專利名稱：用于腐蝕性或爆炸性氣體的壓力傳感設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于腐蝕性或爆炸性氣體的壓力傳感設(shè)備。 更具體而言，這種設(shè)備可裝配在流體振蕩器型氣體或液體流量
計上，但也可用于其它類型的壓力傳感器，包括例如麥克風(fēng)中的聲
壓傳感器。
背景技術(shù)：
在文獻(xiàn)FR 2746147A中以示例的方式描述了在本發(fā)明范圍內(nèi)的 靜態(tài)流體振蕩器類型。
在這種流量計中，待測流體流過外殼(enclosure),在外殼中 產(chǎn)生湍流并且生成周期性壓力振蕩，其振蕩頻率與流體流量成比例。
這些壓力振蕩與發(fā)生在樂器、特別是管樂器中的現(xiàn)象基本相似。
實(shí)際上，在這樣的樂器中，演奏者在呼吸時生成表示壓力和流 量變化的音頻信號。
這些信號的頻率是可聽的且具有較高振幅，這些信號具有由清 晰的基頻與許多諧頻疊加產(chǎn)生的復(fù)雜波形。
演奏者可以根據(jù)他所聽到的來控制呼吸的流量和壓力，進(jìn)而使
上述信號被自動調(diào)節(jié)以獲得期望的音頻。
使靜態(tài)流體振蕩器型流量計在外殼中獲得周期性壓力振蕩，其 頻率在較寬的頻率范圍上盡可能精確地與流過外殼的流體流量成比 例。
因此，測量和利用表示這些周期性壓力變化的信號就能確定流 過振蕩器的流體流量。
為了測量該流量，已經(jīng)提出可以裝備有熱溫度探測器的流體振蕩器。
4實(shí)際上，流過振蕩器的流體將這些溫度探測器冷卻，冷卻速度 與流體流速成比例，因此，對溫度進(jìn)行測量就能確定所探求的流量。
然而，這種測量僅在液體的情況下可行，而不適用于氣體，因 為在氣體情況下熱變化太小。
為了彌補(bǔ)這個缺陷并且使液體和氣體的流量都能得到測量，已 經(jīng)提出可以裝備有壓力傳感器，特別是定位在流體振蕩器入口的兩 側(cè)上的差壓傳感器的流體振蕩器。
所述壓力傳感設(shè)備示例性地包括
壓力孔，其與測量電路連接，將表示待測壓力變化的音頻信號 發(fā)送至測量膜上，具體來說，發(fā)送至固定在測量腔中的金屬膜上， 該膜在施加于其上的音頻信號的作用下發(fā)生變形；
變形傳感器，其感應(yīng)這些機(jī)械變形并且能夠?qū)⑺鼈冝D(zhuǎn)換為電信 號；以及
電子放大器，其與所述變形傳感器相關(guān)聯(lián)。
在這種壓力傳感設(shè)備中，測量膜的一側(cè)上沒有任何元件能夠被 到達(dá)其高度的流體擾動；然而，該膜的第二側(cè)裝備有電氣部件且電 流流過所述電氣部件，因此，所述膜不能與爆炸性或化學(xué)侵蝕性產(chǎn) 口口 相容。
因此，這種類型的壓力傳感設(shè)備能夠用作相對壓力傳感器，用 以測量施加在測量膜的無任何危險元件側(cè)上的壓力；然而，其不能 用作差壓傳感器，因?yàn)樵跍y量膜的兩側(cè)中的一側(cè)上有電流流過，從 而可能產(chǎn)生腐蝕現(xiàn)象以及更重要的是爆炸。
為了克服此難點(diǎn)，已經(jīng)提出可以背對背地安裝兩個相同的壓力 傳感器，使得兩個測量膜相對且僅僅使它們的無任何電氣部件的表 面與待測流體接觸。
然而，這樣安裝難以平衡兩種壓力測量，并且主要是難以獲得 穩(wěn)定的零點(diǎn)和對稱的信號。
此外，在有爆炸性或者化學(xué)侵蝕性流體的情況下，這種系統(tǒng)變 得非常復(fù)雜且因此昂貴和龐大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，通過提出上述類型的壓力傳感設(shè)備來克服 這些缺陷，這種壓力傳感設(shè)備能被用作解決平衡和零點(diǎn)穩(wěn)定性問題 的差壓傳感器。
根據(jù)本發(fā)明，此設(shè)備還必須足夠敏感，使其能夠檢測到1毫巴
(mbar )量級的壓力變化，然而，它體積較小且與傳統(tǒng)的傳感器相 比其價格具有竟?fàn)幜Α?br> 出于這個目的，本發(fā)明提出一種適用于腐蝕性或爆炸性氣體的 壓力傳感設(shè)備，其特征在于，測量電路包括防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝 置和用來過濾音頻信號的過濾裝置。
