專(zhuān)利名稱(chēng)：閘門(mén)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種按照獨(dú)立權(quán)利要求前序部分的閘門(mén)裝置。
背景技術(shù)：
在真空腔的隔離閥中，尤其是對(duì)于所述的用于涂覆基質(zhì)的直列式設(shè)備在相對(duì)于所述接受器密封隔離閥舌門(mén)時(shí)經(jīng)常出現(xiàn)問(wèn)題。對(duì)于具有可回轉(zhuǎn)的隔離閥舌門(mén)的隔離閥來(lái)說(shuō)重要的影響因素是變形，尤其是在將所述舌門(mén)在隔離閥處于閉鎖狀態(tài)中壓向接受器時(shí)回轉(zhuǎn)軸和隔離閥舌門(mén)的扭曲。由此導(dǎo)致的變形的結(jié)果是隔離閥舌門(mén)的不均勻的壓向包括閘門(mén)開(kāi)口的彈性密封元件的擠壓力，這導(dǎo)致了，沿著密封元件的走向不能保證在所有位置上為了可靠的密封所需要的最小擠壓力。然而，為了保證一種足夠的密封，一種通用的、但是費(fèi)事的并且成本昂貴的方案在于使用尺寸非常大的構(gòu)件，通過(guò)這些構(gòu)件可以施加一個(gè)足夠高的轉(zhuǎn)矩和一個(gè)相應(yīng)的壓緊力。
由DE-OS 394 502已知一種具有一個(gè)負(fù)壓腔和一個(gè)設(shè)置在負(fù)壓腔兩側(cè)的隔離閥的裝置。該閥板具有一種長(zhǎng)的、平行六面體的形狀，其中所述閥板與相應(yīng)的三個(gè)軸承體固定連接。在所述軸承體中穿過(guò)一個(gè)軸，所述軸本身與搖桿連接并且可被一個(gè)具有電機(jī)的齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)。所述閥板相對(duì)于圍繞位置固定的軸承可運(yùn)動(dòng)的杠桿可傾翻地保持住，使得閥板的密封面可壓向在負(fù)壓腔的殼體上的密封面。但是已經(jīng)表明，利用該已知的隔離閥不能達(dá)到對(duì)于密封性的最高要求，因?yàn)樗枰拿芊猸h(huán)在閉鎖狀態(tài)非常不均勻地受到負(fù)荷并且密封板或者說(shuō)驅(qū)動(dòng)軸在閉鎖狀態(tài)以非常大的程度彎曲。這個(gè)問(wèn)題特別是當(dāng)閥板具有一個(gè)過(guò)度的長(zhǎng)寬比時(shí)出現(xiàn)，如其典型地在用于平坦的大面積基質(zhì)的直列式設(shè)備中所需要的那樣。
此外，由DE 4203 473 A1已知一種用于將基質(zhì)一方面引入相鄰的處理腔和/或從大氣腔引入較小壓力的腔中的轉(zhuǎn)動(dòng)閘門(mén)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)閘門(mén)具有一個(gè)門(mén)狀的、保持在一個(gè)位置固定的軸承中的閥板和一個(gè)與該閥板作用連接的關(guān)閉電機(jī)并且具有一個(gè)包括該閘門(mén)開(kāi)口的框形的密封元件。所述閥板在一個(gè)大致平行于該閥板延伸的閥門(mén)條中通過(guò)至少一個(gè)可彈性變形的中間構(gòu)件鉸接，其中所述閥門(mén)條本身具有兩個(gè)相互在直徑方向上對(duì)置的主軸頸，該主軸頸不可轉(zhuǎn)動(dòng)地與設(shè)置在所述腔外的驅(qū)動(dòng)電機(jī)耦聯(lián)。所述閥門(mén)條是不易彎曲的型材。這種閘門(mén)的缺點(diǎn)是復(fù)雜的結(jié)構(gòu)以及顆粒污物在排出時(shí)由于閥板的扭曲帶來(lái)的困難。
由US 5379 984中已知一種具有一個(gè)閥體的隔離閥，一個(gè)長(zhǎng)的并且窄的縫隙通過(guò)該閥體延伸。在所述縫隙的開(kāi)口側(cè)設(shè)置一個(gè)閥板，該閥板向著窄的密封接觸面逐漸變細(xì)。設(shè)有一個(gè)可運(yùn)動(dòng)的密封元件來(lái)將一個(gè)展開(kāi)的軟管作為密封的膜片鋪在所述接觸面上。因?yàn)樗雒芊庠q接在一個(gè)回轉(zhuǎn)軸上，在該已知的閥門(mén)裝置中困難的是保證沿著開(kāi)口走向統(tǒng)一的壓力。從而該隔離閥要經(jīng)受在真空和大氣壓力之間的壓力差，此時(shí)設(shè)置所述閥門(mén)，將大氣壓力借助于關(guān)閉力沿著閥舌門(mén)的閉合方向作用。
