專利名稱：復合拖動分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拖動分子泵。
中國專利CN-85105304A、CN-87101116.6-2和美國專利US3，794，449介紹了若干種拖動分子泵，這些分子泵雖然壓縮比較高，但是抽速相對說來仍不很高，限制了它們的進一步推廣使用。
本發(fā)明的目的是提供一種具有多個拖動面的抽速更高的新穎拖動分子泵，以及這種泵與其它分子泵和旋轉(zhuǎn)機械真空泵組成的復合真空泵。
本發(fā)明提供的分子泵，由動葉輪、動密封、轉(zhuǎn)軸、隔離環(huán)、靜葉輪和泵殼等組成，動葉輪固定在轉(zhuǎn)軸上，其特征在于該泵中至少有一組具有多個拖動面的基本抽氣單元，簡稱為多拖泵單元。該基本抽氣單元由如下基本結(jié)構(gòu)組成1.動葉輪上至少有一條沿圓周方向的抽氣槽，抽氣槽的截面可以是矩形、弧形、或者其它形狀。抽氣槽的開口可以在圓周的側(cè)面方向，或者在橫截面方向。
2.動密封由截面與抽氣槽截面相似，但略小的弧形體構(gòu)成，動密封固定在泵殼，或者隔離環(huán)，或者靜葉輪上，并插入抽氣槽中。動密封與抽氣槽內(nèi)壁之間留有工作間隙。
3.抽氣槽在上述動密封的兩側(cè)分別設有進氣口和排氣口，其余部位由泵殼，或者隔離環(huán)，或者靜葉輪等密封。密封處留有工作間隙。
4.同一抽氣槽中，可以有若干個動密封，以及若干個相應的進氣口和排氣口。這時，該抽氣槽應視為多級抽氣單元。
5.抽氣槽和動密封等動、靜結(jié)構(gòu)可以互換。
當動葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，上述抽氣單元就可以構(gòu)成一臺有實用價值的分子泵。改變動葉輪的旋轉(zhuǎn)方向，可以改變抽氣方向。
將若干級基本抽氣單元的進氣口和排氣口分別用氣體通道連成一體，可以構(gòu)成并聯(lián)抽氣。將若干級基本抽氣單元的排氣口和進氣口依次首尾相連，可以構(gòu)成串聯(lián)抽氣。將多級抽氣單元同軸安裝，靠近泵的進氣口的單元并聯(lián)抽氣，靠近泵的排氣口的單元串聯(lián)抽氣，可以構(gòu)成一臺性能更好的分子泵。
上述單級或多級分子泵與其他分子泵、旋轉(zhuǎn)機械真空泵等同軸安裝，串、并聯(lián)組合，還可以構(gòu)成一臺性能更好的復合分子泵。
本發(fā)明的優(yōu)點1.本發(fā)明提出的拖動分子泵結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，成本較低，抽速和壓縮比均較高，并且若干級單元同軸安裝，可以構(gòu)成串、并聯(lián)組合的多級泵。
2.本發(fā)明提出的拖動分子泵還可以與其他分子泵、旋轉(zhuǎn)機械真空泵等同軸安裝，構(gòu)成各種性能優(yōu)良的復合真空泵。
下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步描述。


圖1是本發(fā)明單級多拖泵(A)的示意圖。
圖2是本發(fā)明單級多拖泵(A)的側(cè)視圖。
圖3是本發(fā)明多級多拖泵(A)的示意圖。
圖4是本發(fā)明單級多拖泵(B)的示意圖。
