專利名稱：旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種通過(guò)改變缸體容積排除氣體以獲得粗(低)真空的裝置，具體地說(shuō)是一種不以油為工作介質(zhì)亦無(wú)須油潤(rùn)滑的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵。本實(shí)用新型所述的產(chǎn)品適合于在電子、醫(yī)療、印刷及超凈半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的吸附、提升、固定硅片等工藝裝備中配套使用，特別適合于在小型臺(tái)式或立式膠印機(jī)以及其它的一些現(xiàn)代辦公設(shè)備中配套使用。
過(guò)去用于上述各領(lǐng)域的真空泵一般多為老式的以油為工作介質(zhì)的機(jī)械泵、或不以油為工作介質(zhì)但需靠油潤(rùn)滑的無(wú)油泵以及靠皮帶傳動(dòng)的非直聯(lián)式無(wú)油泵。機(jī)械泵的最大缺點(diǎn)就是存在油的污染、噪聲大、振動(dòng)大、需頻繁更換工作介質(zhì)以及因油封老化而常常出現(xiàn)漏油現(xiàn)象。普通的無(wú)油泵雖不以油為工作介質(zhì)，但仍需極少量的潤(rùn)滑油做為潤(rùn)滑劑，污染和噪聲大的問(wèn)題未得到明顯改觀。非直聯(lián)式無(wú)油泵則需要用皮帶輪或減速裝置連接，體積大、傳動(dòng)復(fù)雜，又要經(jīng)常更換皮帶，使用很不方便。近年來(lái)，國(guó)外如美國(guó)、日本等一些國(guó)家研制出的無(wú)油真空泵雖使上述現(xiàn)象獲得了很大改善，但國(guó)外市場(chǎng)上現(xiàn)有的此類產(chǎn)品在具體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上仍有不近合理之處，具體歸結(jié)為1.配氣系統(tǒng)即泵體進(jìn)氣口和出氣口的設(shè)置位置不合理，造成進(jìn)氣不充分并使進(jìn)氣口內(nèi)外的氣體壓差較大，產(chǎn)生較大的振動(dòng)噪聲；2.旋片與定子殼腔內(nèi)壁間的旋轉(zhuǎn)封合接觸不佳，使旋片沿定子內(nèi)壁高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的干摩擦加劇，導(dǎo)致泵體的溫升值較高(電機(jī)定子中部表面溫升值在40～50℃)，往往在定子端蓋的外側(cè)還要另設(shè)散熱片；3.旋片由普通石墨材料制作，經(jīng)較長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后容易產(chǎn)生塑性變形而出現(xiàn)氣隙噪聲。
本實(shí)用新型的目的是提供一種在產(chǎn)品配氣系統(tǒng)和旋片設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)上均做出改進(jìn)了的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵，用以克服現(xiàn)有產(chǎn)品使用效果的不足，尤其是噪聲高和溫升值高的不足。
用于實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的的技術(shù)解決方案是這樣的將進(jìn)氣口和出氣口均開設(shè)在定子的一側(cè)端蓋上，二者相對(duì)定子中心線(即端蓋中心點(diǎn))構(gòu)成的夾角為120°；轉(zhuǎn)子上的四個(gè)旋片槽互為正交T型設(shè)置，裝放于旋片槽內(nèi)的轉(zhuǎn)子旋片的外端具有一非對(duì)稱直角弧凸，使旋片與定子內(nèi)壁間的摩擦接觸面減小，進(jìn)而使二者間作干摩擦?xí)r的發(fā)熱量減少；此外，轉(zhuǎn)子旋片采用自潤(rùn)滑性能好且強(qiáng)度高的浸漬型石墨材料制作，降低氣隙噪聲。
本實(shí)用新型所述的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵其噪聲比從國(guó)外引進(jìn)的無(wú)油真空泵低，轉(zhuǎn)子上旋片端部結(jié)構(gòu)改進(jìn)后使電機(jī)定子中部表面溫升值降到30～38℃，實(shí)現(xiàn)了在1400轉(zhuǎn)／分高轉(zhuǎn)速下的直聯(lián)傳動(dòng)。該裝置的體積小、造型美觀大方、結(jié)構(gòu)緊湊，其各項(xiàng)性能指標(biāo)均優(yōu)于市場(chǎng)上現(xiàn)有的同類產(chǎn)品。
以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步說(shuō)明。