由US 6263542 B1已知一種用于真空腔的、具有一個(gè)回轉(zhuǎn)支架的舌門(mén)裝置。所述舌門(mén)體通過(guò)一個(gè)結(jié)構(gòu)復(fù)雜的柔性的、例如彈性的連接件與所述回轉(zhuǎn)支架脫耦。從而避免了密封件的不均勻的、導(dǎo)致泄漏的壓力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是提供一種開(kāi)頭所述類(lèi)型的閘門(mén)裝置，借助于該閘門(mén)裝置可以實(shí)現(xiàn)設(shè)置在壁體中的閘門(mén)開(kāi)口簡(jiǎn)單且可靠的密封。
按照本發(fā)明，本發(fā)明的任務(wù)通過(guò)獨(dú)立權(quán)利要求的特征解決。本發(fā)明優(yōu)選的改進(jìn)方案來(lái)自從屬權(quán)利要求。
按照本發(fā)明，對(duì)于一種用于在一個(gè)第一和第二接受器之間的壁中設(shè)置的閘門(mén)開(kāi)口的閘門(mén)裝置，其具有一個(gè)設(shè)置在第一接受器的內(nèi)腔中的閉鎖機(jī)構(gòu)和一個(gè)配屬于該閉鎖機(jī)構(gòu)的配對(duì)板，一個(gè)第一磁體機(jī)構(gòu)設(shè)置在配對(duì)板的一個(gè)區(qū)域中。一個(gè)配屬于第一磁體機(jī)構(gòu)的第二磁體機(jī)構(gòu)設(shè)在閉鎖機(jī)構(gòu)的一個(gè)區(qū)域中。為了關(guān)閉和/或打開(kāi)閘門(mén)開(kāi)口，借助于第一和第二磁體機(jī)構(gòu)在閉鎖機(jī)構(gòu)和配對(duì)板之間產(chǎn)生一個(gè)正的和/或負(fù)的壓緊力。按照本發(fā)明，引起密封的壓緊力基本局部在那些實(shí)行密封的位置起作用。因此，原理上傳力構(gòu)件、如在力產(chǎn)生位置和密封位置之間的一個(gè)軸或者類(lèi)似物沒(méi)有變形。因此，總起來(lái)說(shuō)所述構(gòu)件非常細(xì)長(zhǎng)、優(yōu)選以輕型結(jié)構(gòu)的形式實(shí)施。這具有另外的優(yōu)點(diǎn)，即只需要驅(qū)動(dòng)小的質(zhì)量并且因此可以實(shí)現(xiàn)一種非常動(dòng)態(tài)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)非常短的關(guān)閉或者打開(kāi)時(shí)間。優(yōu)選兩個(gè)接受器是真空腔。
當(dāng)至少其中一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)具有至少一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈來(lái)產(chǎn)生磁場(chǎng)時(shí)，可以以特別簡(jiǎn)單的形式產(chǎn)生或中斷一個(gè)關(guān)閉力和/或打開(kāi)力。
當(dāng)磁體機(jī)構(gòu)中的一個(gè)包括一個(gè)鐵磁性的組件并且另一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)具有一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈來(lái)產(chǎn)生磁場(chǎng)的時(shí)候，可以實(shí)現(xiàn)一種特別成本經(jīng)濟(jì)的可控制性和一種簡(jiǎn)單且堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)的組合。
