專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空泵，它有至少一個(gè)抽吸腔和至少一個(gè)與抽吸腔相鄰的腔，如馬達(dá)腔、驅(qū)動(dòng)裝置腔、傳動(dòng)裝置腔、曲軸腔等。
在許多工業(yè)部門，本文所涉及類型的真空泵須輸送腐蝕性和/或有毒的氣體。這些氣體可能進(jìn)入與真空泵的抽吸腔相鄰的腔內(nèi)，這些腔通常用密封裝置(軸密封環(huán)、迷宮式密封裝置等)與抽吸腔隔開。腐蝕性氣體在這些腔內(nèi)造成腐蝕或沖蝕，從而導(dǎo)致軸承提前磨損或使在那里的其他構(gòu)件損壞。此外，腐蝕性和有毒氣體會(huì)通過與抽吸腔相鄰的腔進(jìn)入大氣中。在半導(dǎo)體工業(yè)中，越來越多地需要干式真空泵，亦即至少抽吸腔是無油的真空泵。其原因在于防止在與真空泵連接的真空室內(nèi)進(jìn)行的過程受碳?xì)浠衔锏钠茐?。在半?dǎo)體工業(yè)中使用或形成的由真空泵輸送的氣體往往有這樣的性質(zhì)，即當(dāng)它們壓縮至大氣壓時(shí)形成固體。這種類型的沉積在與抽吸腔相鄰的腔內(nèi)同樣可能是有害的。
本發(fā)明的目的是改進(jìn)前言所述類型的真空泵，最大程度地排除在與抽吸腔相鄰的腔內(nèi)產(chǎn)生損壞的危險(xiǎn)以及腐蝕性或有毒氣體排出真空泵的危險(xiǎn)。
按本發(fā)明為達(dá)到此目的采取的措施是，此真空泵配備有載氣裝置(Gasballasteinrichtung)以及用于均衡的氣體的輸入通過與抽吸腔相鄰的腔進(jìn)行。按照本發(fā)明的真空泵有外部的均衡氣或沖洗氣入口和直接布設(shè)在抽吸腔殼體上的氣體進(jìn)口。在均衡氣入口與氣體進(jìn)口之間存在一個(gè)或多個(gè)與抽吸腔相鄰的要沖洗的腔，在按所述方式設(shè)計(jì)的泵中，經(jīng)由均衡氣入口進(jìn)入的氣體的作用是沖洗一個(gè)或多個(gè)與抽吸腔相鄰的腔。若腐蝕性或有毒的氣體通過其密封功能不完全或不再完全滿足的密封裝置侵入了與抽吸腔相鄰的腔內(nèi)。則在它們可能釀成禍害或進(jìn)入大氣前便與均衡或沖洗氣體一起被輸回此泵內(nèi)。本發(fā)明另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于，鑒于所選擇的均衡氣或沖洗氣入口的位置，故提供了多種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的可能性。最后，在抽吸腔殼體上布設(shè)的氣體進(jìn)口可以持續(xù)地保持開啟，所以在與抽吸腔相鄰的腔內(nèi)形成負(fù)壓。由此進(jìn)一步將腐蝕性或有毒氣體由于外部殼體中的不密封性而向外漏泄的危險(xiǎn)減到最低程度。
借助于在

圖1和2中示意表示的實(shí)施例可說明本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)和詳情。其中圖1兩級旋轉(zhuǎn)滑閥式真空泵；以及圖2多級活塞式真空泵。
在圖1中表示的旋轉(zhuǎn)滑閥式真空泵包括一個(gè)抽吸腔殼體1和一個(gè)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2。抽吸腔殼體1處于泵腔3內(nèi)，泵腔3由外部殼體4構(gòu)成，馬達(dá)在由馬達(dá)外殼6構(gòu)成的馬達(dá)腔5內(nèi)，馬達(dá)外殼通過法蘭連接在外部泵殼體4上。在抽吸腔殼體1內(nèi)有抽吸腔7和8及其轉(zhuǎn)子9和10。轉(zhuǎn)子9和10固定在馬達(dá)軸11上，馬達(dá)軸多處在抽吸腔殼體2內(nèi)支承和密封。泵較大的級7、9是進(jìn)口級并與進(jìn)口12連接。出口13連接在出口級8、10上。進(jìn)口級7、9和出口級8、10通過孔14互相連通。孔15通入此孔14中，它與泵腔3連接并在下文稱之為與抽吸腔相鄰的均衡氣或沖洗氣進(jìn)口。用16表示位于泵外部的均衡氣或沖洗氣入口。它包括閥17和節(jié)流器18。
在圖1表示的實(shí)施例中，氣體入口16設(shè)在馬達(dá)外殼6上遠(yuǎn)離泵殼體4的區(qū)域內(nèi)。當(dāng)閥17打開亦即載氣或沖洗運(yùn)作時(shí)，此氣體通過馬達(dá)腔5和泵腔3流到孔15的進(jìn)口，亦即流到直接設(shè)在抽吸腔殼體上的氣體進(jìn)口。通過不密封的軸密封裝置進(jìn)入泵腔或馬達(dá)腔內(nèi)的氣體被沖洗回出口級8、10內(nèi)。必要時(shí)可設(shè)折流板和/或多個(gè)入口接管16，以保證徹底沖洗與抽吸腔7、8相鄰的腔。若應(yīng)當(dāng)用惰性氣體例如N2沖洗或應(yīng)造成載氣(Gasballast)時(shí)，還可以在入口接管16上連接惰性氣體儲(chǔ)罐。
