抽空室的制作方法
【專利摘要】公開(kāi)了一種用于降低由真空泵吸系統(tǒng)產(chǎn)生的非期望的噪聲的方法及設(shè)備。真空系統(tǒng)操作以將室中的壓力降低至第一壓力值。然后，系統(tǒng)檢測(cè)真空泵系統(tǒng)進(jìn)口處的壓力即將變?yōu)榈诙^高壓力，且作為響應(yīng)，真空泵系統(tǒng)中的增壓泵的速度降低到低于泵的額定速度。當(dāng)真空泵進(jìn)口處的壓力高于第二壓力時(shí)，增壓泵的速度增大至額定速度。因此，增壓泵在泵系統(tǒng)變?yōu)楸┞队谶M(jìn)口壓力的快速增大之前減慢。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)這將噪聲水平降低到更可接受的水平。
【專利說(shuō)明】抽空室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于使用真空泵和增壓器來(lái)抽空室的方法和設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，在諸如發(fā)電、鋼制造的許多工業(yè)應(yīng)用中，并且在半導(dǎo)體、太陽(yáng)能(solar)和平板顯示器(FPD, flat panel display)工業(yè)中使用或需要真空泵。應(yīng)注意的是，本發(fā)明不限于這些工業(yè)應(yīng)用中的任一種。然而，為了方便起見(jiàn)，下文參照半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、LED(發(fā)光二極管)和FH)制造工業(yè)(共同地稱為半導(dǎo)體制造)來(lái)說(shuō)明本發(fā)明。當(dāng)然，技術(shù)人員理解，其他處理或應(yīng)用可同樣地從使用本發(fā)明中受益。
[0003]真空泵大體上設(shè)計(jì)成在正常使用期間以最佳速度運(yùn)行。真空泵的效率可通過(guò)結(jié)合增壓泵使用泵來(lái)改善。參看圖1 (其中示出已知的半導(dǎo)體處理單元I)，增壓泵28設(shè)置在真空泵30與由真空泵抽空的室之間，它們一起組成真空泵吸系統(tǒng)。增壓器布置成增大來(lái)自室的氣體的流速。通常，增壓器構(gòu)造為單級(jí)羅茨鼓風(fēng)機(jī)(roots blower)，且它不顯著地壓縮氣體。增壓器/干式真空泵組合可從室移除相對(duì)較大的氣體體積，以將它抽空至中等真空范圍中的壓力水平。
[0004]在半導(dǎo)體制造中，在處理室2中處理襯底，處理室2保持在真空下以使材料能夠沉積到襯底上。在給定的工具上，可存在也保持在真空下的可從傳遞室4接近的許多處理室。取決于處理，襯底通常包括硅晶片或玻璃面板。通常使用氣鎖或負(fù)載鎖室10，以將處理室和傳遞室與大氣壓力隔離，且使襯底能夠移動(dòng)至處理室或從處理室移動(dòng)，而不會(huì)顯著損耗處理室或傳遞室內(nèi)的真空壓力。以此方式，使晶片或玻璃襯底能夠有效地移動(dòng)到生產(chǎn)工具的主處理室中。
[0005]通常，負(fù)載鎖室具有兩個(gè)密封門(mén)，第一門(mén)12用于將負(fù)載鎖與大氣壓力下的房間隔離，且第二門(mén)14用于將生產(chǎn)工具與負(fù)載鎖隔離。在正常使用期間，不可能同時(shí)開(kāi)啟第一門(mén)和第二門(mén)兩者。開(kāi)啟第一門(mén)使一批襯底能夠置于負(fù)載鎖中。此時(shí)，負(fù)載鎖室處于大氣壓力，且與處理室隔離。然后，第一門(mén)閉合以將負(fù)載鎖室與房間和處理室隔離。真空泵吸系統(tǒng)20用于在第二門(mén)開(kāi)啟且晶片行進(jìn)穿過(guò)至處理室之前抽空負(fù)載鎖室。因此，處理室和處理工具在襯底裝載至工具或從工具抽出期間保持在真空壓力下。另一個(gè)工具構(gòu)架可為“直列式(inline)”的，其中襯底穿過(guò)入口負(fù)載鎖進(jìn)入系統(tǒng)，然后移動(dòng)到連接的處理室中，且一旦處理完成，則繼續(xù)進(jìn)入機(jī)器的另一端處的出口負(fù)載鎖中。
