專利名稱:測量機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及測量機(jī)。詳細(xì)地講,涉及具有多個構(gòu)造體,把至少一個構(gòu)造體作為可動構(gòu)件或者支承可動構(gòu)件的移動的導(dǎo)向構(gòu)件構(gòu)成的測量機(jī)。
背景技術(shù):
現(xiàn)有的測量被測量物的尺寸或形狀等的三維數(shù)據(jù)的三維測量機(jī)(例如,參照日本特開2000-65561號公報)已被公知。這樣的三維測量機(jī),可以使測頭和工作臺在相互正交的X軸、Y軸和Z軸的三個方向上相對移動,同時根據(jù)測頭與載置在工作臺上的被測量物接觸時的各軸的移動位移量,測量被測量物的尺寸和形狀等三維數(shù)據(jù)。
現(xiàn)在,要在這樣的三維測量機(jī)中謀求測量的高速化和高精度化。但是,伴隨著測量的高速化和高精度化,測頭和工作臺相對移動時產(chǎn)生的振動成為不容忽視的因素。作為針對這樣的振動的振動衰減機(jī)構(gòu),采用通過在三維測量機(jī)的主體上設(shè)置彈性橡膠和彈簧等,主動地使振動衰減的機(jī)構(gòu)。
可是,對于這樣的振動衰減機(jī)構(gòu),其對振動的衰減有一定的限度,為進(jìn)一步謀求三維測量機(jī)的高速化和高精度化,熱切希望有新的振動抑制方法。
因此,為了確保剛性和長期穩(wěn)定性,在導(dǎo)引測頭移動的引導(dǎo)部或載置被測量物的工作臺上使用內(nèi)部有肋的鑄件。在這樣的鑄件的鑄造時,由于用型芯形成肋,必須在鑄件上設(shè)置用于去除鑄造時使用的芯砂的開口,還必須從鑄件中去除芯砂,因此,在引導(dǎo)部或工作臺的鑄造上耗費(fèi)很多工時,存在鑄件制作的效率差的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于,提供有效地衰減伴隨構(gòu)造體的移動產(chǎn)生的殘余振動,可以同時實(shí)現(xiàn)測量的高速化和高精度化的測量機(jī),另外,本發(fā)明的另一個目的在于,提供具有制造效率良好的構(gòu)造體的測量機(jī)。
本發(fā)明的測量機(jī),是具有多個構(gòu)造體,至少1個構(gòu)造體作為可動構(gòu)件或者作為支承可動構(gòu)件的移動的導(dǎo)向構(gòu)件而構(gòu)成的測量機(jī),其特征在于,作為前述可動構(gòu)件或者前述導(dǎo)向構(gòu)件而構(gòu)成的至少一個構(gòu)造體具有密閉空間,在前述空間內(nèi)填充有填充物。
根據(jù)該發(fā)明,由于在構(gòu)成可動構(gòu)件或者支承可動構(gòu)件的移動的導(dǎo)向構(gòu)件的構(gòu)造體中的至少一個構(gòu)造體上,形成有填充了填充物的密閉空間,所以與一般的肋構(gòu)造的構(gòu)造體相比,可以提高剛性,而且可以提高振動衰減性能。即,通過提高剛性能降低所產(chǎn)生的殘余振動,而且,由于把填充物填充在密閉空間的內(nèi)部,所以可以使產(chǎn)生的殘余振動更快地衰減。為此,即使在為了高精度化而在殘余振動衰減后進(jìn)行測量的場合,由于可以縮短測量的待機(jī)時間,所以可以同時實(shí)現(xiàn)測量的高速化和高精度化。
另外,本發(fā)明的測量機(jī),是具有大致垂直地立起的2根立柱、大致水平地橫架在前述立柱之間的橫梁、以及沿該橫梁進(jìn)退自由地安裝的測頭的測量機(jī),其特征在于,前述橫梁具有密閉空間,在前述空間內(nèi)填充有填充物。
