一種質(zhì)譜儀渦輪分子泵保護(hù)裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種渦輪分子泵保護(hù)裝置，包括活塞、保護(hù)器本體；活塞通過彈簧與保護(hù)器本體連接，保護(hù)器本體具有與前級泵連接的接入口，接入口與保護(hù)器本體內(nèi)部的空腔連通；保護(hù)器泵體之外固定設(shè)置接線盒，接線盒上設(shè)有彈性觸點(diǎn)；當(dāng)接入口接入分子泵前級真空系統(tǒng)，且前級泵啟動(dòng)時(shí)，活塞在壓差作用下運(yùn)動(dòng)，活塞的突出部分與接線盒上面的彈性觸點(diǎn)接觸，使兩觸點(diǎn)導(dǎo)通，此開關(guān)信號作為渦輪分子泵的啟動(dòng)信號；當(dāng)前級真空系統(tǒng)故障時(shí)，內(nèi)外壓差不足以使活塞與本體緊密接觸，在彈簧的作用力下分離，此時(shí)兩觸點(diǎn)之間不能導(dǎo)通，渦輪分子泵隨即自行停機(jī)而受到保護(hù)。
【專利說明】
一種質(zhì)譜儀渦輪分子泵保護(hù)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種渦輪分子栗保護(hù)裝置，特別一種用于質(zhì)譜儀器中的渦輪分子栗保護(hù)裝置，屬于質(zhì)譜儀兩級栗技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]質(zhì)譜儀中的主要部件(包括離子源、四極桿、檢測器等)均處于真空系統(tǒng)中。質(zhì)譜儀的真空系統(tǒng)是由兩級真空，前級栗+分子栗來實(shí)現(xiàn)的。
[0003]在此體系中，主要依靠分子栗來實(shí)現(xiàn)高真空，但分子栗必須在體系達(dá)到一定真空程度下方能啟動(dòng)，前級栗即是提供預(yù)真空的工具。儀器正常運(yùn)行時(shí):先啟動(dòng)前級栗，當(dāng)真空達(dá)到一定程度時(shí)，啟動(dòng)分子栗，因此，啟動(dòng)分子栗的時(shí)機(jī)是十分重要的，分子栗啟動(dòng)太早，則前級真空達(dá)不到要求，分子栗無法正常啟動(dòng)，甚至造成損壞；啟動(dòng)的過晚則延長開機(jī)時(shí)間。最理想的判別前級真空的方式是在兩真空栗間使用真空規(guī)，但成本太高；也可以使用延時(shí)繼電器，在前級栗啟動(dòng)后固定時(shí)間啟動(dòng)分子栗，但每臺(tái)前級栗的功率及抽速不盡相同，也會(huì)造成分子栗的損壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有技術(shù)中質(zhì)譜儀渦輪分子栗所采用的保護(hù)裝置，有的采用真空規(guī)，但成本太高，有的采用延時(shí)繼電器，但每臺(tái)前級栗的功率及抽速不盡相同，而且，當(dāng)前級栗發(fā)生故障的時(shí)候難以即時(shí)停止分子栗，均容易造成分子栗的損壞。
[0005]本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案:
[0006]—種渦輪分子栗保護(hù)裝置，包括活塞1、保護(hù)器本體4;所述活塞I通過彈簧5與保護(hù)器本體4連接，保護(hù)器本體4具有與前級栗連接的接入口 4a，所述接入口 4a與保護(hù)器本體4內(nèi)部的空腔連通;保護(hù)器本體4之外固定設(shè)置接線盒3，接線盒上設(shè)有彈性觸點(diǎn)2;當(dāng)接入口4a接入分子栗前級真空系統(tǒng)，且前級栗啟動(dòng)時(shí)，活塞I在壓差作用下運(yùn)動(dòng)，活塞I的突出部分與接線盒3上面的彈性觸點(diǎn)2接觸，使兩觸點(diǎn)導(dǎo)通，此開關(guān)信號作為渦輪分子栗的啟動(dòng)信號；當(dāng)前級真空系統(tǒng)故障時(shí)，內(nèi)外壓差不足以使活塞I與本體4緊密接觸，在彈簧5的作用力下分離，此時(shí)兩觸點(diǎn)之間不能導(dǎo)通，渦輪分子栗隨即自行停機(jī)而受到保護(hù)。
[0007]進(jìn)一步的，所述保護(hù)器本體4上設(shè)有密封圈6，所述密封圈與活塞I相對應(yīng)，活塞I在壓差作用下運(yùn)動(dòng)，壓迫密封圈6，與保護(hù)器本體4緊密吸合。
[0008]進(jìn)一步的，活塞I具有相互垂直的活塞桿部分與端面部分。
[0009]進(jìn)一步的，所述接線盒3固定在所述保護(hù)器本體4的側(cè)壁上。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0011]I)結(jié)構(gòu)簡單可靠、較之真空變送器等技術(shù)手段成本低廉；
