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      微型磁動(dòng)力真空泵的制作方法

      文檔序號(hào):5443617閱讀:209來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:微型磁動(dòng)力真空泵的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型屬于一種真空獲得設(shè)備。
      已有的真空泵可分為兩大類,一類為氣體傳輸泵,另一類為氣體捕集泵。在氣體傳輸泵中又可分為變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸真空泵。本實(shí)用新型屬于氣體傳輸變?nèi)菡婵毡谩,F(xiàn)有的這類真空泵一般都使用電機(jī)做動(dòng)力。由于使用電機(jī)驅(qū)動(dòng),往往需要變速設(shè)備,致使這類真空泵體積較大,不能實(shí)現(xiàn)微型化。
      本實(shí)用新型的目的在于提供一種不用電機(jī)做動(dòng)力,體積很小的微型真空泵。
      本實(shí)用新型由泵身和磁動(dòng)力機(jī)構(gòu)兩部分組成。通過(guò)機(jī)架把這兩部分有機(jī)的連接起來(lái);形成一個(gè)整體設(shè)備。泵身由泵體、片式單向閥、泵罩組成;磁動(dòng)力機(jī)構(gòu)由電磁線圈和驅(qū)動(dòng)臂組成。
      附圖
      為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例〔1〕泵體;〔2〕、〔3〕片式單向閥;〔4〕泵罩;〔5〕驅(qū)動(dòng)臂;〔6〕磁動(dòng)力器;〔7〕機(jī)架。
      固定在機(jī)架〔7〕上的泵體〔1〕內(nèi)裝有片式單向閥〔2〕、〔3〕,在泵體〔1〕上開有吸氣口A和排氣口B;片式單向閥〔2〕與吸氣口A相通,另一片式單向閥〔3〕與排氣口B相通。泵罩〔4〕由彈性材料制成,與泵體〔1〕密封連接,〔5〕為金屬驅(qū)動(dòng)臂與泵罩〔4〕固定連接,在驅(qū)動(dòng)臂〔5〕的頂端固定有一塊永磁鐵,磁動(dòng)力器〔6〕是一個(gè)電磁線圈,它是由固定在機(jī)架〔7〕上的
      型鐵心與繞在鐵心上的線圈組成,線圈上的兩個(gè)抽頭與220V電源相接。磁動(dòng)力器〔6〕與裝有永磁鐵的驅(qū)動(dòng)臂〔5〕之間有一個(gè)間隙L,一般為3-5mm。
      本實(shí)用新型的工作情況如下給磁動(dòng)力器〔6〕通電,使驅(qū)動(dòng)臂〔5〕左右擺動(dòng),帶動(dòng)泵罩〔4〕往復(fù)伸縮,使泵罩〔4〕與泵體〔1〕構(gòu)成的密封空間C的容積變大或變小。當(dāng)此容積變大時(shí),待抽真空空間中的氣體由吸氣口A經(jīng)片式單向閥〔2〕進(jìn)入密封空間C,完成抽氣過(guò)程;當(dāng)此容積變小時(shí),密封空間C的氣體由片式單向閥〔3〕經(jīng)排氣口B排出,進(jìn)入大氣,完成排氣過(guò)程,抽氣與排氣兩過(guò)程連續(xù)不斷進(jìn)行,就實(shí)現(xiàn)了真空泵的功能。
      使用本實(shí)用新型的真空泵,其抽氣速率≥0.5 l/min,極限真空度為2×102Pa。
      本實(shí)用新型具有體積小,總體積只有84×54×35mm3,重量輕,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,成本低等優(yōu)點(diǎn)。
      權(quán)利要求1.一種包含有泵身、動(dòng)力機(jī)構(gòu)的真空泵,其特征在于該真空泵的動(dòng)力機(jī)構(gòu)采用了磁動(dòng)力機(jī)構(gòu),通過(guò)機(jī)架將泵身與動(dòng)力機(jī)構(gòu)聯(lián)成整體。
      2.如權(quán)利要求1所述的真空泵,其特征在于該真空泵的泵身由泵體和泵罩密封聯(lián)接組成,泵罩采用了彈性材料。
      3.如權(quán)利要求1、2所述的真空泵,其特征在于該泵的磁動(dòng)力機(jī)構(gòu)由磁動(dòng)力器和驅(qū)動(dòng)臂組成,磁動(dòng)力器固定在機(jī)架上,驅(qū)動(dòng)臂固定在泵罩上。
      4.如權(quán)利要求3所述的真空泵,其特征在于該泵所采用的磁動(dòng)力器是一個(gè)由線圈和鐵心繞成的電磁線圈。
      5.如權(quán)利要求4所述的真空泵,其特征在于在該泵的驅(qū)動(dòng)臂上裝有一小塊永磁鐵。
      6.如權(quán)利要求5所述的真空泵,其特征在于該泵磁動(dòng)力器的電磁線圈與裝有永磁鐵的驅(qū)動(dòng)臂之間有一個(gè)間隙L,一般為3-5mm。
      專利摘要本實(shí)用新型屬于一種氣體傳輸變?nèi)菡婵毡?。由泵身和磁?dòng)力機(jī)構(gòu)兩部分組成,通過(guò)機(jī)架把這兩部分聯(lián)接成整體設(shè)備。泵身由泵體、片式單向閥、泵罩組成;磁動(dòng)力機(jī)構(gòu)由電磁線圈和驅(qū)動(dòng)臂組成;由于采用了磁動(dòng)力機(jī)構(gòu)。使本實(shí)用新型具有體積小,總體積只有84×54×35mm
      文檔編號(hào)F04B35/04GK2123621SQ92210219
      公開日1992年12月2日 申請(qǐng)日期1992年2月12日 優(yōu)先權(quán)日1992年2月12日
      發(fā)明者李紹榮, 劉德濱 申請(qǐng)人:東北工學(xué)院
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