一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗。
【背景技術(shù)】
[0002]分子栗作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設(shè)備，已被廣泛應(yīng)用于很多工業(yè)領(lǐng)域，其中復(fù)合分子栗在較寬的壓力范圍內(nèi)，依然能夠保持較高的抽氣性能，因此在半導(dǎo)體等行業(yè)中應(yīng)用廣泛。
[0003]現(xiàn)有的復(fù)合分子栗主要分為兩類，一類是由渦輪分子栗與盤式牽引分子栗組合設(shè)計(jì)而成，即帶盤式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗；另一類是由渦輪分子栗與筒式牽引分子栗組合設(shè)計(jì)而成，即帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗，是現(xiàn)階段使用最為普遍的復(fù)合分子栗類型。
[0004]對(duì)于帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗，由于加工、裝配精度等限制，過小的牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙，難以保證復(fù)合分子栗的工作可靠性。牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與定子之間間隙的增大，使得氣體沿間隙的返流嚴(yán)重，進(jìn)而影響到了復(fù)合分子栗的抽氣性能，特別是對(duì)粘滯流態(tài)下的抽氣性能影響更大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，以提升牽引級(jí)的壓縮作用，進(jìn)一步提高復(fù)合分子栗的抽氣性能。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，包括渦輪級(jí)、筒式牽引級(jí)和驅(qū)動(dòng)主軸，所述渦輪級(jí)包括靜葉片和動(dòng)葉輪，所述筒式牽引級(jí)包括牽引轉(zhuǎn)子和定子，所述動(dòng)葉輪及牽引轉(zhuǎn)子固定套裝在驅(qū)動(dòng)主軸上，其特點(diǎn)是:在所述牽引轉(zhuǎn)子和定子之間設(shè)置有防氣體返流結(jié)構(gòu)。
[0007]所述防氣體返流結(jié)構(gòu)包括環(huán)向凸臺(tái)及環(huán)向凹槽，所述環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽彼此正對(duì)設(shè)置，且環(huán)向凸臺(tái)和環(huán)向凹槽的軸向中心線與驅(qū)動(dòng)主軸的軸向中心線相重合。
[0008]當(dāng)所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒、定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時(shí)，所述環(huán)向凸臺(tái)設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上，所述環(huán)向凹槽設(shè)置在定子上。
[0009]當(dāng)所述定子為光筒、牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時(shí)，所述環(huán)向凸臺(tái)設(shè)置在定子上，所述環(huán)向凹槽設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上。
[0010]所述防氣體返流結(jié)構(gòu)設(shè)置在復(fù)合分子栗的粘滯流態(tài)處、分子流態(tài)與粘滯流態(tài)之間的過渡流態(tài)處或在上述兩種流態(tài)處同時(shí)設(shè)置。
[0011]在軸向方向上，所述環(huán)向凸臺(tái)的寬度小于環(huán)向凹槽的寬度。
[0012]所述環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽之間間距為牽引轉(zhuǎn)子與定子之間間距的1?5倍。
[0013]本發(fā)明的有益效果:
[0014]本發(fā)明通過在牽引轉(zhuǎn)子和定子之間增加防氣體返流結(jié)構(gòu)，通過環(huán)向凸臺(tái)對(duì)返流氣體起到了明顯的阻擋作用，通過環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽之間留有的間隙保證正常的抽氣。本發(fā)明在保證抽氣性能不變的情況下降低了返流作用，進(jìn)而提升了復(fù)合分子栗的抽氣性能。
【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗(牽引轉(zhuǎn)子為光筒且定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時(shí))結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本發(fā)明的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗(定子為光筒且牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時(shí))結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中，1—靜葉片，2—?jiǎng)尤~輪，3—牽引轉(zhuǎn)子，4—定子，5—驅(qū)動(dòng)主軸，6—環(huán)向凸臺(tái)，7—環(huán)向凹槽。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0019]如圖1、2所示，一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，包括渦輪級(jí)、筒式牽引級(jí)和驅(qū)動(dòng)主軸5，所述渦輪級(jí)包括靜葉片1和動(dòng)葉輪2，所述筒式牽引級(jí)包括牽引轉(zhuǎn)子3和定子4，所述動(dòng)葉輪2及牽引轉(zhuǎn)子3固定套裝在驅(qū)動(dòng)主軸5上，其特點(diǎn)是:在所述牽引轉(zhuǎn)子3和定子4之間設(shè)置有防氣體返流結(jié)構(gòu)。
[0020]所述防氣體返流結(jié)構(gòu)包括環(huán)向凸臺(tái)6及環(huán)向凹槽7，所述環(huán)向凸臺(tái)6與環(huán)向凹槽7彼此正對(duì)設(shè)置，且環(huán)向凸臺(tái)6和環(huán)向凹槽7的軸線中心線與驅(qū)動(dòng)主軸5的軸線中心線相重入口 ο
[0021 ] 當(dāng)所述牽引轉(zhuǎn)子3為光筒、定子4內(nèi)開設(shè)螺旋槽時(shí)，所述環(huán)向凸臺(tái)6設(shè)置在牽弓|轉(zhuǎn)子3上，所述環(huán)向凹槽7設(shè)置在定子4上。
[0022]當(dāng)所述定子4為光筒、牽引轉(zhuǎn)子3上開設(shè)螺旋槽時(shí)，所述環(huán)向凸臺(tái)6設(shè)置在定子4上，所述環(huán)向凹槽7設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子3上。
