專利名稱：隔膜閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于通過使隔膜與閥座接觸或脫離接觸而控制流體供應(yīng)的隔膜閥。更加具體地，本發(fā)明涉及一種包括具有改進(jìn)耐用性的隔膜的隔膜閥，特別地，涉及一種適用于控制高壓流體的供應(yīng)的隔膜閥。
背景技術(shù)：
迄今為止，用來控制供半導(dǎo)體制造設(shè)備用的化學(xué)液體的化學(xué)液體閥采用例如圖3所示的這樣一種隔膜閥。該隔膜閥100具有本體110，該本體110內(nèi)形成有第一流動(dòng)通道111和第二流動(dòng)通道112，所述流動(dòng)通道具有側(cè)向口，并在本體110的上表面內(nèi)敞開。第二流動(dòng)通道112與形成在閥座113內(nèi)的閥口114連通。第一流動(dòng)通道111與環(huán)繞閥座113的區(qū)域連通。在本體110的第一流動(dòng)通道111和第二流動(dòng)通道112中的每個(gè)流動(dòng)通道的一端在其內(nèi)敞開的上表面上放置有隔膜閥元件115。隔膜閥元件115的外周部分錨固成在第一流動(dòng)通道111和第二流動(dòng)通道112的開口附近形成氣密空間。
隔膜閥元件115包括閥元件體117，該閥元件體117可與閥座113及從閥元件體117的側(cè)表面延伸的膜(或隔膜)部分118接觸或與它們脫離接觸。形成在膜部分118的外周邊緣處的環(huán)形固定部分119錨固在本體110和筒體120之間。在筒體120中，活塞桿121放置成可在垂直方向上滑動(dòng)，并在其下端聯(lián)接到隔膜閥元件115的閥元件體117上。蓋122連接到筒體120的上部，而在蓋122內(nèi)安裝有彈簧123，以向下推壓活塞桿121。筒體120還形成有操作口125，通過該操作口125供應(yīng)空氣，從而克服彈簧123的推壓力而對(duì)活塞桿121施加壓力。
因此，在該隔膜閥100中，活塞桿121一直被彈簧123向下推壓，從而使隔膜閥元件115的閥元件體117壓靠在閥座113上以關(guān)閉閥。在通過本體110的操作口125供應(yīng)壓縮空氣時(shí)，活塞桿121被從下方擠壓，從而克服彈簧123的推壓力而向上運(yùn)動(dòng)。因此，聯(lián)接到活塞桿121的下端的閥元件體117也向上運(yùn)動(dòng)離開閥座113，從而使得第一路徑111和第二路徑112之間產(chǎn)生連通，從而閥處于打開狀態(tài)。在通過操作口125排出供應(yīng)的壓縮空氣時(shí)，被彈簧123推壓的活塞桿121向下運(yùn)動(dòng)，從而閥再次返回到如圖所示的關(guān)閉狀態(tài)。
然而，以上隔膜閥具有耐用性的問題，這是因?yàn)?，在隔膜彎曲時(shí)，應(yīng)力可能集中在隔膜的膜部分上，具體而言，集中在與閥元件體連續(xù)的膜部分的根部。換言之，膜部分和閥元件體之間的邊界部分趨于劣化，這帶來了問題。為了避免這一問題，已經(jīng)采用了各種針對(duì)隔膜閥的措施來防止應(yīng)力集中在隔膜的膜部分上，具體而言，防止應(yīng)力集中在與閥元件體連續(xù)的膜部分的根部上。
作為已經(jīng)采用以上措施的隔膜閥中的一種隔膜閥，例如，存在JP-A-9-217845中公開的隔膜閥。該公開的隔膜閥包括隔膜，該隔膜包括中央閥元件、一體形成在該閥元件周圍的環(huán)形薄膜部分、以及一體形成在該環(huán)形薄膜部分附近的筒形保持部分。該環(huán)形薄膜部分的截面形成為向上彎曲的形狀，而內(nèi)周根部幾乎與閥元件的上表面垂直連續(xù)，外周根部幾乎與筒形保持部分的內(nèi)表面的上邊緣垂直連續(xù)。
