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      真空泵抽氣裝置制造方法

      文檔序號:5477443閱讀:241來源:國知局
      真空泵抽氣裝置制造方法
      【專利摘要】本實用新型公開一種真空泵抽氣裝置,應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的制備工藝中,該裝置包括:至少一機臺、管道和若干真空泵;每個機臺均通過管道分別與若干真空泵連,以進行抽氣操作;其中,與管道連接的真空泵的數(shù)量大于機臺的數(shù)量;該裝置在半導(dǎo)體器件的制備工藝中,有效的防止了由于真空泵故障而導(dǎo)致氣體反灌造成反應(yīng)管內(nèi)的晶圓表面落塵量超標現(xiàn)象,從而提高了制備的半導(dǎo)體器件的質(zhì)量,且降低了真空泵發(fā)生故障對制備工藝的影響,并大大延長了真空泵的使用壽命。
      【專利說明】真空泵抽氣裝置
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種真空泵抽氣裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]在半導(dǎo)體器件的制備工藝時,機臺的反應(yīng)管內(nèi)進行的各種反應(yīng)一般都需要進行抽氣操作,被抽的一部分氣體中含有灰塵和水蒸汽等微粒,若發(fā)生真空泵因故障而停機的情況,被抽取的氣體會被反灌到反應(yīng)管內(nèi),氣體中的微粒會導(dǎo)致反應(yīng)管內(nèi)的晶圓表面落塵量超標,從而影響器件的性能。目前來說,已有的抽真空裝置大都采用一個真空泵對一個機臺進行抽真空,如圖1所示,一個真空泵I對一個機臺2的反應(yīng)管7進行抽真空,該真空泵I通過管路連接到機臺2的主閥6,且該主閥6上設(shè)置有閥門開關(guān),并通過控制閥門開關(guān)的角度來控制抽氣速度,其中該主閥與真空泵連接的管道上還設(shè)有只允許氣體單向流動的單向閥門即快速密封閥(Quick Sealing Valve,簡稱QSV)。
      [0003]在生產(chǎn)過程中若真空泵因故障突然停機,此時管內(nèi)仍然為真空,而從真空泵到機臺收到故障信號并關(guān)閉主閥需要一定的反應(yīng)時間,在這段反應(yīng)時間內(nèi),被抽取的氣體中的微粒會反灌進管內(nèi),從而導(dǎo)致了反應(yīng)管內(nèi)的晶圓表面落塵量超標,因此急需對真空泵抽氣裝置進行改進以減小真空泵故障對半導(dǎo)體器件制備工藝的負面影響。
      [0004]中國專利(CN201916148U)公開了一種帶控制保護系統(tǒng)的真空泵,它包括:真空泵主體和真空泵主體的控制保護裝置,所述的控制保護裝置包括過濾除濕裝置防反灌裝置和真空度控制裝置,所述的過濾除濕裝置依次由玻璃纖維過濾層干燥除濕過濾層、吸附凈化過濾層和玻璃纖維過濾層組成;所述的真空度控制裝置包括真空度檢測裝置、真空度讀取裝置和PLC控制模塊。該實用新型提供的帶控制保護系統(tǒng)的真空泵,結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,操作方便,不僅能有效去除所抽氣體中的粉塵顆粒、水汽和腐蝕性有害氣體,并且真空度控制裝置可以自動控制真空泵的開啟與關(guān)閉,從而能延長真空泵的使用壽命,節(jié)約能源,降低成本。
      [0005]中國專利(CN202659479U)公開了一種防止真空體系倒吸的裝置,包括真空泵電機、設(shè)置在真空泵電機上的接觸器及該真空泵電機的電機控制開關(guān),以及控制系統(tǒng)PLC模塊和切斷真空管路機構(gòu),所述的控制系統(tǒng)PLC模塊檢測出真空泵電機非正常運作,可向所述的切斷真空管路系統(tǒng)發(fā)出指示信號。使用該實用新型提供的裝置解決真空體系的倒吸問題,可控率高,能夠有效杜絕任何介質(zhì)的吸入;并且該實用新型施工簡單,運行穩(wěn)定,有自控部分的自檢維護,操作簡便,易于與其他自控體系兼容。
      [0006]上述專利均是采用不同的裝置保護真空泵,以及時的控制真空泵的工作狀態(tài),但是設(shè)計均較為復(fù)雜,并且一旦真空泵發(fā)生故障,制備工藝就會中止,從而對半導(dǎo)體制備工藝造成影響。
      實用新型內(nèi)容
      [0007]針對上述存在的問題,本實用新型公開了一種真空泵抽氣裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中真空泵因故障突然停機時,被抽取的氣體中的微粒會反灌進管內(nèi),從而導(dǎo)致反應(yīng)管內(nèi)的晶圓表面落塵量超標的問題。
      [0008]為達到上述目的,本實用新型采取如下具體技術(shù)方案:
      [0009]一種真空泵抽氣裝置,應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的制備工藝中,其特征在于,所述裝置包括:至少一機臺、管道和若干真空泵;
      [0010]每個所述機臺均通過所述管道分別與所述若干真空泵相連,以進行抽氣操作;
      [0011]其中,與所述管道連接的真空泵的數(shù)量大于所述機臺的數(shù)量。
      [0012]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,所述管道包括若干第一支管道,若干第二支管道和一主管道。
      [0013]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,每個所述真空泵均通過一個所述第一支管道與所述主管道連通,每個所述機臺均通過一個所述第二支管道與所述主管道連通。
