一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵。
【背景技術(shù)】
[0002]分子泵作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設(shè)備，已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體等行業(yè)中。目前，分子泵主要有兩種，一種是渦輪分子泵，另一種是復(fù)合分子泵。其中渦輪分子泵可以獲得較大的抽速，但難以獲得較大的壓縮比，而在一些半導(dǎo)體行業(yè)中，要求在較寬的壓力范圍內(nèi)具有較大的抽速，而渦輪分子泵并不合適。
[0003]對(duì)于復(fù)合分子泵，在獲得較大抽速的同時(shí)，還可獲得較大的壓縮比，因此在半導(dǎo)體等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用?，F(xiàn)有的復(fù)合分子泵主要分為兩類，一類是由渦輪分子泵與盤式牽引分子泵組合設(shè)計(jì)而成，即帶盤式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵；另一類是由渦輪分子泵與筒式牽引分子泵組合設(shè)計(jì)而成，即帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵。對(duì)于第一類復(fù)合分子泵，盡管其具有較大的抽速，但受到盤式牽引分子泵抽氣方式的限制，其使用率并不高。對(duì)于第二類復(fù)合分子泵，是現(xiàn)階段使用最為普遍的復(fù)合分子泵，不但具有較大的抽速，同時(shí)還具有較高的抽氣效率。
[0004]盡管帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵在結(jié)構(gòu)上滿足了渦輪級(jí)與牽引級(jí)氣流方向的一致性，但是，由于渦輪級(jí)抽速與牽引級(jí)抽速存在著較大差別，牽引級(jí)與渦輪級(jí)之間的這種抽速不匹配會(huì)導(dǎo)致復(fù)合泵實(shí)際抽速的下降，影響復(fù)合分子泵的抽氣效率。只有進(jìn)一步改善復(fù)合分子泵的牽引級(jí)與渦輪級(jí)之間的抽速匹配關(guān)系，進(jìn)而縮小實(shí)際抽速與理論抽速之間的差距，才能夠保證復(fù)合分子泵良好的抽氣效率和抽氣性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，通過在復(fù)合分子泵的渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)銜接處增加過渡結(jié)構(gòu)，保證渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速銜接，且抽速能夠合理匹配，使復(fù)合分子泵的抽氣通道更加順暢，從而提高復(fù)合分子泵的實(shí)際抽速，并進(jìn)一步改善復(fù)合分子泵的抽氣效率和抽氣性能。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，包括渦輪級(jí)、筒式牽引級(jí)和驅(qū)動(dòng)主軸，所述渦輪級(jí)包括靜葉片和動(dòng)葉輪，所述筒式牽引級(jí)包括牽引轉(zhuǎn)子和定子，所述動(dòng)葉輪及牽引轉(zhuǎn)子固定套裝在驅(qū)動(dòng)主軸上，其特點(diǎn)是:在所述動(dòng)葉輪與牽引轉(zhuǎn)子銜接處設(shè)置有過渡結(jié)構(gòu)。
[0007]所述過渡結(jié)構(gòu)設(shè)置為短渦輪葉片、盤式牽引結(jié)構(gòu)件或螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件。
[0008]當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)采用短渦輪葉片時(shí)，所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒，定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽，短渦輪葉片與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在與短渦輪葉片軸向?qū)?yīng)的牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)有通氣倒角。
[0009]當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)采用盤式牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒，定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽，盤式牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在盤式牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有型線溝槽。
[0010]所述型線溝槽的線型為阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線或圓弧線。
[0011]當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)采用螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，所述定子為光筒，牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)有螺旋槽，螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有輔助過渡螺旋槽，所述輔助過渡螺旋槽的槽深及槽寬大于牽引轉(zhuǎn)子上螺旋槽的槽深及槽寬。
[0012]本發(fā)明的有益效果:
