專利名稱：帶有加熱裝置的流體控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備等中使用的流體控制裝置，特別是涉及帶有加熱裝置的流體控制裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的流體控制裝置中，各種流體控制器成多列配置，且相鄰兩列流體控制器的流路之間在指定的位置上通過控制器連接機(jī)構(gòu)進(jìn)行連接。然而近年來，這類流體控制裝置正在朝著不通過管子而將質(zhì)量流量控制器、開閉閥門連接起來的集成化方向發(fā)展。
在這類流體控制裝置中，為了防止結(jié)露，且為了避免常溫下為液態(tài)的流體在氣化后的流動(dòng)過程中再次液化，有時(shí)需要配備加熱裝置。作為這種帶有加熱裝置的流體控制裝置，日本專利申請(qǐng)公開公報(bào)特開2002-267100號(hào)公開了這樣一種裝置至少在一條管線的兩側(cè)配置左、右?guī)罴訜崞鳎⑼ㄟ^多個(gè)金屬夾子將它們保持在對(duì)應(yīng)的連接構(gòu)件上。
上述以往的帶有加熱裝置的流體控制裝置的優(yōu)點(diǎn)是可抑制因帶有加熱裝置而引起的設(shè)置面積的增加。但只通過卡夾的彈力并不能使加熱器與流體控制器主體等充分貼緊。例如，通過加熱器加熱到50℃左右是可以實(shí)現(xiàn)的，但卻不能加熱到80℃以上，也就是說針對(duì)所要求的溫度，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)加熱能力不足的情況。雖然可以考慮在加熱器上粘接海綿硅作為保溫材料，再將夾子夾在海綿硅上的方法，但這樣會(huì)造成包括海綿硅的厚度在內(nèi)的加熱器的厚度增大，因此，這樣的加熱器不適于用在上述需要集成化的流體控制裝置中。當(dāng)然通過提高加熱器功率也可以提升加熱能力，但這樣一來電力消耗量就會(huì)增加，從而產(chǎn)生不經(jīng)濟(jì)和能量損耗的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種帶有加熱裝置的流體控制裝置，其既可以抑制因帶有加熱裝置而引起的設(shè)置面積的增加，又能夠提升加熱能力。
本發(fā)明的帶有加熱裝置的流體控制裝置，在流體控制裝置中附設(shè)有加熱裝置，該流體控制裝置的各管線并列配置在基座構(gòu)件上，該管線由配置在上部的多個(gè)流體控制器和配置在下部的多個(gè)塊狀連接構(gòu)件形成，其中，至少在一條管線的兩側(cè)配置面狀加熱器，且這些面狀加熱器的外側(cè)分別抵靠有保溫板，保溫板之間通過螺栓構(gòu)件接合在一起，從而防止面狀加熱器的脫落。
優(yōu)選保溫板的材料由具有優(yōu)良的耐熱性和隔熱性的材料制成，例如由工程塑料制成。保溫板的熱傳導(dǎo)率優(yōu)選在1.0(W/m·K)以下，最好低于0.3(W/m·K)。
根據(jù)本發(fā)明的流體控制裝置，在需進(jìn)行加熱的管線的兩側(cè)配置有面狀加熱器，且這些面狀加熱器的外側(cè)分別抵靠有保溫板，保溫板之間可通過螺栓構(gòu)件接合在一起，因此可抑制因帶有加熱裝置而引起的設(shè)置面積的增加，而且只花很少的工夫就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)管線的預(yù)期的加熱。另外，由于工程塑料的保溫板比金屬夾子(不銹鋼的熱傳導(dǎo)率是16.3W/m·K)的熱傳導(dǎo)率小，所以使得隔熱效果得到改善，這樣，即使在應(yīng)用相同加熱器的情況下，也可以將管線加熱到更高的溫度。
在各保溫板的上部設(shè)置有至少一個(gè)朝向另一側(cè)的保溫板伸出的突出部，并且優(yōu)選使這些突出部的前端之間對(duì)接。此外，優(yōu)選在一側(cè)保溫板的突出部上設(shè)置有供連接螺栓插入用的螺栓插孔，在另一側(cè)保溫板的突出部上設(shè)置有供連接螺栓擰入用的內(nèi)螺紋。
這樣一來，可以將保溫板之間的間隔保持為一定，易于進(jìn)行螺栓連接操作。


圖1是分解立體圖，其表示了本發(fā)明的帶有加熱裝置的流體控制裝置。
圖2是立體圖，其表示了本發(fā)明的帶有加熱裝置的流體控制裝置。
具體實(shí)施例方式
以下參考附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
圖1和圖2展示了本發(fā)明的帶有加熱裝置的流體控制裝置的局部。管線并列配置在基座構(gòu)件(圖中略去)上形成流體控制裝置(1)，其中，該管線由配置在)上部的多個(gè)流體控制器(2)、(3)、(4)、以及配置在下部的多個(gè)塊狀連接構(gòu)件(5)形成。
加熱裝置(11)具有面狀加熱器(12)，該面狀加熱器(12)至少配置在一條管線的左、右兩側(cè)，其用于對(duì)流體控制器(2)、(3)、(4)和連接構(gòu)件(5)進(jìn)行加熱。在這些面狀加熱器(12)的外側(cè)分別抵靠有工程塑料制成的左、右保溫板(13)、(14)，彼此相對(duì)著的左、右保溫板(13)、(14)之間通過帶六角孔的螺栓(螺紋構(gòu)件)(15)連接在一起，從而避免面狀加熱器(12)從流體控制器(2)、(3)、(4)和連接構(gòu)件(5)上脫落。