由于通常在流體振蕩器中壓力變化的幅值非常小，其量級大約 為lmbar，并且如在樂器中一樣，在壓力孔處獲得并傳輸?shù)綔y量電路 中的信號由于清晰的基頻與許多與擾動頻率相應(yīng)的諧頻疊加而具有 復(fù)雜的波形，在將信號施加到測量膜上之前必須盡可能地濾除擾動 頻率，因此，有必要通過這種過濾裝置使得向變形傳感器發(fā)送的音 頻信號精確且"清晰"，所述精確且"清晰"的信號隨后能被容易 地利用。
根據(jù)本發(fā)明的 一 個優(yōu)選技術(shù)方案，防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝置包 括非常薄的保護(hù)膜，該保護(hù)膜可發(fā)生輕微彈性變形且由耐強(qiáng)腐蝕的 材料制成。
該膜被阻隔(block)在狹窄的保護(hù)腔內(nèi)。
有利地，這種膜由Kapton⑧不銹鋼或磷青銅制成，通常，該膜 的厚度極小，其量級為0. Olmm,而直徑的量級為20mm，使得在再次 發(fā)送在壓力孔處獲得的表示壓力變化的音頻信號時，壓力信號基本 上沒有任何衰減。
該膜在測量電路中、尤其在位于壓力孔的沿音頻信號傳播方向 下游附近的管中可能會意外產(chǎn)生非常大的壓力變化，而為了保護(hù)該 膜在壓力變化非常大的情況下不被撕裂，將該膜安裝在狹窄的保護(hù) 腔內(nèi)部，該保護(hù)腔通常為圓柱形且該膜被阻隔在其中。該保護(hù)腔能夠?qū)⒈Ｗo(hù)膜變形的最大位移限制在lmm量級。 實(shí)際上，由于保護(hù)膜具有可輕微彈性變形的特性，在施加極高
過壓的情況下，保護(hù)膜展平抵靠在保護(hù)腔的壁上，因而阻止其發(fā)生
變形而損害其彈性和機(jī)械特性。
可以根據(jù)需要設(shè)置密封件來保證膜被很好地密封。
然而，在正常的操作中，保護(hù)膜在保護(hù)腔內(nèi)振蕩且不與該腔的
壁接觸；因此，在測量電路的位于保護(hù)膜的沿這些信號傳播方向的
下游部分，在壓力孔處獲得的音頻信號被完整地發(fā)送而基本上沒有
任何衰減。
應(yīng)當(dāng)注意的是，為了避免這些音頻信號衰減或擾動，必須使連 接壓力孔與保護(hù)腔的管具有較小的直徑和較短的長度。
根據(jù)本發(fā)明的另 一 個特別有利的優(yōu)選方案，防腐蝕和防爆炸保 護(hù)裝置還包括保護(hù)管，該保護(hù)管安裝在保護(hù)腔和保護(hù)膜的沿音頻信
號傳播方向的下游處。
根據(jù)本發(fā)明，該保護(hù)管的截面優(yōu)選為0. 3mm2量級，長度為7mm; 設(shè)計形成防爆炸屏障且在發(fā)生爆炸的情況下用作阻火器，其能使氣 體噴射分層并膨脹冷卻，因而阻止火焰蔓延至傳感器的電氣部件。
防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝置的具體結(jié)構(gòu)、特別是其設(shè)計符合歐洲標(biāo) 準(zhǔn)EN 12874 *見定的"阻火器操作限制和性能要求(flame arrester operating limits and performance requirements)，，。
此外，該保護(hù)管包括旁通道，其具有較小的直徑且形成流體阻力， 因此，該旁通道能夠用作電路電阻。
因此，保護(hù)管的該旁通道對應(yīng)于過濾裝置的一個主要元件，其能 夠使音頻信號在通過變形傳感器轉(zhuǎn)換為電信號之前被過濾，以使擾 動頻率能夠被濾除。
實(shí)際上，根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，音頻信號過濾裝置包 括至少 一個赫爾姆霍茨型共振器，其包括保護(hù)管的旁通道和用作諧 振室的腔的組合，該腔連接在該旁通道的沿音頻信號傳播方向的下 游處。
這種諧振器是為技術(shù)人員所公知的，并且從電子學(xué)的觀點(diǎn)符合低通RC過濾器。
該諧振器能夠?qū)Πl(fā)送到其上的音頻信號進(jìn)行特別高效的過濾，因 為該諧振器對某些敏感頻率進(jìn)行高度放大，具體而言，諧振器的固 有諧振頻率較低，其被最大程度地增強(qiáng)。
應(yīng)當(dāng)理解的是，根據(jù)待過濾頻率的特性來確定用作諧振室的腔的
