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      一種用于分子泵的渦輪靜葉片組的制作方法

      文檔序號(hào):10458925閱讀:308來源:國知局
      一種用于分子泵的渦輪靜葉片組的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型屬于流體機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域,尤其是應(yīng)用于真空栗中,具體來說涉及一種用于分子栗的渦輪靜葉片組。
      【背景技術(shù)】
      [0002]在做機(jī)械運(yùn)動(dòng)的各類真空栗中,分子栗是一種結(jié)構(gòu)縝密,工藝要求高的栗,其原理是靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量,使氣體分子在鋼體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng),從而達(dá)到抽氣的目的。
      [0003]渦輪分子栗是由一系列動(dòng)靜相間的葉輪互相配合組成。每個(gè)葉輪的葉片與葉輪水平面成一定角度,動(dòng)片和靜片傾角方向相反。主軸帶動(dòng)葉輪在靜止的定葉片間高速旋轉(zhuǎn),高速旋轉(zhuǎn)的葉片將動(dòng)量傳遞給氣體分子并使其產(chǎn)生定向運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)抽氣目的。
      [0004]栗葉片的幾何形狀與抽速和強(qiáng)度有很大的關(guān)系。目前,就分子栗葉片的種類基本分為扭制、銑制及沖壓等方式。與銑制葉片相比,在相同直徑、角度和速度的條件下,扭制葉片缺少幾何變量,而且扇形葉面根部的強(qiáng)度較差。整體銑制葉片受加工刀具的限制也很難選擇最佳的幾何形狀。另一種矩形葉齒的銑制葉片,雖然加工簡單但葉齒不易加長,否則因葉齒無法承受高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力,而導(dǎo)致其斷裂。沖壓件與采用其他方式加工的工件相比,具有薄、勻、輕、強(qiáng)的特點(diǎn),因此不適用于作為高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片。另外,沖壓加工所使用的模具一般具有專用性,且模具制造的精度高,技術(shù)要求高,是技術(shù)密集型產(chǎn)品。所以,只有在沖壓件生產(chǎn)批量較大的情況下,沖壓加工的優(yōu)點(diǎn)才能充分體現(xiàn),從而獲得較好的經(jīng)濟(jì)效益的。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0005]為了解決上述問題,本實(shí)用新型提供了一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,包括:上下分布設(shè)置的多層渦輪靜葉片,每層渦輪靜葉片包括中心圓盤和多個(gè)葉齒,中心圓盤的橫截面為圓環(huán)形,多個(gè)葉齒均勻分布在中心圓盤的圓周上,葉齒靠近中心圓盤的一端為齒根,葉齒遠(yuǎn)離中心圓盤的一端為齒端,每個(gè)葉齒具有相同的厚度,每個(gè)葉齒與中心圓盤之間具有傾斜角。
      [0006]根據(jù)上述一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其中,葉齒沿從齒根至齒端方向上的每個(gè)位置與中心圓盤之間具有不同的傾斜角。
      [0007]根據(jù)上述一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其中,葉齒靠近齒根的部分與中心圓盤之間的傾斜角大于其靠近齒端的部分與中心圓盤之間的傾斜角。
      [0008]根據(jù)上述一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其中,葉齒靠近齒根的部分與中心圓盤之間的傾斜角為50°?60°。
      [0009]根據(jù)上述一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其中,葉齒靠近齒端的部分與中心圓盤之間的傾斜角為30°?40°。
      [0010]根據(jù)上述一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其中,每層渦輪靜葉片的多個(gè)葉齒的數(shù)目自上而下逐漸增大。
      [0011]有益效果
      [0012]本實(shí)用新型公開了一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,由于葉片是旋轉(zhuǎn)截面,葉片在相同的長度上及空間里,表面積大大增大,分子栗工作時(shí)分子碰撞的面積增大,增長了氣體分子的運(yùn)動(dòng)路徑,分子線速度增大,大大提高抽氣速率,從而有效的解決分子栗抽速問題,使得分子栗效率更高,更節(jié)能。由于作為分子栗靜葉片,所以變角度設(shè)計(jì)時(shí),從遠(yuǎn)離中心的外圈小角度,漸變到靠近中心的內(nèi)圈大角度。
      【附圖說明】