根據(jù)該發(fā)明,可以獲得與前述的測量機(jī)大致相同的效果。即,由于橫梁具有內(nèi)部填充了填充物的密閉空間,所以,與由一般的具有肋構(gòu)造的構(gòu)造體形成的橫梁相比,可以提高剛性。與此同時,由于在內(nèi)部填充了填充物,所以可以更快地衰減伴隨測頭的進(jìn)退產(chǎn)生的殘余振動。因此,即使在為了高精度化而在殘余振動衰減后進(jìn)行測量的場合,由于可以縮短測量的待機(jī)時間,所以可以同時實(shí)現(xiàn)測量的高速化和高精度化。
在本發(fā)明中,前述橫梁最好用具有肋的鑄件形成。
根據(jù)本發(fā)明,由于橫梁具有肋,所以與前述的橫梁的密閉構(gòu)造相結(jié)合,可以進(jìn)一步地提高剛性。作為填充物,如果使用比重比鑄件輕的填充物,與由鑄件形成的較密實(shí)的橫梁比,可以謀求輕量化。再有,由于橫梁由鑄件形成,所以可以抑制橫梁的老化,可以確保測頭的進(jìn)退的長期穩(wěn)定性。
另外,本發(fā)明的測量機(jī),是具有底座、在該底座上形成的導(dǎo)向構(gòu)件、由前述導(dǎo)向構(gòu)件導(dǎo)引而在前述底座上滑動的工作臺的測量機(jī),其特征在于,前述工作臺具有密閉空間,在前述空間內(nèi)填充有填充物。
根據(jù)本發(fā)明,可以獲得與前述的測量機(jī)和橫梁相同的效果,即,由于工作臺具有內(nèi)部填充了填充物的密閉空間,所以與底面?zhèn)染哂杏衫邩?gòu)造分隔出的多個凹部的工作臺相比較,可以得到剛性高的效果。另外,與該效果一起,由于在密閉空間內(nèi)填充了填充物,所以可以更快地衰減工作臺滑動時產(chǎn)生的殘余振動。因此,即使在殘余振動衰減后進(jìn)行測量的場合,由于可以縮短測量的待機(jī)時間,所以可以謀求測量的高速化和高精度化。
在本發(fā)明中,前述空間最好形成于前述工作臺的與前述導(dǎo)向構(gòu)件相對的部分上。
根據(jù)該發(fā)明,由于工作臺的密閉空間在與導(dǎo)引工作臺的滑動的導(dǎo)向構(gòu)件相對的部分上形成,所以可以把密閉空間的形成抑制在殘余振動的衰減所需要的最小限度內(nèi)。由此,與使工作臺整體密閉化的場合相比,可以減輕工作臺的移動質(zhì)量。從而,在謀求伴隨工作臺的滑動產(chǎn)生的殘余振動的衰減的同時可以謀求工作臺的輕量化。
在本發(fā)明中,前述工作臺最好用底面?zhèn)染哂欣叩蔫T件形成。
根據(jù)該發(fā)明,可以取得與前述的橫梁同樣的效果。即,由于工作臺用具有肋的鑄件形成,與前述的密閉構(gòu)造結(jié)合,可以進(jìn)一步提高剛性。作為填充物,如果把比重比鑄件小的填充物填充在工作臺的密閉空間內(nèi),與由鑄件形成的較密實(shí)的工作臺相比,可以使工作臺輕量化。再有,由于工作臺用鑄件形成,所以,可以抑制工作臺的老化。
在本發(fā)明中,前述填充材料最好是在前述鑄件的鑄造中用于形成前述空間的芯砂。
根據(jù)該發(fā)明,由于在橫梁和工作臺的密閉空間內(nèi)填充用于該密閉空間形成的芯砂,所以,在該密閉空間內(nèi)可以省略橫梁和工作臺制造時芯砂的去除工序。與此相伴,可以省略把新的其它填充物填充在該密閉空間內(nèi)的工序。從而,可以削減橫梁和工作臺的制造工序,可以提高制造效率。
圖1是表示本發(fā)明的一個實(shí)施方式的三維測量機(jī)的立體圖。
圖2是對前述的實(shí)施方式的X軸引導(dǎo)部局進(jìn)行部剖切的立體圖。
圖3是表示前述實(shí)施方式的工作臺的立體圖。
圖4是表示前述實(shí)施方式的工作臺的底面的立體圖。
圖5A是表示現(xiàn)有的三維測量機(jī)的振動衰減波形的圖。
圖5B是表示前述實(shí)施方式的三維測量機(jī)的振動衰減波形的圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)
本發(fā)明的一個實(shí)施方式。
圖1表示本實(shí)施方式的三維測量機(jī)。
在圖1中,三維測量機(jī)1具有底座2、門型立柱3、滑動件4和工作臺5。