尺寸，通常，該腔的容積為幾mm3。
根據(jù)本發(fā)明的另 一 個特別有利的方案，音頻信號過濾裝置包括至 少兩個連續(xù)安裝在測量電路中的赫爾姆霍茨型共振器，所述諧振器 具有不同的固有諧振頻率。
串聯(lián)地增加該第二赫爾姆霍茨型共振器構(gòu)成二級過濾，使得僅允 許在測量腔的輸入端獲得的音頻信號的基頻通過，而大量地濾除擾 動頻率。
應(yīng)當(dāng)注意的是，必須根據(jù)待測流體(液體或氣體)的特性來對赫 爾姆霍茨型諧振器的剛性腔和管的幾何結(jié)構(gòu)和尺寸進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)。
在不可壓縮流體的情況下，腔必須是可彈性變形的且有利地包括 通過構(gòu)造具有彈性的波紋管。
根據(jù)本發(fā)明的另一種技術(shù)方案，測量腔通過測量通道與赫爾姆霍 茨型諧振器中的至少 一個連接，所述諧振器為安裝在沿音頻信號傳 播方向下游處的諧振器，使得測量腔限定有另 一 個赫爾姆霍茨型諧 振器。
因而，根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備能夠在三個不同的固有諧振頻率處獲得 至少三個過濾級，這三個過濾級累加構(gòu)成三級過濾，確保在所有擾 動頻率被濾除之后僅朝向測量膜傳輸音頻信號的基頻。
因而，這樣的過濾能夠檢測到低于lmbar的頻率變化。 根據(jù)本發(fā)明的另一種技術(shù)方案，三個赫爾姆霍茨型共振器的固有 頻率被調(diào)節(jié)，使得它們的結(jié)合給出了適合于通過流體振蕩器的腔產(chǎn)
生的全部所需信號的帶寬。
包含在兩個膜之間的容積如果存在，則可以填充高粘性液體 (油)，使得振動現(xiàn)象被吸收。
應(yīng)當(dāng)注意的是，可以根據(jù)所要實(shí)施的處理來增加或減少過濾的級數(shù)。
還應(yīng)當(dāng)注意的是，根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備可以被認(rèn)為與人耳的結(jié)構(gòu)相 當(dāng)，在人耳的結(jié)構(gòu)中，在通過保護(hù)膜(鼓膜)封閉的耳廓中接收音 頻信號，該保護(hù)膜(鼓膜)在內(nèi)耳中本身與聽小骨和迷路相關(guān)聯(lián)， 所述迷路對應(yīng)于充滿液體的且在中央部分包含膜的管，該管被認(rèn)為 與根據(jù)本發(fā)明設(shè)備的濾聲器相當(dāng)。
聲波振動在該管中的傳播通過沿管布置的壓力傳感器來檢測，所 述壓力傳感器由在不同頻率回響的具有不同長度的細(xì)絲組成，以刺 激聽神經(jīng)。
根據(jù)本發(fā)明的另一種技術(shù)方案，測量膜包括可彈性變形的膜，其 優(yōu)選由硅制成，在其一個面上蝕刻電阻且優(yōu)選安裝惠斯登電橋，這 些電阻中的至少一個感測膜的變形。
當(dāng)電流流過時，構(gòu)成變形傳感器的這些電阻能獲得電信號，所述 電信號表示在上游處濾除擾動頻率之后發(fā)送給測量膜的音頻信號。
在放大之后，這些電信號構(gòu)成特別清晰且精確的測量信號，所述 測量信號能夠容易地被微處理器處理。
根據(jù)本發(fā)明的另一種技術(shù)方案，測量腔通過具有較小截面的出口 通道與外部環(huán)境相連。
有必要增加這種通道，在根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備中，保護(hù)膜與測量膜 之間的空間形成密封閉合的容積。
實(shí)際上，在制造和裝配此設(shè)備的過程中，可以向該閉合的容積中 引入相對于外部大氣壓力的過壓。
此時，這種過壓引起測量零點(diǎn)漂移。
出口通道能通過在該閉合容積和大氣之間形成持久泄漏，由此通 過去除所述過壓來彌補(bǔ)該缺陷。
有利地，該出口通道的截面非常小，其量級為0. lmm2，而長度為 幾厘米，使得通過與待測信號的頻率相關(guān)的最大時間常數(shù)相比較大 的時間常數(shù)，抽空該過壓。
然而，該出口通道可致使大氣水蒸氣透入到測量腔內(nèi)，因此必須 力口以避免。