圖1是旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵的整機(jī)系統(tǒng)示意圖。
圖2是
圖1的側(cè)向結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是
圖1沿A－A線的剖視結(jié)構(gòu)圖。
圖4是做為定子端蓋的右法蘭盤示意圖(
圖1的B－B剖面圖)。
圖5是轉(zhuǎn)子上旋片的結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖所示這種用于獲得粗(低)真空的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵具有一個(gè)柱殼狀定子1以及一個(gè)偏心安裝在定子1內(nèi)的轉(zhuǎn)子3，圖2及圖3中轉(zhuǎn)子的正常工作旋向?yàn)轫槙r(shí)針?lè)较颉Ｔ谵D(zhuǎn)子3的側(cè)壁上對(duì)稱開有四個(gè)用于裝放旋片4的旋片槽2。在定子1的兩端各設(shè)有一個(gè)法蘭盤5、6。在遠(yuǎn)離電機(jī)7側(cè)的法蘭盤6上設(shè)有進(jìn)氣口8和出氣口9，進(jìn)氣口8和出氣口9分別對(duì)稱排列在定子1中心線(即法蘭盤6上中心點(diǎn))左右夾角60°的位置(見圖2和圖4)，這樣設(shè)置可使真空泵最大限度地吸進(jìn)氣體、降低進(jìn)氣口內(nèi)外的壓差、減小噪聲量級(jí)，同時(shí)也使結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單化。轉(zhuǎn)子3上的四個(gè)旋片槽2互為正交T型設(shè)置(見圖2和圖3)。裝放于旋片槽2內(nèi)的旋片4的外端具有一非對(duì)稱直角弧凸41，所述旋片弧凸41的后部與前部的線寬比為12.7，后張角與前張角均為45°(見圖5)，如此設(shè)計(jì)使旋片磨損最小并使泵干摩擦的溫升值降低在電機(jī)定子允許的溫升值內(nèi)，從而省去了定子外面的散熱片。轉(zhuǎn)子旋片4采用自潤(rùn)滑性能好且強(qiáng)度高的浸漬型石墨材料制作，該材料除具有氣密性好、化學(xué)穩(wěn)定性好、耐腐蝕和熱膨脹系數(shù)小等優(yōu)點(diǎn)外，它的機(jī)械性能亦優(yōu)于一般的石墨材料，經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間工作運(yùn)行后，其塑性變形仍不明顯，因而也就有效地降低了氣隙噪聲的發(fā)生。
權(quán)利要求1.一種用于獲得粗(低)真空的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵，具有一個(gè)柱殼狀定子(1)以及一個(gè)偏心安裝在定子(1)內(nèi)的轉(zhuǎn)子(3)，在轉(zhuǎn)子(3)的側(cè)壁上對(duì)稱開有四個(gè)旋片槽(2)，在定子(1)的兩端各設(shè)有一個(gè)法蘭盤(5、6)，其特征是1.1在遠(yuǎn)離電機(jī)(7)側(cè)的法蘭盤(6)上設(shè)有進(jìn)氣口(8)和出氣口(9)，二者相對(duì)定子中心線構(gòu)成的夾角為120°；1.2四個(gè)旋片槽(2)互為正交T型設(shè)置，裝放于旋片槽(2)內(nèi)的旋片(4)的外端具有一非對(duì)稱直角弧凸(41)。
2.如權(quán)利要求1規(guī)定的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵，其特征是所述旋片弧凸(41)的后部與前部的線寬比為12.7，后張角與前張角均為45°。
3.如權(quán)利要求1或2規(guī)定的旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵，其特征是旋片(4)由浸漬型石墨材料制作。
專利摘要旋片直聯(lián)干式全無(wú)油真空泵由定子、偏心轉(zhuǎn)子、旋片及左右法蘭盤等構(gòu)成，將進(jìn)氣口和出氣口均開設(shè)在定子的一側(cè)法蘭盤上，二者相對(duì)定子中心線構(gòu)成的夾角為120°，這樣使泵腔內(nèi)的壓力均勻，降低振動(dòng)噪聲；轉(zhuǎn)子上的四個(gè)旋片槽互為正交T型設(shè)置，轉(zhuǎn)子上旋片的外端具有一非對(duì)稱直角弧凸，使旋片磨損最小，從而合理解決了泵體做干摩擦?xí)r的熱平衡問(wèn)題；此外，轉(zhuǎn)子旋片采用自潤(rùn)滑性能好且強(qiáng)度高的浸漬型石墨材料制作，可有效地降低氣隙噪聲。
文檔編號(hào)F04C18/34GK2191933SQ9421106
公開日1995年3月15日 申請(qǐng)日期1994年5月10日 優(yōu)先權(quán)日1994年5月10日
發(fā)明者徐懋瑞 申請(qǐng)人:徐懋瑞