在一起也是有利的。
[0030]優(yōu)選地，容納開口和底座相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸線居中地布置在相應(yīng)的圓盤體的下側(cè)或上側(cè)上。由此，以簡(jiǎn)單的方式可以實(shí)現(xiàn)圓盤彼此之間關(guān)于轉(zhuǎn)動(dòng)軸線或旋轉(zhuǎn)軸線的定心。
[0031]本發(fā)明也涉及一種具有根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)子設(shè)施、與轉(zhuǎn)子設(shè)施共同作用的定子設(shè)施和用于以旋轉(zhuǎn)的方式驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子設(shè)施的驅(qū)動(dòng)器的真空栗。
[0032]真空栗尤其是無論分子栗或其他類型的真空栗，在其中，使用快速轉(zhuǎn)動(dòng)，尤其是具有大于10000轉(zhuǎn)每分鐘的轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)子。
[0033]本發(fā)明還設(shè)計(jì)一種制造用于真空栗，尤其是用于渦輪分子栗的轉(zhuǎn)子設(shè)施的方法，在該方法中，具有用于容納轉(zhuǎn)子軸的中心的容納開口的轉(zhuǎn)子圓盤布置在轉(zhuǎn)子軸上，并且機(jī)械連接構(gòu)造在轉(zhuǎn)子圓盤與轉(zhuǎn)子軸之間，其中，借助熱接合法實(shí)現(xiàn)了機(jī)械連接。
[0034]優(yōu)選地，套裝到轉(zhuǎn)子軸上的轉(zhuǎn)子圓盤的包圍容納開口的內(nèi)壁包圍轉(zhuǎn)子軸的外側(cè)，并且機(jī)械連接構(gòu)造在轉(zhuǎn)子圓盤的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子軸的外側(cè)之間。優(yōu)選地，機(jī)械連接在轉(zhuǎn)子軸的整個(gè)圓周上看構(gòu)造在轉(zhuǎn)子軸的外側(cè)與轉(zhuǎn)子圓盤的內(nèi)壁之間。優(yōu)選地，機(jī)械連接也在內(nèi)壁的整個(gè)軸向長(zhǎng)度上構(gòu)造在轉(zhuǎn)子圓盤的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子軸的外側(cè)之間。
[0035]轉(zhuǎn)子圓盤尤其不是按壓、熱縮套裝或卡夾到轉(zhuǎn)子軸上。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選的設(shè)計(jì)方案，提供如下的轉(zhuǎn)子軸，其具有至少一個(gè)區(qū)段，該區(qū)段的外直徑大于轉(zhuǎn)子軸的沿軸向方向看靠前的區(qū)域的外直徑且小于轉(zhuǎn)子軸的沿軸向方向看靠后的區(qū)域的外直徑，并且轉(zhuǎn)子軸套裝到該區(qū)段上并且機(jī)械連接借助熱接合法建立在該區(qū)段與轉(zhuǎn)子圓盤之間。
[0037]本發(fā)明還設(shè)計(jì)一種制造用于真空栗，尤其是用于渦輪分子栗的轉(zhuǎn)子設(shè)施的方法，該轉(zhuǎn)子設(shè)施具有兩個(gè)或更多轉(zhuǎn)子圓盤，這些轉(zhuǎn)子圓盤相對(duì)旋轉(zhuǎn)軸線對(duì)齊并且沿旋轉(zhuǎn)軸線的方向看順次布置，其中，在相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤之間構(gòu)造出機(jī)械連接，其中，機(jī)械連接借助熱接合法直接在相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤之間實(shí)現(xiàn)。
[0038]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選的設(shè)計(jì)方案，提供如下的轉(zhuǎn)子圓盤，這些轉(zhuǎn)子圓盤分別具有圓盤體，在這些圓盤體上布置有關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線在徑向靠外安放的轉(zhuǎn)子葉片，并且機(jī)械連接直接構(gòu)造在相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體之間。
[0039]轉(zhuǎn)子圓盤尤其以如下方式并排地布置，S卩，轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體的下側(cè)與相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體的上側(cè)相對(duì)置，并且機(jī)械連接直接構(gòu)造在一個(gè)轉(zhuǎn)子圓盤的下側(cè)與相鄰的另一個(gè)轉(zhuǎn)子圓盤的上側(cè)之間。