      [0014]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,所述機臺包括反應(yīng)管、主閥,所述反應(yīng)管通過所述機臺的一內(nèi)部管路連接所述主閥。
      [0015]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,所述主閥上設(shè)有閥門開關(guān),通過控制所述閥門開關(guān)的角度來控制抽氣速度。
      [0016]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,所述主閥與所述真空泵的連接管道上還設(shè)有
      一單向閥門。
      [0017]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,每個所述機臺均通過一個第二支管道以并聯(lián)的方式與所述主管道連通。
      [0018]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,每個所述真空泵均通過一個第一支管道以并聯(lián)的方式與所述主管道連通。
      [0019]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,所述真空泵的數(shù)量比所述機臺的數(shù)量多一個。
      [0020]上述的一種真空泵抽氣裝置,其中,所述第一支管道的數(shù)量和所述真空泵的數(shù)量相同,所述第二支管道的數(shù)量與所述機臺的數(shù)量相同。
      [0021]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果:
      [0022]本實用新型公開了一種真空泵抽氣裝置,該裝置在半導(dǎo)體器件的制備工藝中,有效的防止了由于真空泵故障而導(dǎo)致氣體反灌造成反應(yīng)管內(nèi)的晶圓表面落塵量超標現(xiàn)象,從而提高了制備的半導(dǎo)體器件的質(zhì)量,且降低了真空泵發(fā)生故障對制備工藝的影響,并大大延長了真空泵的使用壽命。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0023]參考所附附圖,以更加充分的描述本實用新型的實施例。然而,所附附圖僅用于說明和闡述,并不構(gòu)成對本實用新型范圍的限制。
      [0024]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中真空泵抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0025]圖2是本實施例中真空泵抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0026]其中,I是真空泵;2是機臺;3是第一支管道;4是第二支管道;5是主管道;6是主閥;7是反應(yīng)管。
      【具體實施方式】[0027]下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的說明,但是不作為本實用新型的限定。
      [0028]圖2是本實施例中真空泵抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖2所示:該真空泵抽氣裝置,應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的制備工藝中,包括:至少一個機臺、管道和若干真空泵;
      [0029]每個機臺均通過管道與若干真空泵相連,以進行抽氣操作;
      [0030]其中,與管道連接的真空泵的數(shù)量大于機臺的數(shù)量。
      [0031]在半導(dǎo)體器件的制備工藝中,反應(yīng)管內(nèi)的化學氣體中含有粉塵、水汽、顆粒等有害物質(zhì),真空泵通過不斷的抽取反應(yīng)管內(nèi)的氣體,以維持反應(yīng)管內(nèi)達到一種真空平衡狀態(tài),若是真空泵發(fā)生故障,而從真空泵故障到機臺收到信號關(guān)閉機臺中的主閥需要一定的反應(yīng)時間,則氣體反灌導(dǎo)致反應(yīng)管內(nèi)晶圓落塵量超標,因此需要提供新型的真空泵抽氣裝置。
      [0032]具體的,如圖2所示的真空泵抽氣裝置包括五個真空泵1、四個機臺2以及連接真空泵I和機臺2的管道,該管道包括五個第一支管道3,四個第二支管道4和一主管道5,并且每個真空泵I均通過一個第一支管道3與主管道5連通;同樣的,每個機臺2均通過第二支管道4與主管道5連通,從圖2可以看出主管道5的各個支管道都是相通連接的。
      [0033]在本實用新型的實施例中,每個機臺2均包括反應(yīng)管7、主閥6 ;其中反應(yīng)管7底部有一出氣口,主閥6通過機臺的內(nèi)部一管路與反應(yīng)管7底部的出氣口連接;并且在主閥6與真空泵I連接的管道上設(shè)有一單向閥門。該單向閥門只允許反應(yīng)管7內(nèi)的氣體經(jīng)上述管路流到真空泵I中,若氣體反向流動且反應(yīng)管與真空泵的壓力差為10帕斯卡以上時,單向閥門會立即關(guān)閉以阻止氣體反灌進入反應(yīng)管7中,因此該單向閥門具有控制氣體單向流動的作用。
      [0034]在該裝置進行抽氣的過程中,任意一個機臺2中被抽取的氣體均通過與該機臺2相連通的一個第二支管道4進入上述的主管道5中,并通過與主管道5相連通的第一支管道3進入每個真空泵I的進氣口中,并由每個真空泵I的出氣口將被抽取的氣體排出。在此過程中,通過控制主閥6上設(shè)有的閥門開關(guān)來控制真空泵I的抽氣速度(當真空泵I的抽氣速度過快時,則調(diào)小閥門開關(guān)的角度;當真空泵I的抽氣速度過慢時,則調(diào)大閥門開關(guān)的角度),從而維持反應(yīng)管7內(nèi)的真空狀態(tài)。
