專利名稱：無油渦旋真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能提高壓縮效率的渦旋真空泵，特別是一種改善流體排出效率的無油渦旋真空泵。
通常，對容器抽真空是通過把真空泵與容器的排出口相連，用真空泵排出容器中的空氣或其它氣體來實(shí)現(xiàn)的。
在低壓真空泵抽吸系統(tǒng)中，通過在一個容器內(nèi)安裝一個油旋轉(zhuǎn)泵構(gòu)成真空泵裝置，在高壓真空泵系統(tǒng)中，則是把一個油擴(kuò)散泵與一個油旋轉(zhuǎn)泵結(jié)合而形成濕真空泵裝置。
在這些裝置中，利用鍋爐中的加熱器來蒸發(fā)油，并把由此產(chǎn)生的蒸汽噴出以壓縮擴(kuò)散的氣體。被壓縮的氣體進(jìn)一步由旋轉(zhuǎn)泵壓縮，使其壓力達(dá)到大氣壓后再排到外部。
這些裝置構(gòu)成濕抽吸系統(tǒng)，問題是作為附在裝置內(nèi)壁上的蒸汽形式而再次產(chǎn)生的油會再次蒸發(fā)并回流到容器內(nèi)，即該回流需要用冷卻罩、消聲器、凝氣閥等進(jìn)行冷卻，結(jié)果導(dǎo)致結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化。另外，氯、氟或類似氣體會與油起反應(yīng)使所述的油變性，這樣增加了旋轉(zhuǎn)阻力，減少了容量并帶來檢修保養(yǎng)的麻煩。
因此，人們渴望得到一種干式抽吸系統(tǒng)，近來又把注意力集中在將無油渦旋泵作為真空泵方面，以望解決上述問題。
渦旋真空泵具有固定渦旋件渦卷和公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷，由兩個渦旋件的渦卷之間形成的密封空間的體積，隨著公轉(zhuǎn)渦旋件相對于固定渦旋件作不自轉(zhuǎn)的公轉(zhuǎn)而變化。
在這種運(yùn)轉(zhuǎn)中，兩個渦卷間的接觸點(diǎn)逐漸移向泵的中央，所述兩渦卷間形成了作為壓縮腔的密封空間。
隨著公轉(zhuǎn)渦旋件以恒定的公轉(zhuǎn)半徑圍繞固定渦旋件中心的公轉(zhuǎn)，通過吸入口進(jìn)入泵的氣體圍繞公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷的圓周端導(dǎo)入，并流入兩個渦卷形成的密封空間。
當(dāng)隨著公轉(zhuǎn)渦旋件的公轉(zhuǎn)而使密封空間的體積逐漸減小并向中心部位移動時，進(jìn)入密封空間的氣體被壓縮，當(dāng)密封空間移動到與排出口相通的位置時，壓縮氣體被排到外部。
渦旋真空泵可采用單渦卷式或雙渦卷式結(jié)構(gòu)，在單渦卷式結(jié)構(gòu)中，公轉(zhuǎn)渦旋件具有一個設(shè)置在其盤的一側(cè)表面上的公轉(zhuǎn)渦卷，在雙渦卷式結(jié)構(gòu)中，公轉(zhuǎn)渦旋件具有兩個分別設(shè)置在其盤的兩側(cè)表面上的公轉(zhuǎn)渦卷。這種雙渦卷式真空泵公開在日本公開專利公報(bào)昭57-203801(現(xiàn)有技術(shù)1)中。
如圖6所示，現(xiàn)有技術(shù)1中公開的渦旋機(jī)構(gòu)具有向公轉(zhuǎn)渦旋件201兩側(cè)的密封空間提供流體的吸入口206及用于排出壓縮流體的排出口207。
在這種類型的渦旋真空泵中，公轉(zhuǎn)渦旋件201的盤201a兩側(cè)的渦卷201b和201c僅具有采用單渦卷式結(jié)構(gòu)時渦卷的一半高度，就能處理同樣體積的壓縮流體。這意味著在機(jī)加工形成渦卷時，從渦卷的尖部到鏡面研磨表面的研磨深度可以減小，這樣，能提供一種具有滿意的加工性能的公轉(zhuǎn)渦旋件。
另外，盡可能地減少了用于向渦旋機(jī)構(gòu)外部排出壓縮流體的排出口207，以便提高壓縮流體的效率。
排出口207與一個密封空間200連通，密封空間200中的被壓縮流體可從上述排出口207排出。但是，另一密封空間210中的壓縮流體，在從形成于固定渦旋件另一側(cè)上的排出口排出之前，先從公轉(zhuǎn)渦旋件201的中央部位形成的小直徑導(dǎo)向孔203導(dǎo)入上述密封空間200。因此，當(dāng)排出壓縮流體時，由于機(jī)械損失降低了排出效率。
充足地增加公轉(zhuǎn)渦旋件201上的導(dǎo)向孔203的直徑，可以減少機(jī)械損失。然而，這會降低壓縮效率。
據(jù)此，希望在公轉(zhuǎn)渦旋件的每一側(cè)設(shè)置排出孔來解決上述問題。
日本公開專利公報(bào)昭59-15690(現(xiàn)有技術(shù)2)公開了一種渦旋流體機(jī)械，它在公轉(zhuǎn)渦旋件的每一側(cè)面設(shè)置一個吸入口，壓縮流體通過單一的排出口排出。
如圖5所示，現(xiàn)有技術(shù)2公開了一種密封容器101，其中設(shè)置有下固定渦旋件107和上固定渦旋件108。
吸入管113連接在上固定渦旋件108的孔116上，吸入管114連接在下固定渦旋件107的開口107上。
公轉(zhuǎn)渦旋件112設(shè)置在上固定渦旋件108和下固定渦旋件107之間，其盤上的相對側(cè)形成的渦卷與固定渦旋件上的渦卷嚙合，并且在其相對側(cè)形成兩種流體容量壓縮機(jī)。
電動機(jī)102的軸103置于密封容器101內(nèi)，軸上固定有驅(qū)動齒輪104。
還提供有兩個曲軸106，其上配有被動齒輪105來傳送驅(qū)動齒輪104的扭矩。
曲軸106支撐在兩個固定渦旋件108和107上所形成的軸承上，它們的中央偏心軸部分106a分別插入雙側(cè)公轉(zhuǎn)渦旋件112的盤上形成的相應(yīng)軸承中。
上固定渦旋件108具有上排出孔111，而下固定渦旋件107具有下排出口110。隨著驅(qū)動軸103的轉(zhuǎn)動，雙側(cè)公轉(zhuǎn)渦旋件112公轉(zhuǎn)，從排出口110和111排出的壓縮流體引入設(shè)置在密封容器101上的排出管115。
依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)2的上述結(jié)構(gòu)，驅(qū)動力通過驅(qū)動齒輪104及被動齒輪105從驅(qū)動電動機(jī)102的驅(qū)動軸103傳遞給彼此相差180°相位的兩個曲軸106、106，因此，必須考慮預(yù)防因齒側(cè)隙而引起的錯誤。
