專利名稱：集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，詳細(xì)來(lái)說，涉及一種經(jīng)由 密封墊而使在半導(dǎo)體制造及醫(yī)療和藥劑品制造、食品加工、化工等各種技術(shù) 領(lǐng)域的制造工序中使用的高純度液體和超純水、或者清洗液的管系等預(yù)計(jì)今 后會(huì)需要用到的流體用的集成面板，與泵、閥門、儲(chǔ)液器等流體器件以密封 狀態(tài)連通連接起來(lái)的連接結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
己知的上述連接結(jié)構(gòu)有例如專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中公開的連接結(jié) 構(gòu)，其使一對(duì)給排管道相互連通，將流體器件之一的閥門與內(nèi)部形成有流體 流道的集成面板連接起來(lái)。專利文獻(xiàn)l中公開的連接結(jié)構(gòu)是將一對(duì)給排管道 貼近排列，并經(jīng)由各自獨(dú)立的環(huán)狀密封墊，利用多個(gè)螺栓使其液密式連接； 專利文獻(xiàn)2中公開的連接結(jié)構(gòu)是將一對(duì)給排管道貼近排列，并用單一的外螺 母將具有與這一對(duì)給排管道相對(duì)應(yīng)的一對(duì)管道孔的單一密封墊連接起來(lái)。專利文獻(xiàn)1或2中公開的連接結(jié)構(gòu)都是將許多個(gè)流體器械集成于流體區(qū) 進(jìn)行安裝的結(jié)構(gòu)，其采用了所謂的集成配管結(jié)構(gòu)，這有益于實(shí)現(xiàn)管系整體的 小型化和模塊化。專利文獻(xiàn)l: JP特開2001 — 82609號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2: JP特開平10-169859號(hào)公報(bào)本發(fā)明試圖解決的課題在上述專利文獻(xiàn)1或2中公開的連接結(jié)構(gòu)中，擰緊螺栓，使夾著密封墊 的一對(duì)法蘭部達(dá)到規(guī)定的表面壓力，由此獲得有效的密封性能。但是，螺栓 的緊固力會(huì)不可避免地隨著時(shí)間而降低，因此，為了防止緊固力降低、即扭 矩下降導(dǎo)致在連接部出現(xiàn)泄露，必須定期地進(jìn)行加緊。在使用密封墊進(jìn)行密 封的情況下，需要非常高的緊固力；因此，集成面板和流體器件的流體給排 口部必須具有高強(qiáng)度，同時(shí)，也不利于用于進(jìn)行連接的操作。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明借鑒了這樣的實(shí)際情況，其對(duì)流體的管道系統(tǒng)中的集成面板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)進(jìn)行了悉心鉆研，目的是提供一種基本不需要進(jìn)行加緊即 可保持良好的密封性、并且其組裝操作性也得到改善的集成面板與流體器件 的連接結(jié)構(gòu)。另外，為了進(jìn)一步促進(jìn)小型化和模塊化，流體器件單個(gè)部件的小型化當(dāng) 然是必要的，但在實(shí)現(xiàn)了該流體器件自身的小型化之后，預(yù)計(jì)會(huì)產(chǎn)生針對(duì)集 成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的小型化的要求。因此，本發(fā)明的第二個(gè)目的是，促進(jìn)使用了具有上述優(yōu)點(diǎn)的集成面板的 配管系統(tǒng)的集成化，進(jìn)而提出并實(shí)現(xiàn)可以達(dá)到小型化的集成面板與流體器件 的連接結(jié)構(gòu)。解決課題的手段權(quán)利要求l中的本發(fā)明的特征在于，其在集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，集成面板1具備開口有管狀的流體流道3、 4的第一流體給排口部1A， 流體器件2具備開口有管狀的流體流道7、 8的第二流體給排口部2A，禾U用 介于該第一流體給排口部1A和第二流體給排口部2A之間的環(huán)狀的密封墊 G，在上述流體流道3、 4、 7、 8密封的狀態(tài)下，將集成面板l的上述第一流 體給排口部1A與流體器件2的上述第二流體給排口部2A連通連接，在上述第一流體給排口部1A及上述第二流體給排口部2A上，在各端 面開口的上述各流體流道3、 4、 7、 8的外徑一側(cè)部分形成有環(huán)狀突起11、 21;上述密封墊G由具有撓性的材料構(gòu)成，并且包括為了將上述第一、第二流體給排口部1A、 2A的相對(duì)應(yīng)的上述流體流道3、 4、 7、 8相互連通而 形成的流體路徑W;在上述流體路徑W的外徑一側(cè)部分形成、并分別與形 成在上述第一及第二流體給排口部1A、 2A的端面上的上述環(huán)狀突起11、 21 相嵌合的一對(duì)環(huán)狀槽51、 51;以及為了形成該環(huán)狀槽51而向上述第一及第 二流體給排口部1A、 2A的軸線P方向突出形成的內(nèi)外的周壁端部52、 53， 上述第一及第二流體給排口部1A、 2A的端面上的上述環(huán)狀突起11、 21 的內(nèi)徑一側(cè)形成有能夠與內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部52抵接的環(huán)狀按壓部分12、 22，上述環(huán)狀按壓部分12、 22形成為具有上述環(huán)狀突起一側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形周面12a、 22a前窄狀的環(huán)狀突起，以使該環(huán)狀按壓部分12、 22和上 述環(huán)狀突起ll、 21所包圍的谷部14、 24成為內(nèi)窄狀；上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁 端部52具有與上述環(huán)狀按壓部分12、 22的錐形周面12a、 22a抵接的錐形 周面52a，形成為能夠自由進(jìn)入上述谷部14、 24的前窄狀的環(huán)狀突起，上述第一流體給排口部1A和第二流體給排口部2A隔著上述密封墊G 而被相互拉靠，從而使上述第一流體給排口部1A的上述環(huán)狀突起11與上述 密封墊G的一端的環(huán)狀槽51、以及上述第二流體給排口部2A的上述環(huán)狀突 起21與上述密封墊G的另一端的上述環(huán)狀槽51分別嵌合，而且上述環(huán)狀按 壓部分12、 22的錐形周面12a、 22a與上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部52的錐形 周面52a壓接在一起而形成密封部Sl。權(quán)利要求2中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求1所述的集成面板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述環(huán)狀按壓部分12、 22的錐形周面12a、 22a的傾 斜角與上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部52的錐形周面52a的傾斜角被設(shè)定為不同 角度，以使上述環(huán)狀按壓部分12、 22的錐形周面12a、 22a與上述內(nèi)徑一側(cè) 的周壁端部52的錐形周面52a僅在沿徑向遠(yuǎn)離上述環(huán)狀突起11、 21的一側(cè) 的端部上彼此壓接，由此構(gòu)成上述密封部S2。權(quán)利要求3中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求1或2所述的集成面板 與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述環(huán)狀突起11、 21在上述軸線P方向上的突 出量設(shè)定為大于上述環(huán)狀按壓部分12、 22在上述軸線P方向上的突出量的 狀態(tài)。權(quán)利要求4中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的 集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述第一流體給排口部1A和上述第二 流體給排口部2A隔著上述密封墊G相互拉靠，利用上述兩個(gè)錐形周面12a、 22a、 52a彼此壓接所產(chǎn)生的分力，使上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部52擴(kuò)張變形 而壓接到上述環(huán)狀突起11、 21上，形成密封部S2。權(quán)利要求5中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的 集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述密封墊G的剖面形狀呈近似H形。權(quán)利要求6中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的 集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述環(huán)狀突起11、 21前端的內(nèi)周角部和/或外周角部被倒棱而使上述環(huán)狀突起11、 21形成剖面呈越往前端越細(xì)的 形狀，從而使上述環(huán)狀突起ll、 21容易進(jìn)入上述環(huán)狀槽51中。權(quán)利要求7中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，設(shè)置有維持裝置I，用于維持形成上述密封部S1的接合狀態(tài)。權(quán)利要求8中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求7所述的集成面板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述維持裝置I發(fā)揮拉靠功能，將上述第一流體給排 口部1A和第二流體給排口部2A拉靠而獲得上述接合狀態(tài)。權(quán)利要求9中的本發(fā)明的特征在于，其在集成面板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)中，集成面板1具備第一流體給排口部1A，該第一流體給排口部1A開口有 呈同心狀形成的管狀的流體流道3或環(huán)狀的流體流道和一個(gè)以上的環(huán)狀的流 體流道4，流體器件2具備第二流體給排口部2A，該第二流體給排口部2A 開口有呈同心狀形成的管狀的流體流道7或環(huán)狀的流體流道和一個(gè)以上的環(huán) 狀的流體流道8，集成面板1的上述第一流體給排口部1A與流體器件2的 上述第二流體給排口部2A各自的多個(gè)流體流道3、 4、 7、 8相對(duì)應(yīng)，并利用 介于上述第一流體給排口部1A和上述第二流體給排口部2A之間的多個(gè)環(huán) 狀密封墊Gl、 G2以各流體流道3、 4、 7、 8被密封的狀態(tài)，將集成面板1 的上述第一流體給排口部1A與流體器件2的上述第二流體給排口部2A連 通連接，在上述第一流體給排口部1A及上述第二流體給排口部2A上，在各端 面開口的上述各流體流道3、 4、 7、 8的外徑一側(cè)部分形成有環(huán)狀突起21、 11、 41、 31;上述各密封墊G1、 G2由具有撓性的材料構(gòu)成，并包括為了將上述第 一、第二流體給排口部1A、 2A的相對(duì)應(yīng)的上述流體流道3、 4、 7、 8相互 連通起來(lái)而形成的流體路徑Wl、 W2;在上述流體路徑Wl、 W2的外徑一 側(cè)部分形成、并分別與形成在上述第一及第二流體給排口部1A、 2A的端面 上的上述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31相嵌合的一對(duì)環(huán)狀槽51、 61;以及為了 形成上述環(huán)狀槽51、 61而向上述第一及第二流體給排口部1A、 2A的軸線P 方向突出形成的內(nèi)外徑側(cè)的周壁端部52、 53、 62、 63;在上述第一及第二流體給排口部1A、 2A的端面上的上述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31的內(nèi)外徑側(cè)形成有分別能夠與上述內(nèi)外徑側(cè)的周壁端部52、 53、 62、 63抵接的環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33，上述環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33形成為具有上述 環(huán)狀突起21、 11、 41、 31 —側(cè)的側(cè)周面傾斜而形成的錐形周面22a、 23a、 12a 、 13a 、 42a、 43a、 32a、 33a的前窄狀的環(huán)狀突起，以使其與上述環(huán)狀 突起所包圍的谷部14、 24成為內(nèi)窄狀；上述周壁端部52、 53、 62、 63具有 與所對(duì)應(yīng)的上述環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33的錐形周 面22a、 23a、 12a 、 13a 、 42a、 43a、 32a、 33a抵接的錐形周面52a、 53a、 62a、 63a，形成為可以自由進(jìn)入上述谷部24、 25、 14、 15、 44、 45、 34、 35 的前窄狀的環(huán)狀突起，上述第一流體給排口部1A和上述第二流體給排口部2A隔著上述多個(gè) 密封墊G1、 G2被相互拉靠，從而使上述第一流體給排口部1A的上述環(huán)狀 突起21、 41與上述各密封墊G1、 G2的一端的環(huán)狀槽51、 61、以及上述第 二流體給排口部2A的上述環(huán)狀突起11、 31與上述各密封墊Gl、 G2的另一 端的上述環(huán)狀槽51、 61分別嵌合起來(lái)，而且上述環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33的錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a 與上述周壁端部52、 53、 62、 63的錐形周面52a、 53a、 62a、 63a壓接而形 成密封部S1;并且，上述各密封墊G1、 G2之中，在上述接合狀態(tài)下內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)都存在 上述流體流道W1、 W2的中間密封墊G1形成為以下狀態(tài)，即該中間密封墊 Gl的外周面55a成為用于形成環(huán)狀的流體路徑W2的壁面，其中該環(huán)狀的流 體路徑W2將位于上述中間密封墊Gl的外徑一側(cè)的上述第一流體給排口部 1A的上述環(huán)狀流體流道8及上述第二流體給排口部2A的上述環(huán)狀流體流道 4連通。權(quán)利要求10中的本發(fā)明的特征在于，其在權(quán)利要求9所述的集成面板 與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33的錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a的傾斜角與上述周 壁端部52、 53、 62、 63的錐形周面52a、 53a、 62a、 63a的傾斜角設(shè)定為不 同角度，從而形成上述環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33的錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a與上述周壁端部52、 53、 62、 63的錐形周面52a、 53a、 62a、 63a僅在沿徑向遠(yuǎn)離上述環(huán)狀突起 21、 11、 41、 31的一側(cè)的端部上彼此壓接在而形成上述密封部S1的結(jié)構(gòu)。