晶片制造熱能回收系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型旨在提供一種能有效利用晶片制造過(guò)程中空壓機(jī)熱油的熱量并能節(jié)省燃料的晶片制造熱能回收系統(tǒng)。本實(shí)用新型包括空壓機(jī)油桶和散熱器，該系統(tǒng)還包括換熱器，所述換熱器供熱端的一側(cè)通過(guò)第二管道與所述空壓機(jī)油桶的出油口連通，所述換熱器供熱端的另一側(cè)通過(guò)第三管道與所述空壓機(jī)油桶的進(jìn)油端連通，所述第二管道和所述第三管道上分別設(shè)置有第二閥門(mén)和第三閥門(mén)，所述換熱器的換熱端連接有進(jìn)水管道和出水管道，所述進(jìn)水管道的進(jìn)水端連接有供水箱，所述出水管道的出水端連接晶片生產(chǎn)車(chē)間的供水系統(tǒng)，所述換熱器的換熱端的換熱管、所述進(jìn)水管道和所述出水管道均為陶瓷管或不銹鋼管。本實(shí)用新型可應(yīng)用于熱能回收領(lǐng)域。
【專(zhuān)利說(shuō)明】晶片制造熱能回收系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種熱能回收系統(tǒng)，尤其涉及一種晶片制造過(guò)程中的熱能回收系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在晶片制造過(guò)程中，生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)的壓縮設(shè)備需要由空氣壓縮機(jī)提供動(dòng)力。在大型空壓機(jī)內(nèi)由潤(rùn)滑油進(jìn)行潤(rùn)滑。但空壓機(jī)在工作過(guò)程中會(huì)使?jié)櫥偷臏囟壬摺，F(xiàn)有技術(shù)一般是通過(guò)風(fēng)冷和/或水冷系統(tǒng)進(jìn)行熱油降溫，而經(jīng)過(guò)降溫后的熱油溫度依然高達(dá)90?95°C。另外，在晶片制造車(chē)間內(nèi)需要大量的具有一定溫度的超純水。若能將空壓機(jī)中高溫?zé)嵊偷臒崃坑糜诩訜岢兯?，則既能很好地利用空壓機(jī)熱油的余熱，又能很好地減少能源的消耗，具有很好的節(jié)能效果，也避免了對(duì)環(huán)境產(chǎn)生不利的影響。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能有效利用晶片制造過(guò)程中空壓機(jī)熱油的熱量并能節(jié)省燃料的晶片制造熱能回收系統(tǒng)。
[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:本實(shí)用新型包括空壓機(jī)油桶和散熱器，所述空壓機(jī)油桶與所述散熱器之間連接有第一管道，所述第一管道上設(shè)置有第一閥門(mén)，該系統(tǒng)還包括換熱器，所述換熱器供熱端的一側(cè)通過(guò)第二管道與所述空壓機(jī)油桶的出油口連通，所述換熱器供熱端的另一側(cè)通過(guò)第三管道與所述空壓機(jī)油桶的進(jìn)油端連通，所述第二管道和所述第三管道上分別設(shè)置有第二閥門(mén)和第三閥門(mén)，所述換熱器的換熱端連接有進(jìn)水管道和出水管道，所述進(jìn)水管道的進(jìn)水端連接有供水箱，所述出水管道的出水端連接晶片生產(chǎn)車(chē)間的供水系統(tǒng)，所述換熱器的換熱端的換熱管、所述進(jìn)水管道和所述出水管道均為陶瓷管或不銹鋼管。
[0005]進(jìn)一步地，所述換熱器的供熱端出口處還設(shè)置有第四管道，所述第四管道的出口端連通所述散熱器，在所述第四管道上設(shè)置有第四閥門(mén)。
[0006]更進(jìn)一步地,所述換熱管為螺旋管或蛇形管或由多個(gè)U形管連通而成的盤(pán)管。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:由于本實(shí)用新型包括空壓機(jī)油桶和散熱器，所述空壓機(jī)油桶與所述散熱器之間連接有第一管道，所述第一管道上設(shè)置有第一閥門(mén)，該系統(tǒng)還包括換熱器，所述換熱器供熱端的一側(cè)通過(guò)第二管道與所述空壓機(jī)油桶的出油口連通，所述換熱器供熱端的另一側(cè)通過(guò)第三管道與所述空壓機(jī)油桶的進(jìn)油端連通，所述第二管道和所述第三管道上分別設(shè)置有第二閥門(mén)和第三閥門(mén)，所述換熱器的換熱端連接有進(jìn)水管道和出水管道，所述進(jìn)水管道的進(jìn)水端連接有供水箱，所述出水管道的出水端連接晶片生產(chǎn)車(chē)間的供水系統(tǒng)，所述換熱器的換熱端的換熱管、所述進(jìn)水管道和所述出水管道均為陶瓷管或不銹鋼管；所以，本實(shí)用新型通過(guò)將空壓機(jī)中的熱油引出，經(jīng)過(guò)換熱器換熱后，可以直接將換熱后的熱油送回到油桶中，或者通過(guò)第四管道將熱油送到散熱器上進(jìn)行散熱，再送回到油桶中；換熱器的另一側(cè)上，由陶瓷管或不銹鋼管制成的換熱管、進(jìn)水管道和出水管道能有效避免超純水發(fā)生變質(zhì)，從而保證輸送到晶片制造車(chē)間的熱水能夠滿(mǎn)足生產(chǎn)要求。