為了保證一種無(wú)流動(dòng)的閉鎖狀態(tài)，磁體機(jī)構(gòu)中的一個(gè)包括一個(gè)第一永久磁體-組件，另一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)包括一個(gè)第二永久磁體-組件或者一個(gè)鐵磁性的組件，并且所述磁體機(jī)構(gòu)中的至少一個(gè)附加地具有一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈來(lái)借助于一個(gè)反向磁場(chǎng)來(lái)產(chǎn)生一個(gè)打開(kāi)沖量(ffnungsimpuls)，此時(shí)也在可能的電壓消失的時(shí)候?qū)崿F(xiàn)閘門(mén)開(kāi)口的可靠的關(guān)閉。
在使用按照本發(fā)明的閘門(mén)裝置的時(shí)候可以提高靈活性，此時(shí)設(shè)計(jì)所述磁體機(jī)構(gòu)，使得它們能夠克服大氣壓力可靠地密封閉鎖機(jī)構(gòu)，即使大氣壓力與關(guān)閉方向相反地作用到閉鎖機(jī)構(gòu)上。特別優(yōu)選的是磁性機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，所述機(jī)構(gòu)即使在無(wú)流動(dòng)的閉鎖狀態(tài)中也保證這樣的密封。
優(yōu)選設(shè)有一個(gè)非均勻形狀的閘門(mén)開(kāi)口，該閘門(mén)開(kāi)口特別具有一個(gè)適合于輸送在基質(zhì)載體上垂直懸掛的基質(zhì)的閘門(mén)開(kāi)口輪廓，由此可以實(shí)現(xiàn)在閘門(mén)開(kāi)口和通過(guò)該開(kāi)口可運(yùn)動(dòng)的部件之間的最小縫隙。這種實(shí)施方式減小了在具有不同的壓力和/或氣體混合物的相鄰腔之間的所不希望的溢流效應(yīng)。
當(dāng)所述磁體機(jī)構(gòu)沿著閘門(mén)開(kāi)口的走向設(shè)置，使得閉鎖機(jī)構(gòu)在閘門(mén)開(kāi)口的閉鎖狀態(tài)中是無(wú)扭轉(zhuǎn)的時(shí)，由此沿著閘門(mén)開(kāi)口的不同的壓緊力以及因此不緊密性或者溢流可以基本上避免。
根據(jù)位置關(guān)系和其它的影響因素，一個(gè)借助于回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可定位的、可回轉(zhuǎn)的舌門(mén)或者一個(gè)滑塊機(jī)構(gòu)用作閉鎖機(jī)構(gòu)是合適的，其中所述滑塊機(jī)構(gòu)可借助于一個(gè)線性的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位?；剞D(zhuǎn)機(jī)構(gòu)或線性的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以引入和結(jié)束關(guān)閉或者打開(kāi)運(yùn)動(dòng)，該關(guān)閉或者打開(kāi)運(yùn)動(dòng)通常優(yōu)選是自動(dòng)化的和/或可控制的。
如本身已知的那樣，為了密封在一個(gè)配對(duì)板和/或閉鎖機(jī)構(gòu)的區(qū)域中設(shè)有一個(gè)可變形的密封元件，優(yōu)選一個(gè)圓線環(huán)。優(yōu)選橡膠彈性的圓環(huán)，其可以可靠地、成本經(jīng)濟(jì)地并且容易地更換。
特別優(yōu)選的是一種裝置的實(shí)施方式，其中所述閉鎖機(jī)構(gòu)具有一個(gè)組件，其由一種鐵磁性的板制成。
為了改善密封功能，有利的是，所述閉鎖機(jī)構(gòu)是具有較小彎曲剛性的板，使得通過(guò)閉鎖機(jī)構(gòu)在閉鎖狀態(tài)中的有目的的變形也在所參與的組件的大的制造公差的情況下保證一種可靠的密封。


本發(fā)明其它的實(shí)施方式和優(yōu)點(diǎn)也與其在權(quán)利要求中的概括無(wú)關(guān)地在下文中不受一般性限制地借助于

。
以極其示意的形式示出圖1是按照本發(fā)明的閘門(mén)裝置的水平剖面圖，圖2是按照本發(fā)明的閘門(mén)裝置的垂直剖面圖，圖3是連同沿著閘門(mén)開(kāi)口走向設(shè)置的磁體機(jī)構(gòu)的閘門(mén)開(kāi)口的細(xì)節(jié)圖。