權(quán)利要求11中的本發(fā)明的特征在于，其在權(quán)利要求9或10所述的集成 面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31在上述軸線 方向上的突出量設(shè)定為大于上述環(huán)狀按壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33在上述軸線方向上的突出量的狀態(tài)。權(quán)利要求12中的本發(fā)明的特征在于，其在權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所 述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述第一流體給排口部1A和上述 第二流體給排口部2A隔著上述多個(gè)密封墊G1、 G2被相互拉靠，利用上述 兩個(gè)錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a、 52a、 53a、 62a、 63a彼此壓接所產(chǎn)生的分力，使內(nèi)徑一側(cè)的上述周壁端部52、 62擴(kuò)徑變形， 而外徑一側(cè)的上述周壁端部53、 63則縮徑變形，從而壓接到上述環(huán)狀突起 21、 41、 11、 31上，形成二次密封部S2。權(quán)利要求13中的本發(fā)明的特征在于，其在權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所 述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述多個(gè)密封墊G1、 G2的剖面形 狀呈近似H形。權(quán)利要求14中的本發(fā)明的特征在于，其在權(quán)利要求9至13中任一項(xiàng)所 述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31的 前端的內(nèi)周角部和/或外周角部被倒棱，該環(huán)狀突起21、 11、 41、 3形成為剖 面呈越往前端越細(xì)的形狀，從而使上述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31容易進(jìn)入 到上述環(huán)狀槽51、 61中。權(quán)利要求15中的本發(fā)明的特征在于，其在權(quán)利要求9至14中任一項(xiàng)所 述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，設(shè)置有維持裝置I，用于維持形成 上述密封部S1的接合狀態(tài)。權(quán)利要求16中的本發(fā)明的特征在于，在權(quán)利要求15所述的集成面板與 流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，上述維持裝置I發(fā)揮拉靠功能，將上述第一流體給 排口部1A和第二流體給排口部2A拉靠而獲得上述接合狀態(tài)。發(fā)明的效果根據(jù)權(quán)利要求l的本發(fā)明，第一、第二流體給排口部被相互拉靠后，分別形成的環(huán)狀突起與在密封墊的一個(gè)端面及另一個(gè)端面上分別形成的環(huán)狀 槽通過軸線方向的相對(duì)移動(dòng)而相互嵌合，由此發(fā)揮導(dǎo)引功能；第一及第二流 體給排口部就會(huì)無(wú)錯(cuò)位地相對(duì)接近，各流體給排口部的環(huán)狀突起的內(nèi)徑一側(cè) 所形成的環(huán)狀按壓部分與密封墊的內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部就可以按照期望的 方式壓接在一起，形成接合狀態(tài)。在該接合狀態(tài)下，環(huán)狀按壓部分與內(nèi)徑一 側(cè)的周壁端部的錐形周面相互壓接在一起，形成密封部，即在環(huán)狀突起與環(huán) 狀槽的嵌合部的內(nèi)徑一側(cè)獨(dú)立的密封部，利用該密封部能夠?qū)⒌谝患暗诙?體給排口部連接成可以切實(shí)地阻止液體從它們的連接部位泄露出來(lái)的狀態(tài)。 而且，發(fā)揮導(dǎo)引功能的環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合部也發(fā)揮迷宮(迷路)作用， 萬(wàn)一在密封部發(fā)生了泄露，泄露出來(lái)的流體也難以到達(dá)外徑一側(cè)。第一及第二流體給排口部的各個(gè)錐形周面帶有角度，形成在其環(huán)狀突起 一側(cè)向軸線方向凹陷的狀態(tài)，因此，不僅在軸線方向壓接，在徑向上也會(huì)被 壓接，從而緩解當(dāng)?shù)谝患暗诙黧w給排口部相互拉靠的力下降導(dǎo)致軸線方向 的壓力下降的情況下出現(xiàn)的密封部的壓接力下降。因此，即使壓接力有少量 下降，仍然可以維持密封功能，與單純?cè)谳S線方向上壓接的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比， 其優(yōu)點(diǎn)效果明顯。另外，還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，該錐形周面所產(chǎn)生的徑向分力會(huì) 引起在使環(huán)狀槽變窄的方向上的力，利用密封部的形成使環(huán)狀槽與環(huán)狀突起 的嵌合變得更強(qiáng)，各流體給排口部與密封墊的防漏作用得到強(qiáng)化。其結(jié)果是，能夠提供一種利用導(dǎo)引功能切實(shí)地獲得良好的密封狀態(tài)、基 本不需要進(jìn)行加緊即可保持良好的密封性、可靠性優(yōu)異并且其組裝操作性也 得到改善的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。例如，如果在半導(dǎo)體制造設(shè)備 中的清洗裝置的管道系統(tǒng)中使用這種連接結(jié)構(gòu)，就能夠在確保良好的密封性 的同時(shí)減少裝置所占面積，其可以收到的效果是，既有利于降低成本，又能 夠通過確保大流道而提高循環(huán)流量，從而提高藥液的高純度，有助于提高成口愈根據(jù)權(quán)利要求2的本發(fā)明，密封部處于僅由沿徑向遠(yuǎn)離環(huán)狀槽的一側(cè)的 端部(最內(nèi)徑一側(cè)的端部)受到壓接的狀態(tài)，所以，利用更強(qiáng)的表面壓力可 以獲得切實(shí)的密封作用。另外，這樣可以防止流體滲入錐形周面之間，因此 能夠提供一種具有以下優(yōu)點(diǎn)的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，即其不會(huì)發(fā) 生因流體本身或者流體中的混合物、異物等進(jìn)入而停滯或降低流體的純度。根據(jù)權(quán)利要求3的本發(fā)明，隨著第一及第二流體給排口部相互之間的拉 靠，首先，環(huán)狀突起會(huì)進(jìn)入環(huán)狀槽，其后，錐形周面相互接觸在一起；由于 其帶有這種次序，所以能夠切實(shí)地發(fā)揮環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合而產(chǎn)生的導(dǎo) 引功能。其結(jié)果是，該結(jié)構(gòu)具有以下優(yōu)點(diǎn)，即使稍雜亂地隔著密封墊組裝集 成面板和流體器件，由環(huán)狀按壓部分和內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部的壓接所實(shí)現(xiàn)的 密封部也能夠按照預(yù)期那樣切實(shí)地發(fā)揮功能。根據(jù)權(quán)利要求4的本發(fā)明，為了利用錐形周面之間的壓接而形成密封部， 環(huán)狀按壓部分和周壁端部必須相互受到強(qiáng)按壓，但這種按壓力會(huì)因?yàn)楦麇F形 周面所具有的傾斜而產(chǎn)生分力，周壁端部會(huì)擴(kuò)張變形，結(jié)果被按壓到環(huán)狀突 起的內(nèi)徑一側(cè)的側(cè)周面上形成壓接，由此形成密封部。即，利用錐形周面相 互壓接的結(jié)構(gòu)，無(wú)論環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合狀態(tài)怎樣(壓入、可自由滑動(dòng) 的密嵌合、帶有間隙的嵌合等)，在內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部與環(huán)狀突起之間都 會(huì)構(gòu)成密封部。因而，利用這兩處密封部使密封功能進(jìn)一步得到強(qiáng)化，能夠 提供一種具有更優(yōu)異的密封性能的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。根據(jù)權(quán)利要求5的本發(fā)明，密封墊的剖面形狀形成為近似H形，因此， 與例如橫倒的T形形狀的結(jié)構(gòu)相比，密封墊及與其嵌合的部分——即第一、第二流體給排口部的設(shè)計(jì)、制作變得容易，同時(shí)，在嵌合到集成面板或流體 器件中的情況下也能夠獲得優(yōu)異的均衡性(強(qiáng)度均衡、組裝均衡)。根據(jù)權(quán)利要求6的本發(fā)明，采用將環(huán)狀突起的內(nèi)周角部和/或外周角部倒 棱后形成的越靠近前端越細(xì)的形狀，使環(huán)狀突起容易進(jìn)入環(huán)狀槽中，所以， 即使在第一、第二流體給排口部與密封墊的相對(duì)位置發(fā)生了少許偏差的狀態(tài) 下，也能夠通過這兩者的拉靠而切實(shí)地實(shí)現(xiàn)環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合。其結(jié) 果是，能夠提供一種理想的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，即使隔著密封 墊拉靠第一、第二流體給排口部的組裝操作稍微粗糙，通過環(huán)狀突起與環(huán)狀 槽的嵌合，也會(huì)使上述導(dǎo)引功能切實(shí)地起作用。根據(jù)權(quán)利要求7的本發(fā)明，利用維持裝置，能夠維持兩個(gè)流體給排口部 隔著密封墊彼此拉靠的接合狀態(tài)，因此集成面板與流體器件不會(huì)出現(xiàn)液體泄 露，能夠長(zhǎng)期保持可確保良好的密封性能的狀態(tài)，提供一種可靠性優(yōu)異的集 成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其結(jié)果是，能夠提供一種基本不需要進(jìn)行加 緊即可保持良好的密封性、并且其組裝操作性也得到改善的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，而且這種效果會(huì)進(jìn)一步得到強(qiáng)化。根據(jù)權(quán)利要求8的本發(fā)明，維持裝置不僅維持第一流體給排口部與第二 流體給排口部的接合狀態(tài)，而且也起到將第一流體給排口部和第二流體給排 口部拉靠從而獲得接合狀態(tài)所需的拉靠作用，因此，不再需要準(zhǔn)備其他的拉 靠裝置，其優(yōu)點(diǎn)是，可以從整體上節(jié)省組裝時(shí)間和勞力，并降低成本。根據(jù)權(quán)利要求9的本發(fā)明，將兩個(gè)以上流體流道配置成同心狀的多重管 道，這與多個(gè)流體流道獨(dú)立排列的結(jié)構(gòu)相比，有助于實(shí)現(xiàn)連接結(jié)構(gòu)部分的緊 湊性。第一、第二流體給排口部被相互拉靠后，分別形成的環(huán)狀突起與在密 封墊的一個(gè)端面及另一個(gè)端面上分別形成的環(huán)狀槽通過軸線方向的相對(duì)移 動(dòng)而相互嵌合，由此發(fā)揮導(dǎo)引功能；第一及第二流體給排口部就會(huì)無(wú)錯(cuò)位地相對(duì)接近，各流體給排口部的環(huán)狀突起的內(nèi)徑一側(cè)所形成的環(huán)狀按壓部分與 密封墊的內(nèi)外徑側(cè)的周壁端部就可以按照期望的方式壓接在一起，形成接合 狀態(tài)。在該接合狀態(tài)下，環(huán)狀按壓部分與周壁端部的錐形周面相互壓接在一 起，形成密封部，即在環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合部的內(nèi)外徑這兩側(cè)獨(dú)立的密封部；利用該密封部能夠?qū)⒌谝患暗诙黧w給排口部連接成可以切實(shí)地阻止 液體從它們的連接部位泄露出來(lái)的狀態(tài)。而且，發(fā)揮導(dǎo)引功能的環(huán)狀突起與 環(huán)狀槽的嵌合部也發(fā)揮迷宮(迷路)作用，萬(wàn)一在密封部發(fā)生了泄露，泄露 出來(lái)的流體也難以到達(dá)內(nèi)徑一側(cè)或外徑一側(cè)。例如，如果在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的清洗裝置的管道系統(tǒng)中使用這種連接 結(jié)構(gòu)，就能夠在確保良好的密封性的同時(shí)減少裝置所占面積，其可以收到的 效果是，既有利于降低成本，又能夠通過確保大流道而提高循環(huán)流量，從而 提高藥液的純度，有助于提高成品率。第一及第二流體給排口部的各個(gè)錐形周面帶有角度，形成在其環(huán)狀突起 一側(cè)向軸線方向凹陷的狀態(tài)，因此，不僅在軸線方向壓接，在徑向上也會(huì)被 壓接，從而緩解當(dāng)?shù)谝患暗诙黧w給排口部相互拉靠的力下降導(dǎo)致軸線方向 的壓力下降的情況下出現(xiàn)的密封部的壓接力下降。因此，即使出現(xiàn)壓接力少 許下降的情況，仍然可以維持密封功能，與單純?cè)谳S線方向上壓接的現(xiàn)有結(jié) 構(gòu)相比，其有益效果明顯。另外，還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，該錐形周面所產(chǎn)生的徑 向分力會(huì)引起在使環(huán)狀槽的寬度變窄的方向上的力，利用密封部的形成使環(huán)狀槽與環(huán)狀突起的嵌合變得更強(qiáng)，各流體給排口部與密封墊的防漏作用得到 強(qiáng)化。此外，在密封墊的內(nèi)外會(huì)形成流體流道的中間密封墊中，不僅其內(nèi)周部， 而且其外周部也被兼作流體流道的壁面，因此，在內(nèi)外相鄰的流體流道的間 隔就僅僅是中間密封墊的厚度，這樣就可以將多個(gè)流體流道盡可能的靠近徑 向配置，有利于進(jìn)一步提高集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)部分的緊湊化。 其結(jié)果是，實(shí)現(xiàn)了將多個(gè)流體流道排列成同心狀進(jìn)行連接的集成面板與流體 器件的連接結(jié)構(gòu)，從而既有助于促進(jìn)有利于模塊化和小型化的流體器件的集 成化，又能夠提供一種可長(zhǎng)期保持可確保良好的密封性能、可靠性優(yōu)異，并 且可以進(jìn)一步使集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)小型化。根據(jù)權(quán)利要求10的本發(fā)明，密封部處于僅由沿徑向遠(yuǎn)離環(huán)狀槽的一側(cè) 的端部(內(nèi)徑一側(cè)的話是最內(nèi)徑一側(cè)的端部，外徑一側(cè)的話是最外徑一側(cè)的 端部)受到壓接的狀態(tài)，所以，利用更強(qiáng)的表面壓力可以獲得切實(shí)的密封作 用。另外，這樣可以防止流體滲入錐形周面之間，因此能夠提供一種具有以 下優(yōu)點(diǎn)的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，即其不會(huì)發(fā)生因流體本身或者流 體中的混合物、異物等進(jìn)入而停滯或降低流體的純度。