另外，驅(qū)動力從兩個曲軸106、106的偏心軸部分106a傳遞給公轉(zhuǎn)渦旋件112，這樣，需要高水平的技術(shù)來防止偏心軸部分106a之間的干涉。
同時，為滿足近來所需的高真空度，希望能用于得到理想真空度的操作時間。
在低壓縮比真空泵中，抽真空要化很長時間，因此，期望用高壓縮比的真空泵來滿足這方面的要求。
增加螺旋形渦卷的圈數(shù)能提高壓縮比。但是，隨著所述圈數(shù)的增加，也增加了渦旋件的尺寸，這樣，由于軸在高速轉(zhuǎn)動下的彎曲，會產(chǎn)生公轉(zhuǎn)振動的問題，而且，由于公轉(zhuǎn)渦旋件和固定渦旋件之間的不均勻接觸，還會產(chǎn)生噪音、熱量，這就縮短了渦旋件的耐久性。
為解決這些問題，有人建議用兩個真空泵，這時，渦旋件的尺寸不會增大，圈數(shù)也少，通過將第二級泵的吸入端與第一級泵的排出管相連而一起驅(qū)動這些泵。
但是，在這種第一級中的壓縮流體在第二級中進(jìn)一步壓縮的串聯(lián)泵驅(qū)動系統(tǒng)中，從第一級流入第二級的流體中存在的油會導(dǎo)致真空泵耐久性的劣化。
從這種觀點(diǎn)出發(fā)，如圖5所示的現(xiàn)有技術(shù)2，從上、下排出口111和110中排出的壓縮流體充填于支架118的下部空間，電動機(jī)102就安裝在該空間內(nèi)，當(dāng)該空間中的壓力高于外部壓力時，壓縮流體排到外部。
因此，軸13上的潤滑劑或類似物會污染電動機(jī)102以及此處的支撐件或其它零件。
日本公開專利公報(bào)平6-66271公開了一種帶有擴(kuò)散器的渦旋壓縮機(jī)。
如圖7所示，這種渦旋壓縮機(jī)帶有擴(kuò)散器312，該擴(kuò)散器312從固定渦旋件348的一部分上所形成的壓縮流體排出口373延伸，所述排出口373對應(yīng)于由固定渦旋件渦卷346和公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷342形成的最終壓縮腔300。壓縮流體在從開口375排出之前先導(dǎo)入擴(kuò)散器312，由此改善壓縮機(jī)的效率。
上述相關(guān)技術(shù)能壓縮氣體并將壓縮氣體排出。但是，在用作真空泵時，依據(jù)所抽真空的容器的不同用途，會產(chǎn)生對人體有害的氣體，例如，應(yīng)用于制造半導(dǎo)體的過程中，會產(chǎn)生對人體有害的氣體。這種氣體不可能制造成無害氣體。
綜上所述，本發(fā)明的一個目的是提供一種無油渦旋真空泵，它具有帶雙渦卷公轉(zhuǎn)渦旋件的干式渦旋機(jī)構(gòu)，不會降低壓縮氣體的排出效率。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種無油渦旋真空泵，它能避免因安裝在兩個固定渦旋件渦卷之間的公轉(zhuǎn)渦旋件上的傾斜支架和伴隨公轉(zhuǎn)渦旋件的各組件之間的干涉所帶來的部分負(fù)載。
本發(fā)明的再一個目的是提供一種無油渦旋真空泵，它具有高的冷卻效率和緊湊的結(jié)構(gòu)。
依據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種雙渦卷無油真空泵，包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件以及固定渦旋件，每個固定渦旋件帶有在相對固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷，所述固定渦卷分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷嚙合，固定渦旋件以摩擦接觸支撐公轉(zhuǎn)渦旋件，每一固定渦旋件具有一個盤，每個盤上帶有設(shè)置在公轉(zhuǎn)渦旋件每一側(cè)的用于排出壓縮流體的排出通道。
如

圖1及圖2所示，雙渦卷無油渦旋真空泵包括帶有設(shè)置在一盤兩側(cè)上的公轉(zhuǎn)渦卷26及27的公轉(zhuǎn)渦旋件3，以及固定渦旋件(殼體)4和5，每一固定渦旋件帶有在面對公轉(zhuǎn)渦旋件3的盤每一表面3d、3e的表面4b、5b上形成的固定渦卷6、7，固定渦卷6和7分別與每個公轉(zhuǎn)渦卷26及27嚙合，由此固定渦旋件以摩擦接觸支撐公轉(zhuǎn)渦旋件。
每一固定渦旋件分別帶有一個盤，每一盤分別具有設(shè)置在公轉(zhuǎn)渦旋件每一側(cè)的將壓縮流體排出的排出通道4d、5d。
這樣，壓縮氣體從單獨(dú)設(shè)在公轉(zhuǎn)渦旋件3每一側(cè)的排出通道4d、5d排出，由此提高了壓縮氣體的排出效率。
依據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種無油渦旋真空泵，用來壓縮泵體內(nèi)的氣體并通過擴(kuò)散器將壓縮氣體排到泵體外部，該泵包括噴射裝置，強(qiáng)迫地將噴射的壓縮氣體導(dǎo)入擴(kuò)散器，從而將壓縮氣體從泵體排出。
依據(jù)本發(fā)明第二方面的有效裝置配有擴(kuò)散器，該擴(kuò)散器設(shè)置在固定渦旋件與公轉(zhuǎn)渦旋件所確定的最終壓縮腔和排出通道之間。
如圖2所示，與排出口4c相連的擴(kuò)散器3b和導(dǎo)向通道5g相通，導(dǎo)向通道5g與噴射容器相連，由此通過導(dǎo)向通道將噴射容器中的壓縮氣體導(dǎo)入擴(kuò)散器3b，從而將已壓縮的壓縮氣體從泵體里排到外部。
固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件確定的最終壓縮腔通過開口3g、3h與擴(kuò)散器3b相通。
如圖3所示，為了將壓縮氣體從泵體內(nèi)排到外部，與排出口34b相通的擴(kuò)散器34與導(dǎo)向通道35相連，導(dǎo)向通道35與噴射容器連接起來，通過導(dǎo)向通道對噴射容器中的壓縮氣體導(dǎo)向。
固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件確定的最終壓縮腔通過排出開口45與擴(kuò)散器34相通。
在這種結(jié)構(gòu)中，當(dāng)由噴射裝置噴射的壓縮氣體流入擴(kuò)散器并在擴(kuò)散器的出口處膨脹時，會引起擴(kuò)散器的壓力降低。
