一種簡易型手動式氣動元件控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種應用于半導體薄膜沉積設備的簡易型手動式氣動元件控制裝置。屬于半導體薄膜沉積應用及制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體薄膜沉積設備中往往應用到許多氣動元件，象氣缸、氣動電磁閥、氣動隔膜閥等零部件。在設備裝配過程中或設備維護時可能會同時對多個氣動元件進行檢測。如需要對工藝氣體氣箱進行檢測時，因工藝氣體管路較多，每條管路上又存在很多的氣動電磁閥、氣動隔膜閥等氣動元件，在對其進行檢漏操作時，往往需同時控制多個氣動元件，對其單獨執(zhí)行開啟、關(guān)閉或切換等操作。但一般的廠區(qū)壓縮空氣進口往往設置在潔凈間外圍墻壁上，當廠房比較大，需檢測的氣動元件又比較多時，往往需要從遠處引入多條壓縮空氣管路來實現(xiàn)對氣動元件控制的操作。這樣密布的管路可能會在行人經(jīng)過時發(fā)生姅?shù)?、刮蹭等現(xiàn)象危害設備及人員安全。在長距離引入壓縮空氣管路時，壓縮空氣的控制閥往往距設備或待操作氣動元件較遠，而無法實現(xiàn)及時的開、閉，或是必需有人在壓縮空氣進氣閥處進行留守操作，這樣的長距離操作即浪費人力資源又效率低下，還容易因不能及時操作而帶來安全隱患。如果將待檢測氣動元件搬移至壓縮空氣進氣附近雖可以避免上述現(xiàn)象的發(fā)生，然而許多元器件如氣缸、氣箱等體積、重量較大，或是已經(jīng)安裝在設備上將無法搬移，或浪費更多的人力進行搬移。但因大多數(shù)廠房的建設之初無法完全預想到未來設備的體積、重量及所需占地空間，所以即便可以進行搬移，但壓縮空氣進口處也未必有空間位置可以擺放待檢測的氣動元件。這都給氣動元件的檢測帶來了很大的不便。這無疑給設備的生產(chǎn)制造及設備維護帶來了額外的工作量，也在很大程度上影響工作效率，甚至可能發(fā)生一些潛在的安全隱患。
[0003]現(xiàn)有的半導體薄膜沉積設備在裝配及維護過程中所需控制氣動元件進行檢測操作。在體積大、重量重或已安裝在設備上的氣動元件在長距離、多路數(shù)控制時，存在管路過多、混亂、安全性差、可操作性差等問題。以使工作效率降低，安全隱患增大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有的半導體薄膜沉積設備在裝配及維護過程中，控制氣動元件需要進行檢測操作。尤其是在體積大、重量重或已安裝在設備上的氣動元件在長距離、多路數(shù)控制時，所造成的管路過多、混亂、安全性差、可操作性差等問題。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用下述技術(shù)方案:一種簡易型手動式氣動元件控制裝置，該控制裝置采用在一個氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝多組閥的結(jié)構(gòu)形式。上述氣體分配閥島上設計有壓縮空氣進口及氣體分配通道；上述氣體分配閥島或氣體分配閥體可以通過機械加工、鑄造、注塑等方式制成。在設備裝配及維護過程中需長距離控制氣動元件進行檢測操作時，只須將一路氣源引入上述氣體分配閥島或氣體分配閥體的進氣口，通過氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝的手動閥上的出氣口或出氣孔，分別連接需控制的氣動元件。實現(xiàn)對氣動元件的分別控制功能。
[0006]本實用新型的有益效果及特點:
[0007]本實用新型結(jié)構(gòu)合理，操作簡便、靈活、可單手操作。能夠滿足現(xiàn)有的半導體薄膜沉積設備在裝配及維護過程中所需的多氣路、長距離、單獨控制氣動元件進行檢測操作的需求。有效地避免了在體積大、重量重或已安裝在設備上的氣動元件在長距離、多路數(shù)控制時，所造成的管路過多、混亂、安全性差、可操作性差等問題。以實現(xiàn)對其氣箱、氣動電磁檢漏、氣缸等氣動元件的檢漏及故障排查的目的。當對氣缸等氣動元件操作時，可實現(xiàn)及時、快速的啟動、停止、切換等操作。在需要對工藝氣體氣箱進行檢測時，同樣只須將待控制的各個氣動電磁閥、氣動隔膜閥等氣動元件與手動閥上的氣體出口相連接，通過手柄控制即可簡單、快速的啟動、停止、切換等操作，實現(xiàn)對氣動元件的近距離手動操作，
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，也是本實用新型的實施例1。