底座2是三維測量機(jī)1的基座,是用鑄件制造的。在該底座2的上面上設(shè)置Y軸引導(dǎo)部21。該Y軸引導(dǎo)部21在三維測量機(jī)1的長度方向上,即在圖1中用Y表示的Y軸方向上導(dǎo)引工作臺5的滑動。Y軸引導(dǎo)部21具有沿底座2的長度方向相互大致平行地形成的2個略凸?fàn)畹淖鳛閷?dǎo)向構(gòu)件的導(dǎo)軌211。在導(dǎo)軌211的上表面上形成導(dǎo)引工作臺5的滑動的導(dǎo)引面212。
門型立柱3從底座2的上表面立起地形成。該門型立柱3是用于使滑動件4在三維測量機(jī)1的寬度方向上、即在圖1中用X表示的X軸方向上進(jìn)退的部件,其具有2根立柱31、X軸引導(dǎo)部32和滑動件驅(qū)動機(jī)構(gòu)33。
2根立柱31形成門型立柱3的腿部,其在底座2的上面的長度方向的大致中間處從寬度方向兩端部大致垂直地豎立起地形成。在這些立柱31的上端,以大致水平地橫架在2根立柱31之間的方式配置作為橫梁的X軸引導(dǎo)部32。該X軸引導(dǎo)部32在X軸方向上導(dǎo)引滑動件4的進(jìn)退,其由寬度方向(X軸方向)的尺寸大于高度方向(Z軸方向)的尺寸的大致長方形的鑄件形成。對于X軸引導(dǎo)部32的構(gòu)造后面詳細(xì)敘述。
在X軸引導(dǎo)部32的上面上設(shè)置使滑動件4沿X軸方向進(jìn)退的滑動件驅(qū)動機(jī)構(gòu)33。該滑動件驅(qū)動機(jī)構(gòu)33具有未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)(馬達(dá)、帶輪、帶等)、X軸導(dǎo)向軸331和固定部332。X軸導(dǎo)向軸331用于把來自驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力傳遞到滑動件4,固定部332軸向回轉(zhuǎn)自由地支承該X軸導(dǎo)向軸331。
滑動件4含有未圖示的測頭(probe),其使測頭在高度方向上,即在圖1中用Z來表示的Z軸方向上進(jìn)退。除了測頭外,還具有滑動件主體41、主軸42、測頭座(probe head)43。
滑動件主體41由鋼制的殼體覆蓋。在該滑動件主體41的下端,主軸42與未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)一起被安裝成在Z軸方向上進(jìn)退自由。在主軸42的前端部上設(shè)置將測頭安裝于主軸42上的測頭座43。該測頭座43具有能安裝各種測頭的結(jié)構(gòu)。關(guān)于測頭座43,也以能夠更換的方式可裝卸自由地被安裝。作為測頭,可以安裝接觸式或非接觸式中的任一種。
在圖2中表示了X軸引導(dǎo)部32的構(gòu)造。
X軸引導(dǎo)部32如上所述由鑄件形成,是整體密閉的密閉構(gòu)造體。在X軸引導(dǎo)部32的內(nèi)部,形成格子狀的肋321和由該肋321分隔成的中空空間322。
在中空空間322內(nèi)填充芯砂。該芯砂是在X軸引導(dǎo)部32的鑄造過程中用于形成中空空間322的。即,在一般的鑄件的鑄造中,都去除為了在內(nèi)部形成中空而使用的芯砂。但是,在本實(shí)施方式的X軸引導(dǎo)部32的鑄造中,不去除芯砂,而是使其原封不動地填充在內(nèi)部,X軸引導(dǎo)部32被密閉。另外,在X軸引導(dǎo)部32的鑄造過程中,在穿插有芯砂的芯頭(軸)的孔323中,加上未圖示的塞子。該塞子使填充在X軸引導(dǎo)部32內(nèi)部的芯砂不從孔323漏出。
圖3表示工作臺5。
如前述那樣,工作臺5沿在底座2上形成的Y軸引導(dǎo)部21向Y軸方向滑動。工作臺5是底面?zhèn)染哂欣?參照圖4)的大致矩形的鑄造構(gòu)件,從上方看成為左右對稱的構(gòu)造。該工作臺5具有在工作臺5的上面形成的載置被測量物的載物面51、從該載物面51的寬度方向(X軸方向)兩端部大致下垂的側(cè)面52、從該載物面51的長度方向(Y軸方向)兩端部大致下垂的側(cè)面53。