圖5是本發(fā)明多級多拖泵(B)的示意圖。
圖6是本發(fā)明復合拖動分子泵的示意圖。
圖7是本發(fā)明復合分子泵的示意圖。
附圖中1.動葉輪，2.動密封，3.轉(zhuǎn)軸，4.泵殼，5.抽氣槽，6.進氣口，7.排氣口，8.隔離環(huán)，9.泵的進氣口，10.泵的排氣口，11.電機，12.雙拖泵單元，13.單拖泵單元，14.渦輪分子泵單元，15.多拖泵靜葉輪。
實施例1單級多拖泵(A)單級多拖泵(A)的抽氣槽開口在圓周側(cè)面方向，其正視圖和側(cè)視圖分別如圖1、2所示，由動葉輪1，動密封2，轉(zhuǎn)軸3和泵殼4，等構(gòu)成。動葉輪1固定在轉(zhuǎn)軸3上，動葉輪1上有一條抽氣槽5，動密封2固定在泵殼4上，泵殼4與動葉輪1之間的間隙和動密封2與抽氣槽5之間的間隙應盡可能小一些，通?？扇?.1～0.5mm。待抽氣體由進氣口6進入，經(jīng)排氣口7排出。
實施例2多級多拖泵(A)多級多拖泵(A)由轉(zhuǎn)軸3、泵殼4、隔離環(huán)8、以及若干級多拖泵(A)單元同軸安裝構(gòu)成。通?？拷玫倪M氣口9的單元并聯(lián)抽氣，靠近泵的排氣口10的單元串聯(lián)抽氣。圖3所示的多級多拖泵由八級單元組成。中間四級單元并聯(lián)抽氣，兩側(cè)各有二級單元分別串聯(lián)抽氣。中間四級單元的動密封位于側(cè)上方，它們的進氣口對準泵的進氣口9，兩側(cè)的動密封分別位于側(cè)面和側(cè)下方，如圖3中的虛線所示。圖3中的隔離環(huán)可以不用，所有的動密封可直接固定在泵殼4上。串聯(lián)抽氣單元的排氣口和進氣口依次首尾相連，最外側(cè)的單元排氣口位于泵的下方，與排氣口10直接相連。被抽氣體由泵的進氣口9進入，經(jīng)中間四級并聯(lián)抽氣單元，然后分成左、右二路，分別再經(jīng)左、右兩側(cè)的二級串聯(lián)抽氣的單元，最后由泵的排氣口10排出。
當單級多拖泵壓縮比較高時，相鄰兩串聯(lián)級之間可以加動密封，例如，加一級多拖泵單元，或者二級串聯(lián)抽氣的盤形泵(詳見專利CN-85105304A)單元等。
例3單級多拖泵(B)單級多拖泵(B)的抽氣槽的開口在橫截面方向，其正視圖如圖4所示，由動葉輪1、轉(zhuǎn)軸3、動密封2、靜葉輪15、泵殼4和隔離環(huán)8等構(gòu)成。動密封2固定在靜葉輪15上。靜葉輪15固定在泵殼4上。動、靜葉輪之間的間隙以及動密封與抽氣槽之間的間隙盡可能小一些，通?？扇?.1～0.5mm。抽氣槽在動密封的兩側(cè)分別設有進氣口和排氣口。
實施例4多級多拖泵(B)多級多拖泵(B)由同一葉輪，或者不同葉輪上的若干單級多拖泵(B)構(gòu)成，多級單元可以根據(jù)需要串聯(lián)抽氣或者并聯(lián)抽氣。圖5所示的多級多拖泵B。由動葉輪1、轉(zhuǎn)軸3、動密封2、泵殼4、隔離環(huán)8和靜葉輪15等構(gòu)成。動葉輪1上有二條抽氣槽5，該二條抽氣槽5與動密封2組成二個串聯(lián)抽氣的多拖泵單元。二抽氣槽的動密封在圓周位置上交叉開一定的距離，使外側(cè)抽氣單元的排氣口靠近內(nèi)側(cè)抽氣單元的進氣口。被抽氣體由外側(cè)抽氣單元的進氣口進入，依次經(jīng)過外側(cè)抽氣單元和內(nèi)側(cè)抽氣單元，最后由內(nèi)側(cè)抽氣單元的排氣口排出。