真空泵的壓縮氣體通過由上述壓降所產(chǎn)生的負(fù)壓抽吸并排到擴(kuò)散器中，再與從噴射裝置中噴射的壓縮氣體一起經(jīng)過擴(kuò)散器出口排到真空泵體的外部。
由于從噴射裝置噴射并導(dǎo)入擴(kuò)散器的噴射容器中的壓縮氣體是氮?dú)?N2)，因此即使在抽真空的壓縮過程中濃縮了裝在容器內(nèi)的任何有害氣體，它們也能被氮?dú)鉀_淡。
依據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種雙渦卷無油渦旋真空泵，包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件；固定渦旋件，每個固定渦旋件帶有在相對固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷，所述固定渦卷分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷嚙合，固定渦旋件以摩擦接觸支撐公轉(zhuǎn)渦旋件；一偏心軸部分，它以相對偏心的方式裝在公轉(zhuǎn)渦旋件的盤上，偏心軸部分的兩側(cè)部可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承上。
根據(jù)本發(fā)明第三方面的上述有效裝置配有風(fēng)扇，該風(fēng)扇裝在所述軸承外面，由與偏心軸部分相同的驅(qū)動源驅(qū)動轉(zhuǎn)動，以冷卻固定渦旋件。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面的上述有效裝置配有排出通道，用來排出每一風(fēng)扇和每一固定渦旋件的外表面之間的壓縮氣體。
如圖1所示，偏心軸部分11a以相對偏心的方式設(shè)置在公轉(zhuǎn)渦旋件3的盤中，該軸的兩側(cè)可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件4、5側(cè)面的軸承52和53上。
冷卻風(fēng)扇12和13安裝在軸承52和53的外側(cè)，由與偏心軸部分11a相同的驅(qū)動源驅(qū)動轉(zhuǎn)動，以冷卻固定渦旋件4和5。用來排出壓縮氣體的排出通道4d和5d分別設(shè)置在每個風(fēng)扇12、13與每個固定渦旋件外表面之間。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，偏心軸部分相對固定渦旋件是穩(wěn)定的，且泵避免了因在高速旋轉(zhuǎn)中軸的彎曲而帶來公轉(zhuǎn)振動、噪音、發(fā)熱或因軸彎曲或其它原因帶來固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件之間的不均勻接觸而導(dǎo)致的耐久性降低等問題。
利用安裝在軸承外面的驅(qū)動軸11部分上的風(fēng)扇12和13，可對兩個固定渦旋件的外側(cè)面冷卻，這兩個風(fēng)扇12、13可以用與偏心軸部分11a相同的驅(qū)動源來驅(qū)動，即用單獨(dú)的驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件的驅(qū)動源來驅(qū)動，而無需另配附加動力源。因此盡可能地簡化了結(jié)構(gòu)并提供了一種緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
如上文所述，裝配在公轉(zhuǎn)渦旋件盤上的偏心軸部分的端部可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承上，冷卻風(fēng)扇安裝在所述軸承的外面，并用與偏心軸部分相同的驅(qū)動源驅(qū)動轉(zhuǎn)動，用來排出壓縮氣體的每一排出通道分別設(shè)置在每個風(fēng)扇和每個固定渦旋件外表面之間。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，軸承和排出通道可以設(shè)置在風(fēng)扇和固定渦旋件外表面之間的空間中，這樣，可以提供一種結(jié)構(gòu)緊湊且能避免排出效率降低的渦旋機(jī)構(gòu)。
另外，風(fēng)扇和固定渦旋件外表面之間的空間從每一軸承的外周延伸，并且，除了諸如支架和殼體等安裝元件外，該空間在360°范圍對外敞開。這樣，給排出口的布置留有很大的設(shè)計(jì)自由度。
依據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供一種雙渦卷無油渦旋機(jī)構(gòu)，該雙渦卷無油渦旋機(jī)構(gòu)包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件，一相對偏心地安裝在公轉(zhuǎn)渦旋件的盤上的偏心軸部分，用于驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件，該偏心軸部分的兩側(cè)部可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承上，并且風(fēng)扇裝在所述軸承的外面，由用于偏心軸的同一驅(qū)動源驅(qū)動而轉(zhuǎn)動，以冷卻固定渦旋件，這樣可構(gòu)成一種無油渦旋真空泵，在該無油渦旋真空泵的風(fēng)扇和固定渦旋件外表面之間，設(shè)置有上述的噴射用導(dǎo)向通道。
在這種雙渦卷式的渦旋機(jī)構(gòu)中，由于相對偏心地裝在公轉(zhuǎn)渦旋件盤中的偏心軸部分的兩側(cè)可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承上，偏心軸部分相對固定渦旋件是穩(wěn)定的，因此，所述泵避免了因在高速旋轉(zhuǎn)中軸的彎曲而帶來公轉(zhuǎn)振動、噪音、發(fā)熱或因軸彎曲或其它原因帶來的固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件之間的不均勻接觸而導(dǎo)致的耐久性降低等問題。