在側(cè)面52上設(shè)置由未圖示的塞子塞住的孔521。在圖3所示的側(cè)面52的相反側(cè)的面上也同樣地設(shè)有孔521。在鑄造工作臺5時,該孔521相當(dāng)于用于在工作臺5內(nèi)部形成中空空間的芯子的芯頭的位置。通常,從孔521中去除芯砂,但在本實(shí)施方式中,通過把塞子塞在孔521內(nèi),芯砂被原封不動地填充在工作臺5內(nèi)部。
在把工作臺5設(shè)置在底座2上時,側(cè)面53是與底座2的長度方向(Y軸方向)大致垂直的面,該側(cè)面53成為中央部分向下方延伸的大致T字形。
圖4表示工作臺5的底面54。
在工作臺5的底面54上,具有在底面54的中央形成的突出部541、夾著突出部541地在兩端形成的密閉部542。
在把工作臺5配置在底座2上時,突出部541成為向下方突出的部分,以被在底座2上形成的Y軸引導(dǎo)部21的導(dǎo)軌211夾著的方式被配置。該配置能抑制工作臺5滑動時的擺動。在該突出部541上形成格子狀的肋541A。被這些肋541A分隔成的空間541B向下方開口。
密閉部542是在底面54中在相對于圖1所示的Y軸方向大致垂直的方向的兩端部、即圖3中上下兩端部上形成的密閉空間。在該密閉部542的內(nèi)部,與X軸引導(dǎo)部32一樣,形成未圖示的肋和中空空間。在鑄造工作臺5時,以不去除的方式將用于形成該中空空間而使用的芯砂填充于該中空空間中。
密閉部542的下面是在把工作臺5配置在底座2上時與在底座2上形成的Y軸引導(dǎo)部21的導(dǎo)引面212相對的面。在該下面上配置未圖示的空氣軸承。由此,工作臺5在底座2上沿著Y軸引導(dǎo)部21的導(dǎo)引面212平滑地滑動。
從而,根據(jù)本實(shí)施方式,X軸引導(dǎo)部32是整體被密閉的密閉構(gòu)造體,在X軸引導(dǎo)部32的內(nèi)部形成填充了芯砂的密閉空間。據(jù)此,與由有肋構(gòu)造且露出肋構(gòu)造的構(gòu)造體形成的情況相比,可以提高剛性。可以更快地衰減伴隨滑動件4和主軸42的進(jìn)退而產(chǎn)生的殘余振動。
在圖5A和圖5B中表示一般的三維測量機(jī)和本實(shí)施方式的三維測量機(jī)的滑動件移動時的振動衰減波形。在圖5A中,表示使用由沒有填充填充物的鑄件形成的X軸引導(dǎo)部的一般的三維測量機(jī)的振動衰減波形。而在圖5B中,表示本實(shí)施方式的三維測量機(jī)的振動衰減波形。
如圖5A所示,在一般的三維測量機(jī)中,振動發(fā)生后,衰減到振幅最大值的1/10的振幅時所花費(fèi)的時間為大約300msec,可是如圖5B所示,在本實(shí)施方式的三維測量機(jī)中,衰減到振幅最大值的1/10的振幅時所花費(fèi)的時間只為大約50msec。
從而,本實(shí)施方式的三維測量機(jī)與一般的三維測量機(jī)相比,可以把殘余振動收斂所需要的時間大幅度縮短。因此,即使在為了高精度化而等待振動收斂后再進(jìn)行測量的場合,由于可以縮短測量的待機(jī)時間,所以可以同時實(shí)現(xiàn)測量的高速化和高精度化。
另外,由于X軸引導(dǎo)部32在內(nèi)部具有肋321,所以與前述的X軸引導(dǎo)部32的密閉構(gòu)造相結(jié)合,可以進(jìn)一步提高剛性。另外,由于作為填充物使用芯砂,所以與由鑄件形成的較密實(shí)的X軸導(dǎo)軌相比,可以謀求X軸引導(dǎo)部32的輕量化。再有,由于X軸引導(dǎo)部32由鑄造材料形成,所以可以抑制X軸引導(dǎo)部32的老化。從而確保長期使用過程中滑動件4的進(jìn)退的穩(wěn)定性。