根據(jù)權(quán)利要求11的本發(fā)明，隨著第一及第二流體給排口部相互之間的 拉靠，首先，環(huán)狀突起會(huì)進(jìn)入環(huán)狀槽，其后，錐形周面相互抵接在一起；由 于其帶有這種次序，所以能夠切實(shí)地發(fā)揮環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合而產(chǎn)生的 導(dǎo)引功能。其結(jié)果是，該結(jié)構(gòu)具有以下優(yōu)點(diǎn)，即使稍微粗糙地隔著密封墊組 裝集成面板和流體器件，由環(huán)狀按壓部分和周壁端部的壓接所實(shí)現(xiàn)的內(nèi)外的 密封部也能夠按照預(yù)期那樣切實(shí)地發(fā)揮功能。根據(jù)權(quán)利要求12的本發(fā)明，為了利用錐形周面之間的壓接而形成密封部，環(huán)狀按壓部分和周壁端部必須相互受到強(qiáng)按壓，但這種按壓力會(huì)因?yàn)楦?錐形周面所具有的傾斜而產(chǎn)生分力，內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部會(huì)擴(kuò)徑變形，而外 徑一側(cè)的周壁端部會(huì)縮徑變形，分別被按壓到環(huán)狀突起的內(nèi)外徑側(cè)的側(cè)周面 上而壓接在一起，由此形成內(nèi)外的二次密封部。即，利用錐形周面相互壓接 的結(jié)構(gòu)，無(wú)論環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合狀態(tài)怎樣(壓入、可自由滑動(dòng)的密嵌 合、帶有間隙的嵌合等)，在內(nèi)外徑側(cè)的周壁端部與環(huán)狀突起之間都會(huì)構(gòu)成 密封部。因而，利用這些密封部及二次密封部使密封功能得到強(qiáng)化，能夠提供一種具有更優(yōu)異的密封性能的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。根據(jù)權(quán)利要求13的本發(fā)明，密封墊的剖面形狀形成為近似H形，因此, 與例如橫倒的T形形狀的結(jié)構(gòu)相比，密封墊及與其嵌合的部分——即第一、 第二流體給排口部的設(shè)計(jì)、制作變得容易，同時(shí)，在嵌合到集成面板或流體 器件中的情況下也能夠獲得優(yōu)異的均衡性(強(qiáng)度均衡、組裝均衡)。根據(jù)權(quán)利要求14的本發(fā)明，采用將環(huán)狀突起的內(nèi)周角部和/或外周角部倒棱后形成的越靠近前端越細(xì)的形狀，使環(huán)狀突起容易進(jìn)入環(huán)狀槽中，所以， 即使在第一、第二流體給排口部與密封墊的相對(duì)位置發(fā)生了少許偏差的狀態(tài) 下，也能夠通過這兩者的拉靠而切實(shí)地實(shí)現(xiàn)環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合。其結(jié) 果是，能夠提供一種理想的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，即使隔著多個(gè) 密封墊拉靠第一、第二流體給排口部的組裝操作稍微粗糙，通過環(huán)狀突起與 環(huán)狀槽的嵌合，也會(huì)使上述導(dǎo)引功能切實(shí)地起作用。根據(jù)權(quán)利要求15的本發(fā)明，利用維持裝置，能夠維持兩個(gè)流體給排口部隔著密封墊彼此拉靠的接合狀態(tài)，因此集成面板與流體器件不會(huì)出現(xiàn)液體 泄露，能夠長(zhǎng)期保持可確保良好的密封性能的狀態(tài)，提供一種可靠性優(yōu)異的 集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其結(jié)果是，既有助于促進(jìn)有利于模塊化和 小型化的流體器件的集成化，又能夠提供一種可長(zhǎng)期保持良好的密封性能、 可靠性優(yōu)異，并且可以進(jìn)一步小型化的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，這 種效果會(huì)進(jìn)一步得到強(qiáng)化。根據(jù)權(quán)利要求16的本發(fā)明，維持裝置不僅維持第一流體給排口部與第二流體給排口部的接合狀態(tài)，而且也起到將第一流體給排口部和第二流體給 排口部拉靠從而獲得接合狀態(tài)所需的拉靠作用，因此，不再需要準(zhǔn)備其他的 拉靠裝置，其優(yōu)點(diǎn)是，可以從整體上節(jié)省組裝時(shí)間和勞力，并降低成本。


圖1是表示集成面板與閥門的連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例l)。圖2是圖1的連接結(jié)構(gòu)中使用的密封墊和流體給排口部的主要部分的剖 視圖。圖3是表示密封墊與流體器件的嵌合結(jié)構(gòu)的詳細(xì)情況的主要部分的放大 剖視圖。圖4是表示集成面板與波紋管式閥門的連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例2)。 圖5是表示集成面板與過濾器的連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例3)。圖6是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第一其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖視 圖(實(shí)施例4)。圖7是表示具有圖6的維持裝置的連接結(jié)構(gòu)的連接流程的說明圖。 圖8是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第二其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖視 圖(實(shí)施例5)。圖9是表示具有圖8的維持裝置的連接結(jié)構(gòu)的連接流程的說明圖。圖10是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第三其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖 視圖(實(shí)施例6)。圖11是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第四其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖 視圖(實(shí)施例7)。圖12是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第五其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖 視圖(實(shí)施例8)。圖13的(a)和(b)都是表示環(huán)狀突起的其他形狀的主要部分的剖視圖。圖14是表示集成面板與閥門的同心狀多重流路連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí) 施例9)。圖15是圖14的連接結(jié)構(gòu)中使用的密封墊和流體給排口部的主要部分的 剖視圖。圖16是表示密封墊與流體器件的嵌合結(jié)構(gòu)的詳細(xì)情況的主要部分的放 大剖視圖。圖17是表示隔著法蘭管道的集成面板與泵的同心狀多重流路連接結(jié)構(gòu) 的剖視圖(實(shí)施例10)。圖18是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第六其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖 視圖(實(shí)施例11)。圖19是表示具有圖17的維持裝置的連接結(jié)構(gòu)的連接流程的說明圖。圖20是表示帶有拉靠功能的維持裝置的第七其他結(jié)構(gòu)的主要部分的剖 視圖(實(shí)施例12)。圖21是表示具有圖19的維持裝置的連接結(jié)構(gòu)的連接流程的說明圖。圖22是表示維持裝置的結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖(實(shí)施例13)。圖23的(a)和(b)都是表示環(huán)狀突起的其他形狀的主要部分的剖視圖。附圖標(biāo)記說明1集成面板1A第一流體給排口部ln外螺紋部2流體器件2A第二流體給排口部3、 4集成面板的流體流道7、 8流體器件的流體流道9a貫穿孔10嵌合密封部11、 21、 31、 41環(huán)狀突起12、 13、 22、 23、 32、 33、 42、 43環(huán)狀按壓部分 12a、 13a、 22a、 23a、 32a、 33a、 42a、 43a錐形周面 14、 15、 24、 25、 34、 35、 44、 45谷部51、 61環(huán)狀槽52、 53、 62、 63周壁端部 52a、 53a、 62a、 63a錐形周面 55a中間密封墊的外圍部位 66螺栓67螺母部81筒狀螺母81n內(nèi)螺紋部82組合型環(huán)83內(nèi)向法蘭83a開口部G、 Gl、 G2密封墊I維持裝置 P軸線 Sl密封部W、 Wl、 W2流體路徑 X、 Z中心線具體實(shí)施方式
下面參照

本發(fā)明的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的實(shí)施方 式。圖1至圖3表示實(shí)施例1的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)；圖4、圖 5分別表示實(shí)施例2、 3的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)；圖6至圖12表 示維持裝置的其他結(jié)構(gòu)；圖6表示第一其他結(jié)構(gòu)；圖7、圖8表示第二其他 結(jié)構(gòu)；圖9、圖10表示第三其他結(jié)構(gòu)；圖ll表示第四其他結(jié)構(gòu)；圖12表示 第五其他結(jié)構(gòu)；圖13表示環(huán)狀突起的其他結(jié)構(gòu)。此外，圖14、圖15是表示 實(shí)施例9的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的整體圖和主要部分的剖視圖； 圖16是表示第一密封墊和第一流體給排口部的詳細(xì)嵌合結(jié)構(gòu)的主要部分的 剖視圖；圖17是表示實(shí)施例10的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的整體圖； 圖18、圖19是第六其他結(jié)構(gòu)的維持裝置的半剖視圖和組裝說明圖；圖20、 圖21是第七其他結(jié)構(gòu)的維持裝置的半剖視圖和組裝說明圖；圖22是第八其 他結(jié)構(gòu)的維持裝置的剖視圖。另外，圖23是環(huán)狀突起的其他結(jié)構(gòu)。 [實(shí)施例1]在圖1、圖2中表示實(shí)施例1的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。該集 成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)是一種單流路型結(jié)構(gòu)，其由內(nèi)部形成有一對(duì)圓 管狀的流體流道3、 4的集成面板1和在該集成面板1的上表面la上隔著環(huán) 狀的密封墊G搭載的閥門(開閉閥門、截止閥等)2構(gòu)成，共享縱向軸線P。 即，用于給排的一對(duì)連接結(jié)構(gòu)彼此采用相同的結(jié)構(gòu)。如圖l、圖2所示，集成面板l的結(jié)構(gòu)為，在PFA或PTFE等氟樹脂制 成的面板材料(或者塊材)5的內(nèi)部形成有一對(duì)圓管狀的供給側(cè)流體流道3、 4，該供給側(cè)流體流道3、 4由開口于面板上表面la的上下走向的縱流道3a、 4a和橫向的橫流道3b、 4b構(gòu)成。將該集成面板l中的給排流體流道3、 4開 口的部分稱為第一流體給排口部1A，則在該第一流體給排口部IA中，圓管狀的縱流道3a、 4a分別形成為具有軸線P的流道。另外，在第一流體給排 口部1A，開口于其上端面的各流體流道3、 4的外徑一側(cè)部分分別形成有下 第一密封端部t21和下第二密封端部t22，它們以軸線P為軸線形成環(huán)狀，并 且具有向上方突出的內(nèi)外的環(huán)狀突起21 。如圖1、圖2所示，閥門(流體器件的一個(gè)實(shí)例)2具有PFA或PTFE 等氟樹脂制成的、俯視形狀呈圓形的閥門箱6，該閥門箱6的下端部形成在 第二流體給排口部2A，該第二流體給排口部2A具有以從底面6a向下方突 出的狀態(tài)縱向配置的圓管狀供給側(cè)流體流道7和以向該供給側(cè)流體流道7的 橫向側(cè)方離開而開口的狀態(tài)縱向配置的圓管狀的排出側(cè)流體流道8。即，在 該第二流體給排口部2A，圓管狀的供給側(cè)流體流道7、 8分別形成為具有軸 線P的流道。即，在閥門箱6下端，具有一對(duì)螺栓貫穿孔9a的一對(duì)由PFA 或PTFE或者其他材料制成的氟樹脂制的安裝法蘭9向下方突出形成，利用 具有流體流道7、 8的管部9A和法蘭部(外向法蘭)9B形成各個(gè)安裝法蘭9。 供給側(cè)的安裝法蘭9形成在具有向下方突出的環(huán)狀突起11的上第一密封端 部tll上，排出側(cè)的安裝法蘭9形成在具有向上方突出的環(huán)狀突起11的上第 二密封端部tl2上。一對(duì)密封墊G彼此相同，以供給側(cè)的密封墊G為例說明其結(jié)構(gòu)。密封 墊G是由PFA或PTFE等氟樹脂制成的，其包括將供給側(cè)的上下流體給排口 部1A、2A所對(duì)應(yīng)的流體流道——即縱流道3a及供給側(cè)流體流道7相互連通 起來(lái)而形成的管狀的流體路徑W，以及在流體路徑W的外徑一側(cè)部分形成、 并分別與形成在第一及第二流體給排口部1A、 2A的端面上的上第一密封端 部tll的環(huán)狀突起11和上第二密封端部t12的環(huán)狀突起21相嵌合的上下一 對(duì)環(huán)狀槽51、 51。艮口，密封墊G的剖面形狀為，其具有上下一對(duì)環(huán)狀槽51、 51和用于形 成這些環(huán)狀槽51、 51的內(nèi)周壁54及外周壁55，同時(shí)，上下的環(huán)狀槽51、 51的深度以及寬度相同而上下對(duì)稱，并且內(nèi)、外周壁54、 55也呈左右對(duì)稱， 相對(duì)于沿著第一及第二流體給排口部1A、 2A的軸線P方向的縱中心Z及與 該縱中心線Z正交的橫中心線X這兩條線呈線對(duì)稱(近似線對(duì)稱即可)，形 成近似H形的形狀。內(nèi)周壁54的上下端部形成有內(nèi)周面54a即流體路徑W 的上下端部以越靠近前端越寬闊的形狀外向傾斜的錐形內(nèi)周面52a、 52a，同時(shí)，外周壁55的上下端部也形成有外周面55a的上下端部?jī)?nèi)向傾斜的錐形 外周面53a、 53a。在集成面板1的第一流體給排口部1A的下第一密封端部t21的環(huán)狀突 起21和閥門2的第二流體給排口部2A的上第一密封端部tll中的環(huán)狀突起 11的內(nèi)徑以及外徑側(cè)，形成有環(huán)狀按壓突起(環(huán)狀按壓部分的一個(gè)實(shí)例)12、 13、 22、 23，這些環(huán)狀按壓突起12、 13、 22、 23用于防止為了形成密封 墊G上的環(huán)狀槽51而沿軸線P方向突出形成的內(nèi)外周壁端部52a、 53a，因 環(huán)狀槽51和環(huán)狀突起52的嵌合而發(fā)生擴(kuò)張變形。下面針對(duì)密封墊G和上第一密封端部tl 1說明與上述環(huán)狀按壓突起相關(guān) 的結(jié)構(gòu)。內(nèi)外的環(huán)狀按壓突起12、 13相互對(duì)稱，形成為具有環(huán)狀突起側(cè)的 側(cè)周面傾斜的錐形外周面12a、以及錐形內(nèi)周面13a的前窄狀的環(huán)狀突起， 以使由內(nèi)外的環(huán)狀按壓突起12、 13和環(huán)狀突起11所包圍的谷部14、 15呈 現(xiàn)內(nèi)窄狀(上部收縮狀)。