根據(jù)本發(fā)明，有利地，優(yōu)選在出口通道的出口孔處裝備具有允許
9空氣通過而阻止水分子通過特性的選擇性多孔膜，優(yōu)選PTFE基膜。 當(dāng)前，這種類型的膜被用于醫(yī)療應(yīng)用中。
應(yīng)當(dāng)注意的是，上述設(shè)備能夠保證在壓力傳感器用于測量與主要 施加在測量膜的一側(cè)上的外部大氣壓力相比的相對壓力變化的情況
下，其結(jié)果是令人滿意的。
然而，根據(jù)本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，壓力傳感設(shè)備包括兩個 壓力孔，所述兩個壓力孔與兩個相同的且在包含測量膜的測量腔的 任 一 側(cè)上對稱連接的測量電路連接，以形成差壓傳感器。
應(yīng)當(dāng)注意的是，在這種差壓傳感器中，出口通道必須包括兩個分 支，以使測量膜的兩側(cè)直接與大氣相連并且連續(xù)地平衡過壓，從而 避免測量持久地不平衡。
根據(jù)上述內(nèi)容，實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的差壓傳感設(shè)備滿足下列要求
其特別靈敏且能檢測到lrabar量級的壓力變化；
其具有防爆性能；
其感應(yīng)部分不與待測流體接觸以避免任何腐蝕問題； 其包括濾聲級且因此對所產(chǎn)生的頻率干擾現(xiàn)象不敏感；
壓差測量是自動平衡的。


以下將參照附圖、但不限于附圖對壓力傳感設(shè)備的特征、即本發(fā) 明的目的進(jìn)行更加詳細(xì)的描述，其中
圖1為裝配在適于測量氣體流量的流體振蕩器型流量計上的示 例設(shè)備的示意圖la示出了與圖1中所示設(shè)備的腔類似的腔，其適于測量不可 壓縮液體流量；
圖2是流體振蕩器的一種實(shí)施方式的一個示例的分解透視圖， 其中，該流體振蕩器裝備有根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備。
具體實(shí)施例方式
圖1示意性地顯示出振蕩器的外殼I,待測流體在該外殼I中流動。
10參照圖1，壓力傳感設(shè)備主要包括測量膜1和兩個壓力孔3、 3', 其中，測量膜1固定在測量腔2中，兩個壓力孔3、 3M立于外殼I 的內(nèi)部并且分別與測量電路4、 4'連接，將表示待測壓力變化的音頻 信號發(fā)送到膜1的兩側(cè)上。
這兩個測量電^各4、 4'完全相同并且對稱地安裝在測量膜1的兩 側(cè)上。
用粗線表示電路4，用較細(xì)的線表示另一個電路〃。 出于簡化的目的，在本說明書的下述內(nèi)容中僅對電路4進(jìn)行描述。
測量電i 各包^^舌與測量電^各4中相應(yīng)的元件X相同的元件X'。 參照圖1,測量膜1為由硅制成的可彈性變形膜。 在膜的 一 個面上蝕刻示意性示出的安裝有惠斯登電橋 (Wheatstone-bridge )的一組電阻5，并且與電流供給電路連接。 這些電阻中的至少一個能夠感測測量膜1的變形。 在外殼I中壓力孔3處獲得的音頻信號在通過測量電路4之后被
施加到測量膜1的未裝備電阻5的一側(cè)上。
在壓力孔3的下游處，所述電路4裝備有串聯(lián)安裝的防腐蝕和防
爆炸保護(hù)裝置和過濾裝置，在本說明書的下述內(nèi)容中將對此進(jìn)行更
力口詳纟田的i兌明。
測量膜1在由此施加到其上的音頻信號的作用下發(fā)生機(jī)械變形。 這些變形在惠斯登電橋5處被轉(zhuǎn)換為表示音頻信號的電信號。 這些電信號隨后被發(fā)送至與其相關(guān)聯(lián)的電子放大器20。 電子信號處理回路21包括自動校正過濾器，使得能夠獲得所需"息。
參照圖1,測量電路4包括從壓力孔3處延伸的管6。
管6較短且直徑較小，從而不會干擾在壓力孔3處獲得的音頻信
號，該管6通向圓柱形的狹窄保護(hù)腔7,非常薄的保護(hù)膜8被阻隔在
該4呆護(hù)腔7中。
該膜8被制造使得音頻信號從管6發(fā)送至具有較小尺寸的防爆保 護(hù)管9,而音頻信號基本上沒有任何衰減，該防爆保護(hù)管9安裝在管 6的沿音頻信號9J專播方向的下游處。該保護(hù)管具有多種功能，第一功能在于能將音頻信號傳輸至測量 膜1。
同時，該保護(hù)管9用作防爆和阻火屏障。
