一種抽真空設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型一種抽真空設備，屬于抽真空設備技術領域。
【背景技術】
[0002]隨著現(xiàn)代科學技術的高度發(fā)展，在工業(yè)、商業(yè)、科學以及研宄機構中使用的密封容器越來越大，由于制造工藝不可能完美無缺，密封點成千上萬，密封裝置不可避免存在泄漏可能，在生產(chǎn)研制過程中，設備經(jīng)常在材料質量、安裝、零件疲勞和結構設計上出現(xiàn)問題，降低了系統(tǒng)的密封性，導致系統(tǒng)漏氣，致使工件氧化報廢，影響工業(yè)生產(chǎn)，同時，傳統(tǒng)的設備精度較低，無法保證成品率。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型克服了現(xiàn)有技術存在的不足，提供了一種抽真空設備，通過工作實踐改進真空系統(tǒng)結構設計，增加過濾閥，降低氣體內(nèi)部殘留物對高壓真空泵浦的影響，加入低真空計和高真空計對系統(tǒng)內(nèi)部進行精確測量，控制設備精度，同時運用多閥門串聯(lián)方式，保證進氣穩(wěn)定性，選擇合適的密封方式，來提高真空系統(tǒng)密封性，從而降低了系統(tǒng)漏氣率，提升設備安全性能。
[0004]為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為:一種抽真空設備，包括真空腔體、制程系統(tǒng)、破真空系統(tǒng)、低真空系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)，所述低真空系統(tǒng)包括第一低真空泵浦和低真空計，所述第一低真空泵浦和低真空計均通過管路與真空腔體連接，所述第一低真空泵浦與真空腔體之間設置有第一電磁閥，所述低真空計與真空腔體之間設置有第一隔斷閥；
[0005]所述高真空系統(tǒng)包括高真空泵浦和高真空計，所述高真空泵浦和高真空計均通過管路與真空腔體連接，所述高真空泵浦與真空腔體之間設置有第二電磁閥，所述高真空計與真空腔體之間設置有第二隔斷閥，所述高真空泵浦與第一低真空泵浦之間設有第三電磁閥；
[0006]所述制程系統(tǒng)包括第二低真空泵浦和制程進氣管路，所述第二低真空泵浦與真空腔體通過管路連接，所述第二低真空泵浦與真空腔體之間設置有可調(diào)節(jié)閥件開度的蝴蝶閥和第四電磁閥，所述制程進氣管路與真空腔體連接，所述制程進氣管路上設置有控制閥；
[0007]所述破真空系統(tǒng)包括第一進氣管路和第二進氣管路，所述第一進氣管路和第二進氣管路均與真空腔體連接，所述第一進氣管路上設置有第一進氣電磁閥，所述第二進氣管路上設置有用于緩慢進氣的針閥和第二進氣電磁閥；
[0008]所述真空腔體上連接有空氣管路，所述空氣管路上設置有第三進氣電磁閥。
[0009]所述高真空泵浦的進氣口和出氣口均設置有用于過濾氣體的過濾閥。
[0010]所述制程進氣管路為一條或兩條。
[0011 ] 所述各個管路均采用圓弧過渡。
[0012]所述各個管路之間采用無縫焊接進行連接。
[0013]所述真空腔體內(nèi)表面做拋光處理。
[0014]本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有的有益效果是:
[0015]1、在真空系統(tǒng)中加入低真空計和高真空計，分別監(jiān)控抽低真空和抽高真空時的真空室內(nèi)壓強，確保設備的精度。
[0016]2、在制程系統(tǒng)中采用蝴蝶閥與電磁閥串聯(lián)結構，通過蝴蝶閥的控制，來控制設備抽氣量。
[0017]3、在破真空系統(tǒng)中采用針閥與電磁閥串聯(lián)結構，針閥使得氮氣可以緩慢進入真空腔體內(nèi)，避免高真空下突然有大量氣體進入損壞內(nèi)部設備。
[0018]4、在高真空泵浦的進氣與出去口均設置過濾閥，避免因氣體內(nèi)部殘留物滯留在高真空泵浦內(nèi)。
[0019]5、各個管路均采用圓弧過渡，不留死角，使氣體暢通無阻，有利于打磨拋光和清洗清掃，與此同時，各個管路之間采用無縫焊接進行連接使氣體通暢，降低系統(tǒng)的漏氣率，提升設備的安全性能。
