專利名稱：一種耐腐蝕組合閥門裝置的制作方法
專利說明
背景技術(shù)：
本實(shí)用新型涉及一種用于多種氣體混合分裝和準(zhǔn)分子激光器的激光氣體控制中的耐腐蝕組合閥門裝置。
背景技術(shù)：
在氣體激光器中，特別是準(zhǔn)分子激光器，其必須的激光工作氣體是稀有氣體單鹵化物，一般都需要鹵素氣體、稀有氣體和緩沖氣體混合而成。為了保證激光能量和穩(wěn)定可靠的工作，則激光器的激光工作氣體必須使用純度為99.999％以上的單一氣體以一定的氣體比分混合，通過氣體配氣裝置罐裝到鋼瓶中，制成鋼瓶裝的激光混合氣體，可直接用作激光工作氣體；或者通過激光器本身的氣體控制裝置直接將三種氣體以合適的比例充入密封的激光腔體中。不管是那種方式都需要激光氣體控制裝置。現(xiàn)如今，常用的準(zhǔn)分子激光器是稀有氣體單鹵化物準(zhǔn)分子激光器，如ArF，KrF和XeCl等，波長都處于紫外波段，在工業(yè)、醫(yī)療和科研方面都有著重要的應(yīng)用。
但是準(zhǔn)分子激光器的工作氣體之一的鹵化物具有很強(qiáng)的毒性，同時(shí)當(dāng)激光工作氣體混入空氣時(shí)，會(huì)和空氣中的水蒸汽形成腐蝕性很高酸性物質(zhì)，會(huì)對(duì)激光腔中的零件進(jìn)行腐蝕，會(huì)極大影響激光器的氣體壽命和激光能量的大小，這就對(duì)準(zhǔn)分子激光工作氣體的純度提出很高的要求。以前都是通過許多分立的閥門和管道元件構(gòu)成氣體控制裝置，系統(tǒng)裝置復(fù)雜而且也增加了氣體管道連接過程中的泄漏幾率。
本實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述的缺陷，提供一種既能保證為準(zhǔn)分子激光器提出純度很高的激光工作氣體，又耐腐蝕和密封性好，且安裝操作簡(jiǎn)單的耐腐蝕組合閥門裝置。
本實(shí)用新型包括殼體和置于其內(nèi)的組合閥門及真空閥門，其特征在于a、所述的組合閥門包括緩沖氣體閥門、稀有氣體閥門和鹵素氣體閥門三個(gè)單體閥門，其上的進(jìn)氣口由分支氣路管道分別與三個(gè)卡套式緩沖氣體接口、稀有氣體接口和鹵素氣體接口連接，出氣口分別與主氣路管道連通，主氣路管道端頭裝有一接口；b、真空閥的進(jìn)氣口與主氣路管道連通，其端頭裝有壓力表接口，出氣口上裝有真空泵接口。
單體閥門的圓形進(jìn)氣口內(nèi)置有一內(nèi)放有頂針的彈簧，頂針外緊貼有密封墊，內(nèi)有頂塞的閥門旋鈕旋擰于閥門固定板上，固定螺母穿過閥門固定板將密封墊壓緊于閥門座外部的密封槽內(nèi)。
殼體、組合閥門和真空閥門均采用不銹鋼材料為質(zhì)材，密封墊采用聚四；氟密封墊。
單體閥門的進(jìn)氣口比出氣口高0.4～0.6mm。
閥門固定板的環(huán)形表面與密封槽相匹配。
由于閥門固定板的環(huán)形表面和密封槽相匹配，能保證閥門內(nèi)的進(jìn)氣口和出氣口的氣體不向閥門外部泄漏；當(dāng)要截止進(jìn)氣口和出氣口之間的氣路時(shí)，由于閥門進(jìn)氣口高出閥門出氣口0.4～0.6mm，通過順時(shí)針旋緊閥門旋鈕帶動(dòng)頂塞壓緊聚四氟密封墊使其形變，聚四氟密封墊通過頂針壓緊彈簧封住閥門的進(jìn)氣口；當(dāng)要打開進(jìn)氣口和出氣口之間的氣路時(shí)，逆時(shí)針旋松閥門旋鈕，由于內(nèi)部彈簧的彈性形變作用頂開聚四氟密封墊，這樣氣體就可以在進(jìn)、出口之間通過。
使用時(shí)，將緩沖氣體鋼瓶、稀有氣體鋼瓶和鹵素氣體鋼瓶通過減壓閥連接到組合閥門的緩沖氣體接口、稀有氣體接口和鹵素氣體接口上；通過真空泵接口連接到外部真空泵，通過壓力表接口連接檢測(cè)壓力表，最后將主氣路管道接口連接到混合鋼瓶或激光腔中。首先關(guān)閉三個(gè)單體閥門打開真空閥門對(duì)混合鋼瓶或激光腔抽真空，當(dāng)檢測(cè)壓力表上的真空度達(dá)到要求時(shí)，關(guān)閉真空閥門和真空泵；然后根據(jù)激光氣體配比要求依次打開三個(gè)單體閥門充入一定比例的氣體，這樣激光氣體就充入鋼瓶和激光腔。