[0006]抽空負(fù)載鎖室花費(fèi)的時(shí)間可為在任何給定時(shí)間周期中由工具處理的襯底量方面的限制因素。此外，存在增大在處理工具中處理的襯底尺寸的趨勢(shì)，這導(dǎo)致相關(guān)聯(lián)的負(fù)載鎖室的體積方面的增大。這特別是在晶片尺寸從300mm增大至450mm的太陽(yáng)能電池板制造(其現(xiàn)在需要大面積太陽(yáng)能電池板被處理到較大玻璃襯底上)和硅芯片處理中的情況。因此，期望的是增大負(fù)載鎖室的抽空速率。
[0007]負(fù)載鎖室通常具有包括一個(gè)或更多真空泵的專用抽空系統(tǒng)20。處理室通常使用不同的抽空系統(tǒng)21。由于在室內(nèi)的處理裝置中使用的化學(xué)制品的刺激性或腐蝕性性質(zhì)和此類化學(xué)制品對(duì)抽空處理工具的泵的有害影響，故這是合乎要求的。換言之，負(fù)載鎖泵通常不需要抵抗刺激性化學(xué)制品或腐蝕性環(huán)境。
[0008]從負(fù)載鎖室10至其真空泵吸系統(tǒng)20的氣體流動(dòng)由閥24控制。當(dāng)閥閉合時(shí)，真空泵抽空負(fù)載鎖室與泵之間的任何連接管路25直到閥的點(diǎn)。當(dāng)閥開(kāi)啟時(shí)，真空泵暴露于泵吸系統(tǒng)的進(jìn)口(inlet)處的壓力的快速增大。該壓力方面的突然增大可為許多數(shù)量級(jí)，且可在閥開(kāi)啟的幾微秒內(nèi)發(fā)生。作為結(jié)果，真空泵吸系統(tǒng)經(jīng)歷氣體負(fù)載方面的快速增大，這可引起增壓泵的移動(dòng)部分的減速，從而在泵以較快速率壓縮相對(duì)高壓氣體時(shí)引起較高噪聲水平。在配備有機(jī)械增壓泵28 (諸如羅茨鼓風(fēng)機(jī))的抽空系統(tǒng)中，進(jìn)口壓力的突然增大導(dǎo)致增壓泵很快地減速且產(chǎn)生極高的噪聲水平。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于解決或改善與上文所述的處理和/或真空泵吸系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的噪聲產(chǎn)生問(wèn)題。本質(zhì)上，本發(fā)明提供了一種方法和設(shè)備，其中增壓泵在泵系統(tǒng)變?yōu)楸┞队谶M(jìn)口壓力方面的快速增大之前減慢。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)這將由增壓泵產(chǎn)生的噪聲水平降低到更可接受的水平。
[0010]更具體而言，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種降低由真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的方法，該真空泵系統(tǒng)操作以抽空室，該方法包括以下步驟:一種降低由真空泵吸系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的方法，該真空泵吸系統(tǒng)操作以抽空室，該方法包括以下步驟:
以額定速度操作真空泵吸系統(tǒng)以將室壓力降低至第一壓力；確定真空泵吸系統(tǒng)的進(jìn)口處的壓力即將變?yōu)楦哂诘谝粔毫Φ牡诙毫Γ豁憫?yīng)于確定步驟，將真空泵吸系統(tǒng)中的增壓泵的速度降低至低于額定速度的第二速度；并且然后當(dāng)真空泵吸系統(tǒng)的進(jìn)口處的壓力高于第二壓力時(shí)，將增壓泵的速度增大至額定速度。
