，冷凝板固定在GM制冷機(jī)冷頭的換熱器上。
2.如權(quán)利要求1所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述低溫泵泵殼的下法蘭上設(shè)置有一個(gè)放水口，放水口的直管端安裝一放水閥門。
3.如權(quán)利要求1或2所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述低溫泵泵殼的下法蘭設(shè)計(jì)為中間高圓周低的結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述粗抽接口內(nèi)管和安全閥接口內(nèi)管折彎成90度。
5.如權(quán)利要求1所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述冷凝板包括單個(gè)板結(jié)構(gòu)形式和多個(gè)板組合結(jié)構(gòu)形式。
6.如權(quán)利要求5所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述單個(gè)板結(jié)構(gòu)的冷凝板有圓弧型和圓錐型兩種，且底部制成一個(gè)圓形平板。
7.如權(quán)利要求5所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述多個(gè)板組合結(jié)構(gòu)形式之一的冷凝板有一個(gè)圓形平板作底板，在其上沿圓周均布多個(gè)豎直平板，二者采用釬焊連接。
8.如權(quán)利要求5所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述多個(gè)板組合結(jié)構(gòu)形式之二的冷凝板有一個(gè)圓形平板作底板，在其上沿圓周均布多個(gè)一端帶直角折邊的豎直平板，在直角折邊與圓形平板之間墊一層銦片，直角折邊和圓形平板通過鉚釘鉚接固定連接在一起。
9.如權(quán)利要求1所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述的冷凝板內(nèi)外表面鍍亮鎳處理。
10.如權(quán)利要求1所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述的冷凝板底部均開有冷凝水流出通孔。
11.如權(quán)利要求1所述的專門抽除水蒸氣的低溫泵，其特征在于，所述的冷凝板通過螺釘連接在上述單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭的換熱器上，連接處墊有銦片。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種專門抽除水蒸氣的低溫泵，包括低溫泵泵殼、單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭、冷凝板，其中低溫泵泵殼包括直筒體和焊接其底部的下法蘭及焊接其頂部的泵口法蘭，下法蘭上設(shè)置有粗抽接口、安全閥、放水口及放水閥門，單級(jí)GM制冷機(jī)冷頭安裝固定于泵頂法蘭上，冷頭與低溫泵泵殼的直筒體同軸，冷凝板固定在GM制冷機(jī)冷頭的換熱器上。本實(shí)用新型的低溫泵泵殼的下法蘭內(nèi)部設(shè)計(jì)為中間高圓周低的結(jié)構(gòu)，并在法蘭外部設(shè)置有放水口和放水閥門，用于低溫泵再生時(shí)放掉被抽除的水蒸氣所凝結(jié)的水；本實(shí)用新型的低溫泵結(jié)構(gòu)形式，通導(dǎo)大，對(duì)水蒸氣有很強(qiáng)的抽氣能力和長(zhǎng)時(shí)間高的抽氣效率。
文檔編號(hào)F04B37/08GK203067214SQ20122057761
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月5日
發(fā)明者武義鋒, 徐中堂, 劉娜 申請(qǐng)人:安徽萬瑞冷電科技有限公司