本實(shí)用新型效果由于該裝置采用耐腐蝕的不銹鋼材料制成，集成了四個(gè)閥門和五個(gè)接口，減少了閥門和接口之間的管道連接，從而不僅耐腐蝕和密封性好而且安裝使用方便，且在高腐蝕氣體的分裝和準(zhǔn)分子激光器分路控制中有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值，利于廣泛推廣應(yīng)用。


圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為單體閥門結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1參見圖1、2，本實(shí)用新型包括采用不銹鋼材料制作的殼體1和置于其內(nèi)的組合閥門2及真空閥門3，組合閥門2包括緩沖氣體閥門4、稀有氣體閥門5和鹵素氣體閥門6三個(gè)單體閥門，其上的進(jìn)氣口7由分支氣路管道8分別與三個(gè)卡套式緩沖氣體接口9、稀有氣體接口10和鹵素氣體接口11連接，出氣口12分別與主氣路管道13連通，進(jìn)氣口比出氣口高0.4～0.6mm，主氣路管道端頭端有一接口14；真空閥3的進(jìn)氣口與主氣路管道13連通，其端頭裝有壓力表接口15，出氣口上裝有真空泵接口16。單體閥門的圓形進(jìn)氣口7內(nèi)置有一內(nèi)放有一頂針17的彈簧18，其高出進(jìn)氣口約2mm；頂針外緊貼有厚度為2mm的聚四氟密封墊19，內(nèi)有頂塞20的閥門旋鈕21旋擰于閥門固定板22上，四個(gè)固定螺母23均分穿過閥門固定板將聚四氟密封墊19壓緊于閥門座24外部的密封槽內(nèi)25內(nèi)。閥門固定板的環(huán)形表面與密封槽相匹配。
權(quán)利要求1.一種耐腐蝕組合閥門裝置，包括殼體和置于其內(nèi)的組合閥門及真空閥門，其特征在于a、所述的組合閥門包括緩沖氣體閥門、稀有氣體閥門和鹵素氣體閥門三個(gè)單體閥門，其上的進(jìn)氣口由分支氣路管道分別與三個(gè)卡套式緩沖氣體接口、稀有氣體接口和鹵素氣體接口連接，出氣口分別與主氣路管道連通，主氣路管道端頭裝有一接口；b、真空閥的進(jìn)氣口與主氣路管道連通，其端頭裝有壓力表接口，出氣口上裝有真空泵接口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐腐蝕組合閥門裝置，其特征在于單體閥門的圓形進(jìn)氣口內(nèi)置有一內(nèi)放有頂針的彈簧，頂針外緊貼有密封墊，內(nèi)有頂塞的閥門旋鈕旋擰于閥門固定板上，固定螺母穿過閥門固定板將密封墊壓緊于閥門座外部的密封槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐腐蝕組合閥門裝置，其特征在于殼體、組合閥門和真空閥門均采用不銹鋼材料為質(zhì)材，密封墊采用聚四氟密封墊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐腐蝕閥門裝置，其特征在于單體閥門的進(jìn)氣口比出氣口高0.4～0.6mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的耐腐蝕閥門裝置，其特征在于閥門固定板的環(huán)形表面與密封槽相匹配。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種耐腐蝕組合閥門裝置，包括殼體和置于其內(nèi)的組合閥門及真空閥門，其特征在于所述的組合閥門包括緩沖氣體閥門、稀有氣體閥門和鹵素氣體閥門三個(gè)單體閥門，其上的進(jìn)氣口由分支氣路管道分別與三個(gè)卡套式緩沖氣體接口、稀有氣體接口和鹵素氣體接口連接，出氣口分別與主氣路管道連通，主氣路管道端頭裝有一接口；真空閥的進(jìn)氣口與主氣路管道連通，其端頭裝有壓力表接口，出氣口上裝有真空泵接口。本實(shí)用新型既能保證準(zhǔn)分子激光器提出純度很高的激光工作氣體，又耐腐蝕和密封性好，且安裝操作簡(jiǎn)單，利于廣泛推廣應(yīng)用。
文檔編號(hào)F16K11/10GK2699083SQ20042002683
公開日2005年5月11日 申請(qǐng)日期2004年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月29日
發(fā)明者鄧國慶, 賀龍梅, 余吟山, 張玉亮 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所