具體實(shí)施例方式
在圖1和圖2中分別示出按照本發(fā)明的閘門(mén)裝置的一個(gè)水平剖面A-A以及垂直于A-A的垂直剖面，所述閘門(mén)裝置用于一個(gè)在第一和第二接受器之間的壁體中設(shè)置的閘門(mén)開(kāi)口。所述接受器是真空腔。一種該類(lèi)的閘門(mén)裝置有利地在所述的直列式系統(tǒng)中用于制造用于平面顯示器的基質(zhì)。典型的是，這種基質(zhì)大約1mm厚，是矩形的并且具有1000×1200mm或者更大的尺寸。所述基質(zhì)在所述直列式系統(tǒng)中懸掛地沿著一個(gè)線性的或者U形的路徑通過(guò)多個(gè)真空腔來(lái)導(dǎo)引，所述真空腔通過(guò)閘門(mén)相互是可分離的。由于所述基質(zhì)尺寸，所述典型的閘門(mén)開(kāi)口的特征在于一個(gè)過(guò)度的長(zhǎng)寬比。但是可以理解的是，所述按照本發(fā)明的閘門(mén)裝置也可用于其它的閘門(mén)開(kāi)口輪廓。按照本發(fā)明的閘門(mén)裝置可以由薄壁的并且輕的構(gòu)件制成并且因此特別適于隔離閥的高通過(guò)率和相應(yīng)快速同步地進(jìn)行的自動(dòng)化的基質(zhì)-處理，因?yàn)橹恍鑾?dòng)小的質(zhì)量。
在圖1中在一個(gè)第一真空腔VK1和一個(gè)第二真空腔VK2之間設(shè)置一個(gè)作為矩形縫隙構(gòu)成的閘門(mén)開(kāi)口，該閘門(mén)開(kāi)口在這種情況下包括一個(gè)配屬于真空腔VK1的第一縫隙區(qū)域7和一個(gè)配屬于真空腔VK2的第二縫隙區(qū)域17。在真空腔VK1和VK2之間延伸一個(gè)壁，其由真空腔VK1的一個(gè)連接法蘭1a和真空腔VK2的一個(gè)連接法蘭9a形成，所述連接法蘭1a和連接法蘭9a分別與真空腔VK1或VK2的腔壁1或9相連。所述閘門(mén)開(kāi)口可以通過(guò)一個(gè)設(shè)計(jì)成矩形的舌門(mén)3的閉鎖機(jī)構(gòu)與配對(duì)板3a共同作用地閉鎖。所述閘門(mén)開(kāi)口在由縫隙區(qū)域7形成的區(qū)域中由配對(duì)板3a包圍。此外，所述配對(duì)板3a具有一個(gè)可變形的密封元件，優(yōu)選一個(gè)橡膠彈性的圓線環(huán)，該圓線環(huán)在閉鎖狀態(tài)變形并且保證了壓力可靠的密封。
在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，所述閉鎖機(jī)構(gòu)具有一個(gè)不同于矩形的形狀，該形狀優(yōu)選對(duì)應(yīng)于閘門(mén)開(kāi)口輪廓。
所述舌門(mén)3設(shè)置在回轉(zhuǎn)軸2上，該回轉(zhuǎn)軸可通過(guò)一個(gè)回轉(zhuǎn)接頭13利用回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
為了固定并且支承回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或回轉(zhuǎn)軸設(shè)有一個(gè)軸承支承架11和一個(gè)支架14。所述回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12用于引入以及結(jié)束關(guān)閉運(yùn)動(dòng)和打開(kāi)運(yùn)動(dòng)。作為回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)有一個(gè)氣動(dòng)缸，其中顯然也可使用液壓或者電動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