即，上第一密封端部tll是環(huán)狀突起11及在其內(nèi) 外兩側(cè)形成的環(huán)狀按壓突起12、 13和谷部14、 15的總稱。密封墊G的內(nèi)外周壁54、 55的上端部的結(jié)構(gòu)為，其包括分別與環(huán)狀按 壓突起12、 13的錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面13a抵接的錐形內(nèi)周面52a 和錐形外周面53a，并包括可自由進(jìn)入14、 15的前窄狀的環(huán)狀密封突起(周 壁端部的一個(gè)實(shí)例)52、 53，在接合狀態(tài)(參照?qǐng)D1)下，內(nèi)外的周壁54、 55的上端部——即環(huán)狀密封突起52、 53進(jìn)入相應(yīng)的谷部14、 15，上第一密 封端部tll的錐形外周面12a和密封墊G的錐形內(nèi)周面52a被壓接起來(lái)，并 且上第一密封端部tl 1的錐形內(nèi)周面13a和密封墊G的錐形外周面53a也被 壓接起來(lái)。艮口，在密封墊G的上端部，利用環(huán)狀槽51及其內(nèi)外的環(huán)狀密封突起52、 53形成上密封部g11，并同樣地在下端部形成下密封部g12。上密封部gll 與上第一密封端部tll嵌合而形成嵌合密封部10，下密封部g12與下第二密 封端部t21嵌合而形成嵌合密封部10。下面針對(duì)上第一密封端部tll和密封墊G的上密封部gll詳細(xì)說明嵌合 密封部10的嵌合結(jié)構(gòu)。如圖2、圖3所示，內(nèi)外的谷部14、 15及內(nèi)外的環(huán) 狀密封突起52、 53分別彼此對(duì)稱，內(nèi)外的谷部14、 15整體的夾角d。與內(nèi) 外的環(huán)狀密封突起52、 53整體的對(duì)角(3°之間設(shè)定為01°<0°的關(guān)系，優(yōu)選是設(shè)定為的a ° + (20 40° ) =(3°這樣的關(guān)系。利用這種結(jié)構(gòu)可以獲得以下優(yōu)點(diǎn)， 即，在上第一密封端部tll的上環(huán)狀突起11和環(huán)狀槽51相互嵌合的接合狀 態(tài)(后述)下，上內(nèi)環(huán)狀按壓突起12和上內(nèi)環(huán)狀密封突起52呈現(xiàn)為其錐形 外周面12a和錐形內(nèi)周面52a在最內(nèi)徑一側(cè)部分被壓接的狀態(tài)(參照?qǐng)D3的 虛擬線)，起到一次密封部(密封部的一個(gè)實(shí)例)Sl的作用，阻止穿過流體 流道W的流體滲入這些外內(nèi)的錐形周面12a、 52a彼此之間。此外，上環(huán)狀突起11的寬度dl和上環(huán)狀槽51的寬度d2之間設(shè)定為 dl〉d2的關(guān)系，優(yōu)選是設(shè)定為dlX (0.6 0.8) 二d2這樣的關(guān)系。此外，上 環(huán)狀突起11的突出長(zhǎng)度hl與上環(huán)狀槽51的深度h2之間設(shè)定為hl<h2的 關(guān)系。利用這些結(jié)構(gòu)，其優(yōu)點(diǎn)是，上環(huán)狀突起11和上環(huán)狀槽51，詳細(xì)來(lái)說 是上環(huán)狀突起11的內(nèi)外的兩側(cè)周面與相應(yīng)的上環(huán)狀槽51的內(nèi)外側(cè)周面被牢 固地壓接，形成了發(fā)揮阻止流體泄露的優(yōu)異的密封性能的二次密封部S2，與 此同時(shí)，上內(nèi)環(huán)狀按壓突起12的錐形外周面12a與上內(nèi)環(huán)狀密封突起52的 錐形內(nèi)周面52a—定會(huì)抵接，從而良好地形成上述一次密封部S1。對(duì)于嵌合密封部10，如圖3所示，沿環(huán)狀按壓突起12、 22 (13、 23) 的軸線P方向的高度h3與環(huán)狀突起11 (21)的突出長(zhǎng)度hl的關(guān)系除了圖3 所示的hl>h3的關(guān)系之外，也可以是hl二h3或hKh3的關(guān)系。另外，為 了使內(nèi)徑一側(cè)的二次密封部S2切實(shí)地起作用，如果將相對(duì)于環(huán)狀突起11 (21)和環(huán)狀槽51各自的軸線P的半徑表示為R1、 R2，則優(yōu)選是設(shè)定為使 RKR2成立。進(jìn)而，內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部52與環(huán)狀突起11 (21)被壓接在 一起，但也可以是不形成二次密封部S2的結(jié)構(gòu)。另外，內(nèi)側(cè)的環(huán)狀按壓突起12的前端、以及環(huán)狀密封突起52、 53的前 端形成為不至于構(gòu)成針尖圓角的切削形狀，即傾斜切削面12b和切削面52b、 53b。利用這些結(jié)構(gòu)，即使上內(nèi)環(huán)狀按壓突起12的前端在流體流道W —側(cè) 發(fā)生了少許擴(kuò)張變形，因其本來(lái)是切削后的形狀，所以只會(huì)在流體流道W中 途形成開口很大的剖面為三角形的凹陷，存在于該凹陷處的流體很容易流出 去，實(shí)質(zhì)上不會(huì)產(chǎn)生積液。而且，該凹陷的開口角度、即傾斜切削面12b與 錐形內(nèi)周面52a的夾角足夠大，也避免了因表面張力而產(chǎn)生的積液。另外， 環(huán)狀突起11前端的內(nèi)周角部和外周角部采用了經(jīng)倒棱加工后的倒棱形狀 lla，因此，向?qū)挾群苷沫h(huán)狀槽51內(nèi)的壓入移動(dòng)能夠順利地進(jìn)行，不會(huì)發(fā)生剮扯。此外，如圖13 (a)所示，將環(huán)狀突起ll前端的內(nèi)周角部和外周角部的倒棱形成部lla明確地加大后使環(huán)狀突起11形成為剖面越靠近前端越細(xì)的 形狀，從而形成環(huán)狀突起11容易進(jìn)入環(huán)狀槽51的結(jié)構(gòu)。如果采用這種結(jié)構(gòu)， 即使第一、第二流體給排口部1A、 2A和密封墊G在組裝時(shí)的相對(duì)位置與預(yù) 期的適合狀態(tài)發(fā)生了少許偏離，錐形周面內(nèi)部或外部的倒棱形狀部lla也會(huì) 起進(jìn)行嵌合導(dǎo)引，使環(huán)狀突起11可靠地進(jìn)入環(huán)狀槽51內(nèi)。在這種情況下設(shè) 置的嵌合密封部10 (二次密封部S2)就成為由環(huán)狀突起11的根部和環(huán)狀槽 51的頂端部構(gòu)成的嵌合部所形成的結(jié)構(gòu)。如圖13 (b)所示，也可以將倒棱形狀部lla進(jìn)一步加大，使環(huán)狀突起 11的內(nèi)外側(cè)周面成為全部?jī)A斜的錐形側(cè)周面lla，從而形成顯著的越靠近前 端越細(xì)的形狀結(jié)構(gòu)。在這種情況下，嵌合導(dǎo)引的功能得到強(qiáng)化，環(huán)狀突起ll 更容易進(jìn)入環(huán)狀槽51中。在這種情況下，設(shè)置嵌合密封部10 (二次密封部 S2)，產(chǎn)生了環(huán)狀突起11將環(huán)狀槽51撐寬的楔效果，環(huán)狀槽51的前端部 位與環(huán)狀突起11的根部以線接觸方式或以極小的面積圓周狀壓接在一起， 可以更切實(shí)地實(shí)現(xiàn)密封功能。圖13 (a) 、 (b)所示的這些結(jié)構(gòu)也可以應(yīng)用 于其他的環(huán)狀突起21中。外側(cè)的環(huán)狀按壓突起13的整體形狀與內(nèi)側(cè)的環(huán)狀按壓突起12不同，并 且以與環(huán)狀按壓突起13的錐形內(nèi)周面13a相接續(xù)的狀態(tài)存在有用于形成閥 門箱6的下端部的下端內(nèi)周部9b。此外，下第一密封端部t21的整體形狀與 內(nèi)側(cè)的環(huán)狀按壓突起22也不同，并且也以與環(huán)狀按壓突起23的錐形內(nèi)周面 23a相接續(xù)的狀態(tài)存在有用于形成面板材料5的上端部的上端內(nèi)周部5b。這 些上以及下端內(nèi)周部5b、 9b在將密封墊G的上及下密封部g11、 gl2嵌到上 及下第一密封端部tll、 t21中時(shí)發(fā)揮導(dǎo)引功能，同時(shí)，也可以與錐形內(nèi)周面 13a、 23a—起發(fā)揮阻止密封墊G的外周壁55的擴(kuò)張變形的功能。此外，如圖6的虛擬線所示，如果將在密封墊G的外周壁55上橫向突 出的環(huán)狀的拆裝法蘭lf形成為一體，則其優(yōu)點(diǎn)是，在從第一或第二流體給排 口部1A、 2A中抽出密封墊G時(shí)，用工具或手指拉扯法蘭lf，就能夠很容易 地拆除。在這種情況下，拆裝法蘭lf的厚度設(shè)定為比接合狀態(tài)下的第一及第 二流體給排口部1A、 2A之間的間隙更小的值。進(jìn)一步詳細(xì)敘述嵌合密封部10。如圖2、圖3所示，環(huán)狀按壓突起12、13的錐形周面12a、 13a的開角(谷部14、 15的開角)D設(shè)定為50 70度內(nèi)的值(50°^D°^70°)，同時(shí)，環(huán)狀密封突起(周壁端部)52、 53的錐形周面52a、 53a的尖角E設(shè)定為60 80度內(nèi)的值(60。SD。^80。)。此外，開角D和尖角E設(shè)定為，開角D加上50 70度后等于尖角E即
。更理想的值是，開角D設(shè)定為69 71度(D°=70°±l)，尖角E設(shè)定為79 81度(E°=80±l°)，而且尖角E設(shè)定為開角D+9 11度 (E°—D°=10±l°)。另外，環(huán)狀按壓突起12的傾斜切削面12b的切削角Ds設(shè)定為49 51 度(Ds ° =50° ± 1° )，周壁端部52、 53的前端切削面52b、 53b的傾角Es 設(shè)定為124 126度(Es °=125°±1。)。通過這樣的角度設(shè)定，錐形外周 面12a和錐形內(nèi)周面52a在環(huán)狀的線接觸狀態(tài)下抵接， 一次密封部Sl發(fā)揮 密封唇效果。另外，錐形內(nèi)周面13a和錐形外周面53a之間也在它們的外徑 一側(cè)端部產(chǎn)生密封作用。此外，雖然其圖示被省略，在不存在下端內(nèi)周部9b 的情況下(與集成面板或流體器件中的密封墊G的嵌合部的剖面形狀左右對(duì) 稱的情況下)，外側(cè)的環(huán)狀按壓突起13中也形成有與傾斜切削面12b相同 的傾斜切削面，產(chǎn)生上述密封唇效果。艮口，上述環(huán)狀密封突起(周壁端部)52、 53的錐形周面52a、 53a (錐形 內(nèi)周面52a、錐形外周面53a)相對(duì)于上述第一流體給排口部1A和上述第二 流體給排口部2A相互拉靠的方向——即拉靠方向的尖角E設(shè)定為在上述環(huán) 狀按壓突起12、 13中的環(huán)狀突起11 一側(cè)的錐形周面12a、 13a (錐形外周面 12a、錐形內(nèi)周面13a)相對(duì)于上述拉靠方向的開角D上增加10 20度、優(yōu) 選是10度或10度左右。此外，上述尖角E設(shè)定為60 80度、優(yōu)選是80度 或80度左右。采用這種將尖角E和開角D設(shè)定為接近90度的鈍角值的結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是， 環(huán)狀按壓突起12、 13在拉靠方向(軸向)的突出量小于其徑向?qū)挾?，相?duì) 地提高了強(qiáng)度和剛性，既限制了環(huán)狀密封突起52、 53的擴(kuò)張，又能夠更有 效地抑制其自身(環(huán)狀按壓突起12、 13)在徑向上的擴(kuò)張變形。此外，能夠 減小因環(huán)狀密封突起52、 53向谷部14、 15的插入而產(chǎn)生的錐形周面52a、 53a將環(huán)狀按壓突起12、 13向徑向撐開的分力，這也能夠抑制環(huán)狀按壓突起12、 13在徑向上的擴(kuò)張變形。下面說明維持裝置I。如圖2、圖3所示，第一流體給排口部1A和第二 流體給排口部2A隔著密封墊G相互拉靠，與此同時(shí)，利用該拉靠作用使第 一流體給排口部1A的上第一密封端部tll和密封墊G的上密封部gll、以 及第二流體給排口部2A的下第一密封端部t21和密封墊G的下密封部g12 分別嵌合起來(lái)，形成各個(gè)嵌合密封部10;維持裝置I的結(jié)構(gòu)用于維持上述的 這種接合狀態(tài)。亦即，第二流體給排口部2A的環(huán)狀突起11和密封墊G的 上側(cè)的環(huán)狀槽51、以及第一流體給排口部1A的環(huán)狀突起21和密封墊G的 下側(cè)的環(huán)狀槽51分別嵌合。維持裝置I的具體結(jié)構(gòu)是，其由插入到第二流體給排口部2A的法蘭部 9B的螺栓貫穿孔9a中的一對(duì)螺栓66和與一對(duì)螺栓貫穿孔9a、 9a相對(duì)應(yīng)著 形成在第一流體給排口部1A (面板材料5)上的螺母部67、 67構(gòu)成，從而 構(gòu)成帶有能夠通過將螺栓66與螺母部67擰在一起而緊固的操作，將閥門2 向集成面板1拉靠，并能夠維持這種拉靠狀態(tài)的拉靠功能的維持裝置I。另 外，在發(fā)生老化或蠕變而導(dǎo)致各嵌合密封部10的壓接力下降的情況下，可 以通過加緊螺栓66來(lái)應(yīng)付，從而維持良好的密封性能。[實(shí)施例2]在圖4中表示實(shí)施例2的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。這是一種將 集成面板1與流體器件的一個(gè)實(shí)例——即過濾器2連通連接的結(jié)構(gòu)，連接結(jié) 構(gòu)本身與圖1至圖3所示的實(shí)施例1相同。因此，對(duì)于相同位置標(biāo)注相同的 附圖標(biāo)記，并省略其說明。過濾器2由主體機(jī)箱2K、下部機(jī)箱2B及過濾體2C構(gòu)成，下部機(jī)箱2B 形成有供給側(cè)的流體流道7和排出側(cè)的流體流道8、以及在具有這些流體流 道7、 8的狀態(tài)下橫向突出形成的一對(duì)安裝法蘭9、 9。這些安裝法蘭9、 9和 集成面板1經(jīng)由密封墊G連通連接。[實(shí)施例3]如圖5所示，實(shí)施例3的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)是集成面板1 與流體器件的一個(gè)實(shí)例一即調(diào)節(jié)器2的連接結(jié)構(gòu)。調(diào)節(jié)器2包括由上部箱 體、中間箱體及下部箱體構(gòu)成的殼體2C，在上部箱體與中間箱體之間容納 著外圍部位受到夾持的波紋管(省略圖示)，在中間箱體與下部箱體之間容納著外圍部位受到夾持的閥體(省略圖示)，下部箱體中容納著復(fù)位彈簧。 殼體2C上以一體化的方式設(shè)置有向橫側(cè)方向突出形成的一對(duì)安裝法蘭9、 9，利用這些安裝法蘭9、 9將調(diào)節(jié)器2經(jīng)由密封墊G連接到集成面板1 的上表面la。經(jīng)由該密封墊G實(shí)現(xiàn)的安裝法蘭9與集成面板1的上表面la 的連接結(jié)構(gòu)與圖1至圖3所示的實(shí)施例1相同，省略其詳細(xì)說明。 [實(shí)施例4]在圖6、 7中表示實(shí)施例4的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí) 施例1的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第一其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說明。 此外，在圖6、圖7中，針對(duì)與圖1至圖3所示的實(shí)施例1相對(duì)應(yīng)的位置標(biāo) 注相對(duì)應(yīng)的附圖標(biāo)記。