另外,由于在工作臺5上形成內(nèi)部填充芯砂的密閉部542,所以與不具有密閉空間的工作臺相比,可以獲得提高工作臺5的剛性的效果。另外,在該效果的基礎(chǔ)上,由于在密閉空間內(nèi)填充了芯砂,所以可以獲得與前述的X軸引導(dǎo)部32同樣的效果。即,與沒有密閉空間或者具有沒有填充芯砂那樣的填充物的密閉構(gòu)造的工作臺相比,可以使工作臺5滑動時產(chǎn)生的殘余振動快速衰減。從而,可以同時實(shí)現(xiàn)測量的高速化和高精度化。
另外,由于工作臺5的密閉部542具有未圖示的肋構(gòu)造,所以與前述的密閉構(gòu)造結(jié)合,可以進(jìn)一步提高剛性。另外,通過用比重比鑄造材料小的芯砂作為填充物,與由鑄造材料形成的較密實(shí)的工作臺相比,可以謀求工作臺5的輕量化。再有,由于工作臺5用鑄造材料形成,所以可以抑制工作臺5的老化。
另外,由于工作臺5的密閉部542形成在與導(dǎo)引面212相對的工作臺5的兩端部上,所以可以把密閉空間的形成抑制到殘余振動的衰減所必需的最小限度內(nèi)。由此,由于與工作臺5整體密閉化的場合相比,可以減輕工作臺5的移動質(zhì)量,所以可以在謀求伴隨工作臺5的滑動產(chǎn)生的殘余振動的衰減的同時謀求工作臺5的輕量化。
另外,由于在X軸引導(dǎo)部32的中空空間322和工作臺5的密閉部542內(nèi)部填充了芯砂,所以在中空空間322和密閉部542內(nèi)不需要去除芯砂。與此相伴,在各構(gòu)件中不需要填充別的填充物。因此,可以減少X軸引導(dǎo)部32和工作臺5的制造工序,可以提高制造效率。
再有,本發(fā)明不局限于前述的實(shí)施方式,在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的變形、改進(jìn)均包含在本發(fā)明中。
在前述實(shí)施方式中,作為測量機(jī)舉例說明了三維測量機(jī),但本發(fā)明不局限于此,例如,測量滾筒直徑和形狀的測量機(jī)、測量表面粗糙度的表面粗糙度測量機(jī)、表面粗糙度和輪廓形狀測量機(jī)、測量輪廓的輪廓測量機(jī)、圓度和圓筒形狀測量機(jī)等都可以采用本發(fā)明。即,具有可動構(gòu)件和導(dǎo)向構(gòu)件的測量機(jī)都可以采用本發(fā)明。
在前述實(shí)施方式中,舉例說明了以芯砂作為填充物,但本發(fā)明不局限于此,即,也可以填充金屬等粒狀物質(zhì),使構(gòu)造體滑動時的殘余振動衰減。
在前述實(shí)施方式中,由塞子塞住X軸引導(dǎo)部32的孔323和工作臺5的孔521,但本發(fā)明不限定于此,也可以采用板體堵住的結(jié)構(gòu)。另外,也可以在各自的制造階段不形成孔地進(jìn)行制造而形成密閉狀態(tài)。如果做成用塞子塞住孔323、521,在X軸引導(dǎo)部32和工作臺5的制造后,可以容易地塞住孔323、521。
在前述實(shí)施方式中,工作臺5的側(cè)面53呈大致T字形,但本發(fā)明不局限于此,即,只要是由Y軸引導(dǎo)部21導(dǎo)引工作臺5的滑動的形狀,也可以是至少具有1個向下方開口的凹部的形狀。該場合可以考慮使導(dǎo)軌211與開口的凹部配合而導(dǎo)引工作臺5的滑動。
在前述實(shí)施方式中,底座2、工作臺5和X軸引導(dǎo)部32由鑄件制造,但本發(fā)明不局限于此,也可以使用鋼構(gòu)件或輝長巖等。該場合可以把底座2、工作臺5和X軸引導(dǎo)部32做成箱形,在內(nèi)部填充砂或金屬等粒狀物質(zhì)即可。如果用鑄件制造底座2、工作臺5和X軸引導(dǎo)部32,由于作為填充物可以利用各構(gòu)件鑄造時使用的芯砂,所以可以提高各構(gòu)件的制造效率。再有,由于鑄件隨著時間推移的變形小,所以可以防止各構(gòu)件因長期使用引起的變形,可以確?;瑒蛹?和工作臺5的滑動的長期穩(wěn)定性。