由于風(fēng)扇安裝在軸承外側(cè)，并且由用于偏心軸部分的同一驅(qū)動源驅(qū)動轉(zhuǎn)動來冷卻固定渦旋件，即可用單一的驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件的驅(qū)動源來冷卻兩固定渦旋件的外側(cè)表面。因此，不需要另外用驅(qū)動源來驅(qū)動風(fēng)扇，可簡化結(jié)構(gòu)并提供一種緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
由于噴出通道設(shè)置在風(fēng)扇與固定渦旋件的外側(cè)表面之間，因而能提供一種緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
依據(jù)本發(fā)明的第五方面，提供一種無油渦旋真空泵，包括一組由閥裝置串聯(lián)連接的真空泵體，其中，每一真空泵體包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件；固定渦旋件，每個固定渦旋件帶有在相對固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷，所述固定渦卷分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷嚙合，固定渦旋件以摩擦接觸支撐公轉(zhuǎn)渦旋件；穿過固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件并偏心地裝在公轉(zhuǎn)渦旋件盤中的回轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；安裝在固定渦旋件的外側(cè)表面并容納回轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的殼體；將壓縮氣體從公轉(zhuǎn)渦旋件每一側(cè)排到每一固定渦旋件盤上的排出通道；以及閥裝置，該閥裝置用于有選擇性地控制前一級真空泵的排出通道和后一級真空泵的吸入口之間的空間與外部的連通作用以及前一級真空泵與后一級真空泵的串聯(lián)連接作用。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面，如圖4所示，一組無油真空泵串聯(lián)連接，并且設(shè)有閥裝置21、22，用來有選擇性地控制一級真空泵體1A的排出通道與二級真空泵體1D的吸入口8之間的空間連通作用，以及有選擇性地控制一級真空泵體1A和二級真空泵體1D的相互串聯(lián)連接作用。
當(dāng)抽真空的容器連接到初級泵體1A的吸入口8上時，在最初階段的操作中，容器內(nèi)的壓力接近大氣壓，吸入氣體在初級泵體1A的壓縮過程中被帶到高壓區(qū)。
但是，高壓下的壓縮氣體并不供應(yīng)到后一級真空泵體1D中，而是通過閥裝置21、22排到外部。
當(dāng)來自于初級泵體1A的壓縮氣體的壓力變得低于預(yù)定的壓力時，閥裝置21和22關(guān)閉，從泵體1A中排出來的壓縮氣體進(jìn)入泵體1D中進(jìn)一步壓縮。
這樣，在壓力高于大氣壓力下，沒有壓縮氣體吸入二級泵體1D中。則二級泵體1D中不產(chǎn)生過壓縮及過熱，因而，不會因產(chǎn)生的熱或高壓而導(dǎo)致二級泵體1D的耐久性降低或發(fā)生引起損壞的燃燒。
另外，由于用單獨(dú)的驅(qū)動源驅(qū)動一組真空泵，例如一級和二級真空泵，并可根據(jù)一級泵及二級泵的壓縮比給出對應(yīng)于壓縮氣體負(fù)載的最佳轉(zhuǎn)動。
在容器抽真空的初始階段，當(dāng)一級泵的壓縮氣體壓力超過大氣壓時，僅驅(qū)動一級泵，在對應(yīng)于容器內(nèi)的低真空度范圍的低粘度流動范圍內(nèi)，通過閥裝置將壓縮氣體排到外部，當(dāng)一級泵中的壓縮氣體壓力低于大氣壓時，二級泵以經(jīng)濟(jì)方式驅(qū)動。
由于在每一固定渦旋件盤上都配有用于排出干式系統(tǒng)壓縮氣體的排出通道，所以這些排出通道可延伸到安裝于固定渦旋件外表面上的殼體外部。這樣，不會將潤滑劑或類似物從公轉(zhuǎn)渦旋件驅(qū)動源導(dǎo)入到壓縮氣體中，并可以通過將一級泵與二級泵串聯(lián)實(shí)現(xiàn)高壓縮比。
圖1是本發(fā)明無油渦旋真空泵基本實(shí)施例的橫斷面圖；圖2是本發(fā)明無油渦旋真空泵第二實(shí)施例的示意圖；圖3是本發(fā)明無油渦旋真空泵第三實(shí)施例的示意圖4是本發(fā)明由二級泵構(gòu)成的無油渦旋真空泵第四實(shí)施例的示意圖；圖5是與雙渦卷渦旋機(jī)構(gòu)有關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)1的示意圖；圖6是與雙渦卷渦旋機(jī)構(gòu)有關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)2的示意圖；圖7是現(xiàn)有技術(shù)中有關(guān)帶有擴(kuò)散器的渦旋機(jī)構(gòu)的示意圖。
下文將詳細(xì)敘述本發(fā)明的實(shí)施例。除有特別說明之外，在實(shí)施例中所描述的組成元件的尺寸、形狀或相關(guān)位置等，都僅僅是本發(fā)明所列舉的例子，并不構(gòu)成對本發(fā)明范圍的限定。
圖1是本發(fā)明無油渦旋真空泵基本結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
如圖1所示，真空泵體1A具有軸11，軸11的右端與電動機(jī)2的驅(qū)動軸耦聯(lián)并由扭矩驅(qū)動其轉(zhuǎn)動。
軸11的中央偏心部分11a具有稍粗的直徑。偏心軸部分11a的相對端部通過軸承52、53和殼體4、5中的襯墊15、16可轉(zhuǎn)動地支撐著。
殼體4、5組成固定渦旋件并做成杯形，其外周壁作為外殼并用密封件密封而形成密封空間。
殼體4具有垂直于其軸線的渦卷滑動表面4b和一個在該滑動表面4b的中央部分上配設(shè)的孔，通常，軸11偏心軸部分11a之外的不偏心的軸部分可轉(zhuǎn)動地裝配在所述孔中。
殼體4帶有其內(nèi)端位于孔近旁的螺旋形渦卷7。渦卷7帶有頂槽，在該頂槽中裝有氟樹脂或類似物形成的自潤滑頂密封件14，從而在渦卷與相對的渦卷滑動面接觸時提供完全密封。
排出口4c開設(shè)在渦卷滑動表面4b的接近渦卷7的頂部的位置。從排出口4c排出的壓縮氣體過排出通道4d排出，并經(jīng)過設(shè)置在殼體4外表面4a上的排出口9B排到外部。