如圖6和圖7所示，第一其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I由筒 狀螺母81和組合型環(huán)82構(gòu)成，其中，在形成于集成面板1的上表面上的俯 視呈圓形的突起狀的第一流體給排口部1A的外圍部位形成有外螺紋ln，上 述筒狀螺母81具備與該外螺紋ln可自由擰合的內(nèi)螺紋81n;上述組合型環(huán) 82是在閥門2的闊門箱6的下端部形成的外向法蘭9上、在環(huán)狀流體流道7 的軸線P方向上干涉的二分或三分以上的組合型環(huán)。這樣構(gòu)成的維持裝置I 通過緊固操作使內(nèi)螺紋81n與第一流體給排口部1A的外螺紋ln螺合在一 起，并可以利用該緊固操作使兩個(gè)流體給排口部1A、 2A隔著密封墊G互相 向接近的方向拉靠，并且，該維持裝置I帶有可以維持拉靠狀態(tài)的拉靠功能。形成在筒狀螺母81的閥門2 —側(cè)(上側(cè))的內(nèi)向法蘭83的開口部83a 設(shè)定為容許外向法蘭9通過所需的最小限度的內(nèi)徑尺寸。組合型環(huán)82的外 徑設(shè)定為比內(nèi)螺紋81n的內(nèi)徑略小的尺寸以便可以自由進(jìn)入筒狀螺母81中， 而且，其內(nèi)徑設(shè)定為可以與閥門2的圓形的第二流體給排口部2A的外徑部 自由外嵌的最小限度的尺寸。在這種情況下，為了裝配組合型環(huán)82，第二流 體給排口部2A中除去外向法蘭9的細(xì)徑部分的軸向長(zhǎng)度必須大于筒狀螺母 81的軸向長(zhǎng)度與組合型環(huán)82的厚度之和。具體地，如圖7 (b)所示，處于 與閥門箱6的根部6t相接觸狀態(tài)的筒狀螺母81與外向法蘭9之間的長(zhǎng)度d3 應(yīng)大于組合型環(huán)82的厚度d4 (d3>d4)。另外，在筒狀螺母81上的內(nèi)螺紋81n的內(nèi)部深處的端部與內(nèi)向法蘭83 之間，內(nèi)周面部81m形成為與軸線P同心的平坦的內(nèi)周面，該內(nèi)周面部81m 可以在組合型環(huán)82上沿軸向自由滑動(dòng)，并且具有覆蓋組合型環(huán)82的寬度尺寸的軸線P方向長(zhǎng)度。即，筒狀螺母81的內(nèi)螺紋81n與內(nèi)向法蘭83之間的 內(nèi)徑部81a形成為與供給側(cè)流體流道7同心的平坦的內(nèi)周面，而且其內(nèi)周面 部81m的內(nèi)徑尺寸被設(shè)定為比剖面形狀為矩形的組合型環(huán)82的外徑略大的 嵌合公差狀態(tài)，另一方面，第二流體給排口部2A的外徑部形成為與供給側(cè) 流體流道7同心的平坦的外周面，而且該外徑部的外徑與組合型環(huán)82的內(nèi) 徑大致相同。由此，防止了在旋擰筒狀螺母81時(shí)出現(xiàn)組合型環(huán)82傾斜著夾 住的狀態(tài)或筒狀螺母81的旋擰所產(chǎn)生的軸線P方向的按壓力無(wú)法傳遞到外 向法蘭9的故障，能夠有效地按壓外向法蘭9，將第一、第二流體給排口部 1A、 2A順利地拉靠到相互接近的方向。使用第一其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I將兩流體給排口部1A、 2A連接起來(lái)的 操作流程如下。首先，如圖7 (a)所示，讓過外向法蘭9，將筒狀螺母81 嵌裝到閥門2的第二流體給排口部2A的外周，并移動(dòng)到其最里側(cè)為止(直 到與根部6t抵接)。接著，如圖7 (b)所示，使組合型環(huán)82穿過外向法蘭 9和筒狀螺母81的前端之間，外嵌裝配到第二流體給排口部2A。也可以在 此時(shí)或在這之前通過環(huán)狀突起11、 21、 31、 41與環(huán)狀槽51、 61的臨時(shí)嵌合 將密封墊G安裝到任一個(gè)流體給排口部1A、 2A的端面上。接著，隔著密封 墊G將第一流體給排口部1A貼到第二流體給排口部2A上，在此狀態(tài)下使 筒狀螺母81滑移后進(jìn)行緊固操作[參照?qǐng)D7(c)],從而獲得圖6所示的連接 狀態(tài)。此外，在圖7中，為便于圖示而將上下層疊的集成面板1與閥門2描 畫成橫向放倒的狀態(tài)。 [實(shí)施例5]在圖8、圖9中表示實(shí)施例5的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與 實(shí)施例1的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第二其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說明。 此外，在圖8、圖9中，針對(duì)與圖1至圖3所示的實(shí)施例1相對(duì)應(yīng)的位置標(biāo) 注相對(duì)應(yīng)的附圖標(biāo)記。第二其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I的結(jié)構(gòu)為，其包括將第 一及第二流體給排口部1A、 2A以越接近其端面?zhèn)仍酱蟮姆绞竭M(jìn)行擴(kuò)徑后所 形成的第一及第二裁頭錐形臺(tái)狀端部1D、 2D;由一對(duì)半圓弧部件84、 84構(gòu) 成的組合型按壓環(huán)85，其中，該一對(duì)半圓弧部件84、 84具有因與第一裁頭 錐形臺(tái)狀端部1D的錐形外周面ld相抵接的第二錐形內(nèi)周面84a、以及與第 二裁頭錐形臺(tái)狀端部2D的錐形外周面2d相抵接的第二錐形內(nèi)周面84b而使剖面呈近似〈形的內(nèi)周面；用于將半圓弧部件84、 84相互拉靠的螺栓86以 及形成在一個(gè)半圓弧部件84上的螺母87。在跨著處于接合狀態(tài)的第一裁頭錐形臺(tái)狀端部1D和第二裁頭錐形臺(tái)狀 端部2D罩上半圓弧部件84的狀態(tài)下，利用插在另一個(gè)半圓弧部件84的貫 穿孔84h中的螺栓86和螺母87的緊固， 一端由支點(diǎn)Q以合頁(yè)狀樞軸支撐的 半圓弧部件84、 84相互拉靠而形成錐形周面，利用該錐形周面的相互接觸 所產(chǎn)生的力使各流體給排口部1A、 2A相互拉靠。組合型按壓環(huán)85優(yōu)選是 使用氟樹脂材料形成，但也可以由鋁合金及其他材料構(gòu)成。使用第二其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I將兩流體給排口部1A、 2A彼此連接起 來(lái)的操作流程如下。首先，如圖9 (a)所示，執(zhí)行預(yù)備連接操作，使第一、 第二流體給排口部1A、 2A隔著密封墊G輕輕連接在一起。接著，如圖9 (b) 所示，使將組合型按壓環(huán)85蓋到上述預(yù)備連接起來(lái)的第一及第二裁頭錐形 臺(tái)狀端部1D、 2D上，然后通過螺栓86執(zhí)行緊固操作。通過該螺栓86的緊 固，密封墊G深深地嵌入到各流體給排口部1A、 2A，實(shí)現(xiàn)了如圖9 (c)所 示的集成面板1與閥門2的連接狀態(tài)。[實(shí)施例6]在圖10中表示實(shí)施例6的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施 例1的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第三其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說明。此 外，在圖10中，針對(duì)與圖1至圖3所示的實(shí)施例1相對(duì)應(yīng)的位置標(biāo)注相對(duì) 應(yīng)的附圖標(biāo)記。第三其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I由以下部分構(gòu)成第一流體給排 口部1A，其形成在集成面板1的上表面，俯視呈圓形，形狀為突起狀，并 在外圍部位有外螺紋ln;法蘭部9，其在第二流體給排口部2A上以外圍部 位有外螺紋9n的狀態(tài)形成在閥門箱6的下端部；第一及第二環(huán)狀螺母91、 92，其具有可以擰到這兩個(gè)外螺紋ln、 9n上的內(nèi)螺紋91n、 92n;咬合環(huán)93， 能嵌合安裝到這些環(huán)狀螺母91、 92的外圍槽91m、 92m上，并且剖面形狀 為近似-形。兩個(gè)環(huán)狀螺母91、 92及咬合環(huán)93是例如PFA或PTFE等氟樹脂材料制 成的，具有一定程度的撓性。因此，使用第三其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I將兩流 體給排口部1A、 2A相互連接的流程是，預(yù)先將咬合環(huán)93嵌接到各環(huán)狀螺 母91、 92上形成一體化的第一及第二環(huán)狀螺母91、 92，然后將該一體化的第一、第二環(huán)狀螺母91、 92螺合到隔著密封墊G相互拉靠而呈組裝狀態(tài)的第一及第二流體給排口部1A、 2A上，形成集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。 當(dāng)然，在這種情況下，其條件是各外螺紋ln、 9n是相同的螺紋，通過螺合 安裝后，可以旋擰各環(huán)狀螺母91、 92進(jìn)一步緊固，或以后進(jìn)行加緊。另外，也可以采用以下組裝流程。即，在將各個(gè)環(huán)狀螺母91、 92擰到 相對(duì)應(yīng)的外螺紋ln、 9n上的狀態(tài)下執(zhí)行拉靠工序，將兩個(gè)流體給排口部1A、 2A隔著密封墊G拉靠，在密封墊G被壓接起來(lái)的密封狀態(tài)下進(jìn)行連接。使 用不同于維持裝置I的另外的專用拉靠裝置執(zhí)行該拉靠工序。然后，在與各 外螺紋ln、 9n分別相互鄰接的狀態(tài)下通過螺合安裝起來(lái)的第一及第二環(huán)狀 螺母9K 92的外圍槽91m、 92m中，將咬合環(huán)93以強(qiáng)制擴(kuò)徑變形的方式嵌 入，由此形成集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。S卩，通過強(qiáng)行嵌入使咬合環(huán) 93而與兩個(gè)環(huán)狀螺母91、 92卡合。采用這種結(jié)構(gòu)的維持裝置I如其字面意義所示，僅具有維持第一及第二 流體給排口部1A、 2A隔著密封墊G實(shí)現(xiàn)的密封連接狀態(tài)的功能。但是，由 于各環(huán)狀螺母91、 92和咬合環(huán)93可以相對(duì)旋轉(zhuǎn)，因此這些環(huán)狀螺母91、 92 都可以單獨(dú)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，當(dāng)因老化或蠕變等導(dǎo)致密封壓接力下降的情況下，可 以對(duì)某一個(gè)或兩個(gè)環(huán)狀螺母91、 92進(jìn)行強(qiáng)制旋轉(zhuǎn)操作，從而進(jìn)行加緊操作。[實(shí)施例7]在圖11中表示實(shí)施例7的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施 例1的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第四其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說明。如 圖11所示，第四其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I由以下部分構(gòu)成第一流體給排口部 1A，其形成在集成面板1的上表面，俯視呈圓形，形狀為突起狀，并且在外 圍部位有外螺紋ln;法蘭部9，其在第二流體給排口部2A上以外圍部位有 外螺紋9n的方式形成在闊門箱6的下端部；筒狀螺母101，其具有可以擰到 這兩個(gè)外螺紋ln、 9n上的內(nèi)螺紋101n。筒狀螺母101的前端一側(cè)的內(nèi)螺紋101n與起始端一側(cè)的內(nèi)向法蘭102 之間形成有比外螺紋ln、 9n 口徑更大的包夾內(nèi)周部101a，內(nèi)向法蘭102形 成為在軸線P方向上干涉法蘭部9的內(nèi)徑尺寸。在圖ll所示的組裝狀態(tài)下， 流體器件2的外螺紋9n被容納在包夾內(nèi)周部101a內(nèi)，是僅有集成面板1的 外螺紋ln與內(nèi)螺紋101n處在螺合在一起的狀態(tài)，由此維持第一及第二流體給排口部1A、 2A彼此相互拉靠的狀態(tài)。在組裝時(shí)，首先將筒狀螺母101的內(nèi)螺紋101n螺合道流體器件2的法 蘭部9的外螺紋9n上加以緊固，并讓過外螺紋9n而形成可以在包夾內(nèi)周部 101a上自由旋轉(zhuǎn)的容納狀態(tài)，在該狀態(tài)下隔著密封墊G將內(nèi)螺紋101n螺合 到集成面板1的外螺紋ln上加以緊固。這樣一來(lái)，筒狀螺母101相對(duì)于法 蘭部9的外螺紋9n形成空轉(zhuǎn)，因此只有集成面板1因緊固而擰進(jìn)去，其結(jié) 果是，集成面板1與流體器件2被拉靠，隔著密封墊G使流體流道3、 7以 密封狀態(tài)連通連接的拉靠狀態(tài)得以維持，構(gòu)成了帶有拉靠功能的維持裝置I。 [實(shí)施例8]在圖12中表示實(shí)施例8的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施 例1的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第五其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說明。如 圖12所示，第五其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I采用了圖6所示的第一其他結(jié)構(gòu)的維 持裝置I和圖ll所示的第四其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I的折衷方案式的結(jié)構(gòu)，其 由以下部分構(gòu)成第一流體給排口部1A，其形成在集成面板1的上表面， 俯視呈圓形，形狀為突起狀，并且在外圍部位有外螺紋ln;法蘭部9，其在 第二流體給排口部2A上以在外圍部位有外螺紋9n的方式形成在閥門箱6的 下端部；筒狀螺母111，其具有可以擰到這兩個(gè)外螺紋ln、 9n上的內(nèi)螺紋 llln;組合型環(huán)112。筒狀螺母111的前端一側(cè)的內(nèi)螺紋llln與起始端一側(cè)的內(nèi)向法蘭113 之間形成有比外螺紋ln、 9n 口徑更大的包夾內(nèi)周部llla，內(nèi)向法蘭113具 有內(nèi)徑部113a，其內(nèi)徑尺寸為在軸線P方向上不會(huì)干涉法蘭部9的大小程度。 組合型環(huán)112是將圓環(huán)分割為3份以上(例如由3個(gè)近120度的扇形部件 構(gòu)成)那樣的構(gòu)件，其可以越過內(nèi)向法蘭113和內(nèi)螺紋Uln而從外部進(jìn)入 包夾內(nèi)周部llla，并在包夾內(nèi)周部llla處組成環(huán)狀形狀。另外，也可以將 組合型環(huán)112構(gòu)造成象扣環(huán)那樣通過在徑向的一定程度的撓曲而嵌入包夾內(nèi) 周部11 la的具有撓性的單一 C形狀。使用該第五其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行的組裝如下所示。即，遵循上述 要領(lǐng)，預(yù)先設(shè)置為將組合型環(huán)112嵌入到包夾內(nèi)周部llla中的狀態(tài)，其后 的工序與上述第四其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I的情形相同。因此，不再進(jìn)行進(jìn)一 步的組裝流程的說明。[實(shí)施例9]在圖14、圖15中表示實(shí)施例9的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。該 集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)是一種同心狀雙重流路型結(jié)構(gòu)，其由內(nèi)部形 成有多個(gè)管狀流體流道3、 4的集成面板1和在該集成面板1的上表面la上 隔著內(nèi)外共計(jì)2個(gè)環(huán)狀密封墊G1、 G2搭載的閥門(開閉閥門、截止閥等) 2構(gòu)成，共享縱向軸線P。如圖14、圖15所示，集成面板1是在PFA或PTFE等氟樹脂制成的面 板材料(或者塊材)5的內(nèi)部形成有供給側(cè)流體流道3和排出側(cè)流體流道4 的構(gòu)件，其中，上述供給側(cè)流體流道3呈管狀，由開口于面板上表面la的 上下走向的縱流道3a和橫向的橫流道3b構(gòu)成；上述排出側(cè)流體流道4由形 成在縱流道3a的外徑一側(cè)并開口于面板上表面la的環(huán)狀的縱環(huán)流道4a以及 與該縱環(huán)流道4a的底部連通的橫向的橫流道4b構(gòu)成。將該集成面板1中給 排流體流道3、 4呈雙重配管狀開口的部分稱為第一流體給排口部1A，則在 該第一流體給排口部1A中，管狀的縱流道3a和環(huán)狀的縱環(huán)流道4a形成為 具有共同軸線P的同心狀的流道。另外，在第一流體給排口部1A，開口于 其上端面的各流體流道3、 4的外徑一側(cè)部分分別形成有下第一密封端部t21 和下第二密封端部t22，它們形成以軸線P為中心的環(huán)狀，并且具有向上方 突出的內(nèi)外的環(huán)狀突起21、 41。如圖14、圖15所示，閥門(流體器件的一個(gè)實(shí)例)2具有PFA或PTFE 等氟樹脂制成的、上下方向視圖形狀呈圓形的閥門箱6，該閥門箱6的下端 部形成為第二流體給排口部2A，該第二流體給排口部2A具有以開口于底面 6a的狀態(tài)在其中心縱向配置的管狀的供給側(cè)流體流道7和形成在該供給側(cè)流 體流道7的外徑一側(cè)并以開口于底面6a的狀態(tài)縱向配置的環(huán)狀的排出側(cè)流 體流道8。即，在該第二流體給排口部2A，管狀供給側(cè)流體流道7和環(huán)狀排 出側(cè)流體流道8形成為具有相同軸線P的同心狀的流道。此外，在閥門箱6 下端的外圍部位， 一對(duì)具有螺栓貫穿孔9a的PFA或PTFE等氟樹脂或其他 材料構(gòu)成的安裝法蘭9通過熱粘接而被一體化。此外，閥門箱6和安裝法蘭 9也可以是通過切削加工或成形加工而成為一體的一體型結(jié)構(gòu)。另外，在第 二流體給排口部2A，開口于其下端面的各流體流道7、 8的外徑一側(cè)部分分 別形成有上第一密封端部tll和上第二密封端部t12，它們形成以軸線P為中心的環(huán)狀，并且具有向上方突出的內(nèi)外的環(huán)狀突起ll、 31。