在閥打開/關(guān)閉操作期間，隔膜閥的以上結(jié)構(gòu)僅使環(huán)形薄膜部分的彎曲部分彈性變形，并將內(nèi)根部和外根部保持成基本垂直形式，以防止內(nèi)根部部分和外根部部分受到彎曲應(yīng)力，從而獲得隔膜的改進(jìn)的耐用性。
JP-A-9-217845

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題然而，以上隔膜閥的問題在于對(duì)高壓流體(500kPa或更多)供應(yīng)的控制。具體而言，應(yīng)力趨向于集中在閥元件體和膜部分之間的邊界(根部)上，導(dǎo)致快速劣化。這是因?yàn)檫@樣的流體壓力使得膜部分(環(huán)形薄膜部分)變形，從而閥元件體與膜部分之間的邊界(根部)不能保持為大致垂直形式，這樣就導(dǎo)致應(yīng)力集中在閥元件體與膜部分之間的邊界(根部)上。如上所述，以上隔膜閥不可能具有控制高壓流體的供應(yīng)所需的耐久性性質(zhì)，從而不能控制高壓流體的供應(yīng)。
因此，例如，采用隔膜閥的一些半導(dǎo)體加工廠已經(jīng)建成為高層建筑，在該高層建筑里存儲(chǔ)在與第一層對(duì)應(yīng)的地方處的化學(xué)溶液或液體必須供應(yīng)到與任何更高層對(duì)應(yīng)的另一地方。在作為這種化學(xué)液體供應(yīng)閥使用的隔膜閥中，隔膜要受到高壓(例如，約700kPa)作用。然而，上述的現(xiàn)有隔膜閥缺乏隔膜的足夠耐用性，從而不能用作上述化學(xué)液體供應(yīng)閥。
為了解決上述問題而已經(jīng)做出了本發(fā)明，本發(fā)明的目的在于提供一種隔膜閥，該隔膜閥能夠防止應(yīng)力集中在位于閥元件體和隔膜的膜部分之間的邊界上或集中在該邊界周圍，從而改進(jìn)隔膜的耐用性。解決問題的手段為了解決以上問題，根據(jù)本發(fā)明的隔膜閥布置成使得在形成于本體內(nèi)的第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間的邊界處形成有閥座，聯(lián)接到致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸上的隔膜能進(jìn)入/脫離與閥座的接觸，從而在第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間關(guān)閉/打開，其中，該隔膜包括可運(yùn)動(dòng)成與閥座接觸的閥元件體、從該閥元件體向外延伸的膜部分、以及形成在該膜部分的外周邊緣處的固定部分，所述膜部分包括與閥元件體相連續(xù)的垂直形成的垂直部分、以及連接該垂直部分和所述固定部分的連接部分，而且所述垂直部分一直與該驅(qū)動(dòng)軸接觸。
以上隔膜閥的隔膜包括可運(yùn)動(dòng)成與閥座接觸的閥元件體；膜部分，該膜部分從所述閥元件體向外延伸；以及固定部分，所述固定部分形成在膜部分的外周邊緣處，所述膜部分包括與閥元件體相連續(xù)的垂直形成的垂直部分、以及連接所述垂直部分和所述固定部分的連接部分。因此，在閥的打開/關(guān)閉操作中，所述隔膜的膜部分將通過僅使所述連接部分彈性變形且?guī)缀醪皇顾龃怪辈糠肿冃味鴱澢瑥亩沟盟龈裟さ乃鲩y元件體進(jìn)入/脫離與所述閥座的接觸。該隔膜閥能可靠地防止所述垂直部分、特別是在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界受到應(yīng)力集中。