按照本發(fā)明，在配對(duì)板3a的區(qū)域中設(shè)有一個(gè)具有可控的勵(lì)磁線圈5，5’的第一磁體機(jī)構(gòu)并且在閉鎖機(jī)構(gòu)的區(qū)域中設(shè)有一個(gè)配屬于第一磁體機(jī)構(gòu)的第二磁體機(jī)構(gòu)6。該第二磁體機(jī)構(gòu)6是一種鐵磁性的板或者帶狀機(jī)構(gòu)6，該帶狀機(jī)構(gòu)設(shè)置在舌門(mén)3的背面。在激活勵(lì)磁線圈5，5’時(shí)，在舌門(mén)3和線圈5，5’之間，也就是在閉鎖機(jī)構(gòu)和配對(duì)板3a之間產(chǎn)生一個(gè)壓緊力。
顯然在本發(fā)明中舌門(mén)3可以包括不同的結(jié)構(gòu)方式，特別是所述舌門(mén)3由一種鐵磁性的板、優(yōu)選具有較小的彎曲剛性的鐵磁性的板制成。板厚優(yōu)選在0.5mm和10mm之間，特別優(yōu)選在1mm和8mm之間。在使用一種鐵磁性的板3時(shí)可以取消鐵磁性的板6，因?yàn)樗錾嚅T(mén)3本身是第二磁體機(jī)構(gòu)。此外，一個(gè)可變形的密封元件可替代地或者可附加地也設(shè)置在板3上。
在圖3中示出在打開(kāi)舌門(mén)時(shí)一個(gè)閘門(mén)開(kāi)口7連同沿著閘門(mén)開(kāi)口的開(kāi)口走向設(shè)置的磁體機(jī)構(gòu)5，5’，5a的細(xì)節(jié)。所述閘門(mén)開(kāi)口具有一個(gè)開(kāi)口輪廓，該開(kāi)口輪廓具有一個(gè)第一縫隙區(qū)域7a和一個(gè)第二縫隙區(qū)域7b，其中所述第一縫隙區(qū)域7a具有比第二縫隙區(qū)域7b更大的寬度。一個(gè)這樣的閘門(mén)開(kāi)口輪廓適合于輸送在基質(zhì)載體上垂直懸掛的基質(zhì)。該磁體機(jī)構(gòu)5，5’在兩側(cè)包括第二閘門(mén)開(kāi)口區(qū)域7b。磁體機(jī)構(gòu)5a由于位置原因設(shè)置在第一閘門(mén)開(kāi)口區(qū)域7a的上方?？勺冃蔚拿芊庠?，優(yōu)選一個(gè)圓線環(huán)包圍所述閘門(mén)開(kāi)口以及所述磁體機(jī)構(gòu)5，5’和5a。顯然本發(fā)明也包括密封元件的另一種走向。
在閉鎖狀態(tài)，磁體機(jī)構(gòu)沿著閘門(mén)開(kāi)口的走向布置，使得閉鎖機(jī)構(gòu)無(wú)扭轉(zhuǎn)地并且以足夠的壓緊力壓向密封元件4。
此外，這樣設(shè)計(jì)所述磁體機(jī)構(gòu)，使得可以實(shí)現(xiàn)由閉鎖機(jī)構(gòu)施加到密封元件上的壓緊力的設(shè)定的值。
在本發(fā)明的一種改進(jìn)方案中，可控的磁體機(jī)構(gòu)是一個(gè)優(yōu)選整體式的勵(lì)磁線圈，該勵(lì)磁線圈單個(gè)或者多個(gè)地包圍沿著開(kāi)口走向的閘門(mén)開(kāi)口。
特別有利的是，勵(lì)磁線圈的固定通過(guò)將合適的對(duì)真空有用的鑄造材料澆鑄在容納線圈的構(gòu)件的相應(yīng)設(shè)置的空腔中來(lái)實(shí)現(xiàn)。為此可以例如使用如名為阿拉爾狄特的環(huán)氧樹(shù)脂或者類(lèi)似材料。
在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，磁體機(jī)構(gòu)中的一個(gè)包括一個(gè)永久磁體-組件。另一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)同樣可以包括一個(gè)永久磁體-組件。從而可以實(shí)現(xiàn)閘門(mén)開(kāi)口的一種無(wú)流動(dòng)的閉鎖狀態(tài)。至少其中一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)在此包括一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈，通過(guò)該勵(lì)磁線圈可以產(chǎn)生一個(gè)反向磁場(chǎng)。由此可以在閉鎖機(jī)構(gòu)和配對(duì)板之間產(chǎn)生一個(gè)打開(kāi)沖量或一個(gè)負(fù)的壓緊力。特別優(yōu)選的是設(shè)計(jì)用于相對(duì)于大氣壓力可靠的、無(wú)流動(dòng)的閉鎖狀態(tài)的永久磁體-機(jī)構(gòu)，即使當(dāng)大氣壓力反向于閉鎖方向作用在閉鎖機(jī)構(gòu)上。