      [0013]圖1是本實(shí)用新型公開的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組的每層渦輪靜葉片的平面結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0014]圖2是本實(shí)用新型公開的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組的每層渦輪靜葉片的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0015]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述,但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
      [0016]圖1是本實(shí)用新型公開的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組的每層渦輪靜葉片的平面結(jié)構(gòu)示意圖,圖2是本實(shí)用新型公開的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組的每層渦輪靜葉片的立體結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1和圖2所示,本實(shí)用新型提供了一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,包括:上下分布設(shè)置的多層渦輪靜葉片(圖中未示出),每層渦輪靜葉片包括中心圓盤01和多個(gè)葉齒02,中心圓盤OI的橫截面為圓環(huán)形,多個(gè)葉齒02均勻分布在中心圓盤OI的圓周上,每層渦輪靜葉片的多個(gè)葉齒02的數(shù)目自上而下逐漸增大,葉齒02靠近中心圓盤01的一端為齒根,葉齒02遠(yuǎn)離中心圓盤01的一端為齒端,每個(gè)葉齒02具有相同的厚度,每個(gè)葉齒02與中心圓盤01之間具有傾斜角,葉齒02沿從齒根至齒端方向上的每個(gè)位置與中心圓盤01之間具有不同的傾斜角,其中,葉齒02靠近齒根的部分與中心圓盤01之間的傾斜角大于其靠近齒端的部分與中心圓盤01之間的傾斜角組,其中,葉齒02靠近齒根的部分與中心圓盤01之間的傾斜角為50°?60°,葉齒02靠近齒端的部分與中心圓盤01之間的傾斜角為30°?40°,葉齒02的齒長根據(jù)分子栗口徑的不同而定。
      [0017]以上所述,僅是本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式,并非對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做任何形式上的限制。凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例做任何簡單修改,形式變化和修飾,均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其特征在于:所述渦輪靜葉片組包括:上下分布設(shè)置的多層渦輪靜葉片,每層渦輪靜葉片包括中心圓盤和多個(gè)葉齒,所述中心圓盤的橫截面為圓環(huán)形,所述多個(gè)葉齒均勻分布在所述中心圓盤的圓周上,所述葉齒靠近所述中心圓盤的一端為齒根,所述葉齒遠(yuǎn)離所述中心圓盤的一端為齒端,每個(gè)葉齒具有相同的厚度,每個(gè)葉齒與所述中心圓盤之間具有傾斜角。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其特征在于:所述葉齒沿從齒根至齒端方向上的每個(gè)位置與中心圓盤之間具有不同的傾斜角。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其特征在于:所述葉齒靠近齒根的部分與中心圓盤之間的傾斜角大于其靠近齒端的部分與中心圓盤之間的傾斜角。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其特征在于:所述葉齒靠近齒根的部分與中心圓盤之間的傾斜角為50°?60°。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其特征在于:所述葉齒靠近齒端的部分與中心圓盤之間的傾斜角為30°?40°。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分子栗的渦輪靜葉片組,其特征在于:所述每層渦輪靜葉片的多個(gè)葉齒的數(shù)目自上而下逐漸增大。
      【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種用于分子泵的渦輪靜葉片組,包括:上下分布設(shè)置的多層渦輪靜葉片,每層渦輪靜葉片包括中心圓盤和多個(gè)葉齒,中心圓盤的橫截面為圓環(huán)形,多個(gè)葉齒均勻分布在中心圓盤的圓周上,葉齒靠近中心圓盤的一端為齒根,葉齒遠(yuǎn)離中心圓盤的一端為齒端,每個(gè)葉齒具有相同的厚度,每個(gè)葉齒與中心圓盤之間具有傾斜角。本實(shí)用新型由于葉片是旋轉(zhuǎn)截面,葉片在相同的長度上及空間里,表面積大大增大,分子泵工作時(shí)分子碰撞的面積增大,增長了氣體分子的運(yùn)動(dòng)路徑,分子線速度增大,大大提高抽氣速率,從而有效的解決分子泵抽速問題,使得分子泵效率更高,更節(jié)能。
      【IPC分類】F04D29/32, F04D19/04
      【公開號(hào)】CN205371073
      【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520963283
      【發(fā)明人】鄭榮禧, 王秀娟
      【申請(qǐng)人】四川九天真空科技股份有限公司
      【公開日】2016年7月6日
      【申請(qǐng)日】2015年11月30日
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