而且，在該隔膜閥中，所述垂直部分一直與所述致動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)軸接觸。因此，即使在向該隔膜閥供應(yīng)高壓流體時(shí)，所述垂直部分也由所述驅(qū)動(dòng)軸支承，從而不會(huì)變形。因此，在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界上不會(huì)有應(yīng)力集中。因此，根據(jù)該隔膜閥，可防止應(yīng)力集中在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界上或集中在該邊界周圍，從而改進(jìn)了甚至是在控制高壓流體供應(yīng)中的耐用性。
為了解決以上問題，本發(fā)明另一方面的隔膜布置成使得在形成于本體內(nèi)的第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間的邊界處形成有閥座，聯(lián)接到致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸上的隔膜能進(jìn)入/脫離與閥座的接觸，從而在第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間關(guān)閉/打開，其中該隔膜包括可運(yùn)動(dòng)成與閥座接觸的閥元件體、從該閥元件體向外延伸的膜部分、以及形成在該膜部分的外周邊緣處的固定部分，而且所述膜部分包括與閥元件體相連續(xù)的垂直形成的垂直部分、與所述固定部分相連續(xù)的水平形成的水平部分、以及連接所述垂直部分和所述固定部分的連接部分。
在該隔膜閥中，所述隔膜包括可運(yùn)動(dòng)成與所述閥座接觸的閥元件體；膜部分，所述膜部分從所述閥元件體向外延伸；以及固定部分，所述固定部分形成在所述膜部分的外周邊緣處，而且所述膜部分包括與所述閥元件體相連續(xù)的垂直形成的垂直部分、與所述固定部分相連續(xù)的水平形成的水平部分、以及截面呈圓弧形的連接所述垂直部分和所述固定部分的連接部分。因此，在閥的打開/關(guān)閉操作中，所述隔膜的膜部分將通過僅使所述連接部分彈性變形且?guī)缀醪皇顾龃怪辈糠肿冃味鴱澢?，從而使得所述隔膜的所述閥元件體進(jìn)入/脫離與所述閥座的接觸。該隔膜閥能可靠地防止所述垂直部分、特別是在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界受到應(yīng)力集中。
而且，在該隔膜閥中，所述水平部分設(shè)置在所述膜部分周圍，從而所述垂直部分接收沿所述隔膜的向內(nèi)方向的力。因此，所述垂直部分一直與所述驅(qū)動(dòng)軸接觸，而不會(huì)沿所述隔膜的向外方向膨脹。而且，在該隔膜閥中，所述垂直部分一直與所述致動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)軸接觸。因此，即使在向該隔膜閥供應(yīng)高壓流體時(shí)，所述垂直部分也由所述驅(qū)動(dòng)軸支承，從而不會(huì)變形。因此，在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界上不會(huì)有應(yīng)力集中。因此，根據(jù)該隔膜閥，可防止應(yīng)力集中在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界上或集中在其周圍，從而改進(jìn)了甚至是在控制高壓流體供應(yīng)中的耐用性。
在以上隔膜閥中，優(yōu)選的是，所述隔膜構(gòu)造成使得位于所述閥元件體和所述膜部分之間的邊界位于所述閥座的直徑內(nèi)。
