專利名稱：一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種固定裝置，特別是涉及一種用于光阻涂布機臺的機械 手臂固定塊。
背景技術(shù)：
在光阻涂布機臺的機械手臂上，通常設(shè)置有機械手臂固定塊，用來固 定涂布、顯影制程中的控制氣管線和傳感信號線，從而使其更好的工作。
如圖1所示，現(xiàn)有的機械手臂固定塊通常設(shè)置在光阻涂布機臺的機械
手臂1和2的上部，用來固定涂布、顯影制程中的控制氣管線和傳感信號 線。圖2中更清楚地表示了機械手臂固定塊的設(shè)置位置及管線組的固定方 式。在機械手臂固定塊1的作用下，管線組被牢固地固定在機械手臂上而
不能自由移動?，F(xiàn)有的機械手臂固定塊及其固定方式存在如下缺陷
1. 現(xiàn)有的固定塊的內(nèi)壁通常是圓柱形，管線在固定的過程中如果位 置不夠適當或長度不適合，則會增加機械手臂在移動的過程中管線的受力 大小，增加其被損壞的可能性；
2. 機臺使用的管線材料通常是特氟隆管，而定位用的固定塊的硬度 通常高于特氟隆管的表面硬度，因而在機械手臂的運動過程中，管線被折 損的可能性很大。
3. 機械手臂上的傳感信號線外包線的韌性不夠，容易在長期的運動 中折斷。
由于以上缺陷的存在，隨著機械手臂1和2在光阻涂布顯影制程中的 移動，固定在機械手臂上的管線也會隨之來回移動，長時間以后因管線的 折損就會產(chǎn)生粉塵，對機臺環(huán)境造成污染，影響機械手臂的正常工作，也影響到芯片的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種用于光阻涂布機的機 械手臂固定塊，通過改變固定塊的自身結(jié)構(gòu)和固定塊在機械手臂上的固定 方式，來減少其對管線的損害，從而減少粉塵的產(chǎn)生及機械手臂的異常。
本發(fā)明的上述目的及其它目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的 一種用于 光阻涂布機的機械手臂固定塊,該固定塊的內(nèi)壁為圓臺形通孔，用于容納 管線。
上述固定塊內(nèi)壁的縱剖面呈梯形，在內(nèi)壁與外表面的交接處為圓角。
上述固定塊設(shè)置在機械手臂的中部，且其縱向軸線與機械手臂的縱向 軸線呈銳角相交。
上述固定塊的硬度與管線的表面硬度基本相同。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)勢顯而易見本發(fā)明的機械手臂固定塊 內(nèi)壁為圓臺形通 L，可以減小運動過程中固定塊對管線的拉力及壓力；固 定塊的內(nèi)壁縱剖面呈梯形，在內(nèi)壁與外表面的交接處為圓角，可使被固定 管線的移動空間更大，使之有充分的空間做自然的彎曲，這樣可以減少現(xiàn) 有技術(shù)中管線頻繁曲折所帶來的壽命短的問題;將固定塊設(shè)置在機械手臂 的中部，且縱向軸線相對于機械手臂的縱向軸線呈銳角相交，可以使管線 隨著機械手臂的移動而一起運動的同時，減小機械手臂的拉力對管線的危 害；通過縮小固定塊與管線表面的硬度差別，可以減小機械手臂在運動過 程中管路被折損的可能性。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中機械手臂固定塊在光阻涂布機臺中的位置示意圖2為現(xiàn)有技術(shù)中機械手臂固定塊的固定方式示意圖3為本發(fā)明一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊的固定方式示 意圖。圖4為本發(fā)明的機械手臂固定塊的縱剖面示意圖； 圖5為本發(fā)明的機械手臂固定塊的橫剖面示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步說明。
如圖3所示， 一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊l，設(shè)置在機械 手臂2的中部，該固定塊1的主視圖外輪廓呈長方形，也可呈其它任意適 合的形狀，此處不做限制;該固定塊1相對于機械手臂2呈一定斜角設(shè)置， 其縱向軸線與機械手臂2的縱向軸線呈銳角相交，從而使其所固定的管線 3在兩個機械手臂上的固定塊之間自然彎曲，不易折損。
結(jié)合圖4與圖5，本發(fā)明一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊1的 縱、橫剖面視圖。本發(fā)明中的機械手臂固定塊的內(nèi)壁為圓臺形，內(nèi)壁的縱 剖面呈梯形，且內(nèi)壁與外表面的交接處為圓角，從而使得機械手臂固定塊 1所固定的管線的移動空間較之圓柱形的內(nèi)壁更大，使管線有充分的空間 做自然的彎曲，因此可以減小機械手臂的運動過程中固定塊1對管線的拉 力及壓力，也可減小由于管線的頻繁曲折所帶來的壽命短的問題。
管線3中的傳感信號線由硬度較高的材料制成，從而保持管路連接時 的形狀，管線3的外表面的硬度與機械手臂固定塊1的硬度基本相同，從 而減少了管線在運動過程中被折損的可能性。
當然，本發(fā)明還可有其他實施例，在不背離本發(fā)明之精神及實質(zhì)的情 況下，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員當可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變 形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明的權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求
1. 一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊，其特征在于，該固定塊的內(nèi)壁為圓臺形通孔，用于容納管線。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊， 其特征在于，該固定塊內(nèi)壁的縱剖面呈梯形，在內(nèi)壁與外表面的交接處為 圓角。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于光阻涂布機的機械手臂固定 塊，其特征在于，該固定塊設(shè)置于機械手臂的中部，且其縱向軸線與機械 手臂的縱向軸線呈斜角相交。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于光阻涂布機的機械手臂固定塊， 其特征在于，該固定塊的硬度與管線的表面硬度基本相同。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于光阻涂布機臺的機械手臂固定塊，該固定塊的內(nèi)壁為圓臺形通孔，用于容納管線；該固定塊設(shè)置于機械手臂的中部，且其縱向軸線與機械手臂的縱向軸線呈斜角相交。采用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及固定方式可以克服現(xiàn)有技術(shù)中因管線折損所產(chǎn)生的粉塵。
文檔編號F16L3/01GK101434072SQ200710187128
公開日2009年5月20日 申請日期2007年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者珂 胡 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司