三個公轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17以沿圓周間隔120°的方式設(shè)置在殼體4的圓周上。
公轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17與后敘的公轉(zhuǎn)渦旋件耦聯(lián)。
殼體4的圓周壁4a具有吸入口8，該吸入口8依次與抽真空的容器(未示)連接，并通過開口8a將氣體吸入。
殼體5具有垂直于其軸線的渦卷滑動表面5b和設(shè)置在該滑動表面5b的中央部分的孔，通常，軸11的除偏心軸部分11a之外的不偏心的軸部分可轉(zhuǎn)動地裝配在所述孔中。
殼體5帶有其內(nèi)端位于孔近旁的螺旋形渦卷6。渦卷6帶有頂槽，在該頂槽中裝有頂密封件14，在渦卷與相對的渦卷滑動面接觸時提供完全密封。
排出口5c開設(shè)在渦卷滑動表面5b的接近渦卷6頂部的位置。從排出口5c排出的壓縮氣體通過排出通道5d排出，再經(jīng)過設(shè)置在殼體5外表面5a上的排出口9A排到外部。
公轉(zhuǎn)渦旋件3可轉(zhuǎn)動地裝在由殼體4和5確定的空間中。
公轉(zhuǎn)渦旋件3帶有一個盤，盤的相對側(cè)面3d、3e上形成有與固定渦旋件渦卷嚙合的渦卷26和27。
公轉(zhuǎn)渦旋件3帶有中心孔3a，軸11的偏心軸部分可轉(zhuǎn)動地由穿過該中心孔3a。中心孔3a在整個偏心軸部分11a的長度上由渦卷26a和27a圍繞。
用于冷卻泵的風(fēng)扇12、13裝在殼體5、4外側(cè)的軸11部分上。具有一組通氣孔的蓋18、19安裝在殼體4、5上并蓋住所述風(fēng)扇。
如上述的公轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17的一端支撐在殼體4上，另一端支撐在公轉(zhuǎn)渦旋件3的外周，使公轉(zhuǎn)渦旋件圍繞相對固定渦旋件偏心配置的公轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動。
下文描述具有上述結(jié)構(gòu)的實(shí)施例的操作。
參照圖1，當(dāng)軸11轉(zhuǎn)動而帶動公轉(zhuǎn)渦旋件3轉(zhuǎn)動時，從容器(未示)中抽取氣體。
通過公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷26、27作用，來自固定渦旋件渦卷6、7外端的吸入氣體被帶到由固定渦旋件渦卷和公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷確定的密封空間內(nèi)，并在這些密封空間中壓縮，被壓縮的氣體通過排出口4c、5c排出。
在該實(shí)施例中，壓縮氣體能通過設(shè)置在公轉(zhuǎn)渦旋件3的每一側(cè)(即每一固定渦旋件渦卷6、7)上的每一排出通道5d、4d排出。由此，盡可能地減少了機(jī)械損失，提高了壓縮氣體的排出效率。
由于排出通道5d、4d設(shè)置在固定渦旋件的外部5e、4e上并從殼體18、19向外延伸，因而在將一組真空泵相連時也能得到于式操作狀態(tài)。
由于偏心軸部分11a偏心地穿過公轉(zhuǎn)渦旋件3的盤，軸的兩端可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承52、53上，因此偏心軸部分相對固定渦旋件是穩(wěn)定的。
真空泵進(jìn)一步避免了因在高速旋轉(zhuǎn)中軸的彎曲和振動而帶來的噪音、發(fā)熱或耐久性降低的問題，也避免了因軸的彎曲而引起的固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件之間的不均勻接觸等問題。
由于安裝在軸承52、53外面用于冷卻渦旋件的風(fēng)扇12和13用與偏心軸部分11a相同的驅(qū)動源來驅(qū)動轉(zhuǎn)動。所以，兩個固定渦旋件的外部4e、5e能用與驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件3相同的驅(qū)動源2來冷卻。
這樣，無需用額外的驅(qū)動源來驅(qū)動風(fēng)扇，簡化了結(jié)構(gòu)，并可提供一種緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
由于用于排出壓縮氣體的排出通道4d、5d設(shè)置在風(fēng)扇12、13和固定渦旋件外部之間，軸承和排出通道4d、5d能設(shè)置在上述風(fēng)扇12、13和固定渦旋件外部4e、5e之間的空間內(nèi)，這樣，能在避免排出效率降低的前提下提供一種結(jié)構(gòu)緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
在該實(shí)施例中，風(fēng)扇12、13和固定渦旋件外部4e、5e之間的空間，從軸承15、16的外周延伸并除了安裝如支架或殼體這樣的部件外在360°的范圍上對外敞開。這樣，排出通道4d、5d可以大體設(shè)置在如圖1側(cè)視圖所示的360°范圍內(nèi)，保證為排出口9Aa和9Ba的設(shè)置留有很大余地。
圖2是依據(jù)本發(fā)明的無油渦旋真空泵的第二實(shí)施例的斷面示意圖。
除擴(kuò)散器3b與最終密封空間連通外，該實(shí)施例與圖1所示的實(shí)施例相同，所述密封空間由公轉(zhuǎn)渦旋件和固定渦旋件確定并與排出口4d相通，而且，代替另一排出口5d，一個與噴射裝置相連通的通道5g連接到擴(kuò)散器3b上。
該實(shí)施例結(jié)構(gòu)的其它部分與圖1所示實(shí)施例相同，并且相同的部件用同一序號或符號表示。
如上文所述，公轉(zhuǎn)渦旋件3具有中心孔3a，前述軸11的偏心部11a可轉(zhuǎn)動地穿過該孔3a，且孔3a在整個軸11的偏心部分11a的長度上被渦卷26a、27a包圍。
擴(kuò)散器3b安裝在臨近孔3a處。
擴(kuò)散器3b具有朝渦卷26外端的喇叭狀的大直徑部分及向著中心部分的喇叭狀小直徑部分，在其中央部分帶有小直徑噴嘴3f。
擴(kuò)散器3b還具有朝著渦卷27外端擴(kuò)大的喇叭狀部分。
孔3g和3h與固定渦卷和公轉(zhuǎn)渦卷確定的最終密封空間相通，并向擴(kuò)散器3b開口。