此外，該保護(hù)管9包含旁通道92，其構(gòu)成第一過濾級元件，用于 過濾音頻信號，將擾動頻率從音頻信號中濾除。
保護(hù)管的旁通道92實(shí)際上為水壓電阻器，其沿音頻信號的傳播 方向與腔10相關(guān)聯(lián)，其中，腔10用作在旁通道92的下游處連接的 諧振室。
管92與腔10的組合構(gòu)成對應(yīng)于諧振發(fā)聲系統(tǒng)的赫爾姆霍茨型諧 振器，其能夠放大特定頻率，且能夠?qū)Πl(fā)送到其上的音頻信號進(jìn)行 有效過濾。
參照圖1，為了改進(jìn)該過濾并確保測量電路4僅向測量膜l發(fā)送 經(jīng)濾除諧頻而獲得的信號的基頻分量，赫爾姆霍茨型諧振器92， 10 增加了包括串聯(lián)安裝在第 一赫爾姆霍茨型諧振器下游的第二赫爾姆 霍茨型諧振器的第二過濾級。
該第二赫爾姆霍茨型振蕩器還包括的小尺寸管11和第二腔12 的組合，其中，管ll構(gòu)成水壓電阻器，第二腔12用作在該管11的 沿音頻信號傳播方向的下游處連接的諧振器。
由此獲得的二級過濾僅允許音頻信號的基頻的大部分通過。
參照圖1,在可壓縮氣體的情況下，可調(diào)節(jié)活塞1(V 12!能夠使 腔10、 12的容積發(fā)生變化，從而設(shè)置由此構(gòu)成的赫爾姆霍茨型諧振
器的固有諧振頻率。
參照圖la,在不可壓縮液體的情況下，腔102、 122由可調(diào)節(jié)的 彈性波紋管制成，其中，借助調(diào)節(jié)螺釘103、 123對波紋管進(jìn)行調(diào)節(jié)。
參照圖1,第二赫爾姆霍茨型振蕩器11、 12通過另一個管13與 測量腔2連接，該管13也對應(yīng)于水壓電阻器并由此與測量腔2組合 而構(gòu)成第三過濾級元件。
包括管13和測量腔2的組件實(shí)際上是第三赫爾姆霍茨型過濾器， 其能對來自外殼I的音頻信號進(jìn)行準(zhǔn)第三次過濾，該音頻信號在壓 力孔3處獲得且經(jīng)由測量電路4發(fā)送至測量膜1。
應(yīng)當(dāng)注意的是，管9、 11、 13和腔10、 12、 2的尺寸非常?。磺?br> 12的容積實(shí)際上小于1/2 cm3,而管的長度小于10mm且它們的直徑小 于lmm。
三個赫爾姆霍茨型過濾器的固有頻率被調(diào)節(jié)，使得它們的結(jié)合給 出適合于通過流體振蕩器的腔產(chǎn)生的全部所需信號的帶寬。
此外，最終自動校正過濾進(jìn)行自調(diào)節(jié)以允許該頻帶通過，以便在 數(shù)字處理之前濾除在最終放大之前的背景噪聲。
參照圖1,測量腔2在測量膜1的任一側(cè)上在腔10處通過截面 非常小(例如0.1mm2)的出口通道14與外部環(huán)境連通。
該出口通道14裝備有本身已公知且具有允許空氣通過但阻止水 分子通過的具體特征的選擇性膜15。
參照圖2,流體振蕩器包括青銅元件，其多個部分通過螺釘16 ^皮jt匕i^4姿。
待測流體沿箭頭A的方向進(jìn)入該振蕩器且在流經(jīng)外殼I之后沿箭 頭B的方向離開該振蕩器。
所述流體的非常少的部分在壓力孔3、 3'處被傳輸?shù)綁毫鞲性O(shè) 備中，該壓力傳感設(shè)備的不同元件的附圖標(biāo)記被指定與圖1中的相同。
密封件17在孔3、 3'和包含測量膜1的測量腔2之間通過穿過 包含保護(hù)膜8的保護(hù)腔7、 7'和赫爾姆霍茨型振蕩器9、 10; 11、 12 和9\ 10'; 11'、 12來確保音頻信號在測量電路中的整個傳播路徑 上被密封。
權(quán)利要求
1.一種用于腐蝕性或爆炸性氣體的壓力傳感設(shè)備，其特別用于裝配在靜態(tài)流體振蕩器型氣體或液體流量計上，所述傳感設(shè)備包括壓力孔(3)，其與測量電路(4)連接，將表示待測壓力變化的音頻信號發(fā)送至固定在測量腔(2)中的測量膜(1)上，所述測量膜(1)在施加于其上的音頻信號的作用下發(fā)生變形；變形傳感器(5)，其能夠感測所述機(jī)械變形并且能夠?qū)⑺鰴C(jī)械變形轉(zhuǎn)換為電信號；和電子放大器，其與所述變形傳感器(5)相關(guān)聯(lián)，其特征在于所述測量電路(4)包括防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝置(7，8，9)和過濾裝置(9，10；11，12；13，2)，所述過濾裝置用來過濾音頻信號，使得在將這些音頻信號施加到所述測量膜(1)上之前濾除這些信號的擾動頻率。