[0013]本發(fā)明通過在復(fù)合分子泵的渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)銜接處增加過渡結(jié)構(gòu)，保證渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速銜接，且抽速能夠合理匹配，使復(fù)合分子泵的氣體通道更加順暢，從而提高復(fù)合分子泵的實(shí)際抽速，并進(jìn)一步改善復(fù)合分子泵的抽氣效率和抽氣性能。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵(過渡結(jié)構(gòu)采用短渦輪葉片時(shí))結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本發(fā)明的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵(過渡結(jié)構(gòu)采用盤式牽引結(jié)構(gòu)件時(shí))結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵(過渡結(jié)構(gòu)采用螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件時(shí))結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中，I—靜葉片，2—?jiǎng)尤~輪，3—牽引轉(zhuǎn)子，4—定子，5—驅(qū)動(dòng)主軸，6—過渡結(jié)構(gòu)，7—螺旋槽，8—通氣倒角，9 一型線溝槽，10—輔助過渡螺旋槽。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0019]如圖1、2、3所示，一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，包括渦輪級(jí)、筒式牽引級(jí)和驅(qū)動(dòng)主軸5，所述渦輪級(jí)包括靜葉片I和動(dòng)葉輪2，所述筒式牽引級(jí)包括牽引轉(zhuǎn)子3和定子4，所述動(dòng)葉輪2及牽引轉(zhuǎn)子3固定套裝在驅(qū)動(dòng)主軸5上，其特點(diǎn)是:在所述動(dòng)葉輪2與牽引轉(zhuǎn)子3銜接處設(shè)置有過渡結(jié)構(gòu)6。
[0020]所述過渡結(jié)構(gòu)6設(shè)置為短渦輪葉片、盤式牽引結(jié)構(gòu)件或螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件。
[0021]當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)6采用短渦輪葉片時(shí)，所述牽引轉(zhuǎn)子3為光筒，定子4內(nèi)開設(shè)螺旋槽7，短渦輪葉片與牽引轉(zhuǎn)子3固定連接，在與短渦輪葉片軸向?qū)?yīng)的牽引轉(zhuǎn)子3上開設(shè)有通氣倒角8。
[0022]當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)6采用盤式牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，所述牽引轉(zhuǎn)子3為光筒，定子4內(nèi)開設(shè)螺旋槽7，盤式牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子3固定連接，在盤式牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有型線溝槽9。
[0023]所述型線溝槽9的線型為阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線或圓弧線。
[0024]當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)6采用螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，所述定子4為光筒，牽引轉(zhuǎn)子3上開設(shè)有螺旋槽7，螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子3固定連接，在螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有輔助過渡螺旋槽10，所述輔助過渡螺旋槽10的槽深及槽寬大于牽引轉(zhuǎn)子3上螺旋槽7的槽深及槽寬。
[0025]下面結(jié)合【附圖說明】本發(fā)明的一次工作過程:
[0026]如圖1所示，當(dāng)復(fù)合分子泵的過渡結(jié)構(gòu)6采用短渦輪葉片時(shí)，復(fù)合分子泵在工作時(shí)，動(dòng)葉輪2、牽引轉(zhuǎn)子3及銜接處的短渦輪葉片一同隨著驅(qū)動(dòng)主軸5高速旋轉(zhuǎn)，通過短渦輪葉片進(jìn)一步提高了銜接處的抽氣能力，通過與牽引轉(zhuǎn)子3上的通氣倒角8相配合，可以使氣體更加順暢的進(jìn)入到定子4的螺旋槽7內(nèi)，保證了渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速銜接，從而解決了渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速匹配問題，進(jìn)一步提高了復(fù)合分子泵的抽氣效率和抽氣性能。
[0027]如圖2所示，當(dāng)復(fù)合分子泵的過渡結(jié)構(gòu)6采用盤式牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，復(fù)合分子泵在工作時(shí)，動(dòng)葉輪2、牽引轉(zhuǎn)子3及銜接處的盤式牽引結(jié)構(gòu)件一同隨著驅(qū)動(dòng)主軸5高速旋轉(zhuǎn)，充分利用盤式牽引結(jié)構(gòu)件抽速大的特點(diǎn)，加快氣體進(jìn)入定子4螺旋槽7內(nèi)的速率，保證了渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速銜接，從而解決了渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速匹配問題，進(jìn)一步提高了復(fù)合分子泵的抽氣效率和抽氣性能。
[0028]如圖3所示，當(dāng)復(fù)合分子泵的過渡結(jié)構(gòu)6采用螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，復(fù)合分子泵在工作時(shí)，動(dòng)葉輪2、牽引轉(zhuǎn)子3及銜接處的螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件一同隨著驅(qū)動(dòng)主軸5高速旋轉(zhuǎn)，在螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件的輔助過渡螺旋槽10作用下，通過更大的槽深及槽寬提高了銜接處的抽速，并加快氣體進(jìn)入定子4螺旋槽7內(nèi)的速率，保證了渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速銜接，從而解決了渦輪級(jí)與筒式牽引級(jí)之間的抽速匹配問題，進(jìn)一步提高了復(fù)合分子泵的抽氣效率和抽氣性能。