在本發(fā)明的另一種實(shí)施方式中，兩個(gè)磁體機(jī)構(gòu)包括一個(gè)永久磁體-組件，使得可以引起閘門(mén)開(kāi)口的無(wú)流動(dòng)的閉鎖狀態(tài)。此外設(shè)有一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，通過(guò)該驅(qū)動(dòng)軸可以引入和結(jié)束關(guān)閉和打開(kāi)運(yùn)動(dòng)。在此，顯然驅(qū)動(dòng)軸上的轉(zhuǎn)矩必須足以在打開(kāi)運(yùn)動(dòng)時(shí)克服兩個(gè)磁體機(jī)構(gòu)的永久磁體之間的吸力。
在前述說(shuō)明書(shū)中得出，兩個(gè)接受器是真空腔，顯然本發(fā)明包括這樣的實(shí)施方式，其中所述閉鎖機(jī)構(gòu)設(shè)置于在一個(gè)接受器和一個(gè)具有長(zhǎng)久聚集的大氣壓力的區(qū)域之間的分開(kāi)位置上。
附圖標(biāo)記列表VK1真空腔1VK2真空腔21 真空腔1的腔壁1a 真空腔1的連接法蘭2 轉(zhuǎn)軸3 舌門(mén)3a 配對(duì)板4 密封元件5 勵(lì)磁線圈5’勵(lì)磁線圈5a 勵(lì)磁線圈6 鐵磁性的板/帶7 閘門(mén)開(kāi)口7a 閘門(mén)開(kāi)口區(qū)域7b 閘門(mén)開(kāi)口區(qū)域9 真空腔2的腔壁9a 真空腔2的連接法蘭11 轉(zhuǎn)軸的軸承支承架12 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13 轉(zhuǎn)接頭14 用于回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的支架17 閘門(mén)開(kāi)口
權(quán)利要求
1.閘門(mén)裝置，其用于在一個(gè)第一接受器和一個(gè)第二接受器之間的壁中設(shè)置的閘門(mén)開(kāi)口，所述閘門(mén)裝置具有一個(gè)設(shè)置在第一接受器的內(nèi)腔中的閉鎖機(jī)構(gòu)和一個(gè)配屬于該閉鎖機(jī)構(gòu)的配對(duì)板，其特征在于，在配對(duì)板的一個(gè)區(qū)域中設(shè)置一個(gè)第一磁體機(jī)構(gòu)并且在一個(gè)閉鎖機(jī)構(gòu)的區(qū)域中設(shè)置一個(gè)配屬于第一磁體機(jī)構(gòu)的第二磁體機(jī)構(gòu)，并且為了借助于所述第一和第二磁體機(jī)構(gòu)來(lái)關(guān)閉和/或打開(kāi)閘門(mén)開(kāi)口，在閉鎖機(jī)構(gòu)和配對(duì)板之間可以產(chǎn)生一個(gè)正的和/或負(fù)的擠壓力。
2.按權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，至少其中一個(gè)所述的磁體機(jī)構(gòu)具有至少一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈來(lái)產(chǎn)生一個(gè)磁場(chǎng)。
3.按權(quán)利要求1或者2所述的裝置，其特征在于，所述磁體機(jī)構(gòu)中的一個(gè)具有一個(gè)鐵磁性的組件，并且所述另一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)具有一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈來(lái)產(chǎn)生磁場(chǎng)。
4.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，為了保證閘門(mén)開(kāi)口的無(wú)流動(dòng)的閉鎖，所述磁體機(jī)構(gòu)中的一個(gè)包括一個(gè)第一永久磁體-組件，使得所述另一個(gè)磁體機(jī)構(gòu)包括一個(gè)第二永久磁體-組件并且磁體機(jī)構(gòu)中的至少一個(gè)具有一個(gè)可控的勵(lì)磁線圈來(lái)借助于一個(gè)反向磁場(chǎng)來(lái)產(chǎn)生一個(gè)打開(kāi)沖量。