[0040]優(yōu)選地，在每個(gè)轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體的下側(cè)上構(gòu)造出容納開口，并且在每個(gè)轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體的上側(cè)上構(gòu)造出與容納開口互補(bǔ)地構(gòu)造的底座，其中，轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體的底座，尤其在構(gòu)造出兩個(gè)轉(zhuǎn)子圓盤之間的插接連接的情況下插入到相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤的圓盤體的容納開口中。
[0041]在根據(jù)本發(fā)明的方法中使用的熱接合法尤其是焊接方法，尤其是激光焊接、電子束焊接、摩擦焊接、攪拌摩擦焊接，或者是提到的焊接方法的組合方案，或者是釬焊方法。
[0042]轉(zhuǎn)子圓盤可以尤其是單獨(dú)地借助激光，尤其借助激光燒蝕和/或借助激光切割來制成。
[0043]本發(fā)明還設(shè)計(jì)一種用于真空栗，尤其是用于渦輪分子栗的轉(zhuǎn)子設(shè)施，該轉(zhuǎn)子設(shè)施具有轉(zhuǎn)子軸和至少一個(gè)轉(zhuǎn)子圓盤，該轉(zhuǎn)子圓盤具有用于容納轉(zhuǎn)子軸的中心的容納開口，其中，轉(zhuǎn)子圓盤布置在轉(zhuǎn)子軸上，并且在轉(zhuǎn)子圓盤與轉(zhuǎn)子軸之間構(gòu)造出機(jī)械連接，其中，借助粘接實(shí)現(xiàn)了機(jī)械連接。因此，為了建立機(jī)械連接可以使用膠粘劑。
[0044]本發(fā)明還設(shè)計(jì)一種用于真空栗，尤其是用于渦輪分子栗的轉(zhuǎn)子設(shè)施，該轉(zhuǎn)子設(shè)施具有兩個(gè)或更多轉(zhuǎn)子圓盤，這些轉(zhuǎn)子圓盤相對(duì)旋轉(zhuǎn)軸線對(duì)齊并且沿旋轉(zhuǎn)軸線的方向看順次布置，其中，在相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤之間構(gòu)造出機(jī)械連接，其中，機(jī)械連接借助粘接直接在相鄰的轉(zhuǎn)子圓盤之間實(shí)現(xiàn)。
【附圖說明】
[0045]下面參考附圖結(jié)合有利的實(shí)施方式示例性地描述了本發(fā)明。其中:
[0046]圖1以橫截面示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的真空栗；
[0047]圖2示出根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)子設(shè)施的變型方案的示意性橫截面圖；
[0048]圖3示出根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)子設(shè)施的另一變型方案的示意性橫截面圖。
[0049]附圖標(biāo)記列表
[0050]10栗入口[0051 ]11入口法蘭
[0052]12栗出口
[0053]14旋轉(zhuǎn)軸線
[0054]15轉(zhuǎn)子軸
[0055]16轉(zhuǎn)子
[0056]18馬達(dá)腔
[0057]20驅(qū)動(dòng)馬達(dá)
[0058]22馬達(dá)定子
[0059]24中間腔
[0060]26箭頭、氣體路徑
[0061]28入口
[0062]30出口
[0063]32通道
[0064]34留空部
[0065]38芯
[0066]42線圈
[0067]64殼體
[0068]66轉(zhuǎn)子圓盤
[0069]68定子圓盤
[0070]70隔環(huán)[0071 ]72轉(zhuǎn)子輪轂
[0072]74,76霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒
[0073]78,80霍爾維克定子套筒
[0074]82、84、86、87霍爾維克間隙
[0075]88滾動(dòng)軸承
[0076]90永磁體軸承
[0077]92頂端螺母
[0078]94可抽吸的圓盤
[0079]96槽狀的置入件
[0080]98蓋元件
[0081 ]100轉(zhuǎn)子側(cè)的軸承半體
[0082]102定字側(cè)的軸承半體
[0083]104、106磁環(huán)
[0084]108軸承間隙
[0085]110,112承載區(qū)段
[0086]114支柱
[0087]116蓋元件
[0088]118緊固環(huán)
[0089]120平衡元件