[0011]又，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種降低由真空泵吸系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的方法，該真空泵吸系統(tǒng)操作以抽空連接于半導(dǎo)體處理工具的負(fù)載鎖室，該方法包括以下步驟:以額定速度操作真空泵吸系統(tǒng)以將負(fù)載鎖室壓力保持在第一真空壓力下；啟動(dòng)閥以將負(fù)載鎖室與真空泵吸系統(tǒng)隔離；確定負(fù)載鎖室中的壓力已經(jīng)增大到大于第一壓力的第二壓力；將真空泵吸系統(tǒng)中的增壓泵速度減小到低于增壓泵的額定速度的第二速度；并且在負(fù)載鎖室和真空泵再連接之后將增壓泵的速度增大至額定速度。
[0012]再，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種抽空室的方法，包括以下步驟:經(jīng)由氣體導(dǎo)管將室連接于真空泵系統(tǒng)；以第一速度操作真空泵系統(tǒng)以將室抽空至第一壓力；確定室中的壓力即將變?yōu)楦哂诘谝粔毫Φ牡诙毫?，且將真空泵系統(tǒng)中的增壓器的速度變?yōu)榈陀诘谝凰俣鹊牡诙俣龋徊⑶乙坏┱婵毡孟到y(tǒng)的進(jìn)口處的壓力處于第二壓力，則增大增壓器的速度。
[0013]換言之，該方法用于以一種方式操作真空泵吸系統(tǒng)，使得增壓泵的速度在泵變?yōu)榻?jīng)歷高氣體負(fù)載之前或在泵變?yōu)榻?jīng)歷高氣體負(fù)載時(shí)減小。作為結(jié)果，由氣體負(fù)載方面的突然增大引起的泵的一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)子的任何減速減小或最小化，又發(fā)現(xiàn)這降低了由真空泵產(chǎn)生的噪聲。一旦泵經(jīng)歷相對(duì)高的氣體負(fù)載，則增壓泵加速或加快至其正常操作速度或額定速度，以使抽空能夠如正常那樣發(fā)生。預(yù)期第二壓力可為大氣壓力。當(dāng)真空泵吸系統(tǒng)操作以抽空負(fù)載鎖時(shí)，這是很有可能的，負(fù)載鎖作用以允許襯底從保持在大氣壓力下的房間進(jìn)入處理室。[0014]第二速度可小于額定速度的一半，或更優(yōu)選地第二速度為額定速度的20%。因此，增壓泵的速度減小顯著的量。我們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)當(dāng)增壓泵的速度減小至如下第二速度時(shí)噪聲降低方面的良好結(jié)果，該第二速度處于或接近如果增壓泵經(jīng)歷高氣體負(fù)載則它將減速到的水平。
[0015]此外，該方法還可包括當(dāng)室中或泵的進(jìn)口處的壓力低于第一壓力時(shí)在負(fù)載鎖循環(huán)的結(jié)束時(shí)減小增壓泵的速度的步驟。因此，一旦室已經(jīng)抽空至期望水平，則泵可減速。這有助于降低真空泵的操作成本，以及減少或最小化循環(huán)時(shí)間。
[0016]此外，該方法可包括通過(guò)或?qū)怏w負(fù)載引入增壓泵中，或通過(guò)啟動(dòng)增壓器轉(zhuǎn)子上的制動(dòng)系統(tǒng)，或通過(guò)使用增壓泵馬達(dá)，或它們的任何組合來(lái)減小增壓泵的速度的步驟。
[0017]速度方面的減小可由許多不同情況觸發(fā)，包括:通過(guò)機(jī)載系統(tǒng)控制器監(jiān)測(cè)泵的運(yùn)行狀態(tài)(例如，監(jiān)測(cè)泵或增壓的功率或電流來(lái)評(píng)估泵上的負(fù)載，且從而評(píng)估負(fù)載鎖室的狀態(tài)；在接收到來(lái)自處理工具的信號(hào)時(shí)，指出負(fù)載鎖循環(huán)完成；并且/或者通過(guò)連接到工具中的壓力傳感器上的控制器來(lái)確定，一旦在負(fù)載鎖室中已經(jīng)達(dá)到基礎(chǔ)壓力，則工具將指出速度可減小的信號(hào)發(fā)送至泵。