殼體5的圓周壁5a帶有吸入口28，吸入口28與容納有壓縮氮?dú)獾膰娚淙萜?末示)相連，經(jīng)過該吸入口28將噴射容器中的壓縮氣體經(jīng)過吸入口28a導(dǎo)入。
孔5f在接近渦卷26端部的渦卷滑動面5b的部分上形成開口，在從孔5f到殼體5圓周壁5a上的吸入口28之間設(shè)有導(dǎo)向通道5d。
孔5f和排出口4c可以始終與擴(kuò)散器3b連通。換句話說，隨著公轉(zhuǎn)渦旋件3的公轉(zhuǎn)，當(dāng)最終密封腔到達(dá)最大容積時，它們可以在瞬間同時與擴(kuò)散器連通。
代替形成擴(kuò)散器3b的中央小直徑噴嘴3f，也可以將正對著孔5f的渦卷端設(shè)置成大直徑部分，從該大直徑部分到排出口4c延伸的部分在直徑上持續(xù)減小，而且，從排出口4c延伸的排出通道4d具有較大直徑。
下文敘述具有上述結(jié)構(gòu)的第二實(shí)施例的操作過程。
參照圖2，隨著軸11的轉(zhuǎn)動，公轉(zhuǎn)渦旋件3公轉(zhuǎn)，從容器(未示)中抽取氣體。
吸入氣體從固定渦卷6、7外端吸入由公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷26、27確定的密封空間，并在該密封空間中壓縮。
噴射容器中的壓縮氣體由噴射裝置導(dǎo)向并經(jīng)過孔5f進(jìn)入擴(kuò)散器3b。
進(jìn)入由固定渦旋件渦卷和公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷確定的密封空間的氣體被壓縮后，并當(dāng)最終密封空間和開口3g、3h連通時，壓縮氣體進(jìn)入擴(kuò)散器3b。
這時，壓縮氣體與由噴射裝置噴射的噴射容器中的壓縮氣體一起經(jīng)過排出口4c排出。
如圖所示，在第二實(shí)施例中，利用噴出的氮?dú)?N2)作為噴射容器中的壓縮氣體由噴射裝置噴射進(jìn)入擴(kuò)散器，這樣，即使在抽真空的壓縮過程中來自抽真空容器的有害氣體被抽真空和濃縮，這些有害氣體也會被氮?dú)鉀_淡。
第二實(shí)施例中，再次通過在公轉(zhuǎn)渦旋件3的盤的兩側(cè)面上形成公轉(zhuǎn)渦卷26、27組成雙渦卷渦旋機(jī)構(gòu)，并且偏心軸部分22a以偏心方式穿過所述盤，其軸端部分可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件側(cè)面的軸承52、53上。
而且也將風(fēng)扇12、13安裝在軸承52、53外面，并且與偏心軸部分11a用一個驅(qū)動源驅(qū)動轉(zhuǎn)動，用來冷卻固定渦旋件。噴射通道5g設(shè)置在風(fēng)扇與固定渦旋件的外部之間。
在這種雙渦卷式的渦旋機(jī)構(gòu)中，相對偏心地穿過公轉(zhuǎn)渦旋件3的盤的偏心軸部分11a的兩端部分可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件側(cè)面的軸承52、53上，偏心軸部分11a相對固定渦旋件是穩(wěn)定的。所述真空泵避免了因在高速旋轉(zhuǎn)中軸的彎曲或振動而帶來的噪音、發(fā)熱或耐久性降低的問題，也避免了因軸的彎曲帶來的固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件之間的不均勻接觸等問題。
由于風(fēng)扇12和13安裝在軸承52、53外面，并且與偏心軸部分11a用同一驅(qū)動源驅(qū)動轉(zhuǎn)動來冷卻固定渦旋件，所以，可用單一的驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件3的驅(qū)動源來冷卻固定渦旋件的外部，而不需要另外用驅(qū)動源來驅(qū)動風(fēng)扇。因此可簡化結(jié)構(gòu)，提供一種緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
由于噴射通道5g設(shè)置在風(fēng)扇12與固定渦旋件5的外部5e之間，所以軸承53和噴射通道5f可以設(shè)置在上述風(fēng)扇和固定渦旋件的外部之間的空間中，從而提供一種緊湊的渦旋機(jī)構(gòu)。
圖3是本發(fā)明無油渦旋真空泵第三實(shí)施例的截面圖。
所示的無油渦旋真空泵1C是單渦卷型的，包括固定渦旋件30、公轉(zhuǎn)渦旋件46以及在預(yù)定位置支撐所述渦旋件使其公轉(zhuǎn)的支架40。
公轉(zhuǎn)渦旋件30安裝在支架40的端面上。
公轉(zhuǎn)渦旋件30具有確定出槽的圓周壁37和在該槽中延伸的螺旋形渦卷39，還包括大致在槽中央部位形成開口的用于排出壓縮氣體的排出口45。
在圓周壁37上設(shè)有吸入口44，有一導(dǎo)管29與吸入口44相連。氣體沿箭頭50所示方向從容器(未示)導(dǎo)入導(dǎo)管29。
公轉(zhuǎn)渦旋件46容納在支架40上的槽中，并且?guī)в写篌w與固定渦旋件30的渦卷39為同一螺旋形狀的渦卷51。
渦卷51以直角形式從與圓周壁37的端表面相互接觸的盤表面延伸。
渦卷39與渦卷51互相嚙合。
冷卻風(fēng)扇33和49在渦旋件30和46的背側(cè)形成，并用冷卻空氣冷卻這些渦旋件的里側(cè)。
每一個渦卷39、51具有在其面對另一渦旋件的頂端形成的頂槽和一安裝在該頂槽中的自潤滑頂密封件31。這樣，該機(jī)構(gòu)可利用無油摩擦驅(qū)動來帶動。
固定渦旋件30帶有鏡面研磨表面，它面對相應(yīng)的公轉(zhuǎn)渦旋件46的盤上的鏡面研磨表面，并在鄰接于該公轉(zhuǎn)渦旋件46盤上的鏡面研磨表面處形成環(huán)形槽。環(huán)形自潤滑防塵密封件32裝在環(huán)形槽中，保持由固定渦旋件30的渦卷39和公轉(zhuǎn)渦旋件46的渦卷51確定的內(nèi)部密封空間與外部的氣密封，并且防止空氣或塵土從外部被吸入。
支架40同軸地支撐帶有皮帶輪42的主驅(qū)動曲軸41，并且在相對主驅(qū)動曲軸41的軸線在徑向上間隔120°的位置上支撐三根被動曲軸43。
曲軸41和43可轉(zhuǎn)動地支撐在與公轉(zhuǎn)渦旋件46做成一體的殼體48上。隨著主驅(qū)動曲軸41的轉(zhuǎn)動，公轉(zhuǎn)渦旋件46在不自轉(zhuǎn)的情況下，以預(yù)定公轉(zhuǎn)半徑圍繞固定渦旋件30的渦卷中心公轉(zhuǎn)。