實施例5復合拖動分子泵復合拖動分子泵由轉(zhuǎn)軸3、泵殼4、隔離環(huán)8、以及若干級同軸安裝的多拖泵、雙拖泵(詳見專利CN-87101116.6-2)和單拖泵，例如盤形泵(詳見專利CN-85105304A)和傳統(tǒng)的柱面螺線槽拖動分子泵和其它單拖動面分子泵(下文同)單元等組成。組合方式一靠近泵的進氣口采用多拖泵單元，靠近排氣口采用雙拖泵單元，或者單拖泵單元，或者它們的串、并聯(lián)組合。組合方式二靠近泵的進氣口采用雙拖泵單元，靠近排氣口采用多拖泵單元，或者多拖泵單元與單拖泵單元的串、并聯(lián)組合。圖6所示的復合泵由四級多拖泵、二級雙拖泵12和四級盤形單拖泵單元13組成。被抽氣體由泵的進氣口9進入，經(jīng)中間四級并聯(lián)抽氣的多拖泵，然后分成左、右二路，分別再經(jīng)兩側(cè)串聯(lián)抽氣的一級雙拖泵和二級盤形單拖泵，最后由泵的排氣口10排出。
實施例6復合分子泵復合分子泵由轉(zhuǎn)軸3、泵殼4、電機11以及若干級同軸安裝的渦輪分子泵、多拖泵、雙拖泵和單拖泵單元等組成。靠近泵的進氣口采用渦輪分子泵單元，靠近泵的排氣口采用多拖泵單元，或者多拖泵單元與雙拖泵、單拖泵單元的串、并聯(lián)組合。圖7所示的復合泵由串聯(lián)抽氣的八級渦輪分子泵、一級多拖泵和一級雙拖泵單元組成?？拷玫倪M氣口9為渦輪分子泵單元。被抽氣體經(jīng)串聯(lián)抽氣的八級渦輪分子泵、一級多拖泵和一級雙拖泵單元，最后由排氣口10排出。
實施例7復合真空泵復合真空泵由若干級多拖泵、渦輪分子泵、雙拖泵、單拖泵和旋轉(zhuǎn)機械真空泵同軸安裝組成。靠近泵的進氣口為多拖泵單元，或者渦輪分子泵單元與多拖泵單元的組合，或者它們和雙拖泵單元的組合，然后可以采用單拖泵單元。最后一級分子泵單元的排氣口與旋轉(zhuǎn)機械真空泵的進氣口相連。例如十級串聯(lián)的多拖泵與單級旋轉(zhuǎn)機械真空泵同軸安裝，靠近泵進氣口為多拖泵。最后一級多拖泵的排氣口與旋轉(zhuǎn)機械真空泵的進氣口相連，被抽氣體由泵的進氣口進入，經(jīng)六級串聯(lián)抽氣的多拖泵，再經(jīng)單級旋轉(zhuǎn)機械真空泵排出。
權(quán)利要求
1.一種復合拖動分子泵，由動葉輪、動密封、轉(zhuǎn)軸、靜葉輪和泵殼等組成。其特征在于所述的分子泵中至少有一組具有多個拖動面的基本抽氣單元，簡稱為多拖泵單元。該基本抽氣單元由如下基本結(jié)構(gòu)組成(1)動葉輪上至少有一條沿圓周方向的抽氣槽，抽氣槽的截面可以是矩形、弧形、或者其它形狀。抽氣槽的開口可以在圓周的側(cè)面方向，或者在橫截面方向。(2)動密封由截面與抽氣槽截面相似，但略小的弧形體構(gòu)成，動密封固定在泵殼，或者隔離環(huán)，或者靜葉輪上，并插入抽氣槽中。動密封與抽氣槽內(nèi)壁之間留有工作間隙。(3)抽氣槽在上述動密封的兩側(cè)分別設有進氣口和排氣口，其余部位由泵殼，或者隔離環(huán)，或者靜葉輪等密封。密封處留有工作間隙。
2.根據(jù)權(quán)力要求1所述的多拖泵基本單元，其特征在于同一抽氣槽中，可以有若干個動密封，以及若干個相應的進氣口和排氣口。
