專利名稱：用于氣液分離的管路組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及分離技術(shù)，特別涉及一種氣液分離的管路組件。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，通常采用特定的液體對(duì)晶圓進(jìn)行洗刷清潔。當(dāng)采用清
洗液CTS對(duì)晶圓進(jìn)行清洗時(shí)，在排放廢液的過程中，廢液通常會(huì)產(chǎn)生大量 的氣泡。
圖1為現(xiàn)有氣液分離管路組件的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)結(jié)合圖1,對(duì)現(xiàn)有的用 于氣液分離的管路組件進(jìn)行說明，具體如下現(xiàn)有的用于氣液分離的管路組 件包括豎直放置的廢氣液輸入管11、豎直放置的排水管12、水平放置的排 氣管13和Y型三通14。廢氣液輸入管11的頂端連通廢氣液入口 ；排水管 12的底端連通廢液排液口；排氣管13的一端連通排氣泵；Y型三通14包 括第一端口、第二端口和第三端口， Y型三通14的第一端口與廢氣液輸入 管ll的底端連通，第二端口與排水管12的頂端連通，第三端口向上傾斜并 與排氣管13未連通排氣泵的一端連通。
采用現(xiàn)有的用于氣液分離的管路組件排放含有氣泡的廢液時(shí)，廢氣液經(jīng) 廢氣液輸入管11流入Y型三通14,廢液由于重力作用延排水管12下墜后 排出，而廢氣則在排氣泵的作用下從排氣管13排出。
然而，由于廢液在其運(yùn)動(dòng)傳輸過程中可能會(huì)產(chǎn)生氣泡、并堆積在排水管 12內(nèi)、且排水管12的長度較短、例如12 18厘米，排水管的長度大于15 厘米，因而排水管15內(nèi)的氣泡極易堆積至Y型三通14處、并在排氣泵的 作用下被抽入至排氣管13內(nèi)。此后，抽入至排氣管13內(nèi)的氣泡會(huì)逐漸液為 廢液、并駐留于水平放置的排氣管13內(nèi)，然后駐留于排氣管13內(nèi)的廢液就會(huì)泄漏至外部，易對(duì)人身健康造成傷害。
可見，現(xiàn)有的用于氣液分離的管路組件存在廢液泄漏的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種用于氣液分離的管路組 件，能夠避免廢液的泄漏。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案具體是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種用于氣液分離的管路組件，包括 豎直放置的輸入管、其頂端連通廢氣液入口； 豎直放置的排水管、其底端連通廢液排液口； 排氣管、其一端連通排氣泵；
Y型三通，其第一端口與輸入管的底端連通、第二端口與排水管的頂端連 通、第三端口向上傾斜并與排氣管的另一端連通；
排水管的長度，大于等于足以防止廢液氣泡自排水管底端到達(dá)Y型三通第 三端口的第一預(yù)設(shè)值；
且，排氣管靠近前述另一端的部分還具有一向上折彎部；向上折彎部的高 度，大于等于足以使廢液氣泡液化后下落回流至Y型三通的第二預(yù)設(shè)值。
較佳地，排水管的底端通過一U型管與廢液排液口連通。
上述管路組件中，排氣管的前迷另一端與前述向上折彎部之間的部分水平 放置。
上述管路組件中，排氣管的前述向上折彎部水平延伸、再向下折彎后，連 通至排水管連通排氣泵的前述一端。
上述管路組件中，所述豎直放置的輸入管中部具有一水平折彎部。 由上述的技術(shù)方案可見，本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件包括豎 直放置的、且頂端連通廢液入口的輸入,，以及豎直防止的、且底端連通廢 液排液口的排水管，以及一端連通排氣泵的排氣管和Y型三通，Y型三通的 第一端口與輸入管的底端連通，Y型三通的第二端口與排水管的頂端連通，Y型三通的第三端口向上傾斜并與排氣管的未連通排氣泵的端口連通；排水 管的長度大于等于足以防止廢液氣泡從排水管底端到達(dá)Y型三通的第三端 口的第一預(yù)設(shè)值，且排氣管靠近Y型三通的部分還具有一向上折彎部；向 上折彎部的高度，大于等于足以使廢液氣泡液化后下落回流至Y型三通的 第二預(yù)設(shè)值。采用本實(shí)用新型的管路組件，排水管的長度可防止排水管內(nèi)大 量氣泡堆積至Y型三通處，減少了被抽入排氣管內(nèi)的攜帶廢液的氣泡；排 氣管的向上折彎部可使抽入排氣管的攜帶廢液的氣泡液化，液化后駐留于排 氣管的廢液經(jīng)向上折彎部下落回流至Y型三通，避免了駐留于排氣管中的 由氣泡轉(zhuǎn)換成的廢液，進(jìn)而避免管路組件的廢液泄漏。