[0018]此外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種真空泵吸系統(tǒng)，其布置成連接于室以用于將室抽空至第一真空壓力，真空泵吸系統(tǒng)包括:真空泵和設(shè)置在真空泵與室之間的增壓泵；可變速馬達(dá)，其用于以額定速度或低于額定速度驅(qū)動(dòng)增壓器；和增壓泵控制單元，其用于預(yù)測(cè)增壓泵的進(jìn)口處的壓力何時(shí)將處于大氣壓力，且用于改變?cè)鰤罕玫霓D(zhuǎn)子的速度，所述控制單元構(gòu)造成在進(jìn)口處的壓力處于大氣壓力之前減小增壓泵轉(zhuǎn)子的速度。
[0019]提供用于改變?cè)鰤罕玫霓D(zhuǎn)子速度的器件可包括制動(dòng)器件或氣鎮(zhèn)(gas ballast)引入器件中的任一者，氣鎮(zhèn)引入器件用于在增壓泵的進(jìn)口處以相對(duì)高的壓力引入氣體。制動(dòng)器件可包括馬達(dá)，該馬達(dá)適用以主動(dòng)地減慢增壓泵的轉(zhuǎn)子。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]參照附圖作為示例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，在附圖中:
圖1為已知的處理工具和抽空系統(tǒng)的不意圖；
圖2為根據(jù)本發(fā)明的處理工具和抽空系統(tǒng)的示意圖；
圖3為由已知真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的圖示；并且 圖4為由根據(jù)本發(fā)明的真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的圖示。
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下說(shuō)明為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，且本發(fā)明不限于下文提供的說(shuō)明。例如，本發(fā)明可應(yīng)用于不同的工業(yè)應(yīng)用，且不限于半導(dǎo)體工業(yè)。
[0022]當(dāng)試圖降低由負(fù)載鎖抽空系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲水平時(shí)，特別是在處于大氣壓力的負(fù)載鎖的快速抽空期間，我們已發(fā)現(xiàn)高噪聲水平是由負(fù)載鎖泵系統(tǒng)的減速引起的，且具體而言是由真空泵吸系統(tǒng)中的增壓泵的減速引起的。減速由真空泵系統(tǒng)上的氣體負(fù)載的快速增大引起，當(dāng)負(fù)載鎖密封且抽氣開(kāi)始(負(fù)載鎖循環(huán)的開(kāi)始)時(shí)變?yōu)楸┞队谙鄬?duì)高壓氣體(通常處于或接近大氣壓力)的真空泵引起真空泵系統(tǒng)上的氣體負(fù)載的快速增大。
[0023]參看圖2，示出根據(jù)本發(fā)明的真空泵吸系統(tǒng)20。真空泵吸系統(tǒng)設(shè)計(jì)成降低當(dāng)負(fù)載鎖循環(huán)開(kāi)始時(shí)由增壓泵28產(chǎn)生的噪聲。系統(tǒng)20包括上文所述的已知構(gòu)件，且還包括增壓泵控制器50。控制器C連接于增壓泵的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)M。馬達(dá)M適用以改變泵的轉(zhuǎn)子R的速度。控制器C還連接于一個(gè)或多個(gè)傳感器50，傳感器50適用以確定泵吸系統(tǒng)進(jìn)口管路25中的壓力何時(shí)即將增大或處于增大的過(guò)程中。傳感器可包括負(fù)載鎖室10或前管線25中的壓力傳感器，和/或適用以確定閥24何時(shí)即將開(kāi)啟的傳感器。因此，從傳感器中的任一者(或它們的任何組合)獲得的信息可由控制器C使用來(lái)控制增壓泵28的馬達(dá)速度，且因此控制轉(zhuǎn)子R的速度。