內(nèi)外密封墊G1、 G2僅在口徑上有所不同，剖面形狀是相同的。以內(nèi)側(cè) 的第一密封墊G1為例說明其結(jié)構(gòu)。此外，對(duì)省略了說明的外側(cè)的第二密封 墊G2標(biāo)注與第一密封墊Gl的對(duì)應(yīng)位置相應(yīng)的符號(hào)(例54a—64a)。那么， 第一密封墊G1是由PFA或PTFE等氟樹脂制成的，其包括將第一、第二流 體給排口部1A、 2A所對(duì)應(yīng)的流體流道——即縱流道3a及供給側(cè)流體流道7 相互連通起來(lái)而形成的管狀流體路徑Wl，以及分別與形成在第一及第二流 體給排口部1A、 2A的端面上的上第一密封端部tll的環(huán)狀突起11和上第二 密封端部t12的環(huán)狀突起31相嵌合的、在流體路徑Wl的外徑一側(cè)部分形成 的上下一對(duì)的環(huán)狀槽51、 51。
艮P，第一密封墊G1的剖面形狀為，其具有上下一對(duì)的環(huán)狀槽51、 51和 用于形成這些環(huán)狀槽51、 51的內(nèi)周壁54及外周壁55，同時(shí)，上下的環(huán)狀槽 51、 51呈深度以及寬度相同地上下對(duì)稱，并且內(nèi)外周壁54、 55也呈左右對(duì) 稱，相對(duì)于沿著第一及第二流體給排口部1A、 2A的軸線P方向的縱中心Z 及與該縱中心線Z正交的橫中心線X這兩條線呈線對(duì)稱(近似線對(duì)稱即可)， 形成近似H的形狀。內(nèi)周壁54的上下端部形成在內(nèi)周面54a即流體路徑Wl 的上下端部以越靠近前端越寬闊的形狀外向傾斜的錐形內(nèi)周面52a、 52a，同 時(shí)，外周壁55的上下端部也形成在外周面55a的上下端部?jī)?nèi)向傾斜的錐形 外周面53a、 53a。
在集成面板1的第一流體給排口部1A的下第一及下第二密封端部t21、 t22的環(huán)狀突起21、 41和閥門2的第二流體給排口部2A的上第一及上第二 密封端部tll、 t12的環(huán)狀突起11、 31的內(nèi)外徑兩側(cè)，形成了環(huán)狀按壓突起 (環(huán)狀按壓部分的一個(gè)實(shí)例)12、 13、 22、 23、 32、 33、 42、 43，以阻止為 了形成各密封墊G1、 G2的環(huán)狀槽51、 61而向軸線P方向突出形成的內(nèi)外 周壁端部52a、 53a、 62a、 63a，因相對(duì)應(yīng)的環(huán)狀槽51、 61和相對(duì)應(yīng)的環(huán)狀 突起U、 21、 31、 41的嵌合而發(fā)生擴(kuò)張變形。
下面針對(duì)第一密封墊Gl和上第一密封端部tll說明與上述環(huán)狀按壓突 起相關(guān)的結(jié)構(gòu)。內(nèi)外的環(huán)狀按壓突起12、 13相互對(duì)稱，形成前窄狀的環(huán)狀 突起，該環(huán)狀突起具有一側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形外周面12a及錐形內(nèi)周面 13a，以使由內(nèi)外的環(huán)狀按壓突起12、 13和環(huán)狀突起11所包圍的谷部14、15呈現(xiàn)內(nèi)窄狀(上部收縮狀)。即，上第一密封端部tll是環(huán)狀突起11及 其內(nèi)外兩側(cè)形成的環(huán)狀按壓突起12、 13和谷部14、 15的總稱。
第一密封墊G1的內(nèi)外周壁54、 55的上端部的結(jié)構(gòu)為，其包括分別與環(huán) 狀按壓突起12、 13的錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面13a抵接的錐形內(nèi)周面 52a和錐形外周面53a，并包括可自由進(jìn)入14、 15的前窄狀的環(huán)狀密封突起 (周壁端部的一個(gè)實(shí)例)52、 53，在接合狀態(tài)下(參照?qǐng)D14)，內(nèi)外周壁 54、 55的上端部——即環(huán)狀密封突起52、 53進(jìn)入相應(yīng)的谷部14、 15，上第 一密封端部tll的錐形外周面12a和第一密封墊Gl的錐形內(nèi)周面52a被壓接 起來(lái)，并且上第一密封端部tll的錐形內(nèi)周面13a和第一密封墊Gl的錐形 外周面53a也被壓接起來(lái)。
艮P，在第一密封墊G1的上端部，利用環(huán)狀槽51及其內(nèi)外的環(huán)狀密封突 起52、 53形成上密封部g11，并同樣地在下端部形成下密封部g12。上密封 部gl 1與上第一密封端部tl 1嵌合而形成嵌合密封部10，下密封部g12與下 第二密封端部t21嵌合而形成嵌合密封部10。同樣地，在第二密封墊G2， 也形成有上密封部g21和下密封部g22，分別與上第二密封端部t12和下第 二密封端部t22嵌合而形成嵌合密封部10。
下面針對(duì)上第一密封端部tll和第一密封墊Gl的上密封部gll詳細(xì)說 明嵌合密封部10的嵌合結(jié)構(gòu)。如圖15、圖16所示，內(nèi)外谷部14、 15及內(nèi) 外環(huán)狀密封突起52、 53分別彼此對(duì)稱，內(nèi)外谷部14、 15整體的夾角d。與 內(nèi)外環(huán)狀密封突起52、 53整體的對(duì)角(3°之間設(shè)定為01° <3°的關(guān)系，優(yōu)選 是設(shè)定為的<1°+ (20 40°) =|3°的關(guān)系。利用這種結(jié)構(gòu)可以獲得以下優(yōu)點(diǎn)， 即，在上第一密封端部tll的上環(huán)狀突起11和環(huán)狀槽51相互嵌合的接合狀 態(tài)(后述)下，上內(nèi)環(huán)狀按壓突起12和上內(nèi)環(huán)狀密封突起52呈現(xiàn)為其錐形 外周面12a和錐形內(nèi)周面52a在最內(nèi)徑一側(cè)部分被壓接起來(lái)的狀態(tài)(參照?qǐng)D 16的虛擬線)，起到一次密封部S1的作用，阻止穿過流體流道Wl的流體 滲入到這些內(nèi)錐形周面12a、 52a之間。
此外，上環(huán)狀突起11的寬度dl和上環(huán)狀槽51的寬度d2之間設(shè)定為 dl〉d2的關(guān)系，優(yōu)選是設(shè)定為dlX (0.75 0.85) 二d2這樣的關(guān)系。此外， 上環(huán)狀突起11的突出長(zhǎng)度hl與上環(huán)狀槽51的深度h2之間設(shè)定為hl<h2 的關(guān)系。利用這些結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是，上環(huán)狀突起11和上環(huán)狀槽51，詳細(xì)來(lái)說是上環(huán)狀突起11的內(nèi)外兩側(cè)周面與相應(yīng)的上環(huán)狀槽51的內(nèi)外側(cè)周面被牢固 地壓接在一起，形成了發(fā)揮阻止流體泄露的優(yōu)異的密封性能的二次密封部
S2，與此同時(shí)，上內(nèi)環(huán)狀按壓突起12的錐形外周面12a與上內(nèi)環(huán)狀密封突 起52的錐形內(nèi)周面52a —定會(huì)抵接，從而良好地形成了上述一次密封部Sl。 此外，可以在下環(huán)狀突起21和下環(huán)狀槽51之間、第二密封墊G2的環(huán)狀槽 61和上下環(huán)狀突起31、 41之間也使這樣的關(guān)系成立。
關(guān)于嵌合密封部IO，如圖16所示，為了使內(nèi)徑側(cè)及外徑側(cè)的各二次密 封部S2切實(shí)地起作用，如果將相對(duì)于環(huán)狀突起11、 31 (21、 41)和環(huán)狀槽 51 (61)各自的軸線P內(nèi)外徑的半徑表示為R1、 R3、 R2、 R4，則優(yōu)選是設(shè) 定為使RKR2而且R3〉R4成立。另夕卜，沿環(huán)狀按壓突起12、 22 (13、 23、 32、 42、 3、 43)的軸線P方向的高度h3與環(huán)狀突起11 (21、 31、 41)的突 出長(zhǎng)度hl的關(guān)系除了圖16所示的hl〉h3的關(guān)系之外，也可以是hl二h3或 hl<h3的關(guān)系。
另外，環(huán)狀按壓突起12、 13的前端、以及環(huán)狀密封突起52、 53的前端 形成為不至于構(gòu)成針尖圓角的切削形狀，即傾斜切削面12b、 13b和切削面 52b、 53b。利用這些結(jié)構(gòu)，即使上內(nèi)環(huán)狀按壓突起12的前端在流體流道W1 一側(cè)發(fā)生了少許擴(kuò)張變形，因其本來(lái)是切削后的形狀，所以只會(huì)在流體流道 Wl中途形成開口很大的剖面為三角形的凹陷，存在于該凹陷處的流體很容 易流出去，實(shí)質(zhì)上不會(huì)產(chǎn)生積液。
而且，該凹陷的開口角度、即傾斜切削面12b與錐形內(nèi)周面52a的夾角 足夠大，也避免了因表面張力而產(chǎn)生的積液。另外，環(huán)狀突起11前端的內(nèi) 角和外角采用了經(jīng)倒棱加工后的形狀lla，因此，向?qū)挾群苷沫h(huán)狀槽51內(nèi) 的壓入移動(dòng)能夠順利地進(jìn)行，不會(huì)發(fā)生剮扯等故障。
此外，如圖23 (a)所示，將環(huán)狀突起ll前端的內(nèi)周角部和外周角部的 倒棱形狀部lla明確地加大后使環(huán)狀突起11形成為剖面越靠近前端越細(xì)的 形狀，從而形成環(huán)狀突起11容易進(jìn)入環(huán)狀槽51的結(jié)構(gòu)。如果采用這種結(jié)構(gòu)， 第一、第二流體給排口部1A、 2A和第一密封墊G1在組裝時(shí)的相對(duì)位置即 使與預(yù)期的適合狀態(tài)發(fā)生了少許偏離，錐形周面狀的內(nèi)部或外部的倒棱形狀 部lla會(huì)起到嵌合導(dǎo)引作用，使環(huán)狀突起11切實(shí)地進(jìn)入環(huán)狀槽51內(nèi)。在這 種情況下設(shè)置的嵌合密封部10 (二次密封部S2)就成為由環(huán)狀突起11的根部和環(huán)狀槽51的頂端部構(gòu)成的嵌合部所形成的結(jié)構(gòu)。在其他的環(huán)狀突起31、
21、 41以及第二密封墊G2中也可以同樣形成這種結(jié)構(gòu)。
如圖23 (b)所示，也可以將倒棱形狀部lla進(jìn)一步加大，使環(huán)狀突起 11內(nèi)外的側(cè)周面成為全部?jī)A斜的錐形側(cè)周面lla，從而形成顯著的越靠近前 端越細(xì)的形狀結(jié)構(gòu)。在這種情況下，嵌合導(dǎo)引的功能得到強(qiáng)化，環(huán)狀突起ll 更容易進(jìn)入環(huán)狀槽51中。在這種情況下，設(shè)置嵌合密封部10 (二次密封部 S2)，產(chǎn)生了環(huán)狀突起11將環(huán)狀槽51撐寬的楔效果，環(huán)狀槽51的頂端部 位與環(huán)狀突起11的根部以線接觸方式或以極小的面積圓周狀地壓接在一起， 可以更切實(shí)地實(shí)現(xiàn)密封功能。在其他的環(huán)狀突起31、 21、 41，以及第二密封 墊G2中也可以同樣形成這種結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步詳細(xì)敘述嵌合密封部10。如圖15、圖16所示，環(huán)狀按壓突起12、 13上的環(huán)狀突起側(cè)的錐形周面12a、 13a的開角(谷部14、 15的開角)D設(shè) 定為50 70度內(nèi)的值(50°^D°^70°)，環(huán)狀密封突起—52、 53的錐形周 面52a、 53a的尖角E設(shè)定為60 80度內(nèi)的值(60°^D°^80°)。此外，開 角D和尖角E設(shè)定為，開角D加上10 20度后等于尖角E即[D。 + (10 20 °)=E°]。更理想的值是，開角D設(shè)定為69 71度(D。=70±l°)，尖角E 設(shè)定為79 81度(E。二80士r)，而且尖角E設(shè)定為開角D+9 11度(E° —D°=10±l°)。
另外，環(huán)狀按壓突起12、 13的傾斜切削面12b、 13b的切削角Ds設(shè)定 為49 51度(Ds°=50°±l°)，周壁端部52、 53的前端切削面52b、 53b 的傾角Es設(shè)定為124 126度(Es。二125。士l。)。通過這樣的角度設(shè)定， 錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面52a以及錐形內(nèi)周面13a和錐形外周面53a分 別在環(huán)狀的線接觸狀態(tài)下抵接，二次密封部S2發(fā)揮密封唇效果。
艮口，上述環(huán)狀密封突起(周壁端部)52、 53的錐形周面52a、 53a (錐形 內(nèi)周面52a、錐形外周面53a)相對(duì)于上述第一流體給排口部1A和上述第二 流體給排口部2A相互拉靠的方向——即拉靠方向的尖角E設(shè)定為在上述環(huán) 狀按壓突起12、 13中的環(huán)狀突起ll一側(cè)的錐形周面12a、 13a(錐形外周面 12a、錐形內(nèi)周面13a)相對(duì)于上述拉靠方向的開角D上增加10 20度得到 的值、優(yōu)選是加上10度或10度左右得到的值。此外，上述尖角E設(shè)定為60 80度、優(yōu)選設(shè)定為80度或80度左右。采用這種將尖角E和開角D設(shè)定為接近90度的鈍角值的結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是，