[0009]圖2是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，也是本實用新型的實施例2。
[0010]圖中零件標號分別代表:
[0011]1、出氣孔；2、氣體分配閥體；3、手動旋鈕；4、進氣孔；5、氣體分配閥島；6、氣體進口 ；7、氣體出口 ；8、手動閥；9、手動閥手柄。
[0012]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。
【具體實施方式】
[0013]實施例1
[0014]如圖1所示，一種簡易型手動式氣動元件控制裝置，包括氣體分配閥體2，氣體分配閥體2上設計有進氣孔4及出氣孔I。上述氣體分配閥體2上還安裝手動旋鈕3。上述的進氣孔4是遠端進氣輸送管路與氣體分配閥體2連接的紐帶。當氣體通入氣體分配閥體2時，通過旋轉(zhuǎn)手動旋鈕3實現(xiàn)每路氣體路徑的單獨導通與關(guān)閉，以使氣體從出氣孔I將氣體輸送進需控制的氣動元件，進而實現(xiàn)對氣動元器件的多通路，單獨控制。上述氣體分配閥體2與通路數(shù)量可根據(jù)實際使用的數(shù)量靈活制定。
[0015]實施例2
[0016]如圖2所示，一種簡易型手動式氣動元件控制裝置，該裝置包括氣體分配閥島5，分配閥島5上設計有氣體進口 6，并在上述氣體分配閥島5上安裝多組手動閥8。上述的氣體進口 6是遠端進氣輸送管路與氣體分配閥島5連接的紐帶。當氣體通入氣體分配閥島5時，通過扳動手動閥手柄9控制手動閥8的開、閉，以實現(xiàn)每路氣體路徑的單獨導通與關(guān)閉，以使氣體從位于手動閥8上的氣體出口 7將氣體輸送進需控制的氣動元件，進而實現(xiàn)對氣動元器件的多通路，單獨控制。上述手動閥手柄9，可以更快速的扳動方式進行操作，進而滿足靈活、快速切換需求。上述氣體分配閥島5與手動閥8數(shù)量可根據(jù)實際使用的數(shù)量靈活制定。
【主權(quán)項】
1.一種簡易型手動式氣動元件控制裝置，其特征在于:該控制裝置采用在一個氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝多組閥的結(jié)構(gòu)形式。2.如權(quán)利要求1所述的簡易型手動式氣動元件控制裝置，其特征在于:所述氣體分配閥島或氣體分配閥體通過機械加工、鑄造、注塑的方式制成。3.如權(quán)利要求1所述的簡易型手動式氣動元件控制裝置，其特征在于:上述氣體分配閥島上設計有壓縮空氣進口及氣體分配通道，上述的氣體進口是遠端進氣輸送管路與氣體分配閥島連接的紐帶，在上述氣體分配閥島上安裝多組手動閥，手動閥上的氣體出口將氣體輸送進需控制的氣動元件，進而實現(xiàn)對氣動元器件的多通路，單獨控制；上述手動閥上設計有手柄。4.如權(quán)利要求1所述的簡易型手動式氣動元件控制裝置，其特征在于:所述氣體分配閥體上設計有進氣孔及出氣孔，上述氣體分配閥體上還安裝手動旋鈕，上述的進氣孔是遠端進氣輸送管路與氣體分配閥體連接的紐帶，進而實現(xiàn)對氣動元器件的多通路，單獨控制。5.如權(quán)利要求4所述的簡易型手動式氣動元件控制裝置，其特征在于:所述氣體分配閥體與通路數(shù)量根據(jù)實際使用的數(shù)量制定。6.如權(quán)利要求3所述的簡易型手動式氣動元件控制裝置，其特征在于:所述氣體分配閥島與手動閥的數(shù)量根據(jù)實際使用的數(shù)量制定。
【專利摘要】簡易型手動式氣動元件控制裝置，主要解決現(xiàn)有的半導體薄膜沉積設備控制氣動元件需要進行檢測時，由于氣動元件在長距離、多路數(shù)控制時，所造成的管路過多、混亂、安全性差等問題。該控制裝置采用在一個氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝多組閥的結(jié)構(gòu)形式。上述氣體分配閥島上設計有壓縮空氣進口及氣體分配通道；上述氣體分配閥島或氣體分配閥體可以通過機械加工、鑄造、注塑等方式制成。在設備裝配及維護過程中需長距離控制氣動元件進行檢測操作時，只須將一路氣源引入上述氣體分配閥島或氣體分配閥體的進氣口，通過氣體分配閥島或氣體分配閥體上安裝的手動閥上的出氣口或出氣孔，分別連接需控制的氣動元件，實現(xiàn)對氣動元件的分別控制功能。
【IPC分類】F15B13/02
【公開號】CN204739026
【申請?zhí)枴緾N201520362576
【發(fā)明人】陳英男, 姜崴, 鄭旭東, 關(guān)帥, 蘆佳
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年5月29日