與抽吸腔相鄰的均衡氣或沖洗氣進(jìn)口15對泵腔3是持續(xù)開啟的。若關(guān)閉閥17，在泵腔3及馬達(dá)腔5內(nèi)形成真空。因此，進(jìn)入泵腔3及馬達(dá)腔5中的氣體不會(huì)由于在外殼4、6內(nèi)存在漏泄點(diǎn)而流到外面去。當(dāng)閥16打開時(shí)，節(jié)流器18用于保持在外殼4和6內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)。
圖2表示多級干式活塞式真空泵及其抽吸腔分殼體21和22，分殼體內(nèi)有圓柱形的抽吸腔23至26。在分殼體21、22之間有曲軸腔27，它的外殼用28表示?；钊?1至34分屬于各級并構(gòu)成八個(gè)泵室，泵室中一部分并聯(lián)，所以所畫的泵有四個(gè)泵級。它的入口用35表示，它的出口用36表示。在較早的德國專利申請19634519.7中，詳細(xì)介紹了此類型的一臺(tái)真空泵。最后一個(gè)環(huán)形的泵室構(gòu)成了所示真空泵的末級。它的進(jìn)口用37表示，它的出口用38表示。
末級泵的進(jìn)口37通過管道39與曲軸腔27連接。管道39的出口構(gòu)成與抽吸腔相鄰的氣體進(jìn)口41。氣體進(jìn)口41位于曲軸腔外殼28的其中一個(gè)端面附近。在曲軸腔外殼28上處于相對位置的端面區(qū)內(nèi)設(shè)有帶閥17和節(jié)流器18的均衡氣或沖洗氣入口16?？砂匆厌槍D1所說明的方式，用經(jīng)由氣體入口16流入的氣體沖洗曲軸腔27并在曲軸腔27內(nèi)保持負(fù)壓。
權(quán)利要求
1.有至少一個(gè)抽吸腔(7、8、23至26)和至少一個(gè)與抽吸腔相鄰的腔(3、5、27)的真空泵，其特征為它配備有載氣裝置；以及，均衡氣通過與抽吸腔相鄰的腔輸入。
2.有至少一個(gè)抽吸腔(7、8、23至26)和至少一個(gè)與抽吸腔相鄰的腔(3、5、27)的真空泵，其特征為它有外部的均衡氣或吹洗氣入口(16)和直接布設(shè)在殼體(3、22)上的氣體進(jìn)口(15、41)；以及，與抽吸腔相鄰的腔至少部分位于氣體入口(16)和氣體進(jìn)口(15、41)之間。
3.按照權(quán)利要求2所述的泵，其特征為氣體入口(16)包括閥(17)和節(jié)流器(18)。
4.按照權(quán)利要求2或3所述的泵，其特征為在泵的不同位置設(shè)多個(gè)氣體入口(16)。
5.按照權(quán)利要求2、3或4所述的泵，其特征為一個(gè)或多個(gè)入口(16)與一個(gè)惰性氣體儲(chǔ)罐連接。
6.按照前列諸權(quán)利要求之一所述的泵，其特征為它設(shè)計(jì)為旋轉(zhuǎn)滑閥式真空泵。
7.按照權(quán)利要求6所述的泵，其特征為它設(shè)計(jì)成兩級的；它有一泵腔(3)和一馬達(dá)腔(5)；以及，有一孔(15)，此孔將在兩個(gè)級(7、9和8、10)之間的連通孔(14)與泵腔(3)連接起來。
8.按照權(quán)利要求7所述的泵，其特征為氣體入口(16)設(shè)在馬達(dá)殼體(6)上。
9.按照權(quán)利要求1至5之一所述的泵，其特征為它設(shè)計(jì)為多級的活塞式真空泵。
10.按照權(quán)利要求9所述的泵，其特征為最后一級泵的進(jìn)口(37)與曲軸腔(27)連接。
11.按照權(quán)利要求10所述的泵，其特征為在曲軸腔(27)內(nèi)的管道(39)出口(41)和氣體入口(16)設(shè)在曲軸腔外殼(28)上彼此相對的端面區(qū)內(nèi)。
12.按照權(quán)利要求1至11之一所述的泵，其特征為它是一種干式泵。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種真空泵,它有至少一個(gè)抽吸腔(7、8、23至26)和至少一個(gè)與抽吸腔相鄰的腔(3、5、27);為了避免在相鄰腔內(nèi)受被輸送氣體引起的損壞,規(guī)定此真空泵配備有載氣裝置,以及均衡氣的輸入通過與抽吸腔相鄰的腔進(jìn)行。
文檔編號(hào)F04C28/28GK1243563SQ98801692
公開日2000年2月2日 申請日期1998年1月20日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月6日
發(fā)明者漢斯·約瑟夫·布格哈德, 沃爾夫?qū)ぜ惵? 魯?shù)婪颉ぐ秃漳?申請人:萊博爾德真空技術(shù)有限責(zé)任公司