固定渦旋件30帶有吸入口36，該吸入口36與容納氮?dú)獾膰娚淙萜?未示)相連并將氮?dú)鈴脑摽谖?。吸入?6通過通道35與擴(kuò)散器34相通。
擴(kuò)散器34具有與通道35和排出口45相連的后端，并具有從小直徑噴嘴部分34a向大直徑排出口34b擴(kuò)大的喇叭狀部分。
下文敘述具有上述結(jié)構(gòu)的第三實(shí)施例的操作過程。
參照圖3，皮帶輪42的轉(zhuǎn)動引起公轉(zhuǎn)渦旋件46公轉(zhuǎn)，由此將氣體從容器(未示)吸入，并通過固定渦旋件渦卷39的外端進(jìn)入由公轉(zhuǎn)渦旋件渦卷51和固定渦旋件渦卷39限定的密封空間，在該密封空間中進(jìn)行壓縮。
同時，噴射容器中的壓縮氣體通過通道35從噴射裝置導(dǎo)入擴(kuò)散器34。
進(jìn)入密封空間的氣體壓縮后，當(dāng)最終密封腔與排出口45連通時，壓縮氣體排到擴(kuò)散器34中。
排出的壓縮氣體與噴射容器中的壓縮氣體一起通過擴(kuò)散器的排出口34b排出。
如第三實(shí)施例所述，為了將抽真空的容器中的壓縮氣體由噴射裝置排出，將壓縮氣體導(dǎo)入擴(kuò)散器，這樣壓縮氣體與噴射容器中的壓縮氣體一起排出。
當(dāng)從引入擴(kuò)散器的第一級的噴射裝置中導(dǎo)出的壓縮氣體在第二級膨脹時，由真空泵壓縮的氣體依靠擴(kuò)散器第一級所產(chǎn)生的壓降而被吸到該第一級，然后與來自噴射裝置中壓縮氣體一起從擴(kuò)散器的第二級排出。
這樣，如同第二實(shí)施例那樣，將氮?dú)?N2)作為來自噴射裝置中的壓縮氣體供入擴(kuò)散器，來自于抽真空容器的有害氣體，即使在抽真空的壓縮過程中被壓縮，也能由氮?dú)鉀_淡。
圖4是依照本發(fā)明的二級無油渦旋真空泵的剖示圖，該泵由真空泵1A和1D串聯(lián)而構(gòu)成。
參照圖4，真空泵1A是一級真空泵并帶有排出口9A，該排出口9A借助導(dǎo)管23與二級真空泵1D的吸入口8連接。一級真空泵1A還具有排出口9B，該排出口9B借助電磁閥21和導(dǎo)管24與導(dǎo)管23連通，而且也通過電磁閥22通向外部。
當(dāng)一級壓縮氣體的壓力高于1000至100Pa時，電磁閥21和電磁閥22“打開”，在從開始啟動時最初狀態(tài)下的一級泵1A中的壓縮氣體在高壓狀態(tài)下通過電磁閥22排到外部，以免被吸入二級泵1D中。
當(dāng)上述的壓縮氣體的壓力低于1000至100Pa寸，電磁閥21和電磁閥22關(guān)閉。
壓縮氣體的壓力可以通過測量抽真空容器(未示)中的壓力來確定。換言之，可根據(jù)基于容器的體積的排出特性圖和一級泵1A的操作性能來控制電磁閥21和電磁閥22，所述排出特性圖儲存在控制器10中。
控制器10帶有輸出端，它連接在控制閥21和22的控制端來控制這兩個閥的開閉，由此控制與一級泵1A和二級泵1D的驅(qū)動源連接的驅(qū)動源。
在上述具有如圖4所示結(jié)構(gòu)的實(shí)施例中，在驅(qū)動的最初階段，控制器10使電磁閥21和電磁閥22保持打開狀態(tài)并驅(qū)動一級泵1A。這樣，氣體從抽真空容器(未示)通過吸入口8吸入一級泵1A中并壓縮，由一級泵1A壓縮的高壓氣體通過排出口9A和9B排出。
從排出口9A排出的壓縮氣體通過電磁閥21導(dǎo)向并和從來自于排出口9B的壓縮氣體一起經(jīng)過電磁閥22排到外部。
當(dāng)壓縮氣體的壓力低于1000至100Pa，電磁閥21和22關(guān)閉。
因電磁閥21關(guān)閉，由固定渦旋件7和公轉(zhuǎn)渦旋件27(圖1)壓縮并來自于排出口9B的排出氣體，和來自于排出口5c的由固定渦旋件6和公轉(zhuǎn)渦旋件26壓縮的排出氣體一起通過排出口9A和導(dǎo)管23導(dǎo)入二級泵1D。
當(dāng)在某時刻操作上述電磁閥21和22使其關(guān)閉時，有可能關(guān)閉單獨(dú)的電磁閥22。在這種場合，從排出口9B排出的壓縮氣體通過電磁閥21導(dǎo)入通道23并和從排出口9A排出的壓縮氣體一起進(jìn)入二級泵1D。
與此同時，驅(qū)動二級泵，開始壓縮由一級泵導(dǎo)入的壓縮氣體。
這時，一級泵中的壓縮氣體不處于低真空度粘性范圍，這樣，不會因高溫在二級泵中產(chǎn)生發(fā)熱問題。
由于壓縮氣體在二級泵1D中再度壓縮，因而可能實(shí)現(xiàn)高壓縮比。
由于用來排出干式系統(tǒng)的壓縮氣體的排出通道朝殼體的外部延伸，因此，不會由公轉(zhuǎn)渦旋件將潤滑劑或類似物導(dǎo)入驅(qū)動源，這樣可將一級泵與二級泵串聯(lián)，從而實(shí)現(xiàn)高壓縮比。
由于是將一組無油渦旋真空泵串聯(lián)連接，并且將與外部連通的閥裝置設(shè)置在排出通道中，而要抽真空的密閉容器連接在一級泵的吸入口上，因此，在初始階段的操作中，密閉容器內(nèi)的氣體壓力接近大氣壓，并且吸入的氣體在一級泵的壓縮過程中已經(jīng)壓縮成高壓狀態(tài)。這樣，壓縮氣體在高壓作用下從一級泵通過閥裝置排到外部，而沒有供給二級泵。
當(dāng)來自一級泵的壓縮氣體壓力低于預(yù)定壓力時，關(guān)閉閥裝置，從而將來自一級泵的壓縮氣體在在二級泵中進(jìn)一步壓縮。
這樣，在壓力高于大氣壓的條件下無壓縮氣體吸入二級泵，就不可能因二級泵中的過壓縮產(chǎn)生發(fā)熱問題。由于在高壓下無熱產(chǎn)生，因此，既不會損壞真空泵的耐久性，也不會發(fā)生泵內(nèi)的燃燒和泵的損壞。
由于連接有一組真空泵，一級泵及二及泵可以用不同的驅(qū)動源驅(qū)動，因此有可能根據(jù)依次對應(yīng)于一級泵及二級泵的壓縮比的壓縮氣體負(fù)載優(yōu)化驅(qū)動源的轉(zhuǎn)動。
在容器抽真空的初期，一級泵中的壓縮氣體壓力高于大氣壓，即，容器內(nèi)真空度粘性范圍低，這時可以獨(dú)立地驅(qū)動一級泵，將壓縮氣體通過閥裝置排到外部，一級泵中的壓縮氣體壓力變得低于大氣壓時，再驅(qū)動二級泵，由此實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)運(yùn)轉(zhuǎn)。
綜上所述，根據(jù)本發(fā)明能提供一種無油渦旋真空泵，它不會降低壓縮氣體的排出效率。