[0024]此外，增壓泵減速可由來(lái)自處理工具的適合的信號(hào)接收觸發(fā)，或由監(jiān)測(cè)真空泵的運(yùn)行狀態(tài)來(lái)尋找特定事件而觸發(fā)。這可包括在負(fù)載鎖循環(huán)期間由增壓泵馬達(dá)M牽引的低功率，這指出負(fù)載鎖室處于低壓(且因此負(fù)載鎖循環(huán)完成)，指出增壓器速度可降低以備下一個(gè)循環(huán)。
[0025]另一個(gè)考慮是在增壓器的操作期間，轉(zhuǎn)子通常朝負(fù)載鎖循環(huán)的結(jié)束具有較高慣性和低氣體負(fù)載。作為結(jié)果，轉(zhuǎn)子R可花費(fèi)相對(duì)較長(zhǎng)時(shí)間來(lái)充分地減慢。生產(chǎn)環(huán)境通常需要較短的循環(huán)時(shí)間，且由過(guò)長(zhǎng)的負(fù)載鎖循環(huán)時(shí)間引起的顯著延遲是不可接受的。作為結(jié)果，可能需要通過(guò)提供通過(guò)器件來(lái)改造系統(tǒng)，以人工地降低增壓器轉(zhuǎn)子R的速度。這可以以許多方式來(lái)完成，例如，通過(guò)在負(fù)載鎖室閥已經(jīng)閉合之后將氣體放出引入泵的進(jìn)口中。額外地或備選地，轉(zhuǎn)子速度可通過(guò)使用機(jī)械制動(dòng)器或通過(guò)使用馬達(dá)M減慢增壓器轉(zhuǎn)子R來(lái)降低。然后，可優(yōu)化減速速率以在最大降噪的情況下實(shí)現(xiàn)最低循環(huán)時(shí)間。
[0026]在半導(dǎo)體制造應(yīng)用的情況中，當(dāng)負(fù)載鎖泵吸程序開(kāi)始且增壓泵突然暴露于處于或接近大氣壓力的相對(duì)大量氣體時(shí)，增壓泵通常在操作速度方面從IOOHz降低至20Hz至40Hz之間。作為結(jié)果，增壓泵上的氣體負(fù)載快速增大。在最初的突然減速之后，在負(fù)載鎖室中的壓力減小且增壓泵上的氣體負(fù)載減小時(shí)，增壓器逐漸地加速回其正常操作速度。我們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，增壓器的快速減速導(dǎo)致噪聲水平從大約70dBA增大至97dBA，而由行進(jìn)穿過(guò)真空泵系統(tǒng)的真空泵的增大的氣體負(fù)載產(chǎn)生的噪聲水平方面的增大相比之下是可忽略的。盡管增壓器噪聲的該增大的準(zhǔn)確原因此刻還不清楚，但我們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了一種解決方案，該解決方案減小當(dāng)增壓器暴露于突然的氣體負(fù)載時(shí)由增壓器產(chǎn)生的噪聲。
[0027]圖3和圖4所示的圖表示出從實(shí)驗(yàn)中獲得的結(jié)果,該實(shí)驗(yàn)是在由Edwards Limited提供的GXS750/4200泵抽空的1000升負(fù)載鎖上實(shí)施的。如圖3所示，當(dāng)至處于大氣壓力的負(fù)載鎖的閥開(kāi)啟(點(diǎn)八)時(shí)，泵在102Hz下操作。泵的旋轉(zhuǎn)速度在從負(fù)載鎖室抽空的氣體的增大的負(fù)載下快速地下降，且然后在室抽空至點(diǎn)B處的期望壓力時(shí)再次緩慢地增大。在此抽空期間由泵產(chǎn)生的峰噪聲的平均值測(cè)得為98.5dBA。
