嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，包括內(nèi)部安裝有轉(zhuǎn)子的外殼，內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽且與轉(zhuǎn)子同軸的第一級(jí)分子泵；與第一級(jí)分子泵過(guò)盈連接的第三級(jí)分子泵上端面形成上環(huán)形凸緣，下端面形成多個(gè)抽氣槽，中間形成中心通孔，中心通孔的內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽，第三級(jí)分子泵的下部形成圓環(huán)形裝配槽；與第三級(jí)分子泵中裝配槽過(guò)盈配合的圓環(huán)形第二級(jí)分子泵下端面形成多個(gè)抽氣槽，第二級(jí)分子泵的邊緣形成與螺釘孔相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽。本發(fā)明具有加工成本低且易加工安裝的特點(diǎn)；且本發(fā)明利用了轉(zhuǎn)子自身高速旋轉(zhuǎn)的特點(diǎn)，可以在不進(jìn)一步提高外界抽空能力的條件下使裝置內(nèi)的壓強(qiáng)達(dá)到10-3Pa的狀態(tài)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明屬于分子泵領(lǐng)域，具體涉及一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵。
【背景技術(shù)】
[0002]目前已廣泛應(yīng)用的分子泵雖然具有良好的高真空和超高真空性能，但由于其工作原理和泵結(jié)構(gòu)限制，導(dǎo)致其只能與待抽空設(shè)備通過(guò)管道或法蘭相串聯(lián)，而無(wú)法直接鑲嵌在裝置中使用。例如，通常狀況下若要使某種轉(zhuǎn)動(dòng)部件高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，往往需要對(duì)其周?chē)M(jìn)行抽真空處理，以保證其轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)處于一個(gè)良好的真空環(huán)境進(jìn)而降低摩擦功耗和因摩擦而產(chǎn)生的熱量。然而，若要使此轉(zhuǎn)動(dòng)部件在高轉(zhuǎn)速下工作時(shí)，僅靠外界的抽空裝置對(duì)其進(jìn)行抽空則根本無(wú)法滿(mǎn)足要求，因此需要設(shè)計(jì)一套可以直接鑲嵌在裝置內(nèi)的分子泵系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行抽空處理。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)而提出的，其目的是提供一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:
一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，包括內(nèi)部安裝有圓柱型轉(zhuǎn)子的外殼，還包括與轉(zhuǎn)子同軸的中空的圓筒狀第一級(jí)分子泵，第一級(jí)分子泵處于轉(zhuǎn)子側(cè)立面與外殼內(nèi)壁之間，第一級(jí)分子泵內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽；與第一級(jí)分子泵過(guò)盈連接的第三級(jí)分子泵上端面形成上環(huán)形凸緣，下端面形成多個(gè)抽氣槽，中間形成中心通孔，中心通孔的內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽，第三級(jí)分子泵的下部形成圓環(huán)形裝配槽，裝配槽上方均布有用于將第三級(jí)分子泵與端面法蘭連接的多個(gè)螺釘孔，第三級(jí)分子泵外壁形成有下環(huán)形凸緣；與第三級(jí)分子泵中裝配槽過(guò)盈配合的圓環(huán)形第二級(jí)分子泵下端面形成多個(gè)抽氣槽，第二級(jí)分子泵的邊緣形成與螺釘孔相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽。
[0005]所述螺旋抽氣槽截面呈U型，且呈右旋狀態(tài)。
[0006]所述上環(huán)形凸緣與端面法蘭下部形成的環(huán)形凹槽相配合。
[0007]所述第二級(jí)分子泵下端面形成的抽氣槽與第三級(jí)分子泵下端面形成抽氣槽相對(duì)齊。
[0008]所述多個(gè)抽氣槽按環(huán)形均布，其槽型為變寬度的矩形。
[0009]所述轉(zhuǎn)子以逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明具有加工成本低且易加工安裝的特點(diǎn)；且本發(fā)明充分地利用了轉(zhuǎn)子自身高速旋轉(zhuǎn)的特點(diǎn)，可以在不進(jìn)一步提高外界抽空能力的條件下使裝置內(nèi)的壓強(qiáng)達(dá)到KT3Pa的狀態(tài)；第二級(jí)分子泵與第三級(jí)分子泵屬于分體式，因而可降低加工難度；第二級(jí)分子泵上設(shè)有三個(gè)可供螺釘穿入的開(kāi)口，因此不會(huì)影響第三級(jí)分子泵與端面法蘭的正常安裝與連接；第二級(jí)分子泵與第三級(jí)分子泵之間采用過(guò)盈配合式連接，所以減少了抽氣槽中的螺釘?shù)攘悴考^而最大程度地保證了抽氣槽的過(guò)流面積。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本發(fā)明嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是圖1未安裝轉(zhuǎn)子時(shí)的A-A面剖視圖；
圖3是本發(fā)明中第一級(jí)分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是本發(fā)明中第三級(jí)分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5是圖3和圖4中沿B-B線(xiàn)的剖面圖；
圖6是本發(fā)明中第二級(jí)分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖7是第三級(jí)分子泵C向結(jié)構(gòu)示意圖；
圖8是圖6和圖7中沿D-D線(xiàn)的剖面圖。