[0090]122支撐環(huán)
[0091]124扣機(jī)軸承
[0092]126緊固套筒
[0093]128永磁體設(shè)施
[0094]130封裝件
[0095]132容納區(qū)段
[0096]134環(huán)形體
[0097]136定子葉片
[0098]138內(nèi)壁
[0099]140第一區(qū)段
[0100]142第二區(qū)段
[0101]144第三區(qū)段
[0102]146第一區(qū)域
[0103]148第二區(qū)域
[0104]150第三區(qū)域
[0105]152第四區(qū)域
[0106]154機(jī)械連接
[0107]156環(huán)形壁
[0108]158環(huán)形壁
[0109]160環(huán)形壁
[0110]162圓盤體
[0111]164容納開口
[0112]166底座
[0113]168形狀鎖合連接
【具體實(shí)施方式】
[0114]圖1中示出的真空栗包括由入口法蘭11包圍的栗入口10、栗出口 12以及多個(gè)過程氣體栗階梯部，它們用于將栗入口 10處的過程氣體傳輸?shù)嚼醭隹?12。真空栗包括殼體64和布置在殼體64中的轉(zhuǎn)子16，該轉(zhuǎn)子具有能繞旋轉(zhuǎn)軸線14轉(zhuǎn)動(dòng)地支承的轉(zhuǎn)子軸15。
[0115]栗在當(dāng)前的實(shí)施例中構(gòu)造為渦輪分子栗，并且包括多個(gè)以起栗作用的方式(pumpwirksam)彼此串聯(lián)聯(lián)接的禍輪分子的栗級(jí)，它們具有多個(gè)緊固在轉(zhuǎn)子軸15上的徑向的轉(zhuǎn)子圓盤66和布置在轉(zhuǎn)子圓盤66中間且固定在殼體64中的定子圓盤68，其中，轉(zhuǎn)子圓盤66和相鄰的定子圓盤68分別形成渦輪分子的栗級(jí)。定子圓盤68通過隔環(huán)70彼此保持有期望的軸向間距。
[0116]此外，真空栗包括四個(gè)沿徑向方向交錯(cuò)地布置且以起栗作用的方式彼此串聯(lián)聯(lián)接的霍爾維克栗級(jí)?；魻柧S克栗級(jí)的轉(zhuǎn)子包括與轉(zhuǎn)子軸15—件式構(gòu)造的轉(zhuǎn)子輪轂72和兩個(gè)緊固在轉(zhuǎn)子輪轂72上且由其承載的圓柱套形的霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒74、76，這些霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒同軸于旋轉(zhuǎn)軸線14地定向并沿徑向方向交錯(cuò)地嵌套。此外，設(shè)置有兩個(gè)圓柱套形的霍爾維克定子套筒78、80，它們同樣同軸于旋轉(zhuǎn)軸線14地定向并且沿徑向方向交錯(cuò)地嵌套。第三霍爾維克定子套筒通過殼體64的容納區(qū)段132形成，該容納區(qū)段用于容納和固定驅(qū)動(dòng)馬達(dá)20。
[0117]霍爾維克栗級(jí)的主動(dòng)栗送的表面通過霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒74、76、霍爾維克定子套筒78、80和容納區(qū)段132的套面，亦即徑向的內(nèi)表面和外表面來形成。在構(gòu)造出徑向的霍爾維克間隙82的情況下，靠外的霍爾維克定子套筒78的徑向的內(nèi)表面與靠外的霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒74的徑向的外表面相對(duì)置并且與其形成第一霍爾維克栗級(jí)。在構(gòu)造出徑向的霍爾維克間隙8 4的情況下，靠外的霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒7 4的徑向的內(nèi)表面與靠?jī)?nèi)的霍爾維克定子套筒80的徑向的外表面相對(duì)置并且與其形成第二霍爾維克栗級(jí)。在構(gòu)造出徑向的霍爾維克間隙86的情況下，靠?jī)?nèi)的霍爾維克定子套筒80的徑向的內(nèi)表面與靠?jī)?nèi)的霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒76的徑向的外表面相對(duì)置并且與其形成第三霍爾維克栗級(jí)。在構(gòu)造出徑向的霍爾維克間隙87的情況下，靠?jī)?nèi)的霍爾維克轉(zhuǎn)子套筒76的徑向的內(nèi)表面與容納區(qū)段132的徑向的外表面相對(duì)置并且與其形成第四霍爾維克栗級(jí)。
[0118]上文提到的霍爾維特定子套筒78、80和容納區(qū)段132的主動(dòng)栗送的表面分別具有多個(gè)以螺旋狀繞旋轉(zhuǎn)軸線14的方式沿軸向方向延伸的霍爾維特槽，而相對(duì)置的霍爾維特轉(zhuǎn)子套筒74、76的套面平整地構(gòu)造，并且氣體在真