[0020]6、打磨拋光真空腔體內(nèi)表面，使其表面光亮如鏡，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
【附圖說明】
[0021]下面結合附圖對本實用新型做進一步的說明。
[0022]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0023]圖中，I為真空腔體、2為制程系統(tǒng)、3為破真空系統(tǒng)、4為低真空系統(tǒng)、5為高真空系統(tǒng)、6為空氣管路、21位第二低真空泵浦、22位制程進氣管路、23為蝴蝶閥、24為第四電磁閥、25為控制閥、31為第一進氣管路、32為第二進氣管路、33為第一進氣電磁閥、34為針閥、35為第二進氣電磁閥、41為第一低真空泵浦、42為低真空計、43為第一電磁閥、44為第一隔斷閥、51為高真空泵浦、52為高真空計、53為第二電磁閥、54為第二隔斷閥、55為第三電磁閥、56為過濾閥、61為第三進氣電磁閥。
【具體實施方式】
[0024]如圖1所示，本實用新型一種抽真空設備，包括真空腔體1、制程系統(tǒng)2、破真空系統(tǒng)3、低真空系統(tǒng)4和高真空系統(tǒng)5，所述低真空系統(tǒng)4包括第一低真空泵浦41和低真空計42，所述第一低真空泵浦41和低真空計42均通過管路與真空腔體I連接，所述第一低真空泵浦41與真空腔體I之間設置有第一電磁閥43，所述低真空計42與真空腔體I之間設置有第一隔斷閥44 ；
[0025]所述高真空系統(tǒng)5包括高真空泵浦51和高真空計52，所述高真空泵浦51和高真空計52均通過管路與真空腔體I連接，所述高真空泵浦51與真空腔體I之間設置有第二電磁閥53，所述高真空計52與真空腔體I之間設置有第二隔斷閥54，所述高真空泵浦51與第一低真空泵浦41之間設有第三電磁閥55 ;
[0026]所述制程系統(tǒng)2包括第二低真空泵浦21和制程進氣管路22，所述第二低真空泵浦21與真空腔體I通過管路連接，所述第二低真空泵浦21與真空腔體I之間設置有可調(diào)節(jié)閥件開度的蝴蝶閥23和第四電磁閥24，所述制程進氣管路22與真空腔體I連接，所述制程進氣管路22上設置有控制閥25 ;
[0027]所述破真空系統(tǒng)3包括第一進氣管路31和第二進氣管路32，所述第一進氣管路31和第二進氣管路32均與真空腔體I連接，所述第一進氣管路31上設置有第一進氣電磁閥33，所述第二進氣管路32上設置有用于緩慢進氣的針閥34和第二進氣電磁閥35 ;
[0028]所述真空腔體上連接有空氣管路6，所述空氣管路上6設置有第三進氣電磁閥61。
[0029]所述高真空泵浦的進氣口和出氣口均設置有用于過濾氣體的過濾閥56。
[0030]所述制程進氣管路22為一條或兩條。
[0031 ] 所述各個管路均采用圓弧過渡。
[0032]所述各個管路之間采用無縫焊接進行連接。
[0033]所述真空腔體I內(nèi)表面做拋光處理。
[0034]具體工作過程:
[0035]將工作件放入真空腔體I內(nèi)，開啟低真空系統(tǒng)4，啟動第一低真空泵浦41，打開第一電磁閥43，氣體從真空腔體I中抽出，打開第一隔斷閥44使低真空計42顯示腔體的氣壓；當腔體進入低真空狀態(tài)后，開啟高真空系統(tǒng)5，關閉第一電磁閥43，打開第三電磁閥55，啟動高真空泵浦51，打開第二電磁閥53，對真空腔室I進行抽高真空，打開第二隔斷閥54使高真空計52顯示腔體氣壓，至此，完成將腔體由低真空抽至高真空的過程；關閉第一電磁閥43和第二電磁閥53，開啟制程系統(tǒng)2，啟動第二低真空泵浦21，打開蝴蝶閥23和第四電磁閥24，對真空腔體I進行制程抽氣，調(diào)整控制閥25對腔體內(nèi)氣壓進行調(diào)節(jié)；制程完成后，關閉制程系統(tǒng)2，關閉第一隔斷閥44和第二隔斷閥54，啟動破真空系統(tǒng)3，打開針閥34和第二進氣電磁閥35，將氮氣緩慢通入真空腔體I內(nèi)，進氣5到10秒后，打開第一進氣電磁閥33并完成破真空。
[0036]設備上設置有空氣管路6，當需要向系統(tǒng)內(nèi)注入空氣時，打開第三進氣電磁閥61即可將空氣進入真空腔體I中。