可選地，本實(shí)用新型中排水管的底端可進(jìn)一步通過一 U型管與廢液排 液口連通，從而利用U型管的液封作用防止有氣泡/人廢液排液口回流至排 水管、用以避免排水管中可能出現(xiàn)的氣泡，進(jìn)而再進(jìn)一步地避免管路組件的
廢液泄漏o


圖1為現(xiàn)有的用于氣液分離的管路組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案、及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附 圖并舉實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。
本實(shí)用新型提出了一種用于氣液分離的管路組件，該管路組件包括豎直 放置的頂端連通廢液入口的輸入管、豎直防止的底端連通廢液排液口的排水 管、 一端連通排氣泵的排氣管和Y型三通，Y型三通的第一端口與輸入管的 底端連通，Y型三通的第二端口與排水管的頂端連通，Y型三通的第三端口 向上傾斜并與排氣管的另 一端連通；本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件 中，排水管的長度足以防止廢液氣泡子排水管底端到達(dá)Y型三通的第三端口，排氣管靠近Y型三通第三端口的部分具有一向上折彎部，向上折彎部 的高度足以使廢液氣泡液化后下落回流至Y型三通。
圖2為本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件的結(jié)構(gòu)示意圖。現(xiàn)結(jié)合圖2， 對(duì)本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，具體如下
為了表述清楚，定義廢氣液流入本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件的 方向?yàn)樯戏?，廢液從本實(shí)用新型氣液分離管路組件流出的方向?yàn)橄路健?br> 本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件包括廢氣液輸入管21、排水管22、 排氣管23、 Y型三通24和U型管25;其中，排氣管23包括向上折彎部 231和水平部232。
廢氣液輸入管21豎直放置，其頂端連通廢氣液入口；輸入管21的中部 具有一水平折彎部，輸入管21為L型。
排水管22豎直放置，其底端連通U型管25的一端。
U型管25的另 一端連通廢液排液口 。
Y型三通24包括三個(gè)端口 ，分別為第一端口、第二端口和第三端口； 第一端口與廢氣液輸入管21的底端連通；第二端口與排水管22的頂端連通； 第三端口向上傾斜并與排氣管23未連通排氣泵的一端連通。
排氣管23的一端與排氣泵連通；排氣管23靠近Y型三通24第三端口 的部分具有一向上折彎部231，向上折彎部231水平延伸，再向下折彎后連 通至排水管23連通排氣泵的一端；排水管23的水平部232位于Y型三通 24的第三端口與向上折彎部231之間，且水平放置。
本實(shí)用新型中，排水管22的長度大于等于足以防止廢液氣泡子排水管 底端到達(dá)Y型三通24第三端口的第一預(yù)設(shè)值；排氣管23的向上折彎部231 向上折彎的高度大于等于足以使廢液氣泡液化后下落回流至Y型三通24第 二預(yù)設(shè)值。在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，第一預(yù)設(shè)值可以為45~55厘米， 最佳地依據(jù)管路組件通常安置的空間，可具體選定第一預(yù)設(shè)值為49、 50、 或51厘米；第二預(yù)設(shè)值為35 45厘米，最佳地依據(jù)管路組件通常安置的空 間，可具體選定第二預(yù)設(shè)值為39、 40、或41厘米。本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件中，排水管22底端與廢液排液口 之間連通了U型管25。在排氣泵通過排氣管23抽取廢液中的氣泡時(shí)，由于 U型管25的液封作用，防止U型管25的廢液中的氣泡從廢液排液口回流至 排水管22，避免了排水管中可能出現(xiàn)的氣泡，進(jìn)一步避免了用于氣液分離 的管路組件的廢液泄漏。