為了控制高壓流體的供應(yīng)，所述隔膜的膜厚度必須較大(約是傳統(tǒng)裝置的厚度的兩倍)。然而，如果傳統(tǒng)產(chǎn)品的形狀保持不變而僅僅是膜厚增加，則隔膜閥元件不能正常操作。設(shè)計(jì)成具有以上形狀的隔膜能提供長(zhǎng)度較長(zhǎng)的隔膜的膜部分，這使得所述膜部分的膜厚增加，從而可平穩(wěn)變形。因此，所述隔膜即使在設(shè)計(jì)成具有增加了的厚度時(shí)也能正常操作。
在以上隔膜閥中，優(yōu)選的是，所述驅(qū)動(dòng)軸在它的端部處設(shè)有支承件，該支承件與所述隔膜聯(lián)接，從而與所述垂直部分及所述連接部分接觸以支承所述膜部分。
因此，所述隔膜的所述膜部分一直由所述支承件支承，不管所述隔膜的位置如何，該支承件都與所述隔膜一起操作。換言之，無(wú)論是在閥關(guān)閉狀態(tài)或閥打開狀態(tài)下，所述隔膜的所述膜部分都由支承件支承。即使是在使用高壓流體的過程中，這也能防止所述隔膜的所述膜部分產(chǎn)生過度變形。即，能提高所述隔膜的耐用性。
根據(jù)本發(fā)明的隔膜閥，所述隔膜的所述垂直部分一直與所述致動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)軸接觸，從而所述垂直部分由所述驅(qū)動(dòng)軸支承，因而即使在供應(yīng)高壓流體時(shí)，也不會(huì)變形。因此在所述垂直部分和所述閥元件體之間的邊界上沒有應(yīng)力集中。
因此，根據(jù)本發(fā)明的隔膜閥，可防止應(yīng)力集中在所述垂直部分與所述閥元件體之間的邊界上或集中在其周圍，從而改進(jìn)了隔膜甚至是在控制高壓流體供應(yīng)時(shí)的耐用性。
附圖的簡(jiǎn)要說明

圖1為隔膜閥的剖面圖，示出閥打開狀態(tài)。
圖2為所述隔膜閥的剖面圖，示出閥關(guān)閉狀態(tài)。
圖3為傳統(tǒng)隔膜閥的剖面圖。
附圖標(biāo)記說明1隔膜閥10本體13閥座20隔膜閥元件21閥元件體22膜部分
22a垂直部分22b連接部分22c水平部分23固定部分31b桿40支承件50致動(dòng)器實(shí)施本發(fā)明的最佳模式現(xiàn)在將參照附圖對(duì)本發(fā)明的隔膜閥的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。在本實(shí)施例中，本發(fā)明應(yīng)用于化學(xué)液體供應(yīng)閥。在圖1和圖2中示出了本發(fā)明的隔膜閥的示意性結(jié)構(gòu)。圖1為隔膜閥的剖面圖，示出閥關(guān)閉狀態(tài)。圖2為隔膜閥的剖面圖，示出閥打開狀態(tài)。
隔膜閥1包括由碳氟樹脂制成的本體10，在該本體10中形成有第一流動(dòng)通道11和第二流動(dòng)通道12。在本體10的上部的中心形成有閥座13。閥座13中的閥口14和第二流動(dòng)通道12連通。形成在閥座13周圍的環(huán)形凹槽15與第一流動(dòng)通道11連通。因此，第一流動(dòng)通道11和第二流動(dòng)通道12都與本體10的上開口連通。該開口被隔膜閥元件20阻擋。特別地，隔膜閥元件20的外周邊緣被固定，從而形成允許第一流動(dòng)通道11和第二流動(dòng)通道12之間連通的氣密空間。
隔膜閥元件20包括閥元件體21，該閥元件體21可運(yùn)動(dòng)進(jìn)入和脫離與閥座13的接觸；膜(或隔膜)部分22，該膜部分22從閥元件體21向外延伸；以及環(huán)形固定部分23，該環(huán)形固定部分23形成在膜部分22的外周邊緣處。固定部分23牢固地錨固在本體10和稍后提及的第二筒體30b之間，從而將隔膜閥元件20保持在本體10中。這里，本體10僅與固定部分23的較厚部分接觸，而第二筒體30b除了與固定部分23接觸之外還與膜部分22的一部分接觸。通過這一結(jié)構(gòu)，面積在固定部分23和膜部分22之間有著較大變化的部分在使膜部分22變形的方向上受支承。應(yīng)指出的是，隔膜閥元件20與本體10一樣由碳氟樹脂制成。