      [0035]其中,每個真空泵I均通過一個第一支管道3以并聯(lián)的方式與上述主管道5連通,每個機臺2均通過一個第二支管道4以并聯(lián)的方式與上述主管道5連通。若其中任何一個真空泵I因發(fā)生故障導(dǎo)致該真空泵I不能正常工作,該單向閥門會在外界大氣的作用下立即吸和,防止反灌,并通過主閥6的閥門開關(guān)維持反應(yīng)管7內(nèi)的壓力,保證其余四個真空泵I也可以完成對四個機臺2的抽氣工作,這樣就防止了因第二支管道4大于反應(yīng)管7內(nèi)的壓強而出現(xiàn)氣體反灌,即使發(fā)生停電現(xiàn)象或者因其他原因?qū)е滤械恼婵毡镁V构ぷ?,該單向閥門也可以有效的阻止氣體反灌現(xiàn)象的發(fā)生。因此該真空泵抽氣裝置有效的提高了所制備的半導(dǎo)體器件的質(zhì)量,并大大的延長了真空泵I的使用壽命。
      [0036]在本實用新型的實施例中,機臺和真空泵的數(shù)量可以根據(jù)具體工藝需求設(shè)定,只要保持真空泵的數(shù)量大于機臺的數(shù)量即可實現(xiàn)本實用新型的目的,但是從節(jié)約成本的角度出發(fā),該真空泵抽氣裝置中真空泵的數(shù)量比機臺的數(shù)量多一個為最優(yōu)選擇。
      [0037]綜上所述,本實用新型公開的一種真空泵抽氣裝置,該裝置在半導(dǎo)體器件的制備工藝中,有效的防止了由于真空泵故障而導(dǎo)致氣體反灌造成反應(yīng)管內(nèi)的晶圓表面落塵量超標現(xiàn)象,從而提高了制備的半導(dǎo)體器件的質(zhì)量,且降低了真空泵發(fā)生故障對制備工藝的影響,并大大延長了真空泵的使用壽命。
      [0038]以上所述僅為本實用新型較佳的實施例,并非因此限制本實用新型的實施方式及保護范圍,對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,應(yīng)當能夠意識到凡運用本實用新型說明書及圖示內(nèi)容所做出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案,均應(yīng)當包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種真空泵抽氣裝置,應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的制備工藝中,其特征在于,所述裝置包括:至少一機臺、管道和若干真空泵; 每個所述機臺均通過所述管道分別與所述若干真空泵相連,以進行抽氣操作; 其中,與所述管道連接的真空泵的數(shù)量大于所述機臺的數(shù)量。
      2.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,所述管道包括若干第一支管道,若干第二支管道和一主管道。
      3.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,每個所述真空泵均通過一個所述第一支管道與所述主管道連通,每個所述機臺均通過一個所述第二支管道與所述主管道連通。
      4.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,所述機臺包括反應(yīng)管、主閥,所述反應(yīng)管通過所述機臺的一內(nèi)部管路連接所述主閥。
      5.如權(quán)利要求4所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,所述主閥上設(shè)有閥門開關(guān),通過控制所述閥門開關(guān)的角度來控制抽氣速度。
      6.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,所述主閥與所述真空泵的連接管道上還設(shè)有一單向閥門。
      7.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,每個所述機臺均通過一個第二支管道以并聯(lián)的方式與所述主管道連通。
      8.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,每個所述真空泵均通過一個第一支管道以并聯(lián)的方式與所述主管道連通。
      9.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,所述真空泵的數(shù)量比所述機臺的數(shù)量多一個。
      10.如權(quán)利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置,其特征在于,所述第一支管道的數(shù)量與所述真空泵的數(shù)量相同,所述第二支管道的數(shù)量與所述機臺的數(shù)量相同。
      【文檔編號】F04B39/12GK203796528SQ201420185209
      【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月16日
      【發(fā)明者】周詩鐸, 王楊, 秦國強, 趙慶, 邊逸軍 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司
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