一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的調(diào)頻振動隔離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及真空栗隔振領(lǐng)域，尤其涉及一種設(shè)于真空腔與真空栗之間的調(diào)頻振動隔離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空栗是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空栗是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空栗的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬。其中真空栗在應(yīng)用于靈敏儀器時，如掃描電子顯微鏡，栗轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的振動會影響儀器的正常運行，于是，在真空栗與真空腔之間多設(shè)置阻振機構(gòu)，常規(guī)的阻尼機構(gòu)的示意圖如圖2，其中真空栗(IA)通過密封機構(gòu)連接到真空室(圖中未示出)，密封機構(gòu)包括連接真空栗和真空腔的金屬波紋管(2A)及圍繞金屬波紋管設(shè)置的橡膠環(huán)(3A)，而該阻尼機構(gòu)能夠吸收較大部分的振動，但是金屬波紋管傳輸?shù)恼駝樱宰阋杂绊戩`敏的儀器的正常運作。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種有效提高隔振效果的設(shè)于真空腔與真空栗之間的調(diào)頻振動隔離裝置。
[0004]本實用新型是通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):
[0005]—種設(shè)于真空腔與真空栗之間的調(diào)頻振動隔離裝置，包括設(shè)于真空栗頂端的基座，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空栗上的支撐托桿，設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣之間的阻尼器及連接于支撐托桿下調(diào)諧阻尼器，所述穩(wěn)定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側(cè)通過穿過基座的導(dǎo)管連接真空栗的出口，所述阻尼器包括兩個分別與阻尼支撐托和穩(wěn)定凸緣貼合的彈性阻尼塊及設(shè)于兩個彈性阻尼塊之間的阻尼塊配重，所述調(diào)諧阻尼器包括穿過支撐托桿底部和彈性阻尼塊與阻尼塊配重連接的彈簧，與彈簧連接的配重及與配重連接的加速計，所述加速劑連接外部的彈簧諧振頻率調(diào)節(jié)器。
[0006]本實用新型的有益效果是:
[0007]阻尼器與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，同時精確調(diào)節(jié)阻尼器的共振平率，提升隔振效果，便于為敏感儀器提供真空環(huán)境，保證儀器測量數(shù)據(jù)的準確性。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2是現(xiàn)有技術(shù)的真空栗阻尼機構(gòu)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:IA.真空栗，2A.金屬波紋管，3A.橡膠環(huán)，2.基座，3.雙層彈性隔膜4.穩(wěn)定凸緣，5.真空腔，6.彈性阻尼塊，7.阻尼塊配重，8.支撐托桿，9.導(dǎo)管，10.真空栗出口，12.彈簧，13.配重，15.加速計，20.氣動隔振器，21.增壓口。
【具體實施方式】
[0011]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和最佳實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0012]如圖所示，本實用新型包括設(shè)于真空栗頂端的基座2，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜3，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣4，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空栗上的支撐托桿8，設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣之間的阻尼器及連接于支撐托桿下調(diào)諧阻尼器，所述穩(wěn)定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側(cè)通過穿過基座的導(dǎo)管9連接真空栗的出口 10，所述阻尼器包括兩個分別與阻尼支撐托和穩(wěn)定凸緣貼合的彈性阻尼塊6及設(shè)于兩個彈性阻尼塊之間的阻尼塊配重7，所述調(diào)諧阻尼器包括穿過支撐托桿底部和彈性阻尼塊與阻尼塊配重連接的彈簧12，與彈簧連接的配重13及與配重連接的加速計15，所述加速劑連接外部的彈簧諧振頻率調(diào)節(jié)器。
[0013]由于大氣壓作用，趨向于將真空栗壓向真空室，在基座與穩(wěn)定凸緣之間設(shè)置阻尼器，阻尼器抵抗大氣壓作用造成的真空力，支撐托桿支撐阻尼器并與兩個彈性阻尼塊及阻尼塊配重配合起到分級阻振的作用。
[0014]阻尼器的共振頻率在與真空栗轉(zhuǎn)速頻率相當(dāng)時，阻振效果最好，一般系統(tǒng)中常對阻尼器的共振頻率粗略調(diào)節(jié)，本實施例中通過加速計及調(diào)諧阻尼器實現(xiàn)精確調(diào)諧，調(diào)節(jié)過程為:調(diào)節(jié)真空栗加速度至最大，加速計測量此時加速度，通過外部的彈簧諧振頻率調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)調(diào)諧阻尼器的質(zhì)量，實現(xiàn)調(diào)節(jié)阻尼器的共振頻率與真空栗轉(zhuǎn)速頻率相當(dāng)。
[0015]雙層彈性隔膜設(shè)于基座與穩(wěn)定凸緣之間，基座可以再六個維度自由振動，從而防止帶動真空腔振動，雙層彈性隔膜中間形成的腔提供雙重密封，雙層膜彈性隔膜之間通過導(dǎo)管連接正空栗，有效降低膜片之間的壓力。
[0016]阻尼器與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，同時精確調(diào)節(jié)阻尼器的共振平率，提升隔振效果，便于為敏感儀器提供真空環(huán)境，保證儀器測量數(shù)據(jù)的準確性。
[0017]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種設(shè)于真空腔與真空栗之間的調(diào)頻振動隔離裝置，其特征在于，包括設(shè)于真空栗頂端的基座，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空栗上的支撐托桿，設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣之間的阻尼器及連接于支撐托桿下調(diào)諧阻尼器，所述穩(wěn)定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側(cè)通過穿過基座的導(dǎo)管連接真空栗的出口，所述阻尼器包括兩個分別與阻尼支撐托和穩(wěn)定凸緣貼合的彈性阻尼塊及設(shè)于兩個彈性阻尼塊之間的阻尼塊配重，所述調(diào)諧阻尼器包括穿過支撐托桿底部和彈性阻尼塊與阻尼塊配重連接的彈簧，與彈簧連接的配重及與配重連接的加速計，所述加速劑連接外部的彈簧諧振頻率調(diào)節(jié)器。
【專利摘要】一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的調(diào)頻振動隔離裝置，包括設(shè)于真空泵頂端的基座，一端設(shè)于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，設(shè)于穩(wěn)定凸緣下部真空泵上的支撐托桿，設(shè)于支撐托桿與穩(wěn)定凸緣之間的阻尼器及連接于支撐托桿下調(diào)諧阻尼器，阻尼器與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，同時精確調(diào)節(jié)阻尼器的共振平率，提升隔振效果，便于為敏感儀器提供真空環(huán)境，保證儀器測量數(shù)據(jù)的準確性。
【IPC分類】F16F15/00, F04B39/00
【公開號】CN205207079
【申請?zhí)枴緾N201520953732
【發(fā)明人】于少鵬, 邸士強, 湯萍, 趙東君, 王新鵬, 趙沙沙
【申請人】綠菱電子材料（天津）有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年11月25日