另外，本實(shí)用新型利用熱油加熱超純水，減少了燃料的使用，也間接地減少了對(duì)環(huán)境的污染，具有較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的簡(jiǎn)易結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0009]如圖1所示，本實(shí)用新型包括空壓機(jī)油桶I和散熱器2，所述空壓機(jī)油桶I與所述散熱器2之間連接有第一管道3，所述第一管道3上設(shè)置有第一閥門(mén)4。該系統(tǒng)還包括換熱器5，所述換熱器5供熱端的一側(cè)通過(guò)第二管道6與所述空壓機(jī)油桶I的出油口連通，所述換熱器5供熱端的另一側(cè)通過(guò)第三管道7與所述空壓機(jī)油桶I的進(jìn)油端連通，所述第二管道6和所述第三管道7上分別設(shè)置有第二閥門(mén)8和第三閥門(mén)9，所述換熱器5的換熱端連接有進(jìn)水管道10和出水管道11，所述進(jìn)水管道10的進(jìn)水端連接有供水箱12，所述出水管道11的出水端連接晶片生產(chǎn)車(chē)間的供水系統(tǒng)13，所述換熱器5的換熱端的換熱管14、所述進(jìn)水管道10和所述出水管道11均為陶瓷管或不銹鋼管。所述換熱器5的供熱端出口處還設(shè)置有第四管道15，所述第四管道15的出口端連通所述散熱器2，在所述第四管道15上設(shè)置有第四閥門(mén)16。所述換熱管14為螺旋管或蛇形管或由多個(gè)U形管連通而成的盤(pán)管。在本實(shí)施例中，所述換熱管選為螺旋管。
[0010]本實(shí)用新型在空壓機(jī)油桶I與所述散熱器2之間設(shè)置兩條路徑，當(dāng)無(wú)需向晶片生產(chǎn)車(chē)間供應(yīng)熱水時(shí)，可以將所述第一閥門(mén)4打開(kāi)，熱油直接經(jīng)過(guò)所述第一管道3到達(dá)所述散熱器2進(jìn)行散熱。當(dāng)向晶片生產(chǎn)車(chē)間供應(yīng)熱水時(shí)，所述第一閥門(mén)4關(guān)閉，熱油經(jīng)過(guò)換熱器5后，當(dāng)換熱后的油溫下降到工作溫度后，所述第三閥門(mén)9開(kāi)啟，熱油直接由第三管道7回流到油桶中；當(dāng)熱油經(jīng)過(guò)換熱器5換熱后，溫度仍然較高，則開(kāi)啟所述第四閥門(mén)16，熱油流入到所述散熱器2進(jìn)行散熱后再回流到油桶內(nèi)。另外，本實(shí)用新型選用陶瓷管或不銹鋼管制作換熱管14、所述進(jìn)水管道10和所述出水管道11，能有效保證被送到晶片生產(chǎn)車(chē)間的熱水不變質(zhì)，保證了晶片加工質(zhì)量。
[0011]本實(shí)用新型可應(yīng)用于熱能回收領(lǐng)域。
【權(quán)利要求】
1.一種晶片制造熱能回收系統(tǒng)，包括空壓機(jī)油桶(I)和散熱器(2)，所述空壓機(jī)油桶(I)與所述散熱器(2 )之間連接有第一管道(3 )，所述第一管道(3 )上設(shè)置有第一閥門(mén)(4 )，其特征在于:該系統(tǒng)還包括換熱器(5)，所述換熱器(5)供熱端的一側(cè)通過(guò)第二管道(6)與所述空壓機(jī)油桶(I)的出油口連通，所述換熱器(5 )供熱端的另一側(cè)通過(guò)第三管道(7 )與所述空壓機(jī)油桶(I)的進(jìn)油端連通，所述第二管道(6 )和所述第三管道(7 )上分別設(shè)置有第二閥門(mén)(8)和第三閥門(mén)(9)，所述換熱器(5)的換熱端連接有進(jìn)水管道(10)和出水管道(11)，所述進(jìn)水管道(10)的進(jìn)水端連接有供水箱(12)，所述出水管道(11)的出水端連接晶片生產(chǎn)車(chē)間的供水系統(tǒng)(13)，所述換熱器(5)的換熱端的換熱管(14)、所述進(jìn)水管道(10)和所述出水管道(11)均為陶瓷管或不銹鋼管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片制造熱能回收系統(tǒng)，其特征在于:所述換熱器(5)的供熱端出口處還設(shè)置有第四管道(15)，所述第四管道(15)的出口端連通所述散熱器(2)，在所述第四管道(15 )上設(shè)置有第四閥門(mén)(16 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片制造熱能回收系統(tǒng)，其特征在于:所述換熱管(14)為螺旋管或蛇形管或由多個(gè)U形管連通而成的盤(pán)管。
【文檔編號(hào)】F04B39/06GK204003361SQ201420326686
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】劉興波 申請(qǐng)人:珠海東精大電子科技有限公司