環(huán)狀按壓突起12、 13在拉靠方向(軸向)的突出量小于其徑向?qū)挾?，相?duì) 地提高了強(qiáng)度和剛性，既限制了環(huán)狀密封突起52、 53的擴(kuò)張，又能夠更有 效地抑制其自身(環(huán)狀按壓突起12、 13)在徑向上的擴(kuò)張變形。此外，能夠 減小因環(huán)狀密封突起52、 53向谷部14、 15的插入而產(chǎn)生的錐形周面52a、 53a將環(huán)狀按壓突起12、 13向徑向撐開的分力，這也能夠抑制環(huán)狀按壓突起 12、 13在徑向上的擴(kuò)張變形。
上述嵌合密封部10的結(jié)構(gòu)在第一密封墊Gl的下側(cè)以及第二密封墊G2 中也按照同樣方式形成，對(duì)于相對(duì)應(yīng)的位置標(biāo)注相對(duì)應(yīng)的附圖標(biāo)記。第二密 封墊G2雖然口徑不同，但其剖面形狀與第一密封墊Gl完全相同。但是， 關(guān)于第一及第二流體給排口部1A、 2A的上第二密封端部t12和下第二密封 端部t22，由于其外周一側(cè)不存在流體流道，因此形狀分別與上第一密封端 部tll和下第二密封端部t21稍有不同。
艮口，關(guān)于上第二密封端部t12，其不同點(diǎn)在于，在與環(huán)狀按壓突起33的 錐形內(nèi)周面33a相接續(xù)的狀態(tài)下存在著用于形成閥門箱6的下端部的下端內(nèi) 周部6b。該下端內(nèi)周部6b在將第二密封墊G2的上密封部g21嵌合到上第 二密封端部tl2中時(shí)發(fā)揮導(dǎo)引功能，同時(shí)，也可以與錐形內(nèi)周面33a—起發(fā) 揮阻止第二密封墊G2的外周壁65擴(kuò)張變形的功能。此外，關(guān)于下第二密封 端部t22，其不同點(diǎn)在于，在外側(cè)的環(huán)狀按壓突起43的外周一側(cè)連續(xù)存在著 面板材料5;在將下密封部g22與下第二密封端部t22進(jìn)行嵌合時(shí)，通過錐 形內(nèi)周面43a阻止第二密封墊G2的下密封部g22的外環(huán)狀密封突起63的擴(kuò) 張變形的作用效果得到強(qiáng)化。
另一方面，第一及第二密封墊G1、 G2之中，在接合狀態(tài)下其內(nèi)徑和外 徑兩側(cè)都存在流體流道7、 8的中間密封墊——即第一密封墊Gl形成為以下 狀態(tài)，即其外圍部位即外周面55a成為用于形成環(huán)狀的流體路徑W2的壁面， 該流體路徑W2將位于第一密封墊G1的外徑一側(cè)的第一流體給排口部IA的 環(huán)狀的流體流道4a及第二流體給排口部2A的環(huán)狀的流體流道8連通。如果 按照這種方式使第一密封墊Gl的內(nèi)外周面54a、 55a兩者兼作用于形成流體 流道Wl、 W2的壁面，則"第一密封墊G1的厚度"="環(huán)狀流體流道3a、 7 與管狀流體流道4a、 8的間隔"，第一及第二流體給排口部1A、 2A的連接部可以進(jìn)一步小型化。
此外，如圖14的虛擬線所示，如果將在第二密封墊G2的外周壁65上 橫向突出的環(huán)狀拆裝法蘭lf形成為一體，則其優(yōu)點(diǎn)是，在從第一或第二流體
給排口部1A、 2A中拔出第二密封墊G2時(shí)，用工具或手指拉扯法蘭lf，就 能夠很容易地將其拆除。在這種情況下，拆裝法蘭lf的厚度設(shè)定為比接合狀 態(tài)下的第一及第二流體給排口部1A、 2A之間的間隙更小的值。
下面說明維持裝置I。如圖15、圖16所示，維持裝置I的結(jié)構(gòu)為，其用 于維持下面這種接合狀態(tài)，在這種接合狀態(tài)下，集成面板l的第一流體給排 口部1A和閥門2的第二流體給排口部2A隔著第一及第二密封墊Gl、 G2 相互拉靠，與此同時(shí)，利用該拉靠作用使第一流體給排口部1A的上第一密 封端部tll及上第二密封端部t12與第一及第二密封墊Gl、 G2的上密封部 gll、 g21、以及第二流體給排口部2A的下第一及下第二密封端部t21、 t22、 第一及第二密封墊Gl、 G2的下密封部g12、 g22分別嵌合起來(lái)，形成各個(gè) 嵌合密封部10。即，第二流體給排口部2A的環(huán)狀突起11、 31與第一及第 二密封墊G1、 G2的上側(cè)的環(huán)狀槽51、 61、以及第一流體給排口部1A的環(huán) 狀突起21、 41與第一及第二密封墊G1、 G2的下側(cè)的環(huán)狀槽51、 61分別嵌 合起來(lái)。
維持裝置I的具體結(jié)構(gòu)是，包括插入到第二流體給排口部2A的安裝法 蘭部9的螺栓貫穿孔9a中的一對(duì)螺栓66、和與一對(duì)螺栓貫穿孔9a、 9a相對(duì) 應(yīng)著形成在第一流體給排口部1A (面板材料5)上的螺母部67、 67，其帶 有拉靠功能，通過將螺栓66與螺母部67擰在一起而進(jìn)行緊固的操作，將閥 門2向集成面板1拉靠，并能夠維持這種拉靠狀態(tài)。另外，在發(fā)生老化或蠕 變而導(dǎo)致各嵌合密封部10的壓接力下降的情況下，可以通過加緊螺栓66來(lái) 應(yīng)付，從而維持良好的密封性能。 [實(shí)施例10]
如圖17所示，實(shí)施例10的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)是一種將集 成面板1與流體器件的一個(gè)實(shí)例——泵(清洗裝置循環(huán)線路用的波紋管泵等) 2通過法蘭管道71連通連接起來(lái)的結(jié)構(gòu)。隔著內(nèi)外密封墊G1、 G2的連接部
本身的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例9的連接結(jié)構(gòu)相同，因此這里只標(biāo)注主要的附圖標(biāo)記， 并省略其詳細(xì)說明。關(guān)于集成面板1，其排出側(cè)的流體流道4的取出方向與實(shí)施例9的集成 面板1相反，除此之外，基本上是相同的結(jié)構(gòu)。不過，實(shí)施例9的集成面板 與流體器件的連接結(jié)構(gòu)形成在集成面板的上表面，而該實(shí)施例2的連接結(jié)構(gòu)則是形成在集成面板1的橫側(cè)面。泵2的給排用流體流道7、 8是在橫側(cè)面 開口的結(jié)構(gòu)，其不同于集成面板l中一對(duì)流體流道3、 4形成的雙重管結(jié)構(gòu)， 采用的是縱向排列配備的獨(dú)立型結(jié)構(gòu)。法蘭管道71由具有上述安裝法蘭9的法蘭部72、和與其相接續(xù)的近似 兩岔狀的管道部73構(gòu)成，管道部73則由具有管狀的供給側(cè)流體流道74的 供給側(cè)管道73A、和具有管狀的排出側(cè)流體流道75的排出側(cè)的流體流道73B 構(gòu)成。在法蘭部72中，供給側(cè)流體流道74是以軸線P為中心的管狀形狀， 其正對(duì)著集成面板1的縱流道3a而開口，同時(shí)，正對(duì)著集成面板1的縱環(huán) 流道4a而開口的環(huán)狀流道部分75a與排出側(cè)流體流道75相連續(xù)。各流體流 道74、 75通過熱粘接等方式與泵2的輸入端口 76及輸出端口 77連接成連 通狀態(tài)。按照這種方式，通過使用具有雙重管道結(jié)構(gòu)的法蘭部72和2條獨(dú)立的 管道部73的法蘭管道71，就能夠使集成面板1中的雙重管道結(jié)構(gòu)的第--流 體給排口部1A和由并列配置的一對(duì)輸入及輸出端口 76、 77構(gòu)成的第二流體 給排口部2A相互拉靠，g卩，即使流體流道的開口結(jié)構(gòu)互不相同，也能夠使 集成面板1和泵2相互接近，從而輕松地實(shí)現(xiàn)緊湊化的連通連接。 [實(shí)施例11]在圖18、圖19中表示實(shí)施例11的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其 與實(shí)施例9的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第六其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說 明。此外，在圖18、圖19中，針對(duì)與圖14至圖16所示的實(shí)施例9相對(duì)應(yīng) 的位置標(biāo)注相對(duì)應(yīng)的附圖標(biāo)記。如圖18和圖19所示，第六其他結(jié)構(gòu)的維持 裝置I由筒狀螺母81和組合型環(huán)82構(gòu)成，其中，在形成于集成面板l的上 表面上的俯視呈圓形的突起狀的第一流體給排口部1A的外圍部位形成有外 螺紋ln，上述筒狀螺母81具備與該外螺紋ln可自由擰合的內(nèi)螺紋81n;上 述組合型環(huán)82是在閥門2的閥門箱6的下端部形成的外向法蘭9上、在環(huán) 狀的流體流道7的軸線P方向上干涉的二分或三分以上的組合型環(huán)。這樣構(gòu) 成的維持裝置I通過將內(nèi)螺紋81n擰到第一流體給排口部1A的外螺紋ln上的筒狀螺母81的緊固操作，從而能夠使兩流體給排口部1A、 2A隔著2個(gè)密封墊G1、 G2互相向接近的方向拉靠，并且該維持裝置I帶有可以維持拉 靠狀態(tài)的拉靠功能。形成在筒狀螺母81的閥門2 —側(cè)(上側(cè))的內(nèi)向法蘭83的開口部83a 設(shè)定為容許外向法蘭9通過所需的最小限度的內(nèi)徑尺寸。組合型環(huán)82的外 徑設(shè)定為比內(nèi)螺紋81n的內(nèi)徑略小的尺寸以便可以自由進(jìn)入筒狀螺母81中， 而且，其內(nèi)徑設(shè)定為可以與闊門2的圓形的第二流體給排口部2A的外徑部 自由外嵌的最小限度的尺寸。在這種情況下，為了裝配組合型環(huán)82，第二流 體給排口部2A中除去外向法蘭9的細(xì)徑部分的軸向長(zhǎng)度必須大于筒狀螺母 81的軸向長(zhǎng)度與組合型環(huán)82的厚度之和。具體地，如圖19 (b)所示，處 于與闊門箱6的根部6t抵接狀態(tài)的筒狀螺母81與外向法蘭9之間的長(zhǎng)度d3 應(yīng)大于組合型環(huán)82的厚度d4 (d3〉d4)。另外，筒狀螺母81上的內(nèi)螺紋81n的內(nèi)部深處的端部與內(nèi)向法蘭83之 間形成有內(nèi)周面部81m，其形成為與軸線P同心的平坦的內(nèi)周面，可以在組 合型環(huán)82上沿軸向自由滑動(dòng)，并且具有覆蓋組合型環(huán)82的寬度尺寸的軸線 P方向長(zhǎng)度。亦即，筒狀螺母81的內(nèi)螺紋81n與內(nèi)向法蘭83之間的內(nèi)徑部 81a形成為與供給側(cè)流體流道7同心的平坦的內(nèi)周面，而且該內(nèi)周面部81m 的內(nèi)徑尺寸被設(shè)定為比剖面為矩形的組合型環(huán)82的外徑略大的嵌合公差狀 態(tài)，另一方面，第二流體給排口部2A的外徑部形成為與供給側(cè)流體流道7 同心的平坦的外周面，而且該外徑部的外徑與組合型環(huán)82的內(nèi)徑大致相同。 由此，防止了在旋擰筒狀螺母81時(shí)出現(xiàn)組合型環(huán)82傾斜著夾住的狀態(tài)或筒 狀螺母81的旋擰所產(chǎn)生的軸線P方向的按壓力無(wú)法傳遞到外向法蘭9的故 障，能夠有效地按壓外向法蘭9，將第一、第二流體給排口部1A、 2A良好 地拉靠到相互接近的方向。使用第六其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I連接兩流體給排口部1A、 2A的操作流 程如下。首先，如圖19 (a)所示，讓過外向法蘭9，將筒狀螺母81嵌裝到 閥門2的第二流體給排口部2A的外周，并移動(dòng)到其最里側(cè)為止(直到與根 部6t接觸)。接著，如圖19 (b)所示，使組合型環(huán)82穿過外向法蘭9和 筒狀螺母81的前端之間，外嵌裝配到第二流體給排口部2A。也可以在此時(shí) 或在這之前通過環(huán)狀突起11、 21、 31、 41與環(huán)狀槽51、 61的臨時(shí)嵌合將第一及第二密封墊G1、 G2安裝到任一個(gè)流體給排口部1A、 2A的端面上。接 著，隔著兩個(gè)密封墊G1、 G2將第一流體給排口部1A貼到第二流體給排口 部2A上，在此狀態(tài)下使筒狀螺母81滑移后進(jìn)行緊固操作[參照?qǐng)D19 (c)]， 從而獲得圖18所示的連接狀態(tài)。此外，在圖19中，為便于圖示而將上下層 疊的集成面板1與閥門2描畫成橫向放倒的狀態(tài)。 [實(shí)施例12]在圖20、圖21中表示實(shí)施例12的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其 與實(shí)施例9的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第七其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說 明。此外，在圖20、圖21中，針對(duì)與圖14至圖16所示的實(shí)施例9相對(duì)應(yīng) 的位置標(biāo)注相對(duì)應(yīng)的附圖標(biāo)記。第七其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I的結(jié)構(gòu)為，其包 括將第一及第二流體給排口部1A、 2A以越靠近端面?zhèn)瓤趶皆酱蟮姆绞竭M(jìn) 行擴(kuò)徑后所形成的第一及第二錐形臺(tái)狀端部1D、 2D;由一對(duì)半圓弧部件84、 84構(gòu)成的組合型按壓環(huán)85，其中，上述一對(duì)半圓弧部件84、 84因與第一錐 形臺(tái)狀端部1D的錐形外周面ld相接觸的第二錐形內(nèi)周面84a以及與第二錐 形臺(tái)狀端部2D的錐形外周面2d相接觸的第二錐形內(nèi)周面84b，而使內(nèi)周面 的剖面呈近似〈形；用于將半圓弧部件84、 84相互拉靠的螺栓86以及形成 在一個(gè)半圓弧部件84上的螺母87。在跨著處于接合狀態(tài)的第一錐形臺(tái)狀端部1D和第二錐形臺(tái)狀端部2D 罩上半圓弧部件84的狀態(tài)下，利用插在另一個(gè)半圓弧部件84的貫穿孔84h 中的螺栓86和螺母87的緊固， 一端由支點(diǎn)Q以合頁(yè)狀樞軸支撐的半圓弧部 件84、 84相互拉靠而形成錐形周面，利用該錐形周面的相互接觸所產(chǎn)生的 力使各流體給排口部1A、 2A相互拉靠。組合型按壓環(huán)85優(yōu)選是使用氟樹 脂材料形成，但也可以由鋁合金及其他材料構(gòu)成。使用第七其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I連通連接兩個(gè)流體給排口部1A、 2A的 操作流程如下。首先，如圖21 (a)所示，執(zhí)行預(yù)備連接操作，首先使第一、 第二流體給排口部1A、 2A隔著第一及第二密封墊G1、 G2輕輕連接起來(lái)。 接著，如圖21 (b)所示，使組合型按壓環(huán)85覆蓋到上述預(yù)備連接起來(lái)的第 一及第二錐形臺(tái)狀端部1D、 2D上，通過螺栓86執(zhí)行緊固操作。通過該螺 栓86的緊固，將兩個(gè)密封墊G1、 G2深深地嵌入到各流體給排口部1A、 2A 中，從而實(shí)現(xiàn)如圖21 (c)所示的集成面板1與閥門2的連接狀態(tài)。[實(shí)施例13]在圖22中表示實(shí)施例13的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施 例9的不同僅在于維持裝置I，對(duì)該第八其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I進(jìn)行說明。此 外，在圖22中，針對(duì)與圖14至圖16所示的實(shí)施例9相對(duì)應(yīng)的位置標(biāo)注相 對(duì)應(yīng)的附圖標(biāo)記。第八其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I由以下部分構(gòu)成第一流體給 排口部1A，其形成在集成面板1的上表面，俯視呈圓形，形狀為突起狀， 并在外圍部位有外螺紋ln;法蘭部9，其在第二流體給排口部2A上以外圍 部位有外螺紋9n的狀態(tài)形成在閥門箱6的下端部；第一及第二環(huán)狀螺母91、 92，其具有可以擰到這兩個(gè)外螺紋ln、 9n上的內(nèi)螺紋91n、 92n;咬合環(huán)93， 可以與這些環(huán)狀螺母91、 92的外圍槽91m、 92m嵌接，剖面形狀為近似-狀。