另外，由于來自真空泵中的壓縮氣體通過將來自于噴射裝置的壓縮氣體供到擴(kuò)散器中而排出，因而可以形成一種改善壓縮效率的真空泵并提供一種無油真空泵，即使來自容器中的有害氣體在抽真空的壓縮過程中濃縮該泵也能將其淡化。
權(quán)利要求
1.一種雙渦卷無油渦旋真空泵，包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件；以及固定渦旋件，每個固定渦旋件帶有在相對所述固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷，所述固定渦卷分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷嚙合；所述固定渦旋件以摩擦接觸方式支撐所述公轉(zhuǎn)渦旋件；每一所述固定渦旋件具有一個盤，每個盤上帶有設(shè)置在所述公轉(zhuǎn)渦旋件每一側(cè)的用于排出壓縮流體的排出通道。
2.一種無油渦旋真空泵，用于壓縮泵體中的氣體并通過一擴(kuò)散器將壓縮氣體排到所述泵體的外部，并包括噴射裝置，該噴射裝置強(qiáng)迫地將噴射的壓縮氣體導(dǎo)入擴(kuò)散器，從而將壓縮氣體從泵體排出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無油渦旋真空泵，其特征是，所述擴(kuò)散器設(shè)置在由固定渦旋件與公轉(zhuǎn)渦旋件確定的最終壓縮腔和所述排出通道之間。
4.一種雙渦卷無油渦旋真空泵，包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件；以及固定渦旋件，每個固定渦旋件帶有在相對所述固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷，所述固定渦卷分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷嚙合；所述固定渦旋件以摩擦接觸方式支撐所述公轉(zhuǎn)渦旋件；一相對偏心地安裝在所述公轉(zhuǎn)渦旋件的盤上的偏心軸部分，該偏心軸部分的兩側(cè)部可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的無油渦旋真空泵，其特征是，在所述軸承外面裝有風(fēng)扇，所述風(fēng)扇由用于偏心軸的同一驅(qū)動源驅(qū)動而使其轉(zhuǎn)動，以冷卻固定渦旋件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的無油渦旋真空泵，其特征是，用來排出壓縮氣體的排出通道設(shè)置在每個風(fēng)扇和每個固定渦旋件外表面之間。
7.一種無油渦旋真空泵，包括雙滑卷無油渦旋機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件；一相對偏心地安裝在所述公轉(zhuǎn)渦旋件的盤上的用于驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件的偏心軸部分，該偏心軸部分的兩側(cè)部可轉(zhuǎn)動地支撐在固定渦旋件的側(cè)面軸承上，其特征是在所述軸承的外面裝有風(fēng)扇，所述風(fēng)扇由用于偏心軸部分的同一驅(qū)動源驅(qū)動而使其轉(zhuǎn)動來冷卻所述固定渦旋件；以及在所述風(fēng)扇和所述固定渦旋件的外表面之間設(shè)置有噴射通道。
8.一種無油渦旋真空泵，包括一組由閥裝置串聯(lián)連接的真空泵體，其特征是所述每一真空泵體包括一帶有設(shè)置在一個盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷的公轉(zhuǎn)渦旋件；固定渦旋件，每個固定渦旋件帶有在相對固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷，所述固定渦卷分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷嚙合，所述固定渦旋件以摩擦接觸方式支撐所述公轉(zhuǎn)渦旋件；穿過所述固定渦旋件和所述公轉(zhuǎn)渦旋件并偏心地裝在所述公轉(zhuǎn)渦旋件盤中的回轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；一安裝在所述固定渦旋件的外側(cè)表面并容納所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的殼體；一將壓縮氣體從所述公轉(zhuǎn)渦旋件每一側(cè)排到每一所述固定渦旋件盤上的排出通道；以及所述的閥裝置用于有選擇性地控制前一級真空泵的排出通道和后一級真空泵的吸入口之間的空間與外部的連通作用；以及前一級真空泵與后一級真空泵的串聯(lián)連接作用。
全文摘要
本發(fā)明提供一種雙渦卷無油渦旋真空泵,包括:一帶有設(shè)置在盤兩側(cè)的公轉(zhuǎn)渦卷26、27的公轉(zhuǎn)渦旋件3;帶有分別與每一公轉(zhuǎn)渦卷26、27嚙合的、在面對所述固定渦旋件盤的每一表面的表面上形成的固定渦卷6、7的固定渦旋件,公轉(zhuǎn)渦卷26、27與面對每一表面的所述表面摩擦接觸;一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸11,它穿過固定渦旋件和公轉(zhuǎn)渦旋件并偏心地設(shè)置在公轉(zhuǎn)渦旋件3的盤上,由此,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸11驅(qū)動公轉(zhuǎn)渦旋件3,使來自最終壓縮腔的壓縮氣體排出。殼體19安裝在固定渦旋件的外側(cè),并容納旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸11的驅(qū)動源。還設(shè)有用于排出來自公轉(zhuǎn)渦旋件3的側(cè)面3d、3e的壓縮氣體的排出通道4d、5d。排出通道4d、5d從殼體19向外延伸。
文檔編號F04C18/00GK1177681SQ9710968
公開日1998年4月1日 申請日期1997年3月28日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月28日
發(fā)明者上屋勝, 芳賀修二 申請人:阿耐斯特巖田株式會社