[0037]上面結合附圖對本實用新型的實施例作了詳細說明，但是本實用新型并不限于上述實施例，在本領域普通技術人員所具備的知識范圍內(nèi)，還可以在不脫離本實用新型宗旨的前提下作出各種變化。
【主權項】
1.一種抽真空設備，其特征在于:包括真空腔體(I)、制程系統(tǒng)(2)、破真空系統(tǒng)(3)、低真空系統(tǒng)(4)和高真空系統(tǒng)(5)，所述低真空系統(tǒng)(4)包括第一低真空泵浦(41)和低真空計(42)，所述第一低真空泵浦(41)和低真空計(42)均通過管路與真空腔體(I)連接，所述第一低真空泵浦(41)與真空腔體(I)之間設置有第一電磁閥(43)，所述低真空計(42)與真空腔體(I)之間設置有第一隔斷閥(44 ); 所述高真空系統(tǒng)(5)包括高真空泵浦(51)和高真空計(52)，所述高真空泵浦(51)和高真空計(52)均通過管路與真空腔體(I)連接，所述高真空泵浦(51)與真空腔體(I)之間設置有第二電磁閥(53)，所述高真空計(52)與真空腔體(I)之間設置有第二隔斷閥(54)，所述高真空泵浦(51)與第一低真空泵浦(41)之間設有第三電磁閥(55); 所述制程系統(tǒng)(2)包括第二低真空泵浦(21)和制程進氣管路(22)，所述第二低真空泵浦(21)與真空腔體(I)通過管路連接，所述第二低真空泵浦(21)與真空腔體(I)之間設置有可調(diào)節(jié)閥件開度的蝴蝶閥(23)和第四電磁閥(24)，所述制程進氣管路(22)與真空腔體(I)連接，所述制程進氣管路(22 )上設置有控制閥(25 ); 所述破真空系統(tǒng)(3)包括第一進氣管路(31)和第二進氣管路(32)，所述第一進氣管路(31)和第二進氣管路(32)均與真空腔體(I)連接，所述第一進氣管路(31)上設置有第一進氣電磁閥(33)，所述第二進氣管路(32)上設置有用于緩慢進氣的針閥(34)和第二進氣電磁閥(35)； 所述真空腔體上連接有空氣管路(6)，所述空氣管路上(6)設置有第三進氣電磁閥(61)。2.根據(jù)權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述高真空泵浦的進氣口和出氣口均設置有用于過濾氣體的過濾閥(56 )。3.根據(jù)權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述制程進氣管路(22)為一條或兩條。4.根據(jù)權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述各個管路均采用圓弧過渡。5.根據(jù)權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述各個管路之間采用無縫焊接進行連接。6.根據(jù)權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述真空腔體(I)內(nèi)表面做拋光處理。
【專利摘要】本實用新型一種抽真空設備，屬于抽真空設備技術領域；解決的技術問題是提供了一種抽真空設備，通過工作實踐改進真空系統(tǒng)結構設計，增加過濾閥，降低氣體內(nèi)部殘留物對高壓真空泵浦的影響，加入低真空計和高真空計對系統(tǒng)內(nèi)部進行精確測量，控制設備精度，同時運用多閥門串聯(lián)方式，保證進氣穩(wěn)定性，選擇合適的密封方式，來提高真空系統(tǒng)密封性，從而降低了系統(tǒng)漏氣率，提升設備安全性能；采用的技術方案為：一種抽真空設備，包括真空腔體、制程系統(tǒng)、破真空系統(tǒng)、低真空系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)，各個系統(tǒng)分別與真空腔體連接，實現(xiàn)抽低真空，抽高真空，制程進氣和破真空的工作過程；本實用新型可廣泛應用于抽真空設備技術領域。
【IPC分類】F04B53/16, F04B53/00, F04B51/00, F04B49/22, F04B37/14
【公開號】CN204627910
【申請?zhí)枴緾N201520222525
【發(fā)明人】袁建清
【申請人】山西南燁立碁光電有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年4月14日