為了控制高壓流體的供應(yīng)，膜部分22設(shè)計(jì)成厚度約為傳統(tǒng)產(chǎn)品的兩倍。在本實(shí)施例中，所述膜部分22的厚度是0.9mm。然而，如果傳統(tǒng)產(chǎn)品的形狀保持不變而僅僅是膜厚增加，則隔膜閥元件不能正常操作。因此，在隔膜閥1中，膜部分22和閥元件體21之間的邊界(根部)25定位在隔膜閥元件20的中心線(桿31b的軸線)L的附近。換言之，在中心線L、和位于膜部分22與閥元件體21之間的邊界25之間的距離A確定為小于中心線L和閥座13之間的距離B，從而位于膜部分22和閥元件體21之間的邊界25定位成比閥座13的位置更加靠近中心線L。這樣，膜部分22能具有比傳統(tǒng)的膜部分長(zhǎng)的長(zhǎng)度，從而厚度增加了的膜部分22能平穩(wěn)變形。
而且，膜部分22包括與閥元件體21相連續(xù)地垂直形成的垂直部分22a；與固定部分23相連續(xù)地水平形成的水平部分22c；以及截面呈(向上突出形狀的)圓弧形狀的連接部分22b，以連接垂直部分22a和水平部分22c。具體而言，膜部分22設(shè)計(jì)成具有如下橫截面形狀，該橫截面形狀在邊界(根部)25處與閥元件體21的上表面垂直相連續(xù)，并從閥元件體21的上表面向上延伸并然后側(cè)向延伸。垂直部分22a從而能接收沿隔膜閥元件20向內(nèi)方向的力，從而垂直部分22a將不會(huì)在隔膜閥元件20的向外方向上膨脹，從而一直與以下將提到的支承件40(桿31b的起到驅(qū)動(dòng)軸的一部分)的外表面接觸。在圖1所示的閥關(guān)閉狀態(tài)下，形成在膜部分22的外周處的固定部分23定位成高于位于膜部分22和閥元件體21之間的邊界25。
在隔膜閥元件20上方，放置有用于控制隔膜閥元件20的操作的致動(dòng)器50；即，致動(dòng)器50布置在本體10上。致動(dòng)器50包括第一筒體30a、第二筒體30b、活塞31a、桿31b、蓋32以及彈簧33?；钊?1a可滑動(dòng)地布置在第一筒體30a內(nèi)，而桿31b可滑動(dòng)地布置在第二筒體30b內(nèi)。而且，活塞31a和桿31b彼此一體地聯(lián)接。
桿31b在其下端聯(lián)接到一體地裝配在隔膜閥元件20的閥元件體21內(nèi)的支承件40上。具體而言，桿31b通過支承件40而聯(lián)接到隔膜閥元件20。就此而言，支承件40也是桿31b的一部分。
該支承件40還起到了將桿31b聯(lián)接到閥元件體21上并支承隔膜閥元件20的膜部分22的垂直部分22b和連接部分22b的作用。該支承件40由樹脂制成，并布置成可與隔膜閥元件20的閥元件體21一起上下運(yùn)動(dòng)。應(yīng)指出的是，支承件40可在與膜部分22的接觸表面上設(shè)有橡膠構(gòu)件。
蓋32連接到第一筒體30a的上開口，從而在第一筒體30a內(nèi)形成安裝有彈簧33的封閉空間。該彈簧33從上方推壓活塞31a。因此，該隔膜閥1為常閉閥，其構(gòu)造成使得彈簧33的推壓力向下作用在活塞30a上，以使閥元件體21與閥座13接觸，如圖1所示。
另一方面，在活塞31a下方形成有壓力腔室34，而在第一筒體30a內(nèi)形成有操作口35，壓縮空氣通過該操作口35被供應(yīng)至壓力腔室34。蓋32還形成有換氣口36，該換氣口36與形成在安裝有彈簧33的活塞31a上方的空間連通。