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于 所述防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝置包括非常薄的保護(hù)膜(8),其能夠發(fā)生輕微彈性變形，并由耐強(qiáng)腐蝕的材料制成且被阻隔在狹窄的 保護(hù)腔(7)內(nèi)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于 所述防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝置包括保護(hù)管(9)，其在音頻信號傳播方向上安裝在所述保護(hù)膜(8)的下游處。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于 所述音頻信號過濾裝置包括至少一個赫爾姆霍茨型諧振器，所述諧振器包括所述保護(hù)管(9)的旁通道(92)和用作諧振室的腔(10) 的組合，所述腔(10)連接在沿音頻信號傳播方向的下游。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于 所述音頻信號過濾裝置包括至少兩個連續(xù)安裝在測量電路(4 )上的赫爾姆霍茨型諧振器(92, 10; 11, 12)，所述諧振器具有不同 的固有諧振頻率。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的設(shè)備，其特征在于所述測量腔(2)通過測量通道(13)與所述赫爾姆霍茨型諧振 器(11， 12)中的至少一個連接，使得測量腔(2)限定有另一個赫 爾姆霍茨型諧振器。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于調(diào)節(jié)所述赫爾姆霍茨型共振器的固有頻率，使得在其下游處獲得 用于全部所需音頻信號的帶寬。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于 所述測量膜(1)包括可彈性變形的膜，其優(yōu)選由硅制成，在其一個面上蝕刻電阻(5 )且優(yōu)選安裝惠斯登電橋，這些電阻中的至少 一個感測所述膜(1)的變形，從而這些電阻能夠感測壓力。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于 所述測量腔(2)通過具有較小截面的出口通道(14)與外部環(huán)境相連，所述出口通道(14)優(yōu)選通過防潮膜(15)封閉。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于 所述設(shè)備包括兩個壓力孔(3， 3')，所述兩個壓力孔(3, 3。與在包含測量膜(1)的測量腔(2)的兩側(cè)上對稱連接的兩個相同 的測量電路(4, 4')相連，形成差壓傳感器。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于腐蝕性或爆炸性氣體的壓力傳感設(shè)備，該壓力傳感設(shè)備特別用于裝配在流體振蕩器型流量計上，該壓力傳感設(shè)備包括壓力孔(3)，其與測量電路(4)連接，以將音頻信號發(fā)送至固定在測量腔(2)中的測量膜(1)上；變形傳感器(5)，其感測該膜的變形且能夠?qū)⑺鼈冝D(zhuǎn)換為電信號；和電子放大器，其與該變形傳感器(5)相關(guān)聯(lián)，其特征在于測量電路(4)包括防腐蝕和防爆炸保護(hù)裝置(7，8，9)和過濾裝置(9，10；11，12；13，2)，所述過濾裝置用來過濾音頻信號，以濾除這些信號的擾動頻率。
文檔編號F15B5/00GK101493102SQ200810085679
公開日2009年7月29日 申請日期2008年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者J-P·尼特克基 申請人:托克海姆控股有限公司