5.按權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，設(shè)計(jì)所述磁體機(jī)構(gòu)用于相對(duì)于大氣壓力的無(wú)流動(dòng)的閉鎖狀態(tài)。
6.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個(gè)非均勻的閘門(mén)開(kāi)口、優(yōu)選具有一個(gè)適于輸送在基質(zhì)載體上垂直懸掛的基質(zhì)的閘門(mén)開(kāi)口輪廓。
7.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述磁體機(jī)構(gòu)沿著閘門(mén)開(kāi)口的走向設(shè)置，使得所述閉鎖機(jī)構(gòu)在閘門(mén)開(kāi)口的閉鎖狀態(tài)中是無(wú)扭轉(zhuǎn)的。
8.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個(gè)可優(yōu)選借助于一個(gè)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)定位的舌門(mén)作為閉鎖機(jī)構(gòu)。
9.按前述權(quán)利要求1至8中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個(gè)可優(yōu)選借助于一個(gè)線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位的滑塊機(jī)構(gòu)作為閉鎖機(jī)構(gòu)，所述滑塊機(jī)構(gòu)具有一個(gè)滑板。
10.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可液壓地、氣動(dòng)地和/或機(jī)電地進(jìn)行操作。
11.按權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可液壓地、氣動(dòng)地和/或機(jī)電地運(yùn)行。
12.按前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，在配對(duì)板和/或閉鎖機(jī)構(gòu)的區(qū)域里設(shè)有一個(gè)可變形的密封元件，優(yōu)選一個(gè)圓線環(huán)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種閘門(mén)裝置，其用于在一個(gè)第一接受器和一個(gè)第二接受器之間的壁中設(shè)置的閘門(mén)開(kāi)口，所述閘門(mén)裝置具有一個(gè)設(shè)置在第一接受器的內(nèi)腔中的閉鎖機(jī)構(gòu)和一個(gè)配屬于該閉鎖機(jī)構(gòu)的配對(duì)板，其中在配對(duì)板的一個(gè)區(qū)域中設(shè)置一個(gè)第一磁體機(jī)構(gòu)并且在閉鎖機(jī)構(gòu)的一個(gè)區(qū)域中設(shè)置一個(gè)配屬于第一磁體機(jī)構(gòu)的第二磁體機(jī)構(gòu)，并且為了借助于所述第一和第二磁體機(jī)構(gòu)來(lái)關(guān)閉和/或打開(kāi)閘門(mén)開(kāi)口，在閉鎖機(jī)構(gòu)和配對(duì)板之間可以產(chǎn)生一個(gè)正的和/或負(fù)的擠壓力。
文檔編號(hào)F16K3/10GK1973157SQ200580018714
公開(kāi)日2007年5月30日 申請(qǐng)日期2005年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月8日
發(fā)明者M·羅德, A·穆勒, A·卡斯帕里, T·沃格特 申請(qǐng)人:萊博德光學(xué)有限責(zé)任公司