[0028]圖4示出從根據(jù)本發(fā)明操作的泵獲得的結(jié)果。為了一致性，用于獲得圖3所示的線圖的相同的泵和室設(shè)備也用于獲得圖4所示的線圖。然而，相反，在將泵與負(fù)載鎖室10隔離的閥24開(kāi)啟且增壓泵28暴露于大氣壓力下的氣體時(shí)，增壓泵在降低的轉(zhuǎn)速下操作。在此情況下，示出泵轉(zhuǎn)速在閥開(kāi)啟時(shí)不顯著地降低。一旦閥開(kāi)啟，則泵的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將泵的速度增大至抽空室所需的適合的操作速度(在此情況下為100Hz)。
[0029]已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，當(dāng)在負(fù)載鎖室閥開(kāi)啟時(shí)泵在40Hz和20Hz下操作時(shí)，由泵產(chǎn)生的峰噪聲的平均值分別為92.1dBA和90.6dBA。因此，可看到的是，在泵由于其快速地暴露于大氣壓力而在降低的轉(zhuǎn)速下操作時(shí)，由泵產(chǎn)生的噪聲極大地降低。這是令人驚訝的效果，這指出了當(dāng)泵在較大氣體負(fù)載下減速時(shí)產(chǎn)生了高噪聲水平，且該效果可通過(guò)在高氣體負(fù)載出現(xiàn)之前使增壓泵轉(zhuǎn)子R顯著地減速來(lái)減輕。
[0030]一旦負(fù)載鎖抽空程序已經(jīng)完成且負(fù)載鎖室被抽空至期望壓力，則增壓泵可在全速下操作(如由線F指出的)。備選地，增壓泵速度可以以受控的方式減小(如由線G指出的)，以便增壓器的速度及時(shí)降低以用于下一次負(fù)載鎖循環(huán)開(kāi)始。此外，閥可閉合以將負(fù)載鎖與真空泵吸系統(tǒng)隔離，以保持負(fù)載鎖室中的真空壓力。
[0031]GXS產(chǎn)品范圍中的泵為變換器(inverter)驅(qū)動(dòng)泵。這使得有可能改變?cè)鰤罕玫乃俣?，因此，增壓泵可在閥開(kāi)啟之前減慢，以便由泵產(chǎn)生的過(guò)大的噪聲可減小或消除。在負(fù)載鎖循環(huán)開(kāi)始時(shí)(即，當(dāng)使負(fù)載鎖室與真空系統(tǒng)隔離的負(fù)載鎖閥開(kāi)啟時(shí))，增壓器控制器C將泵再加速至正常操作速度。當(dāng)泵的控制器從處理工具(或負(fù)載鎖)接收信號(hào)時(shí)或當(dāng)增壓器控制系統(tǒng)檢測(cè)到任何增大的負(fù)載或進(jìn)口壓力時(shí)，再加速階段開(kāi)始。
【權(quán)利要求】
1.一種降低由真空泵吸系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的方法，所述真空泵吸系統(tǒng)操作以抽空室，所述方法包括以下步驟: 以額定速度操作所述真空泵吸系統(tǒng)以將室壓力降低至第一壓力； 確定所述真空泵吸系統(tǒng)的進(jìn)口處的壓力即將變?yōu)楦哂谒龅谝粔毫Φ牡诙毫?；響?yīng)于所述確定步驟，將所述真空泵吸系統(tǒng)中的增壓泵的速度降低至低于所述額定速度的第二速度；并且然后 當(dāng)所述真空泵吸系統(tǒng)的進(jìn)口處的壓力高于所述第二壓力時(shí)，將所述增壓泵的速度增大至所述額定速度。
2.一種降低由真空泵吸系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲的方法，所述真空泵吸系統(tǒng)操作以抽空連接于半導(dǎo)體處理工具的負(fù)載鎖室，所述方法包括以下步驟: 以額定速度操作所述真空泵吸系統(tǒng)以將負(fù)載鎖室壓力保持在第一真空壓力下； 啟動(dòng)閥以將所述負(fù)載鎖室與所述真空泵吸系統(tǒng)隔離； 確定所述負(fù)載鎖室中的壓力已經(jīng)增大到大于所述第一壓力的第二壓力； 將所述真空泵吸系統(tǒng)中的增壓泵速度減小到低于所述增壓泵的額定速度的第二速度；并且 在所述負(fù)載鎖室和真空泵再連接之后將所述增壓泵的速度增大至所述額定速度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二壓力為大氣壓力。