[0023]所述防氣體返流結(jié)構(gòu)設(shè)置在復(fù)合分子栗的粘滯流態(tài)處、分子流態(tài)與粘滯流態(tài)之間的過渡流態(tài)處或在上述兩種流態(tài)處同時(shí)設(shè)置。
[0024]在軸向方向上，所述環(huán)向凸臺(tái)6的寬度小于環(huán)向凹槽7的寬度。
[0025]所述環(huán)向凸臺(tái)6與環(huán)向凹槽7之間間距為牽引轉(zhuǎn)子3與定子4之間間距的1?5倍。
[0026]下面結(jié)合【附圖說明】本發(fā)明的一次使用過程:
[0027]復(fù)合分子栗在工作時(shí)，動(dòng)葉輪2及牽引轉(zhuǎn)子3隨著驅(qū)動(dòng)主軸5高速旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而攜帶氣體沿著螺旋槽向下流動(dòng)，隨著對(duì)氣體壓縮的增強(qiáng)，復(fù)合分子栗牽引級(jí)入口與出口之間的壓差越來越大，此時(shí)，特別是在粘滯流態(tài)時(shí)，氣體會(huì)在壓差作用下增加沿著牽引轉(zhuǎn)子3與定子4之間間隙向上的返流量，返流現(xiàn)象的存在會(huì)導(dǎo)致栗抽氣性能和壓縮性能的下降。
[0028]當(dāng)復(fù)合分子栗在牽引轉(zhuǎn)子3和定子4之間設(shè)置防氣體返流結(jié)構(gòu)后，通過環(huán)向凸臺(tái)6對(duì)返流氣體起到了明顯的阻擋作用，通過環(huán)向凸臺(tái)6與環(huán)向凹槽7之間留有的間隙保證正常的抽氣過程。因此，在保證抽氣性能不變的情況下降低了返流作用，由于降低了氣體返流，便實(shí)現(xiàn)了復(fù)合分子栗抽氣性能的提升。
[0029]實(shí)施例中的方案并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，凡未脫離本發(fā)明所為的等效實(shí)施或變更，均包含于本案的專利范圍中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，包括渦輪級(jí)、筒式牽引級(jí)和驅(qū)動(dòng)主軸，所述渦輪級(jí)包括靜葉片和動(dòng)葉輪，所述筒式牽引級(jí)包括牽引轉(zhuǎn)子和定子，所述動(dòng)葉輪及牽引轉(zhuǎn)子固定套裝在驅(qū)動(dòng)主軸上，其特征在于:在所述牽引轉(zhuǎn)子和定子之間設(shè)置有防氣體返流結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，其特征在于:所述防氣體返流結(jié)構(gòu)包括環(huán)向凸臺(tái)及環(huán)向凹槽，所述環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽彼此正對(duì)設(shè)置，且環(huán)向凸臺(tái)和環(huán)向凹槽的軸向中心線與驅(qū)動(dòng)主軸的軸向中心線相重合。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，其特征在于:當(dāng)所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒、定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時(shí)，所述環(huán)向凸臺(tái)設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上，所述環(huán)向凹槽設(shè)置在定子上。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，其特征在于:當(dāng)所述定子為光筒、牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時(shí)，所述環(huán)向凸臺(tái)設(shè)置在定子上，所述環(huán)向凹槽設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，其特征在于:所述防氣體返流結(jié)構(gòu)設(shè)置在復(fù)合分子栗的粘滯流態(tài)處、分子流態(tài)與粘滯流態(tài)之間的過渡流態(tài)處或在上述兩種流態(tài)處同時(shí)設(shè)置。6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，其特征在于:在軸向方向上，所述環(huán)向凸臺(tái)的寬度小于環(huán)向凹槽的寬度。7.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子栗，其特征在于:所述環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽之間間距為牽引轉(zhuǎn)子與定子之間間距的1?5倍。
【專利摘要】一種能夠減少牽引級(jí)間隙返流的復(fù)合分子泵，在牽引轉(zhuǎn)子和定子之間設(shè)置有防氣體返流結(jié)構(gòu)，其包括環(huán)向凸臺(tái)及環(huán)向凹槽，環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽彼此正對(duì)設(shè)置，且環(huán)向凸臺(tái)和環(huán)向凹槽的軸向中心線與驅(qū)動(dòng)主軸的軸向中心線相重合；當(dāng)牽引轉(zhuǎn)子為光筒、定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時(shí)，環(huán)向凸臺(tái)設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上，環(huán)向凹槽設(shè)置在定子上；當(dāng)定子為光筒、牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時(shí)，環(huán)向凸臺(tái)設(shè)置在定子上，環(huán)向凹槽設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上；防氣體返流結(jié)構(gòu)設(shè)置在復(fù)合分子泵的粘滯流態(tài)處、分子流態(tài)與粘滯流態(tài)之間的過渡流態(tài)處或在上述兩種流態(tài)處同時(shí)設(shè)置；在軸向方向上，環(huán)向凸臺(tái)的寬度小于環(huán)向凹槽的寬度；環(huán)向凸臺(tái)與環(huán)向凹槽之間間距為牽引轉(zhuǎn)子與定子之間間距的1～5倍。
【IPC分類】F04D29/52, F04D19/04
【公開號(hào)】CN105370587
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510895340
【發(fā)明人】王曉冬, 巴德純, 張磊, 付強(qiáng), 張鵬飛, 陶繼忠
【申請(qǐng)人】東北大學(xué)
【公開日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年12月7日