以下將說明具有上述結(jié)構(gòu)的隔膜閥1的操作。通常，在隔膜閥1中，活塞31a被彈簧33向下推壓，從而將通過桿31b和支承件40而聯(lián)接到活塞31a的隔膜閥元件20的閥元件體21壓靠在閥座13上，如圖1所示。在處于被隔膜閥元件20阻擋的這一閥關(guān)閉狀態(tài)的隔膜閥1中，已經(jīng)進(jìn)入到第一流動(dòng)通道11內(nèi)的流體不能流動(dòng)到第二流動(dòng)通道12中，或者已經(jīng)進(jìn)入到第二流動(dòng)通道12內(nèi)的流體不能流動(dòng)到第一流動(dòng)通道11中。
在通過本體10的操作口35供應(yīng)壓縮空氣時(shí)，活塞31a被從下面加壓，從而克服彈簧33的推壓力而向上運(yùn)動(dòng)。因此，通過桿31b和支承件40而聯(lián)接到活塞31a上的閥元件體21向上運(yùn)動(dòng)。這樣，閥元件體21脫離與閥座13的接觸，從而進(jìn)入閥打開狀態(tài)，在該閥打開狀態(tài)下，第一流動(dòng)通道11和第二流動(dòng)通道12相互連通，如圖2所示。此時(shí)，流體在供應(yīng)到第一流動(dòng)通道11時(shí)被允許通過凹槽15和閥口14而流入第二流動(dòng)通道12，并且相反地，流體在供應(yīng)到第二流動(dòng)通道12時(shí)被允許通過閥口14和凹槽15流入到第一流動(dòng)通道11。
隨后，在通過操作口35排出供應(yīng)到壓力腔室34的壓縮空氣時(shí)，被彈簧33推壓的活塞31a向下運(yùn)動(dòng)。因此，通過桿31b和支承件40而聯(lián)接到活塞31a上的閥元件體21向下運(yùn)動(dòng)。這樣，如圖1所示，閥元件體21恢復(fù)到與閥座13接觸，進(jìn)入閥關(guān)閉狀態(tài)，從而阻擋流體的流動(dòng)。
這里，在隔膜閥1中，一體地聯(lián)接到閥元件體21上的支承件40可以與隔膜閥元件20一起上下運(yùn)動(dòng)。在閥打開和閥關(guān)閉時(shí)間，隔膜閥元件20的膜部分22的垂直部分22a一直與支承件40的外表面接觸，如圖1和圖2所示。因此，在閥打開和關(guān)閉操作過程中，膜部分22能通過僅使連接部分22b彈性變形且?guī)缀醪皇勾怪辈糠?2a變形而彎曲。因此，即使是在對(duì)隔膜閥1供應(yīng)高壓流體時(shí)，垂直部分22a也不變形。這使得能夠防止在垂直部分22a和閥元件體21之間的邊界25上產(chǎn)生應(yīng)力集中。根據(jù)如上所述的隔膜閥1，即使在用來控制高壓流體的供應(yīng)時(shí)，也可防止垂直部分22a和閥元件體21之間的邊界25上或其附近的應(yīng)力集中，從而可以提高隔膜閥元件20的耐用性。因此，隔膜閥1能控制高壓流體的供應(yīng)。
如以上詳細(xì)描述的那樣，在本實(shí)施例的隔膜閥1中，在膜部分22的外邊緣處形成有水平部分22c，因此，垂直部分22a接收沿隔膜閥元件20的向內(nèi)方向的力。因此，垂直部分22a能保持一直與支承件40的外表面的接觸，而不會(huì)沿著隔膜閥元件20的向外方向膨脹。因此，在該隔膜閥1中，即使在高壓流體供應(yīng)到隔膜閥1時(shí)，垂直部分22a也被支承件40支承而不變形。這使得能夠防止應(yīng)力集中在垂直部分22a和閥元件體21之間的邊界25上，從而防止進(jìn)一步的劣化。因此，根據(jù)該隔膜閥1，即使在用于控制高壓流體的供應(yīng)時(shí)，也可防止應(yīng)力集中在垂直部分22a和閥元件體21之間的邊界25上或集中在其周圍，從而能提高隔膜閥元件20的耐用性。
以上實(shí)施例僅僅是例示，其不對(duì)本發(fā)明施加任何限制。在不偏離本發(fā)明的精神或?qū)嵸|(zhì)特征的情況下，本發(fā)明可以通過其他具體形式來實(shí)現(xiàn)。例如，在以上實(shí)施例中，采用氣缸作為致動(dòng)器，來使得隔膜閥元件20克服彈簧33的推壓力而進(jìn)行閥打開操作。作為其可選方案，可以采用螺線管。