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2·所述的方法，其特征在于，所述第二速度小于所述額定速度的一半。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述第二速度為所述額定速度的20%。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，還包括當(dāng)所述室中或所述泵的進(jìn)口處的壓力低于所述第一壓力時(shí)減小所述增壓泵的速度的步驟。
7.一種抽空室的方法，包括以下步驟: 經(jīng)由氣體導(dǎo)管將所述室連接于真空泵系統(tǒng)； 以第一速度操作所述真空泵系統(tǒng)以將所述室抽空至第一壓力； 確定所述室中的壓力即將變?yōu)楦哂谒龅谝粔毫Φ牡诙毫?，且將所述真空泵系統(tǒng)中的增壓器的速度變?yōu)榈陀谒龅谝凰俣鹊牡诙俣?；并? 一旦所述真空泵系統(tǒng)的進(jìn)口處的壓力處于第二壓力，則增大所述增壓器的速度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二壓力為大氣壓力。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二速度小于所述額定速度的一半，或其中所述第二速度為所述額定速度的20%。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，還包括當(dāng)所述室中或所述泵的進(jìn)口處的壓力低于所述第一壓力時(shí)減小所述真空泵的速度的步驟。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2或7所述的方法，其特征在于，還包括通過(guò)使用或?qū)怏w負(fù)載引入所述增壓泵中，或通過(guò)啟動(dòng)所述增壓器轉(zhuǎn)子上的制動(dòng)系統(tǒng)，或通過(guò)使用增壓泵馬達(dá)，或它們的任何組合來(lái)降低所述增壓泵的速度的步驟。
12.—種真空泵吸系統(tǒng)，其布置成連接于室以用于將所述室抽空至第一真空壓力，所述真空泵吸系統(tǒng)包括: 真空泵和設(shè)置在所述真空泵與室之間的增壓泵；可變速馬達(dá)，其用于以額定速度或低于額定速度驅(qū)動(dòng)所述增壓器；和增壓泵控制單元，其用于預(yù)測(cè)所述增壓泵的進(jìn)口處的壓力何時(shí)將處于大氣壓力，且用于改變所述增壓泵的轉(zhuǎn)子的速度，所述控制單元構(gòu)造成在所述進(jìn)口處的壓力處于大氣壓力之前減小所述增壓泵轉(zhuǎn)子的速度。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的真空泵吸系統(tǒng)，其特征在于，提供用于改變所述增壓泵的轉(zhuǎn)子的速度的器件包括制動(dòng)器件或氣鎮(zhèn)引入器件中的任一者，所述氣鎮(zhèn)引入器件用于在所述增壓泵的進(jìn)口處以相對(duì)高的壓力引入氣體。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的真空泵吸系統(tǒng)，其特征在于，所述制動(dòng)器件包括馬達(dá)，所述馬達(dá)適用以主動(dòng)地減 慢所述增壓泵的轉(zhuǎn)子。
【文檔編號(hào)】F04D27/00GK103597214SQ201280029528
【公開(kāi)日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月16日
【發(fā)明者】P.J.斯蒂芬斯, M.G.湯普森 申請(qǐng)人:愛(ài)德華茲有限公司