[0012]2)耐用性強(qiáng)、適用范圍廣泛；
[0013]3)利用機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)保護(hù)，可靠性較高；
[0014]4)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用方便，能夠?qū)Ψ肿永踹M(jìn)行有效保護(hù)。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型渦輪分子栗保護(hù)裝置的正面結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0016]圖2是本實(shí)用新型渦輪分子栗保護(hù)裝置的側(cè)視圖。
[0017]圖中，1.活塞，2.彈性觸點(diǎn)，3.接線盒，4.保護(hù)器本體，5.彈簧，6.密封圈，4a.接入
□ O
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0019]參見圖1、2，一種渦輪分子栗保護(hù)裝置，包括活塞1、保護(hù)器本體4;所述活塞I通過彈簧5與保護(hù)器本體4連接，保護(hù)器本體4具有與前級栗連接的接入口 4a，所述接入口 4a與保護(hù)器本體4內(nèi)部的空腔連通;保護(hù)器本體4之外固定設(shè)置接線盒3，接線盒上設(shè)有彈性觸點(diǎn)2;當(dāng)接入口 4a接入分子栗前級真空系統(tǒng)，且前級栗啟動(dòng)時(shí)，活塞I在壓差作用下運(yùn)動(dòng)，活塞I的突出部分與接線盒3上面的彈性觸點(diǎn)2接觸，使兩觸點(diǎn)導(dǎo)通，此開關(guān)信號作為渦輪分子栗的啟動(dòng)信號；當(dāng)前級真空系統(tǒng)故障時(shí)，內(nèi)外壓差不足以使活塞I與本體4緊密接觸，在彈簧5的作用力下分離，此時(shí)兩觸點(diǎn)之間不能導(dǎo)通，渦輪分子栗隨即自行停機(jī)而受到保護(hù)。
[0020]所述保護(hù)器本體4上設(shè)有密封圈6，所述密封圈與活塞I相對應(yīng)，活塞I在壓差作用下運(yùn)動(dòng)，壓迫密封圈6，與保護(hù)器本體4緊密吸合。
[0021 ]活塞I具有相互垂直的活塞桿部分與端面部分。
[0022]所述接線盒3固定在所述保護(hù)器本體4的側(cè)壁上。
[0023]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單可靠、較之真空變送器等技術(shù)手段成本低廉;耐用性強(qiáng)、適用范圍廣泛;利用機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)保護(hù)，可靠性較高;結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用方便，能夠?qū)Ψ肿永踹M(jìn)行有效保護(hù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種渦輪分子栗保護(hù)裝置，其特征在于: 包括活塞(I)、保護(hù)器本體(4); 所述活塞(I)通過彈簧(5)與保護(hù)器本體(4)連接，保護(hù)器本體(4)具有與前級栗連接的接入口(4a)，所述接入口(4a)與保護(hù)器本體(4)內(nèi)部的空腔連通;保護(hù)器本體(4)之外固定設(shè)置接線盒(3)，接線盒上設(shè)有彈性觸點(diǎn)(2); 所述彈性觸點(diǎn)(2)設(shè)在活塞(I)的突出部分的下方。2.如權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗保護(hù)裝置，其特征在于:所述保護(hù)器本體(4)上設(shè)有密封圈(6)，所述密封圈與活塞(I)相對應(yīng)，活塞(I)在壓差作用下運(yùn)動(dòng)，壓迫密封圈(6)，與保護(hù)器本體(4)緊密吸合。3.如權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗保護(hù)裝置，其特征在于:活塞(I)具有相互垂直的活塞桿部分與端面部分。4.如權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗保護(hù)裝置，其特征在于:所述接線盒(3)固定在所述保護(hù)器本體(4)的側(cè)壁上。
【文檔編號】F04D27/00GK205592163SQ201620036688
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年1月15日
【發(fā)明人】王 華, 董小魯, 吳亮亮, 王岳東
【申請人】上海舜宇恒平科學(xué)儀器有限公司