[0012]其中:
I轉(zhuǎn)子2外殼
3第一級(jí)分子泵 4第二級(jí)分子泵 5第三級(jí)分子泵 6端面法蘭 7螺旋抽氣槽 8上環(huán)形凸緣 9抽氣槽10中心通孔
11裝配槽12螺釘孔
13凹槽14下環(huán)形凸緣
15螺釘。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對(duì)本發(fā)明嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明: 如圖f 8所示，一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，包括內(nèi)部安裝有圓柱型轉(zhuǎn)子I的外
殼2，還包括與轉(zhuǎn)子I同軸的中空的圓筒狀第一級(jí)分子泵3，第一級(jí)分子泵3處于轉(zhuǎn)子I側(cè)立面與外殼2內(nèi)壁之間，第一級(jí)分子泵3內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽7 ;與第一級(jí)分子泵3過(guò)盈連接的第三級(jí)分子泵5上端面形成上環(huán)形凸緣8，下端面形成多個(gè)抽氣槽9，本實(shí)施例中抽氣槽9的數(shù)量為8個(gè)，中間形成中心通孔10，中心通孔10的內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽7，第三級(jí)分子泵5的下部形成圓環(huán)形裝配槽11，裝配槽11上方均布有用于將第三級(jí)分子泵5與端面法蘭6連接的多個(gè)螺釘孔12，本實(shí)施例中螺釘孔12的的數(shù)量為3個(gè)，第三級(jí)分子泵5外壁形成有下環(huán)形凸緣14 ;與第三級(jí)分子泵5中圓環(huán)形裝配槽11過(guò)盈配合的圓環(huán)形第二級(jí)分子泵4下端面形成抽氣槽9，第二級(jí)分子泵4的邊緣形成與螺釘孔12相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽13。
[0014]所述螺旋抽氣槽7截面呈U型，且呈右旋狀態(tài)。
[0015]所述上環(huán)形凸緣8與端面法蘭6下部形成的環(huán)形凹槽相配合。
[0016]所述第二級(jí)分子泵4下端面形成的多個(gè)抽氣槽9與第三級(jí)分子泵5下端面形成的多個(gè)抽氣槽9相對(duì)齊。
[0017]所述多個(gè)抽氣槽9按環(huán)形均布，其槽型為變寬度的矩形。
[0018]所述轉(zhuǎn)子I以逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，且在軸向上不發(fā)生位移。
[0019]本發(fā)明的安裝方法: 在裝配過(guò)程中，需先將第一級(jí)分子泵3與第三級(jí)分子泵5過(guò)盈配合。之后，將第二級(jí)分子泵4與第三級(jí)分子泵5的槽線(xiàn)相對(duì)齊后再進(jìn)行壓裝，即過(guò)盈配合，以保證抽氣槽9的連續(xù)性，最后再通過(guò)螺釘15將第三級(jí)分子泵5與端面法蘭6相連接。
[0020]再將轉(zhuǎn)子I裝入外殼2中，然后將已裝有第一級(jí)分子泵3、第二級(jí)分子泵4、第三級(jí)分子泵5的端面法蘭6安裝在外殼2上。
[0021]使用時(shí)，需首先借助外裝的真空泵系統(tǒng)對(duì)裝置內(nèi)進(jìn)行抽空，當(dāng)達(dá)到IOPa以下?tīng)顟B(tài)時(shí)，方可以允許轉(zhuǎn)子開(kāi)始旋轉(zhuǎn)直至達(dá)到額定轉(zhuǎn)速。
【權(quán)利要求】
1.一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，包括內(nèi)部安裝有圓柱型轉(zhuǎn)子(I)的外殼(2)，其特征在于:還包括與轉(zhuǎn)子(I)同軸的中空的圓筒狀第一級(jí)分子泵(3)，第一級(jí)分子泵(3)處于轉(zhuǎn)子(I)側(cè)立面與外殼(2)內(nèi)壁之間，第一級(jí)分子泵(3)內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽(7);與第一級(jí)分子泵(3)過(guò)盈連接的第三級(jí)分子泵(5)上端面形成上環(huán)形凸緣(8)，下端面形成多個(gè)抽氣槽(9)，中間形成中心通孔(10)，中心通孔(10)的內(nèi)壁形成螺旋抽氣槽(7)，第三級(jí)分子泵(5)的下部形成圓環(huán)形裝配槽(11)，裝配槽(11)上方均布有用于將第三級(jí)分子泵(5)與端面法蘭(6)連接的多個(gè)螺釘孔(12)，第三級(jí)分子泵(5)外壁形成有下環(huán)形凸緣(14);與第三級(jí)分子泵(5)中裝配槽(11)過(guò)盈配合的圓環(huán)形第二級(jí)分子泵(4)下端面形成多個(gè)抽氣槽(9)，第二級(jí)分子泵(4)的邊緣形成與螺釘孔(12)相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，其特征在于:所述螺旋抽氣槽(7)截面呈U型，且呈右旋狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，其特征在于:所述上環(huán)形凸緣(8)與端面法蘭(6)下部形成的環(huán)形凹槽相配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，其特征在于:所述第二級(jí)分子泵(4 )下端面形成的抽氣槽(9 )與第三級(jí)分子泵(5 )下端面形成抽氣槽(9 )相對(duì)齊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，其特征在于:所述多個(gè)抽氣槽(9)按環(huán)形均布，其槽型為變寬度的矩形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入裝置內(nèi)部的牽引式分子泵，其特征在于:所述轉(zhuǎn)子 (I)以逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】F04D29/64GK104019042SQ201410246138
【公開(kāi)日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月5日
【發(fā)明者】劉巍, 郭子學(xué), 韓莉果, 龐志瑩 申請(qǐng)人:核工業(yè)理化工程研究院