權(quán)利要求
1.一種隔膜閥，該隔膜閥布置成使得在形成于本體內(nèi)的第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間的邊界處形成有閥座，聯(lián)接到致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸上的隔膜能進(jìn)入/脫離與閥座的接觸，從而在第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間關(guān)閉/打開，其中該隔膜包括可運(yùn)動(dòng)成與閥座接觸的閥元件體、從該閥元件體向外延伸的膜部分、以及形成在該膜部分的外周邊緣處的固定部分，所述膜部分包括與閥元件體相連續(xù)的垂直形成的垂直部分、以及連接該垂直部分和所述固定部分的連接部分，而且所述垂直部分一直與該驅(qū)動(dòng)軸接觸。
2.一種隔膜閥，該隔膜閥布置成使得在形成于本體內(nèi)的第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間的邊界處形成有閥座，聯(lián)接到致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸上的隔膜能進(jìn)入/脫離與閥座的接觸，從而在第一流動(dòng)通道和第二流動(dòng)通道之間關(guān)閉/打開，其中該隔膜包括可運(yùn)動(dòng)成與閥座接觸的閥元件體、從該閥元件體向外延伸的膜部分、以及形成在該膜部分的外周邊緣處的固定部分，并且所述膜部分包括與閥元件體相連續(xù)的垂直形成的垂直部分、與所述固定部分相連續(xù)的水平形成的水平部分、以及截面呈圓弧形的連接所述垂直部分和所述固定部分的連接部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的隔膜閥，其中所述隔膜構(gòu)造成使得位于所述閥元件體和所述膜部分之間的邊界位于所述閥座的直徑內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的隔膜閥，其中所述驅(qū)動(dòng)軸在它的端部處設(shè)有支承件，該支承件與所述隔膜聯(lián)接，從而與所述垂直部分及所述連接部分接觸以支承所述膜部分。
全文摘要
作出本發(fā)明是為了即使在控制高壓流體的供應(yīng)時(shí)也防止應(yīng)力集中在閥元件體和隔膜的膜部分之間的邊界上或在其周圍，從而改進(jìn)隔膜的耐用性。本發(fā)明的隔膜閥(1)包括隔膜閥元件(20)，該隔膜閥元件包括閥元件體(21)，它可運(yùn)動(dòng)成與閥座(13)接觸；膜部分(22)，它從閥元件體(21)向外延伸；以及固定部分(23)，它形成在膜部分(22)的外周邊緣處。膜部分(22)包括與閥元件體(21)相連續(xù)的垂直形成的垂直部分(22a)、與固定部分(23)相連續(xù)的水平形成的水平部分(22c)、以及截面呈(向上突出形狀的)圓弧形的連接垂直部分(22a)和水平部分(22c)的連接部分(22b)，從而將垂直部分(22a)保持為一直與支承件(40)的外表面接觸。
文檔編號(hào)F16K31/122GK101072964SQ20058004215
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2005年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月10日
發(fā)明者正村彰規(guī), 長(zhǎng)尾敏行, 巖田洋輝 申請(qǐng)人:喜開理株式會(huì)社