本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件中，排水管22的長度大于等于第 一預(yù)設(shè)值，以防止在抽取廢液氣泡過程中，排水管22靠近U型管25的一 端中廢液氣泡到達(dá)Y型三通24的第三端口，進(jìn)而防止廢液氣泡攜帶廢液通 過排氣管23排出。
本實(shí)用新型用于氣液分離的管路組件中，排氣管23的向上折彎部231 的高度大于等于第二預(yù)設(shè)值，以實(shí)現(xiàn)廢液氣泡在經(jīng)過向上折彎部231時(shí)，廢 液氣泡液化后下落回流至Y型三通24，廢液經(jīng)排水管22排出，廢氣經(jīng)排氣 管23排出，向上折彎部231使廢液和廢氣完全分離，避免了排氣管23中駐 留的由廢液氣泡轉(zhuǎn)換成的廢液，進(jìn)而避免了用于氣液分離的管路組件的廢液 泄漏。
由于安裝氣液分離管路組件的設(shè)備的內(nèi)部空間有限，本實(shí)用新型用于氣 液分離的管路組件的U型管25可安裝于前述設(shè)備外部的底端，與排氣泵連 通的排氣管23的底端可安裝于前述設(shè)備外部的底端，本實(shí)用新型用于氣液 分離的管路組件的其他部分安裝于前述設(shè)備的內(nèi)部?？筛鶕?jù)安裝用于氣液分 離的管路組件的空間的大小、第一預(yù)設(shè)值和第二預(yù)設(shè)值，改變排水管22和/ 或排氣管23的向上折彎部231的長度。
本實(shí)用新型中，管路組件中排放的為采用工業(yè)用檸檬酸對(duì)晶圓清洗后產(chǎn) 生的廢氣液，第 一預(yù)設(shè)值和第二預(yù)設(shè)值的具體取值范圍由工業(yè)用檸檬酸的特 性確定；本實(shí)用新型管路組件中排放的為不同的化學(xué)制劑，第一預(yù)設(shè)值和第 二預(yù)設(shè)值的取值范圍可根據(jù)采用的化學(xué)制劑進(jìn)行調(diào)整。
綜上所述，以上為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種用于氣液分離的管路組件，包括豎直放置的輸入管、其頂端連通廢氣液入口；豎直放置的排水管、其底端連通廢液排液口；排氣管、其一端連通排氣泵；Y型三通，其第一端口與輸入管的底端連通、第二端口與排水管的頂端連通、第三端口向上傾斜并與排氣管的另一端連通；其特征在于，排水管的長度，大于等于足以防止廢液氣泡自排水管底端到達(dá)Y型三通第三端口的第一預(yù)設(shè)值；且，排氣管靠近前述另一端的部分還具有一向上折彎部；向上折彎部的高度，大于等于足以使廢液氣泡液化后下落回流至Y型三通的第二預(yù)設(shè)值。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路組件,其特征在于，排水管的底端進(jìn)一步通 過一 U型管與廢液排液口連通。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的管路組件，其特征在于，排氣管的前述另一 端與前述向上折彎部之間的部分水平放置。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的管路組件，其特征在于，排氣管的前述向上折彎 部水平延伸、再向下折彎后，連通至排水管連通排氣泵的前述一端。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的管路組件，其特征在于，豎直放置的輸入管 中部具有一水平折彎部。
專利摘要本實(shí)用新型提出了一種用于氣液分離的管路組件，該管路組件包括豎直放置的頂端連通廢液入口的輸入管、豎直放置的底端連通廢液排液口的排水管、一端連通排氣泵的排氣管和三個(gè)端口分別連通輸入端底端、排水管頂端和排氣管另一端口的Y型三通；排水管的長度大于等于足以防止廢液氣泡從排水管底端到達(dá)Y型三通的第三端口的第一預(yù)設(shè)值，且排氣管靠近Y型三通一端的部分還具有一向上折彎部，向上折彎部的高度大于等于足以使廢液氣泡液化后下落回流至Y型三通的第二預(yù)設(shè)值。采用本實(shí)用新型的管路組件，排水管減少了堆積于Y型三通的廢液氣泡，排氣管的向上折彎部避免了排氣管中駐留的由氣泡液化形成的廢液，進(jìn)而避免該管路組件的廢液泄漏。
文檔編號(hào)F16L55/07GK201415071SQ200920076578
公開日2010年3月3日 申請(qǐng)日期2009年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月18日
發(fā)明者劉傳波, 強(qiáng) 李 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司