3.根據(jù)權(quán)力要求1和2所述的多拖泵基本單元，其特征在于抽氣槽和動密封等動、靜結(jié)構(gòu)互換。
4.根據(jù)權(quán)力要求1所述的多級分子泵，其特征在于若干級多拖泵單元同軸安裝，其進氣口和排氣口分別用氣體通道連成一體，構(gòu)成并聯(lián)抽氣。
5.根據(jù)權(quán)力要求1所述的多級分子泵，其特征在于若干級多拖泵單元同軸安裝，其排氣口和進氣口依次首尾相連，構(gòu)成串聯(lián)抽氣。
6.根據(jù)權(quán)力要求1所述的多級分子泵，其特征在于若干級多拖泵單元同軸安裝，靠近泵的進氣口的單元并聯(lián)抽氣，靠近泵的排氣口的單元串聯(lián)抽氣。
7.根據(jù)權(quán)力要求1所述的多級分子泵，其特征在于若干級多拖泵單元和動密封同軸安裝，相鄰兩串聯(lián)抽氣的多拖泵級之間加動密封，動密封可以采用多拖泵，或者盤形泵單元。
8.根據(jù)權(quán)力要求1所述的復合分子泵，其特征在于若干級多拖泵、雙拖泵和單拖泵單元同軸安裝，靠近泵的進氣口采用多拖泵單元，靠近泵的排氣口采用雙拖泵單元，或者單拖泵單元，或者雙拖泵單元與單拖泵單元的串、并聯(lián)組合。
9.根據(jù)權(quán)力要求1所述的復合分子泵，其特征在于若干級多拖泵、雙拖泵和單拖泵單元同軸安裝，靠近泵的進氣口采用雙拖泵單元，靠近泵的排氣口采用多拖泵單元，或者多拖泵單元與單拖泵單元的串、并聯(lián)組合。
10.根據(jù)權(quán)力要求1所述的復合分子泵，其特征在于若干級渦輪分子泵和多拖泵單元同軸安裝，靠近泵的進氣口采用渦輪分子泵單元，靠近泵的排氣口采用多拖泵單元。
11.根據(jù)權(quán)力要求1所述的復合分子泵，其特征在于若干級渦輪分子泵、多拖泵、雙拖泵和單拖泵單元等同軸安裝，靠近泵的進氣口采用渦輪分子泵單元，靠近泵的排氣口采用多拖泵單元，或者雙拖泵單元，或者單拖泵單元，或者它們的串、并聯(lián)組合。
12.根據(jù)權(quán)力要求1所述的復合真空泵，其特征在于若干級多拖泵單元和旋轉(zhuǎn)機械真空泵同軸安裝，靠近泵的進氣口為多拖泵單元，最后一級多拖泵單元的排氣口與旋轉(zhuǎn)機械真空泵的進氣口相連。
13.根據(jù)權(quán)力要求1所述的復合真空泵，其特征在于若干級渦輪分子泵、多拖泵單元和旋轉(zhuǎn)機械真空泵同軸安裝，靠近泵的進氣口為采用渦輪分子泵單元然后采用多拖泵單元。最后一級多拖泵單元的排氣口與旋轉(zhuǎn)機械真空泵的進氣口相連。
全文摘要
一種拖動分子泵，由動葉輪，動密封，轉(zhuǎn)軸和泵殼等構(gòu)成。動葉輪上至少有一條多拖動面的抽氣槽，動密封插在抽氣槽中，抽氣槽在動密封的兩側(cè)分別留有進氣口和排氣口。若干級上述抽氣單元同軸安裝，可以組成串、并聯(lián)組合的多級泵。上述單級或多級泵還可以與其他分子泵以及旋轉(zhuǎn)機械真空泵組合成復合真空泵。該泵結(jié)構(gòu)簡單、加工方便，抽速和壓縮比均較高，而且成本較低。
文檔編號F04D19/04GK1075779SQ92101300
公開日1993年9月1日 申請日期1992年2月28日 優(yōu)先權(quán)日1992年2月28日
發(fā)明者儲繼國 申請人:儲繼國