[0029]實(shí)施例中的方案并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，凡未脫離本發(fā)明所為的等效實(shí)施或變更，均包含于本案的專利范圍中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，包括渦輪級(jí)、筒式牽引級(jí)和驅(qū)動(dòng)主軸，所述渦輪級(jí)包括靜葉片和動(dòng)葉輪，所述筒式牽引級(jí)包括牽引轉(zhuǎn)子和定子，所述動(dòng)葉輪及牽引轉(zhuǎn)子固定套裝在驅(qū)動(dòng)主軸上，其特征在于:在所述動(dòng)葉輪與牽引轉(zhuǎn)子銜接處設(shè)置有過渡結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，其特征在于:所述過渡結(jié)構(gòu)設(shè)置為短渦輪葉片、盤式牽引結(jié)構(gòu)件或螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，其特征在于:當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)采用短渦輪葉片時(shí)，所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒，定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽，短渦輪葉片與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在與短渦輪葉片軸向?qū)?yīng)的牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)有通氣倒角。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，其特征在于:當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)采用盤式牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒，定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽，盤式牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在盤式牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有型線溝槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，其特征在于:所述型線溝槽的線型為阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線或圓弧線。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，其特征在于:當(dāng)所述過渡結(jié)構(gòu)采用螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，所述定子為光筒，牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)有螺旋槽，螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有輔助過渡螺旋槽，所述輔助過渡螺旋槽的槽深及槽寬大于牽引轉(zhuǎn)子上螺旋槽的槽深及槽寬。
【專利摘要】一種帶有過渡結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，在動(dòng)葉輪與牽引轉(zhuǎn)子銜接處設(shè)有過渡結(jié)構(gòu)，過渡結(jié)構(gòu)為短渦輪葉片、盤式牽引結(jié)構(gòu)件或螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件；當(dāng)過渡結(jié)構(gòu)采用短渦輪葉片或盤式牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，牽引轉(zhuǎn)子為光筒，定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽，短渦輪葉片或盤式牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子固定連接；在與短渦輪葉片軸向?qū)?yīng)的牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)有通氣倒角；在盤式牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有型線溝槽，型線溝槽的線型為阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線或圓弧線；當(dāng)過渡結(jié)構(gòu)采用螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件時(shí)，定子為光筒，牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)有螺旋槽，螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件與牽引轉(zhuǎn)子固定連接，在螺旋槽牽引結(jié)構(gòu)件上開設(shè)有輔助過渡螺旋槽，輔助過渡螺旋槽的槽深及槽寬大于牽引轉(zhuǎn)子上螺旋槽的槽深及槽寬。
【IPC分類】F04D19-04, F04D29-52
【公開號(hào)】CN104791264
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510185860
【發(fā)明人】王曉冬, 巴德純, 張磊, 周亞, 蔣婷婷, 李景舒
【申請(qǐng)人】東北大學(xué)
【公開日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2015年4月20日