面狀加熱器(12)在中央部分的高度能夠覆蓋流體控制器(2)、(3)、(4)的主體部分和連接構(gòu)件(5)整體，且該面狀加熱器(12)兩端的高度比其中央部分還要更高一些，使得其整體上大致成U字形。當(dāng)然，面狀加熱器的形狀不僅限于大致U字形，也可以是高度相同的帶狀。
左、右保溫板(13)、(14)的高度與面狀加熱器(12)中央部分的高度大致相同，其靠近兩端的部分朝向上方突出。在這些朝向上方突出的部位上，分別設(shè)置有朝向另一側(cè)的保溫板(13)、(14)伸出的突出部(13a)、(13b)、(14a)、(14b)，這些突出部(13a)、(13b)、(14a)、(14b)的前端彼此對(duì)接。左保溫板(13)的突出部(13a)、(13b)比右保溫板(14)的突出部(14a)(14b)的突出量更大。
各突出部(13a)、(13b)、(14a)、(14b)被流體控制器(2)、(3)、(4)的主體的上表面所支承，這些突出部(13a)、(13b)、(14a)、(14b)中的一側(cè)的突出部(13a)、(14a)配置在高度較高的流體控制器(3)之間，而另一側(cè)的突出部(13b)、(14b)配置在高度較矮的流體控制器(4)之間。為避免配置在高度較高的流體控制器(3)之間的左保溫板(13)突出部(13a)與流體控制器(3)之間發(fā)生干涉，將突出部(13a)制成這樣的形狀從左保溫板(13)的另一側(cè)突出部(13b)上切去一部分的形狀。
如圖1所示，在右保溫板(14)的突出部(14a)、(14b)上設(shè)置有供連接螺栓(15)插入用的螺栓插孔(16)，在左保溫板(13)的突出部(13a)、(13b)上分別設(shè)置有供連接螺栓(15)擰入用的內(nèi)螺紋(17)。
對(duì)于構(gòu)成上述保溫板(13)、(14)的工程塑料的種類并沒有做出特別的限定，但其熱傳導(dǎo)率最好低于0.3(W/m·K)，例如，其可以是熱傳導(dǎo)率為0.25(W/m·K)的PEEK，熱傳導(dǎo)率為0.22(W/m·K)的ULTEM，熱傳導(dǎo)率為0.18(W/m·K)的MC尼龍等。此外，形成保溫板(13)、(14)的材料當(dāng)然也可選用工程塑料以外的材料，但其熱傳導(dǎo)率應(yīng)在1.0(W/m·K)以下，最好低于0.3(W/m·K)。
本發(fā)明能夠抑制在半導(dǎo)體制造設(shè)備等使用的流體控制裝置中因帶有加熱裝置所引起的設(shè)置面積的增加，同時(shí)能夠提高加熱能力。因此，本發(fā)明可以提供能防止結(jié)露和避免常溫下為液態(tài)的流體在氣化后的流動(dòng)過程中再次液化且具有高性能和高通用性的流體控制裝置。
權(quán)利要求
1.一種帶有加熱裝置的流體控制裝置，在該流體控制裝置中附設(shè)有加熱裝置，各管線并列配置在基座構(gòu)件上，該管線由配置在上部的多個(gè)流體控制器、和配置在下部的多個(gè)塊狀連接構(gòu)件形成，其特征在于，加熱裝置具有面狀加熱器，該面狀加熱器至少配置在一條管線的兩側(cè)，從而對(duì)流體控制器和連接構(gòu)件進(jìn)行加熱，且這些面狀加熱器的外側(cè)分別抵靠有保溫板，保溫板之間通過螺栓構(gòu)件接合在一起，從而防止面狀加熱器的脫落。
2.如權(quán)利要求1所述的帶有加熱裝置的流體控制裝置，其特征在于，在各保溫板的上部設(shè)置有至少一個(gè)朝向另一側(cè)的保溫板伸出的突出部，并且這些突出部的前端相互對(duì)接。
3.如權(quán)利要求2所述的帶有加熱裝置的流體控制裝置，其特征在于，在一側(cè)保溫板的突出部上設(shè)置有供連接螺栓插入用的螺栓插孔，而在另一側(cè)保溫板的突出部上設(shè)置有供連接螺栓擰入用的內(nèi)螺紋。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的帶有有加熱裝置的流體控制裝置，其特征在于，保溫板由工程塑料制成。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的帶有加熱裝置的流體控制裝置，其特征在于，保溫板的熱傳導(dǎo)率小于等于0.3W/m·K。
全文摘要
加熱裝置(11)具有面狀加熱器(12)，該面狀加熱器(12)至少配置在一條管線的兩側(cè)，從而對(duì)流體控制器(2、3、4)和連接構(gòu)件(5)進(jìn)行加熱，且這些面狀加熱器(12)的外側(cè)分別抵靠有工程塑料制成的保溫板(13、14)，保溫板(13、14)之間通過螺栓構(gòu)件(15)接合在一起，從而防止面狀加熱器(12)的脫落。
文檔編號(hào)F16K51/02GK1788174SQ20048001313
公開日2006年6月14日 申請(qǐng)日期2004年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月14日
發(fā)明者四方出, 田中林明, 山路道雄 申請(qǐng)人:株式會(huì)社富士金