兩個(gè)環(huán)狀螺母91、 92及咬合環(huán)93的材質(zhì)是例如PFA或PTFE等氟樹脂 材料制成的，具有一定程度的撓性。因此，使用第三其他結(jié)構(gòu)的維持裝置I 將兩流體給排口部1A、 2A相互連接起來(lái)的流程是，預(yù)先將咬合環(huán)93嵌接 到各環(huán)狀螺母91、 92上形成一體化的第一及第二環(huán)狀螺母91、 92，然后將 該一體化的第一、第二環(huán)狀螺母91、 92螺合安裝到隔著密封墊Gl、 G2相 互拉靠而呈組裝狀態(tài)的第一及第二流體給排口部1A、 2A上，從而形成集成 面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。當(dāng)然，在這種情況下，其條件是各外螺紋ln、 9n是相同的螺紋，通過螺合安裝后，可以旋擰各環(huán)狀螺母91、 92進(jìn)一步緊 固，或以后進(jìn)行加緊。另外，也可以采用以下組裝流程。即，在將各個(gè)環(huán)狀螺母91、 92擰到 相對(duì)應(yīng)的外螺紋ln、 9n上的狀態(tài)下執(zhí)行拉靠工序，將兩流體給排口部1A、 2A隔著第一及第二密封墊G1、 G2拉靠，在密封墊G1、 G2被壓接起來(lái)的密 封狀態(tài)下進(jìn)行連接。使用不同于維持裝置I的另外的專用拉靠裝置執(zhí)行該拉 靠工序。然后，在與各外螺紋ln、 9n分別相互鄰接的狀態(tài)下螺合安裝起來(lái) 的第一及第二環(huán)狀螺母91、 92的外圍槽91m、 92m中，將咬合環(huán)93以強(qiáng)制 擴(kuò)徑變形的方式嵌入，由此形成集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。S卩，通過 強(qiáng)行嵌入使咬合環(huán)93與兩個(gè)環(huán)狀螺母91、 92卡合。采用這種結(jié)構(gòu)的維持裝置I如其字面意義所示，僅具有維持第一及第二 流體給排口部1A、 2A隔著密封墊G1、 G2實(shí)現(xiàn)的密封連接狀態(tài)的功能。但是，由于各環(huán)狀螺母91、 92和咬合環(huán)93可以相對(duì)旋轉(zhuǎn)，因此這些環(huán)狀螺母 91、 92都可以單獨(dú)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，當(dāng)因老化或蠕變等導(dǎo)致密封壓接力下降的情況 下，可以對(duì)某一個(gè)或兩個(gè)環(huán)狀螺母91、 92進(jìn)行強(qiáng)制旋轉(zhuǎn)操作，從而進(jìn)行加 緊操作。[其他實(shí)施例]在圖14至圖16所示的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)中，外徑一側(cè)的 第二密封墊G2的結(jié)構(gòu)(在圖示中省略)也可以是，其外周壁63的上下端比 內(nèi)周壁53短，并且只被水平狀切斷。在雙重管道連接結(jié)構(gòu)中，最外徑一側(cè) 的第二密封墊G2的外周壁63也可以不帶有密封功能。實(shí)施例9至13中的 密封墊G1、 G2呈上下以及左右對(duì)稱的形狀，但也可以是例如內(nèi)外周壁的長(zhǎng) 度或厚度不同的形狀或者上下不對(duì)稱的形狀等，并不限于圖中所示的形狀。 另外，也可以采用在外側(cè)的環(huán)狀流體流道8的更外側(cè)具有一個(gè)或多個(gè)環(huán)狀流 體流道的三重以上的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，除了位于最外側(cè)的密 封墊之外，其他的密封墊的內(nèi)外周面都可以兼作流體路徑。此外，本發(fā)明中的"流體器件"定義為閥門、泵、儲(chǔ)液器、流體貯存容 器、熱交換器、調(diào)節(jié)器、壓力計(jì)、流量計(jì)、加熱器、法蘭管道等除了集成面 板之外的與流體相關(guān)的設(shè)備的總稱。進(jìn)而，帶有拉靠功能的維持裝置也可以 是套筒螺母式(例在圖10或圖22所示的結(jié)構(gòu)中，將任一個(gè)外螺紋ln、 9n 用作反向螺絲，跨著這2個(gè)外螺紋ln、 9n螺裝套筒螺母的結(jié)構(gòu))裝置。另 外，對(duì)于環(huán)狀按壓突起33、 43，也可以換成環(huán)狀按壓壁部33、 43，將這些 環(huán)狀按壓突起12、 13、 22、 23、 32、 42和環(huán)狀按壓壁部33、 43統(tǒng)一定義為 "環(huán)狀按壓部分"。
權(quán)利要求
1.一種集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其中，集成面板具備開口有管狀的流體流道的第一流體給排口部，流體器件具備開口有管狀的流體流道的第二流體給排口部，利用介于該第一流體給排口部和第二流體給排口部之間的環(huán)狀的密封墊，在密封上述流體流道的狀態(tài)下，將集成面板的上述第一流體給排口部與流體器件的上述第二流體給排口部連通連接，在上述第一流體給排口部及上述第二流體給排口部上，在各端面開口的上述各流體流道的外徑一側(cè)部分形成有環(huán)狀突起，上述密封墊由具有撓性的材料構(gòu)成，并且包括為了將上述第一、第二流體給排口部的相對(duì)應(yīng)的上述流體流道相互連通而形成的流體路徑；在上述流體路徑的外徑一側(cè)部分形成、并分別與形成在上述第一及第二流體給排口部的端面上的上述環(huán)狀突起相嵌合的一對(duì)環(huán)狀槽；以及為了形成該環(huán)狀槽而向上述第一及第二流體給排口部的軸線方向突出形成的內(nèi)外的周壁端部，上述第一及第二流體給排口部的端面上的上述環(huán)狀突起的內(nèi)徑一側(cè)形成有能夠與內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部抵接的環(huán)狀按壓部分，上述環(huán)狀按壓部分形成為具有上述環(huán)狀突起一側(cè)的側(cè)周面傾斜而形成的錐形周面的前窄狀的環(huán)狀突起，以使該環(huán)狀按壓部分和上述環(huán)狀突起所包圍的谷部成為內(nèi)窄狀；上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部具有與上述環(huán)狀按壓部分的錐形周面相抵接的錐形周面，形成為可以自由進(jìn)入上述谷部的前窄狀的環(huán)狀突起，上述第一流體給排口部和上述第二流體給排口部隔著上述密封墊而被相互拉靠，從而使上述第一流體給排口部的上述環(huán)狀突起與上述密封墊的一端的環(huán)狀槽、以及上述第二流體給排口部的上述環(huán)狀突起與上述密封墊的另一端的上述環(huán)狀槽分別嵌合起來(lái)，而且，上述環(huán)狀按壓部分的錐形周面與上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部的錐形周面壓接在一起而形成密封部。
2. 如權(quán)利要求1所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 上述環(huán)狀按壓部分的錐形周面的傾斜角與上述內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部的錐形 周面的傾斜角被設(shè)定為不同角度，以使上述環(huán)狀按壓部分的錐形周面與上述 內(nèi)徑一側(cè)的周壁端部的錐形周面僅在沿徑向遠(yuǎn)離上述環(huán)狀突起的一側(cè)的端 部彼此壓接，由此構(gòu)成上述密封部。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征 在于，上述環(huán)狀突起在上述軸線方向上的突出量設(shè)定為大于上述環(huán)狀按壓部 分在上述軸線方向上的突出量的狀態(tài)。
4. 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，上述第一流體給排口部和上述第二流體給排口部隔著上述密封 墊而相互拉靠，利用上述兩個(gè)錐形周面彼此壓接所產(chǎn)生的分力，使上述內(nèi)徑 一側(cè)的周壁端部擴(kuò)張變形而壓接到上述環(huán)狀突起上，形成密封部。
5. 如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，上述密封墊的剖面形狀呈近似H形。
6. 如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，上述環(huán)狀突起的前端的內(nèi)周角部和/或外周角部被倒棱而使上述 環(huán)狀突起形成為剖面呈越往前端越細(xì)的形狀，從而使上述環(huán)狀突起容易進(jìn)入 到上述環(huán)狀槽中。
7. 如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，設(shè)置有維持裝置，用于維持形成上述密封部的接合狀態(tài)。
8. 如權(quán)利要求7所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 上述維持裝置發(fā)揮拉靠功能，將上述第一流體給排口部和第二流體給排口部 拉靠而獲得上述接合狀態(tài)。
9. 一種集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其中，集成面板具備第一流 體給排口部，該第一流體給排口部開口有呈同心狀形成的管狀的流體流道或 環(huán)狀的流體流道和一個(gè)以上的環(huán)狀的流體流道，流體器件具備第二流體給排 口部，該第二流體給排口部開口有呈同心狀形成的管狀的流體流道或環(huán)狀的 流體流道和一個(gè)以上的環(huán)狀的流體流道，集成面板的上述第一流體給排口部 與流體器件的上述第二流體給排口部各自的多個(gè)流體流道相對(duì)應(yīng)，并利用介 于上述第一流體給排口部和上述第二流體給排口部之間的多個(gè)環(huán)狀的密封 墊，以各流體流道被密封的狀態(tài)將所述集成面板的上述第一流體給排口部與 流體器件的上述第二流體給排口部連通連接，在上述第一流體給排口部及上述第二流體給排口部上，在各端面開口的 上述各流體流道的外徑一側(cè)部分形成有環(huán)狀突起，上述各密封墊由具有撓性的材料構(gòu)成，并包括為了將上述第一、第二流體給排口部的相對(duì)應(yīng)的上述流體流道相互連通而形成的流體路徑；在上述 流體路徑的外徑一側(cè)部分形成、并分別與形成在上述第一及第二流體給排口部的端面上的上述環(huán)狀突起相嵌合的一對(duì)環(huán)狀槽；以及為了形成上述環(huán)狀槽 而向上述第一及第二流體給排口部的軸線方向突出形成的內(nèi)外徑側(cè)的周壁 端部，在上述第一及第二流體給排口部的端面上的上述環(huán)狀突起的內(nèi)外徑側(cè)， 形成有分別能夠與上述內(nèi)外徑側(cè)的周壁端部抵接的環(huán)狀按壓部分，上述環(huán)狀按壓部分形成為具有上述環(huán)狀突起一側(cè)的側(cè)周面傾斜而形成 的錐形周面的前窄狀的環(huán)狀突起，以使該環(huán)狀按壓部分和上述環(huán)狀突起所包 圍的谷部成為內(nèi)窄狀；上述周壁端部具有與相對(duì)應(yīng)的上述環(huán)狀按壓部分的錐 形周面相抵接的錐形周面，形成為可以自由進(jìn)入上述谷部的前窄狀的環(huán)狀突 起，上述第一流體給排口部和上述第二流體給排口部隔著上述多個(gè)密封墊 被相互拉靠，從而使上述第一流體給排口部的上述環(huán)狀突起與上述各密封墊 的一端的環(huán)狀槽、以及上述第二流體給排口部的上述環(huán)狀突起與上述各密封 墊的另一端的上述環(huán)狀槽分別嵌合起來(lái)；而且，上述環(huán)狀按壓部分的錐形周 面與上述周壁端部的錐形周面壓接而形成密封部；并且，上述各密封墊之中，在上述接合狀態(tài)下內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)都存在上述流體 流道的中間密封墊形成為以下狀態(tài)，即該中間密封墊的外周面成為用于形成 環(huán)狀的流體路徑的壁面，其中該環(huán)狀的流體路徑將位于上述中間密封墊的外 徑一側(cè)的上述第一流體給排口部的上述環(huán)狀的流體流道和上述第二流體給 排口部的上述環(huán)狀的流體流道連通。
10. 如權(quán)利要求9所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 上述環(huán)狀按壓部分的錐形周面的傾斜角與上述周壁端部的錐形周面的傾斜 角設(shè)定為不同角度，以使上述環(huán)狀按壓部分的錐形周面與上述周壁端部的錐 形周面僅在沿徑向遠(yuǎn)離上述環(huán)狀突起的一側(cè)的端部上彼此壓接，由此構(gòu)成上 述密封部。
11. 如權(quán)利要求9或10所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特 征在于，上述環(huán)狀突起在上述軸線方向上的突出量設(shè)定為大于上述環(huán)狀按壓 部分在上述軸線方向上的突出量的狀態(tài)。
12. 如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，上述第一流體給排口部和上述第二流體給排口部隔著上述 多個(gè)密封墊被相互拉靠，利用上述兩個(gè)錐形周面彼此壓接所產(chǎn)生的分力，使 內(nèi)徑一側(cè)的上述周壁端部擴(kuò)徑變形，而外徑一側(cè)的上述周壁端部則縮徑變 形，從而壓接到上述環(huán)狀突起上，形成二次密封部。
13. 如權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，上述多個(gè)密封墊的剖面形狀呈近似H形。
14. 如權(quán)利要求9至13中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，上述環(huán)狀突起的前端的內(nèi)周角部和/或外周角部被倒棱而使 該環(huán)狀突起形成為剖面呈越往前端越細(xì)的形狀，從而使上述環(huán)狀突起容易進(jìn) 入到上述環(huán)狀槽中。
15. 如權(quán)利要求9至14中任一項(xiàng)所述的集成面板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，設(shè)置有維持裝置，用于維持形成上述密封部的接合狀態(tài)。
16. 如權(quán)利要求15所述的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，上述維持裝置發(fā)揮拉靠功能，將上述第一流體給排口部和第二流體給排 口部拉靠而獲得上述接合狀態(tài)。
全文摘要
提供一種基本不需要進(jìn)行加緊即可保持良好的密封性、同時(shí)其組裝操作性也得到改善的集成面板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。為此，使用環(huán)狀密封墊G將集成面板和閥門2在單一的圓管狀流體流道3、7密封狀態(tài)下進(jìn)行連通連接，在第一及第二流體給排口部2A上形成環(huán)狀突起11及其內(nèi)外的錐形周面12a、13a，使用氟樹脂材料制成密封墊G，該密封墊G具有一對(duì)環(huán)狀槽51、51和錐形周面52a、53a；將集成面板1和閥門2拉靠，使環(huán)狀突起11與環(huán)狀槽51嵌合，從而構(gòu)成形成有由錐形周面12a、13a、52a、53a相互壓接而構(gòu)成的密封部S1的接合狀態(tài)。
文檔編號(hào)F16J15/10GK101223389SQ20068002567
公開日2008年7月16日 申請(qǐng)日期2006年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月12日
發(fā)明者桂將義 申請(qǐng)人:日本皮拉工業(yè)株式會(huì)社