在前述實(shí)施方式中,工作臺5的密閉部542形成在底面54的寬度方向(X軸方向)的兩端部上,但也可以形成在縱長方向(Y軸方向)的兩端部。在本發(fā)明中,不局限于此,只要由密閉鑄件構(gòu)成工作臺5整體即可。如果在底面54的寬度方向兩端部形成密閉部542,可以在有效地抑制伴隨工作臺5的滑動而產(chǎn)生的殘余振動的同時謀求工作臺5的輕量化。
在前述實(shí)施方式中,對于被測量物的Y軸方向的測量,是通過使載置有被測量物的工作臺5在Y軸方向滑動上來進(jìn)行的,但在本發(fā)明中不局限于此,例如,也可以把工作臺5做成固定的,而通過使門型立柱3在Y軸方向上滑動來進(jìn)行測量。該場合下,只要可以使門型立柱3沿設(shè)置在底座2上的Y軸引導(dǎo)部21滑動即可,也可以由密閉鑄件構(gòu)成Y軸引導(dǎo)部21。另外,也可以由密閉鑄件構(gòu)成底座2本身。再有,如果按使工作臺5在Y軸方向上進(jìn)退的構(gòu)成,與質(zhì)量大的門型立柱3進(jìn)行進(jìn)退的情況相比,可以抑制測量時的振動和誤差。
在前述實(shí)施方式中,三維測量機(jī)1具有門型立柱3,但本發(fā)明不局限于此,也可以采用具有單臂的立柱的三維測量機(jī)等。
在前述實(shí)施方式中,也可以使三維測量機(jī)1與計(jì)算機(jī)等連接,由該計(jì)算機(jī)等控制被測量物的測量。
權(quán)利要求
1.一種測量機(jī),是包括多個構(gòu)造體,至少1個構(gòu)造體作為可動構(gòu)件或者作為支承可動構(gòu)件的移動的導(dǎo)向構(gòu)件而構(gòu)成的測量機(jī),其特征在于,作為前述可動構(gòu)件或者前述導(dǎo)向構(gòu)件而構(gòu)成的至少一個構(gòu)造體具有密閉空間,在前述空間內(nèi)填充有填充物。
2.一種測量機(jī),是包括大致垂直地立起的2根立柱、大致水平地橫架在前述立柱之間的橫梁、以及沿該橫梁進(jìn)退自由地安裝的測頭的測量機(jī),其特征在于,前述橫梁具有密閉空間,在前述空間內(nèi)填充有填充物。
3.如權(quán)利要求2所述的測量機(jī),其特征在于,前述橫梁用具有肋的鑄件形成。
4.一種測量機(jī),是包括底座、在該底座上形成的導(dǎo)向構(gòu)件、由前述導(dǎo)向構(gòu)件導(dǎo)引而在前述底座上滑動的工作臺的測量機(jī),其特征在于,前述工作臺具有密閉空間,在前述空間內(nèi)填充有填充物。
5.如權(quán)利要求4所述的測量機(jī),其特征在于,前述空間形成于前述工作臺的與前述導(dǎo)向構(gòu)件相對的部分上。
6.如權(quán)利要求4或者5所述的測量機(jī),其特征在于,前述工作臺由在底面?zhèn)染哂欣叩蔫T件形成。
7.如權(quán)利要求3所述的測量機(jī),其特征在于,前述填充材料是在前述鑄件的鑄造中用于形成前述空間的芯砂。
8.如權(quán)利要求6所述的測量機(jī),其特征在于,前述填充材料是在前述鑄件的鑄造中用于形成前述空間的芯砂。
全文摘要
一種測量機(jī),在其構(gòu)成中的多個構(gòu)造體之中,作為可動構(gòu)件或者導(dǎo)引可動構(gòu)件的移動的導(dǎo)向構(gòu)件(32)的至少一個構(gòu)造體,具有密閉空間(322)。在該密閉空間內(nèi)填充了填充物。根據(jù)該構(gòu)成,可以提高可動構(gòu)件或者導(dǎo)向構(gòu)件(32)的剛性。另外,可以有效地衰減伴隨可動構(gòu)件的移動產(chǎn)生的殘余振動。
文檔編號F16F7/00GK1573285SQ20041004299
公開日2005年2月2日 申請日期2004年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月12日
發(fā)明者小倉勝行, 山崎賢治 申請人:株式會社三豐